【課題】測定可能な内面条件を広く確保し、より高精度な測定結果が得られる内面測定装置を提供する。
【解決手段】スリット光を照射された被測定物の内面を撮像する撮像手段５を備えた内面測定装置１。撮像光軸を前記スリット光照射内面に偏向するための撮像プリズム４が配置され、スリット光照射内面でのスリット光の反射光量が全測定範囲において撮像手段５の最小感度光量以上でかつ飽和光量内となるようにスリット光の照射方向と撮像プリズム４の配置位置とが調整され、スリット光の照射角度と撮像光軸の撮像角度とに応じて、撮像面５１ａが撮像光軸に対して傾けられている。 （もっと読む）

【課題】ディスクの表面（記録面部分）及び端面（エッジ部）の同時検査や両面の同時検査に好適なディスク検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】垂直姿勢で保持されたディスク12の面に対し、照明装置112，114,116,118からエッジを含んだ検査領域の形状と略同一形状の照射範囲となる照明光パターンの照明光を照射し、当該エッジを含んだ検査領域部分からの反射光をカメラ102,104によって撮像する。照明光は、光ファイバーなどのライトガイドを使用して照射パターン形状を整形し、ディスク12のテクスチャの接線方向に沿って照射する。カメラ102,104から得られる画像を解析し、ディスクの中心位置と半径を求めて自動的に各検査面のウインドウを形成する。また、検査画像からエッジ部分における反射形状を認識し、当該反射形状に基づき、塵埃と塵埃以外の要因によるものとを判別して塵埃の検出と測定を行う。 （もっと読む）

【課題】複雑な構造面を検査対象とする場合であっても、フィルタ設定に手間が掛からず、欠陥を高精度に検出可能な欠陥検出方法の提供。
【解決手段】本発明は、検査画像取得工程と、検査画像を構造物間の境界を成すエッジに基づいて複数の検査領域４１〜４４に分割する領域分割工程と、検査領域をエッジに沿った方向または検査画像の端縁に沿った方向に走査し、当該検査領域の角ｐ_１〜ｐ_６を検出する角検出工程と、隣合う角同士を結ぶ領域分割線分の傾きを求める傾き取得工程と、前記領域分割線分を基準として、当該領域分割線分の傾き方向に対応したフィルタを適用するフィルタ適用領域Ｒ１等を設定するフィルタ適用領域設定工程と、フィルタ適用領域Ｒ１等毎に、対象画素の濃度値とこの対象画素から領域分割線分の傾き方向に沿って対角に配置された比較画素の濃度値とを演算するフィルタを適用するフィルタ処理工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】半田等の接合部材を容易にかつ短時間で検査することができる検査方法を提供する。
【解決手段】測定対象物までの距離を非接触に測定する非接触式変位計１０を、電子部品搭載基板に対し基板のマウント表面と平行を成すように相対的に移動させて、前記基板のマウント表面までの距離と前記電子部品の表面までの距離を測定する工程と、前記測定した基板のマウント表面までの距離から、前記測定した電子部品の表面までの距離と電子部品の厚さとを減算して、基板と電子部品の間に介在した接合材の厚さを算出する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 溶接部の溶接品質を判定するのに要する手順を簡単化するとともに、検査者の技量に依存することなく一定の判定精度を確保することができるレーザ溶接評価方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係るレーザ溶接評価方法は、溶接部の断面が測定面２２となるように、金属材から試片１５を切り出す切出しステップＳ１０１と、撮像面１１ａ上にスケール１６が配置された撮像用ステージ１１を用意し、測定面２２が撮像面１１ａに対面して接するように、複数の試片１５を配置する配置ステップＳ１０３と、試片をスケール１６と共に撮像手段１２を用いて撮像する撮像ステップＳ１０４と、スケール１６を共通の基準とし、各試片の測定面の画像から各測定項目の物理量を算出する算出ステップＳ１０５と、物理量を評価基準と比較して、溶接部の溶接品質を評価する評価ステップＳ１０６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ダイシング工程によって生じた半導体チップのチッピングに関する正確なデータを取得する外観検査方法を提供する。
【解決手段】半導体チップの画像データを取得する工程と、前記画像データを二値化処理する工程と、前記二値化処理された画像データから、半導体チップに設けられた基準点１７およびチッピング端２３を認識する工程と、前記基準点１７からチッピング端２３までの距離を測定する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 画像特徴量の数の増加に関係なく欠陥の分類性能が向上する欠陥分類装置および方法並びにプログラムを提供すること
【解決手段】 外観検査装置１５から取得した検査対象品の画像データから画像特徴量を抽出する画像処理部２６と、画像処理部で抽出された検査対象品の画像特徴量に対して主成分分析或や部分最小２乗法を行なって寄与率を求め、寄与率が高い画像特徴量を抽出し、抽出した画像特徴量から欠陥種別を決定する多変量解析処理部２８と、を備える。同種の欠陥の場合、寄与率が高くなる画像特徴量も同じになるため、抽出された画像特徴量の組み合わせから欠陥分類が行なえる。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタの異物がガラス基板裏面にあることを検査の段階で特定し、工程内では欠陥ではないと識別するカラーフィルタの外観検査方法。
【解決手段】予め、着色画素２２などの濃度範囲及び判定閾値の数を設定し、次に、不良欠陥Ｄ３の検査画素の濃度を求め、輪郭部Ｒ３を設定し、輪郭検査画素の各濃度を求め、次に、不良欠陥の濃度の平均値が該当内であり、最小値が該当内にない場合、不良欠陥を裏面異物の候補と判定し、次に、輪郭検査画素の各濃度を、各々の濃度範囲毎に集計し、ガラス基板の濃度範囲にある、輪郭検査画素の数が、判定閾値の数以上であれば不良欠陥はガラス基板にあると判定し、不良欠陥を裏面異物と確定判定し、不良欠陥を工程内欠陥の対象から外す。 （もっと読む）

