【課題】欠陥候補領域が筋ムラ領域または点欠陥領域の少なくとも一部と重複する場合において、欠陥候補領域および筋ムラ領域または点欠陥領域を的確に検出する。
【解決手段】ムラ検査装置では、基板から得られる対象画像において筋ムラ欠陥を示す筋ムラ領域、および、点欠陥を示す点欠陥領域が検出される。部分ムラ検出部６４では、対象画像を所定の閾値にて２値化することにより、部分ムラ欠陥の候補を示す部分ムラ候補領域が検出される。判定部６６では、部分ムラ候補領域が筋ムラ領域線分または点欠陥領域の少なくとも一部と重複する場合に、部分ムラ候補領域における部分ムラ欠陥の強度に関する評価値と、筋ムラ領域線分における筋ムラ欠陥の強度に関する評価値、または、点欠陥領域における点欠陥の強度に関する評価値とを比較して部分ムラ候補領域の削除の要否を判定することにより、これらの領域を的確に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、炭素繊維布帛の欠点を簡便、かつ、高精度で、信頼性高く検査できる炭素繊維布帛の検査装置および検査方法を提案すること。
【解決手段】
本発明の炭素繊維布帛の検査装置は、炭素繊維布帛を移動させる送出装置と巻取装置と、それらの間に設置する、少なくとも次の（ａ）〜（ｈ）の手段を備えることを特徴とする炭素繊維布帛の布帛欠点の位置および種類を検出する検査装置である。
（ａ）照明手段
（ｂ）画像取得手段
（ｃ）遮光手段
（ｄ）撮像した取得画像を数値化した布帛情報に処理する画像処理手段
（ｅ）炭素繊維布帛形態を数値化した布帛情報を予め基準情報として登録しておく記憶手段
（ｆ）布帛情報と基準情報とを比較して、布帛欠点の在否、および、欠点の位置ならびに種類を判別する判別手段
（ｇ）出力手段
（ｈ）炭素繊維布帛の移動量または前記画像取得手段の移動量を検出する移動量検出手段 （もっと読む）

【課題】 ロール状で流れる透明フィルムに対して、精度高く水しみを検出することが可能である検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】 透明フィルムに付着した水しみを検査する装置において、水しみを撮像する水しみ撮像手段、水しみのコントラストを改善するコントラスト改善手段、水しみを欠陥として判定する欠陥判定手段を備えることを特徴とする水しみ検査装置を用いる。
また、透明フィルムに付着した水しみを検査する方法において、水しみを撮像する水しみ撮像工程、水しみのコントラストを改善するコントラスト改善工程、水しみを欠陥として判定する欠陥判定工程を有することを特徴とする水しみ検査方法を用いる。 （もっと読む）

【課題】複数の微小な吸引孔を備えた部品吸着面に吸着したチップ部品の撮像画像から、煩雑な画像処理を必要とすることなくチップ部品の輪郭を検出して、簡易に、しかも短時間にその良否を判定することのできる外観検査装置を提供する。
【解決手段】負圧吸引される複数の吸引孔が設けられた部品吸着面にチップ部品を吸着して搬送する部品搬送機構を、前記部品吸着面とその裏面側との間を貫通する複数の吸引孔を設けた吸着体と、この吸着体の裏面側に前記複数の吸引孔の開口端を覆って設けられると共に、前記吸着体の裏面側から前記吸引孔内に光を導入する透明板とにより構成する。 （もっと読む）

