【課題】小型で、複数種類の気体の濃度測定を精度良く行うことができる濃度測定装置を提供する。
【解決手段】濃度測定装置は、雰囲気が充填されたセル内の一端部に赤外線を放射する光源を配し他端部に赤外線を受光する受光ユニット８を配した気体サンプル室を有している。受光ユニット８は、光源と相対する側に開口部１１ａが形成されたユニット本体１１と、前記一端部から前記他端部に向かう方向に沿って延びユニット本体１１の内部空間を複数の空間１０ａ，１０ｂに分割する分割部材１２と、空間１０ａ，１０ｂの開口部１１ａ側に夫々配され透過する赤外線の波長が互いに異なる複数のフィルタ１５ａ，１５ｂと、空間１０ａ，１０ｂ夫々に配されフィルタ１５ａ，１５ｂを透過した赤外線を受光する複数のセンサ１４ａ，１４ｂと、を有している。 （もっと読む）

【課題】 比色式ガス検知紙が周囲の温湿度によって反射スペクトルが変化したり、特定ガスを検出する感度が変化するのを補正し、正確なガス濃度を算出する方法およびガス濃度測定装置を提供する。
【解決手段】 比色式ガス検知紙１４の反射率を波長が異なる２つのＬＥＤ１１、１２によって測定することにより、オゾン検知紙１４の保持している色素量と水分量を算出し、色素量からオゾンガスのガス濃度を算出する。 （もっと読む）

【課題】 オゾン分解器の分解効率を自己診断することで、高頻度で校正を行い、高い稼働率を維持することができるオゾン測定装置を提供する。
【解決手段】 ゼロガス精製器４で精製したゼロガスを、オゾン分解器７を通過させたものと通過させなかったものとを測定し、ゼロガスのオゾン濃度を測定する。ゼロガスにオゾン発生器６で発生したオゾンを加えたガスを、オゾン分解器７を通過させたものと通過させなかったものとを測定し、発生したオゾンのオゾン濃度を測定する。発生したオゾンを加えたゼロガスをオゾン分解器７に通過させたものと、ゼロガス精製器４で精製したゼロガスを測定し、分解効率を算出する。 （もっと読む）

【課題】 子供や一般市民であっても、オゾンの紫外線遮蔽効果を簡単に確認することができるとともに、オゾン層の破壊メカニズムを理解しその現象を目で見て実感できるオゾン層破壊による紫外線透過シミュレート装置およびシミュレート方法を提供すること。
【解決手段】 容器１と；紫外線光源２と；紫外線検知器３と；オゾン検知器４とを具備して構成されており、給排気機構11により注入口11ａから容器１内にオゾンガスＧが供給されて充満した状態で、前記紫外線光源２から紫外線検知器３に向けて紫外線が照射される一方、給排気機構11により容器１内のオゾン濃度を減少させることが可能であって、
前記紫外線検知器３からの出力によって、前記容器１内のオゾン濃度の大小によるオゾンガスＧ内における紫外線透過量の変化を確認できるようにするという技術的手段を採用する。 （もっと読む）

【課題】測定装置をより小型にすることを可能とする測定装置用光源モジュール、及びその光源モジュールを使用した測定装置を提供する。
【解決手段】測定装置用光源モジュール１は、ベース２１と、光透過部２３が設けられベース２１との間に空間Ｖを形成するようにベース２１に固定されるキャップ２２と、を有する単一のパッケージ２内に、半導体発光素子１１と、該半導体発光素子１１の発する光を受光する参照用半導体受光素子１３と、を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】寿命の短い半導体発光素子を使用した場合でも、光源モジュールとして長寿命化することのできる測定装置用光源モジュール、及びその光源モジュールを使用してメンテナンス負荷の低減が図られた測定装置を提供する。
【解決手段】測定装置用光源モジュールは、ベース２１と、光透過部２３が設けられベース２１との間に空間Ｖを形成するようにベース２１に固定されるキャップ２２と、を有する単一のパッケージ２内に、同一の特定波長域の光を発する複数の半導体発光素子１１を有する構成とされる。 （もっと読む）

【課題】オゾン・過酸化水素併用処理において、臭素酸を抑制するのに必要な過酸化水素の量を最小限にする。
【解決手段】被処理水をオゾン単独処理した場合に所定の溶存オゾン濃度を保つことができるオゾン注入率、あるいは被処理水の特定波長における吸光度と被処理水をオゾン単独処理した際の特定波長おける吸光度とが所定の比となるオゾン注入率において、オゾン・過酸化水素併用処理を実施する。過酸化水素の注入率は、質量基準でオゾンの注入率の０．０１〜５倍であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】溜水の溶存オゾン濃度を現場で迅速に測定できる溶存オゾン濃度計を提供する。
【解決手段】取手２を有する携帯自在なケーシング１と、ケーシング１の内部に設けられたポンプ４と、測定用の透明筒部５と、紫外線ランプ６と、受光部７と、予め入力した演算式に従って受光線量をオゾン含有量に演算する演算部８と、を具備し、さらに被測定水21と、原水20とを切換える切換弁９と、オゾン濃度を演算部８からの出力信号によってデジタル表示する表示部３とを具備する。 （もっと読む）