【課題】羽根車の湯境欠陥を発見でき、短時間に検査を行う事が可能な外観検査方法及び外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置は、羽根車の外観を撮像して画像情報を得るための撮像手段３０と、撮像して得られた画像情報を二値化し、得られた二値化した画像情報を用いて相対する二方向からそれぞれエッジ検出を行い、得られた二つのエッジのエッジ間距離を算出し、前記エッジ間距離を予め設定された閾値と比較して合否を判定する画像処理演算装置６１を備えている。 （もっと読む）

【課題】コアのスロットに挿入されたスロット紙の挿入状態を簡易な方法で検査するためのスロット紙検査方法および検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明のスロット紙検査方法は，少なくとも１辺が折り曲げられたスロット紙１を，その折り曲げ部５が外側を向くように湾曲させてコア２のスロット３に挿入した挿入状態の良否を検査する検査方法であって，コア２の端面８上におけるスロット紙１の本体部４と折り曲げ部５とがなすＶ字部分Ｖａ，Ｖｂを，コア２の端面８と平行な複数の走査線に沿って走査して，各走査線とスロット紙１との交点位置を把握し，その交点位置の配置に応じて，該Ｖ字部分Ｖａ，Ｖｂの良否を判断するものである。 （もっと読む）

【課題】光透過性の材料により形成された物品において、異物の全体または一部が埋入されているか異物が表面に付着しているかを判別することを可能にする。
【解決手段】光透過性の材料により形成された物品ＢをＴＶカメラ１１により撮像し、微分手段２５により微分画像を生成する。第１のエッジ抽出手段２６は物品Ｂの内部に埋入された異物Ｆと物品Ｂの表面に露出する異物Ｆとの輪郭線が併せて抽出される第１の閾値を適用してエッジを抽出し、第２のエッジ抽出手段２７は物品Ｂの表面に露出する異物Ｆの輪郭線が抽出され物品Ｂの内部に埋入された異物Ｆの輪郭線が抽出されないように第２の閾値を適用してエッジを抽出する。判定手段２８は、第１のエッジ抽出手段２６により抽出したエッジの長さと第２のエッジ抽出手段２７により抽出したエッジの長さとの差分が規定した判定閾値以下であるときに物品Ｂの表面に異物Ｆが付着していると判定する。 （もっと読む）