【課題】 欠陥の輝度の影響を受けることなく、しかも、配線の向きに拘らず回転処理を施すことなく、欠陥が致命的なものか否かを自動的に分類して判定することにより、オペレータによる欠陥観察を軽減させる。
【解決手段】 得られた配線パターンのエッジと抽出された欠陥とを重ね合わせ、この状態でエッジを走査することにより、エッジ上に欠陥が存在するか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ＯＶＤ箔上の少なくとも一部の領域に印刷された印刷模様の検査方法及び検査装置に関するものである。
【解決手段】 第１の照明手段から少なくとも前記印刷模様を含む領域に対し、撮影手段の観測方向と同軸方向からの可視光源を照射し、前記撮影手段によって可視光領域の波長を対象に少なくとも前記印刷模様を含む領域の印刷模様画像データを取得し、記憶手段で基準となる印刷模様の基準印刷模様画像データ、又は前記基準印刷模様画像データ及び前記基準となる印刷模様の基準位置を示す基準位置データをあらかじめ記憶し、画像処理手段により、前記印刷模様画像データと前記基準印刷模様画像データを比較し、あるいは、前記印刷模様画像データと前記基準印刷模様画像データ及び前記基準位置データとを比較し、比較結果に基づいて前記印刷模様の形状、面積及び位置の少なくとも一つの良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】画像上の対象物の明るさに左右されることなく、対象物の抽出精度を確保する。
【解決手段】カラーハイライト照明を用いた基板検査装置において、リード先端部を検査のために抽出するに際し、処理対象のカラー画像を構成するＲ，Ｇ，Ｂの各色データをそれぞれ所定の係数により重み付けし、重み付け後の各色データの総和Ｉを濃度とするグレイスケール画像を生成する。ここで各係数のうち、検査対象のリード先端部を抽出するのに適した色データであるＲ，Ｇの係数には正の値が設定され、残りのＢには負の値が設定される。さらに生成されたグレイスケール画像について、判別分析法によりしきい値を特定した後に、そのしきい値による２値化処理を行って、リード先端部を抽出する。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルの外形精度には関係なく、正確な検査領域を決定できる液晶パネル検出装置を提供する。
【解決手段】液晶パネル１２を載置するステージ１８と、液晶パネルの裏面から光を当てる照明装置２０と、照明された液晶パネル１２を撮影するＣＣＤカメラ２２と、撮影した画像からブラックマトリックス３８の内周側を検出し、その検出位置から検出領域を決定し、その検出領域に基づいて液晶パネル１２の割れ、欠け等を検査する制御部２４とよりなる。 （もっと読む）

【課題】フイルム表面の微細な凹凸によるシワを確実に検出する。
【解決手段】バックアップローラ３２にフイルム２１を巻き掛けて走行させる。バックアップローラ３２上のフイルム２１に、ドットパターン表示器３３によりドットパターンを表示する。ビデオカメラ３４により、フイルム２１上に写されたドットパターンを撮影する。このドットパターンの画像データに基づき、各ドットの長さを数値化する。各ドットの位置に対応させてドット長さ配列パターンを得る。ドット長さ配列パターンに基づき、シワ候補ブロック及びパターンを特定する。形状またはサイズが一定基準を超えているシワ候補パターンが位置するフイルム部分に、微細な凹凸によるシワがあると判定する。 （もっと読む）

【課題】短時間で確実に圧延コイルの内径つぶれを検出することができ、しかもメンテナンスも容易な圧延コイルの内径つぶれ検出方法および装置を提供する。
【解決手段】圧延コイル１を搬送するコンベア２の側方に配置されたＣＣＤカメラ３と、このＣＣＤカメラ３の外周に配置された、撮影時に圧延コイル１の端面を高輝度でかつ均一に照射するリング型ストロボ４により、コンベア２で搬送される圧延コイル１の端面の画像を撮影し、この画像から画像処理装置１３を用いて、圧延コイルの穴の短軸と長軸を求め、つぶれ判断手段１４が短軸／長軸の比を算出して閾値と比較し、圧延コイル１の内径つぶれを検出する。 （もっと読む）

【課題】液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネル型ディスプレイに用いられるガラス基板上のＴＦＴ回路のパターンの欠陥が、基板に異物が付着した場合に、このパターンがショート欠陥かオープン欠陥かを識別する。
【解決手段】反射光源３３からの反射照明光３４をハーフミラー３２によってステージ３０上のパネル３１の表面に導き、このパネル３１の反射光を第１の撮像カメラ３８に取込む。またステージ３０の下側の透過光源４２からの透過光４３によって、パネル３１の透過観察像を取込み、この透過観察像をハーフミラー３２を通して第２の撮像カメラ３７に取込み、画像制御ユニット３９によって第１の撮像カメラ３８からの映像信号と第２の撮像カメラ３７からの映像信号とを処理して、基板３１に異物が付着していた場合に、パターンがショート欠陥かオープン欠陥かを識別する。 （もっと読む）