【課題】試料ガスの紫外線吸光度および参照ガスの紫外線吸光度をそれぞれ測定し、これら両紫外線吸光度から試料ガス中のオゾン濃度を演算するオゾン測定において、紫外線ランプの光量が変動すると試料ガス中のオゾン濃度を正しく測定できなくなるという問題を解決する。
【解決手段】参照ガスの紫外線吸光度の変化率、すなわち紫外線ランプの光量の変化率が所定のしきい値を超えたときに、試料ガスおよび参照ガスの紫外線吸光度からの試料ガス中のオゾン濃度の演算を行わないようにする。 （もっと読む）

【課題】 広帯域性かつ低雑音性に優れた超伝導トンネル型ミキサチップを提供する。
【解決手段】 本発明は、２個のシングルスロットアンテナの出力を同位相で合成する同相給電型ツインスロットアンテナと、その出力に接続された整合トランスと、さらにその出力に接続された並列型多接合素子とから構成する。並列型他接合素子は、電子のトンネルバリアを２つの超伝導体でサンドイッチ状に挟んだ構造の複数個の超伝導トンネル型接合素子を、インダクタンスを介して接続する。整合トランスは、複数段の整合トランスにより構成して、複数段構造の各々の部分の長さ及び幅を調整することにより、インピーダンス変換比の周波数依存性を制御して、周波数に応じて、並列型多接合素子のインピーダンスを変換する。 （もっと読む）

【課題】 取扱性に優れ、低濃度のガスを短時間で高精度に測定することができるガス濃度測定器を提供する。
【解決手段】 オゾンガスに反応すると変色する曝露部５を有するガス検知素子２と、外部に開放する第１、第２の開口部８，９を有し内部がガス通路１０を形成するガス通路形成部材３とでオゾンガス濃度測定器１を製作する。ガス検知素子２は、ガス通路１０内に第１の開口部８から第２の開口部９に向かって延在するように配置されている。ガス通路形成部材３は、台紙７と、カバー部材７とで矩形薄箱型に形成されており、第２の開口部９がオゾンフィルタ４によって閉塞されている。カバー部材７の表面板７Ａは、ガス検知素子２の視認を可能にする透明な窓として機能する。 （もっと読む）

【課題】個人が容易に携帯可能で簡便にオゾン測定できる手段を用い、オゾンの分布が容易に把握できるなどオゾンに対する暴露状態が容易に評価できるようにする。
【解決手段】情報処理部１０４では、オゾン分布算出部１４２が、濃度情報記憶部１４３に記憶された作業者毎のオゾン濃度の情報と、ＧＰＳ情報取得装置１０２から入力した作業者毎の位置情報と、区画情報記憶部１４４に記憶されている作業領域を区画した区画情報とをもとに、区画情報記憶部１４４に記憶されている領域におけるオゾン濃度の分布を算出する。 （もっと読む）

【課題】移動しながらの計測によりドップラー周波数シフトが生じる時でも受信光を検出できる差分吸収ライダ装置を得る。
【解決手段】第１及び第２のＣＷ送信光信号、ＣＷローカル光信号を発生する光信号発生手段１〜３と、第２のＣＷ送信光信号に第１の周波数シフト、第１のＣＷ送信光信号に第２の周波数シフトを与える周波数シフト手段４ａ、４ｂ、５ａと、２波長の光信号を空間中に放射する放射手段６〜９と、ターゲットからの散乱光を受信光として受信する光受信手段９、１０と、送信ビームのターゲット上の照射スポットが受信視野内に入るように光受信手段を逐次制御するビーム照射スポットトレーサー１１と、第１、第２のＣＷローカル光信号と受信光とをヘテロダイン検波して電気信号に変換し、第２、第１の周波数シフト成分を抽出してそれらの強度の差異からターゲットの濃度を検出する濃度検出手段５ｂ、５ｃ、１２、１３とを設けた。 （もっと読む）

【課題】ガスセンサーまたはガスセルの寸法を縮小する一方で、長い測定路が得られるようにする。
【解決手段】本発明は、ブロック５０の形状を有する空洞２内に封入されたガス試料を測定できるように設計されたガスセンサー１を含んでいる。空洞２の壁は、高い光反射特性を有している。空洞は、入射光線を発する装置５１と、流出光線を受光する装置５２とを有している。空洞２は、対向する表面５５ａ，５６ａ，５７ａを有し、該表面５５ａ，５６ａ，５７ａは、入射光線６０が、一平面（ｘ−ｚ平面）内で反射せずに、空洞２を横切って鏡の凹面５５ａへ透過するように、設計かつ調整されている。さらに鏡の凹面は、前記一平面に対して直角に配向されている。光線は、空洞２を横切って、鏡面の平面内を他方の表面５６ａ，５７ａへ反射され、それによって、反射光線束が、存在する光線を受光する装置５２へ向かう前に、測定路が形成される。 （もっと読む）