【課題】光透過性の材料により形成された物品において、異物の全体または一部が埋入されているか異物が表面に付着しているかを判別することを可能にする。
【解決手段】光透過性の材料により形成された物品ＢをＴＶカメラ１１により撮像する。第１のエッジ抽出手段２８は、濃淡画像に対して物品Ｂの内部に埋入された異物Ｆと物品Ｂの表面に露出する異物Ｆとの輪郭が併せて抽出可能する閾値を用いて二値化した二値画像からエッジを抽出する。第２のエッジ抽出手段２９は、微分画像に対して物品Ｂの表面に露出する異物Ｆの輪郭線が抽出され物品Ｂの内部に埋入された異物Ｆの輪郭線が抽出されないように設定した閾値以上の画素からエッジを抽出する。判定手段３０は、第１のエッジ抽出手段２８と第２のエッジ抽出手段２９とで抽出したエッジの長さの変化率が規定した判定閾値以下であるときに除去可能な異物Ｆが物品Ｂに付着していると判定する。 （もっと読む）

【課題】
金属などの部材やそれらに金属皮膜を形成した表面で、光学的に全反射ないしはそれに近い状態の表面は、全反射による鏡面反射光が強く、表面欠陥の検出に有用なランダム反射光を検出することは困難である。このため従来技術では、表面欠陥検査の自動化は困難であった。
【解決手段】
本発明は、評価対象物とカメラを固定し，点光源の位置を変えて、または複数位置に配置した点光源を順次点灯することにより、複数枚の表面画像を計測する工程、金属表面反射モデルを用いて強い鏡面反射を削除し微小なランダム反射を抽出する工程、複素数離散ウェーブレット変換を用いてノイズ除去や欠陥鮮鋭化などを行う工程、パターンマッチングにより欠陥を検出する工程などの組み合わせにより、評価対象物の表面欠陥、特に金属皮膜が形成された鏡面状態の部材や部品の表面欠陥の自動検査装置とその検査方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】ドリルの研磨や破棄のタイミングをバラツキなく判断することは難しい。
【解決手段】撮像部２０は、ドリルの刃先を回転軸に沿う方向に撮像する。測定部３４は、撮像部２０により撮像された画像内の刃先領域の形状情報を測定する。記憶部３６は、ドリルのライフサイクル上の研磨回数を反映させたステージごとに、そのドリルの刃先領域の形状情報の参照データを保持する。判定部３８は、測定部３４により測定された形状情報から、ドリルの刃先の状態を判定する。たとえば、測定部３４により測定された形状情報と、記憶部３６に保持されたステージごとの参照データを照合することにより、検査対象のドリルが該当するステージを特定する。 （もっと読む）

【課題】垂直、水平及びその他の角度のクラック（亀裂）を膨れから区別することができるガラス容器の検査装置を提供すること。
【解決手段】ガラス容器の口部の“膨れ”を“亀裂”から区別するための装置。複数の隣接する帯内の対象物中心を判定する制御装置によって、１つの列内の対象物の各々の中心が判定される。対象物中心を最も多く有する帯が判定され、最も多くの対象物中心を有する帯内の対象物が、残りの帯から削除される。当該制御装置は、各帯内の対象物が特有のものとなるまで、対象物中心を最も多く有する帯の残りの部分を繰り返し判定し且つ残りの帯から対象物中心を最も多く有する帯の残りの部分内の対象物を削除する。各帯内の対象物の最大離隔距離が規定され、この離隔距離に基づいて、“亀裂”が“膨れ”から区別されるであろう。 （もっと読む）