【課題】グラビア版の撮像画像において隣接するセルが接続しセルの内壁からの乱反射があっても、その乱反射の影響を受けずに正確にセル形状を自動測定することができるグラビア版セル形状測定装置および方法を提供する。
【解決の手段】グラビア版の表面に形成された複数個のセルを撮像し撮像画像を得る撮像手段と、撮像画像に対して表面の性質状態による光ノイズを減らすフィルター処理を行って補正画像を得る補正手段と、補正画像に対して階調変化の大きい部分を強調するロバーツ処理を行って強調画像を得る強調手段と、補正画像と強調画像とにおいて対応する画素の画素値を加算して加算画像を得る加算手段と、加算画像に基づいてセル形状を測定するセル形状測定手段とを備えるようにしたグラビア版セル形状測定装置、およびその装置に適用される方法。 （もっと読む）

【課題】基板へのＩＣチップの実装状態の検査を、客観的基準に基づいて短時間で実施する。
【解決手段】表面にＩＣチップ２を実装したガラス基板１の裏面の画像データを微分干渉顕微鏡１０により取得して微分処理し、その画像データに、基板１のパネル電極４のパターン等マスタデータをマッチングして、前記画像データにおけるバンプ領域Ａを位置決めし、その位置決めしたバンプ領域Ａをもとに検査領域Ｃを特定し、さらに、その検査領域Ｃを分割する。前記検査領域内の画像輝度の標準偏差から圧痕レベルの検出を行い、二値化画像データによる白部分の面積と形状から圧痕数を算出し、パネル電極に形成した圧痕の強弱、数、位置ずれ、異物混入等を判定する。圧痕レベルが、画像輝度に現れ、その画像輝度は数値化されるので、決められた検査領域内の圧痕レベルを数値により検出でき、ＩＣチップ２の実装状態の良否を素早く客観的に評価できる。 （もっと読む）

【課題】オブジェクト（１２）に光を投影する光源（２２）、およびオブジェクトから反射した光を受ける画像センサ（２４）を含む光測定システム（１０）と共に使用するマスク（５０、５２）を生成するための方法（７２）を提供すること。
【解決手段】方法は、検査対象のオブジェクトの輪郭（５６）を判別すること（７４）、および判別されたオブジェクトの輪郭に基づいて電子マスクを生成すること（８６）を含んでいる。電子マスクは、光源および画像センサの一方から見た判別されたオブジェクトの輪郭と概ね一致するように定義された輪郭（６４、７０）を有する電子開口部（６２、６８）を備えている。 （もっと読む）

【課題】実装基板に配設されたハンダ部分を確実に抽出して、クリームハンダの配設状態を判別する。
【解決手段】クリームハンダが配設された実装基板Ｗに対して小入射角で赤外光７３３および可視光７３４を照射し、前記実装基板Ｗからの前記赤外光および可視光の正反射光を撮像し、この撮像結果に基づいてクリームハンダの配設状態を判別する。赤外光によりハンダの中央部分が明るく撮像されてしまう事態を防止することができるとともに、赤外光とともに照射する小入射角の可視光によりパッド部分をハンダ部分より十分明るく撮像してハンダ部分とパッド部分とを区別することができる。 （もっと読む）

【課題】 ＣＲＴパネルの蛍光面の周辺での輝度の低下を補正し、蛍光面全域にわたって精度良く、ムラ状の欠陥を検査する。
【解決手段】 光源３０でＣＲＴパネル１０の蛍光面１１を裏面側から照明し、表面側から蛍光面１１をＣＣＤカメラ１３で撮像する。撮像された画像データを画像処理装置１５で処理して蛍光面の欠陥を検査する。光源３０とＣＣＤカメラ１３との間に、ＣＣＤカメラ１３により撮像される蛍光面の画像の輝度分布を蛍光面の全域にわたってほぼ均一にするフィルタ１１が備えられている。 （もっと読む）