【課題】高い受信Ｓ／Ｎ比、かつ高い精度で気体濃度を計測できる差分吸収ライダ装置を得る。
【解決手段】ターゲットに関する吸収係数が異なる第１、第２の波長を持つ第１、第２のＣＷ光信号を発生する光信号発生手段１〜３と、第１のＣＷ光信号に、ベースバンド帯の第１の周波数を持つ第１のＣＷ変調信号で、強度変調をかけ、第２のＣＷ光信号に、第２の周波数を持つ第２のＣＷ変調信号で、強度変調をかける光強度変調手段４、５と、強度変調された第１、第２のＣＷ光信号を合波し、合波した２波長の光信号を所定のビームサイズ等に成形して放射する放射手段６〜８と、空間中に存在するターゲットからの散乱光を直接検波して電気信号に変換する受信手段９、１０と、前記電気信号から第１、第２の周波数成分のみをそれぞれ抽出し、２つのデジタル信号の時間波形の振幅又は電力の差異からターゲットの濃度を検出する信号処理手段１１〜１３とを設けた。 （もっと読む）

【課題】 従来の方式は、１光源に対し、基準値用受光素子および被測定用受光素子の２つを有し光源からハーフ・ミラー等により、基準値用受光素子および被測定用受光素子に投光し基準値用受光素子の光量変化を監視し、被測定値の補正を行う方法や、３法弁などにより基準流体および被測定流体を切り替え測定するのが今までの測定法であるが基準値用受光素子および被測定用受光素子の２つの受光素子を使用するため、高価になると同時に受光素子の感度の固体特性差による測定誤差を生じると言う欠点、また３法弁式においても濃度ゼロ基準流体および被測定流体の切り替えに時間がかかり測定はできても濃度更新が遅すぎ、測定値のフィードバックによる濃度制御などには、不向きな欠点があった。
【解決手段】 本発明では、１つの光源で基準光量測定および被測定光量の測定を可能とする図１の４．反射ミラー，６．シャッターを設け課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】オゾン濃度測定を、ポンプ、切換弁等を用いず、簡便に行う。
【解決手段】オゾン濃度測定流路内の一側の入口から試料ガスを測定流路内に導入して、紫外線の吸収量を測定し、その後該測定流路の他側の入口から測定流路内に基準ガスを導入して紫外線の吸収量を測定し、得られた試料ガスの紫外線吸収量と基準ガスの紫外線吸収量とを比較することによって、試料ガスのオゾン濃度を測定する。この方法を実施するために、オゾンガス測定流路の一側に試料ガス導入ファン及び整流格子を配置した試料ガス導入口を接続すると共に、該測定流路の他側に基準ガス生成用導入ファン及び基準ガス生成器を配置した基準ガス導入口を接続したオゾン濃度測定装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】 オゾン測定などに使用する紫外線吸光光度計において、光源により制約された小型化の問題点を解決し、光源の交換を容易にすることを目的にした。
【解決手段】 超小型殺菌用冷陰極水銀灯をプリント基板に挟み込み、スライド挿入可能にした光源ユニットで光源の取替えを用意にし、光源ランプに接近して設けられた、オゾンガス分解吸収槽を配置することにより殺菌灯から発生するオゾンガスを除去して光源出力の安定化を図り小型化を可能にした。 （もっと読む）

【課題】被処理基板表面に形成された被酸化物に対してオゾンを溶解させた硫酸溶液を用いて酸化を行う酸化工程において、被酸化物の存在の有無を判定することが可能な酸化工程の制御方法を提供する。
【解決手段】硫酸溶液中にオゾンを連続的に導入して、硫酸溶液中にオゾンを溶解させると共に、硫酸溶液とオゾンとを反応させてペルオキソ硫酸を生成して、オゾン・硫酸混合溶液を製造するする。オゾン・硫酸混合溶液中に被酸化物が形成された被処理基板を投入して、被酸化物を酸化させる。ウェハが導入されたオゾン・硫酸混合溶液の２５４ｎｍの吸光度、及び混合溶液の１５０〜２２０ｎｍの吸光度の少なくとも一方を測定する。測定された吸光度が所定の状態になったら、オゾン・硫酸混合溶液中からウェハを引き出す。 （もっと読む）

【課題】 高感度、低コスト、高精度の状態評価装置を提供する。
【解決手段】 状態評価装置は、第１の状態から、所定の環境に置かれることによって第２の状態に変化する指標物質と、第１波長の光を指標物質に照射する第１発光デバイスと、第１波長と異なる第２波長の光を指標物質に照射する第２発光デバイスと、指標物質からの反射光又は透過光を受光して電気信号を出力する受光デバイスと、第１発光デバイスから指標物質に前記第１波長の光を照射し、受光デバイスで指標物質からの反射光又は透過光を受光して出力される第１電気信号を観測し、第２発光デバイスから指標物質に第２波長の光を照射し、受光デバイスで指標物質からの反射光又は透過光を受光して出力される第２電気信号を観測し、第１電気信号と第２電気信号とに基づいて指標物質が第１状態であるか前記第２状態であるかを判別する制御部とを備える。 （もっと読む）