【課題】
検査対象基板において不規則な回路パターン部分では、パターンからの散乱光によって欠陥信号が見落とされ、感度が低下する課題があった。
【解決手段】
光源から出射した光を検査対象基板上の所定の領域に所定の複数の光学条件をもって導く照明工程と、前記所定領域において、前記複数の光学条件に対応して生じる複数の散乱光分布の各々につき、所定の方位角範囲および所定の仰角範囲に伝播する散乱光成分を受光器に導き電気信号を得る検出工程と、該検出工程において得られる複数の電気信号に基づいて欠陥を判定する欠陥判定工程とを有することを特徴とする欠陥検査方法を提案する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物が横断面形状において両端部が低くなる或いは高くなる曲線を有する長丈材である場合にも、表面欠陥の検出精度を高める。
【解決手段】周期的に変調された線状レーザ光を測定対象物２の表面に照射するレーザ装置１０と、測定対象物２からの反射光を撮像する遅延積分型カメラ３０とを用いて、測定対象物２に対する線状レーザ光の照射位置を連続的にずらしながら、遅延積分型カメラ３０により測定対象物２からの反射光を撮像して光切断画像を出力し、測定対象物２の表面欠陥を検出する表面欠陥検査システムであって、測定対象物２を含んで撮像された輝度画像に基づいて、測定対象物２のエッジ位置を検出するエッジ位置検出５１１と、エッジ位置検出部５１１で検出されたエッジ位置に基づいて、遅延積分型カメラ３０で得られた画像にセンタリング処理を行うセンタリング処理部５０７とを備える。 （もっと読む）

【課題】色の再現性に幅（ばらつき、色ムラおよび／または色あせ）のあるシート状物品における汚れ、破れ、形状不良等の欠陥検査において、模様を欠陥と判定せず、かつ、黒汚れ、非黒よごれおよび破れの判別が可能な検査方法および装置の提供。
【解決手段】複数の異なる色領域を有する検査板と、ＲＧＢ成分からなる複数のラインを撮像可能なカラーカメラとを提供し、検査板上を通過させたシート状物品のＲＧＢ画像データを取得し、Ｒ成分画像、Ｇ成分画像およびＢ成分画像を合成した合成画像を取得し、当該合成画像において変色領域を検出し、変色領域の色が予め記憶した欠陥種別の設定パラメータの範囲に属するかにより欠陥種別を判定することを特徴とするシート状物品の検査方法およびその装置。 （もっと読む）

【課題】メタリック塗装の外観を数値化する。
【解決手段】メタリック塗装数値化装置は、標準的試料又は評価対象の試料のメタリック塗装面を拡大する顕微鏡、拡大されたミクロ画像を撮像する顕微鏡デジタルカメラ、ミクロ画像から第１の特徴量を抽出するミクロ画像解析手段４１、標準的試料の第１の特徴量を記憶するデータベース（記憶手段４０）、データベースに記憶された第１の特徴量と評価対象の試料から抽出された第１の特徴量とを比較して、評価対象の試料を判別する判別手段４３を備える。第１の特徴量としては、メタリック塗装中の金属光沢の微小片であるフレークのサイズ、フレークの密度、フレークの浮き沈みの度合いを示す評価値、及びフレークの表面状態を示す評価値のうちの少なくとも１つが採用される。 （もっと読む）

【課題】 例えばラインアンドスペースのような特殊な形状であっても、欠陥を適正に結合して正確に欠陥を検出することが可能な欠陥検出方法を提供すること。
【解決手段】 隣接検出欠陥Ｄ_n の外接矩形を隣接欠陥外接矩形５２として設定する隣接欠陥外接矩形設定工程と、注目欠陥外接矩形５２を拡大することにより、拡大外接矩形５５を得る外接矩形拡大工程と、拡大外接矩形５５と隣接欠陥外接矩形５１、５３、５４との位置が重複するか否かにより、注目検出欠陥Ｄ_n と隣接検出欠陥Ｄ_n-1 、Ｄ_n+1 、Ｄ_n+2 とを結合するか否かを判定する判定工程とを備える。 （もっと読む）