【課題】 検査を実行する工程が限定される場合でも、部品実装基板に品質が低下している部位やその品質の低下の原因を容易に判別できるようにする。
【解決手段】 最終のリフロー工程に設けられた検査装置１と、これより前の２工程にそれぞれ設けられた画像収集装置２Ａ，２Ｂと、画像表示装置３とによりネットワークシステムを構成する。検査装置１では、所定数の基板を検査する間に得た計測値の判定基準値に対する余裕度を部品毎に求め、その余裕度が小さい部品の部品コードをその他の装置２Ａ，２Ｂ，３に送信する。画像収集装置２Ａ，２Ｂでは、検査装置１からの部品コードに対応する画像をメモリに保存する。画像表示装置３では、前記部品コードに対応する部品について、検査装置１および画像収集装置２Ａ，２Ｂから画像の送信を受け付け、同一の基板および同一の部品毎に各工程の画像を表示する。 （もっと読む）

【課題】 検査対象物における欠陥の形状や各検査対象物に形成されたそれぞれ異なる研磨筋等によらず、検査対象物の欠陥を確実に検出すること。
【解決手段】 本発明に係る外観検査方法は、検査対象物２２を撮像して撮像画像Ｐ１を取得する工程と、軸Ｘ，Ｙ方向における検査対象物画像Ｐ１ａの平均輝度分布を算出する工程と、マスタ画像Ｐ２を平均輝度分布に基づいて生成する工程と、撮像画像Ｐ１とマスタ画像Ｐ２とから第１補正画像Ｐ３を生成する工程と、ソーベルフィルタにより第１補正画像Ｐ３における各画素の輝度値の変化量を算出してソーベル処理画像Ｐ４を生成する工程と、ソーベル処理画像Ｐ４と第１補正画像Ｐ３とから第２補正画像Ｐ５を生成する工程と、第２補正画像Ｐ５を２値化して連結領域を特定し、その連結領域の画素数と閾値とを対比する工程とを備える。 （もっと読む）

【目的】 図形データが格納された設計パターンデータからビットパターンを効率よく発生させるパターン検査方法および装置を提供することを目的とする。
【構成】 描画データを順次記憶する近傍図形キャッシュバッファメモリ２０６と、描画データをビットパターンデータに変換するパターンジェネレータ２０８と、パターンメモリ２１０と、近傍図形キャッシュバッファメモリ２０６に記憶されている描画データの中から反復する複数の図形データを検出する反復パターン検出器２１２と、反復する複数の図形データの内、１つのビットパターンデータを記憶するテンプレートバンク２１４とを備え、描画データの中からテンプレートバンク２１４に記憶されたビットパターンデータに対応する図形データを検出して図形パターンをパターンジェネレータ２０８で変換する代わりに、テンプレートバンク２１４から読み出して前記パターンメモリ２１０に書き込むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 粒界のある多結晶半導体ウエハでも、汚れを検出することができる外観検査方法を提供する。
【解決手段】 コンピュータ１０は、表面撮像装置２０および裏面撮像装置４０によって、各面の低角度画像および高角度画像を撮像する。撮像された低角度画像および高角度画像を、多結晶シリコンウエハ２の同じ位置の画素毎に明度差を算出し、算出された明度差が予め定める明度差より小さい位置の画素を、汚れを表す画素候補とする汚れ候補画像データを、各面について生成する。２つの面の汚れ候補画像データを、２つの面が対向する位置の画素毎に比較して、汚れを表す画素候補であるか否かを示すデータが不一致である対向する画素の位置に対応する位置の画素を、不一致画素とする不一致画像データを生成する。不一致画像データが示す画像の画素のうちで、不一致画素からなる領域が予め定める汚れ条件を満たすとき、汚れがあると判定する。 （もっと読む）