【課題】コストを上げることなく、撮像素子のダイナミックレンジ内で、計測光の偏光計測を行うことができ、偏光計測の精度を高めることができる感度調整方法を実現する。
【解決手段】本発明の感度調整方法は、バイアス光として、無偏光をカメラへ照射するバイアス光照射工程と、計測光を、特定の偏光成分に限定して、撮像素子へ入射させる偏光成分限定工程と、特定の偏光成分の強度の計測値と、撮像素子のダイナミックレンジにおける上限閾値または下限閾値とを比較し、この比較結果に基づいて、計測値がダイナミックレンジ内になるように、既知の偏光または上記バイアス光の光量を調整する光量調整工程（Ｓ００３〜Ｓ００６）とを含むので、撮像素子のダイナミックレンジ内で、計測光の偏光計測を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】測定対象の旋光度を短い測定時間で計測することが可能な計測装置、及び計測装置に用いられる偏光変調器を提供すること。
【解決手段】所定の帯域成分を含む光の所定の偏光成分を透過させる第１の偏光子１８と、第１の偏光子１８を透過した光を任意の偏光に変調する偏光変調器２０と、偏光変調器２０を介して測定対象３０を透過した光の所定の偏光成分を透過させる第２の偏光子３２と、第２の偏光子を透過した光を検出して電気信号に変換する検出部３４とを含み、偏光変調器２０は、主軸方位が互いに異なる第１の液晶素子２２及び第２の液晶素子２４と、第１、第２の液晶素子２２、２４への印加電圧を制御する電圧制御部２３、２５とを含み、第１の液晶素子２２と第２の液晶素子２４は、それぞれ複数の液晶セル２７、２８から構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ウェハ上の回折構造体の格子型パラメータを決める。
【解決手段】半導体ウェハ１２上の回折構造体１２ｃからの回折の前に、必要な場合は、分光反射率計６０または分光エリプソメータを使って構造体の下に位置する膜１２ｂの膜厚と屈折率とをまず測定する。そして、厳密なモデルを使って回折構造体の強度またはエリプソメトリックな署名を計算する。次に、偏光放射線および広帯域放射線を用いた分光散乱計を使って回折構造体を測定して回折構造体の強度またはエリプソメトリックな署名を得る。この署名をデータベース内の署名と適合させて構造体の格子型パラメータを判定する。 （もっと読む）

【課題】検出光の光路上にある透過体の透過率が変化する場合であっても、被検出物の表面状態の検出精度を向上させた検出装置を提供すること
【解決手段】本検出装置は、被検出物に向けて検出光を発光する発光部と、発光部から発光された検出光の光路上に設けられ、該検出光が透過する透過体と、被検出物で反射され、かつ、透過体を透過した検出光のうち、互いに特性の異なる第１検出光及び第２検出光を受光する受光部と、受光部に受光された第１検出光及び第２検出光の受光量の相対値に基づいて、被検出物の表面状態を検出する検出手段と、を備える。本検出装置によれば、当該構成を採用しない場合に比較して、検出光の光路上にある透過体の透過率が変化する場合であっても、被検出物における表面状態の検出精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】毛髪の内部状態を簡便に評価することができ、且つ毛髪処理等による該内部状態の変化を的確に把握することができる毛髪の内部状態評価方法及び内部状態評価装置を提供すること。
【解決手段】本発明の毛髪の内部状態評価方法は、毛髪２０に光を第１の偏光子１１で偏光にして照射し、該毛髪２０を透過した光を光路に配された第２の偏光子１２を透過させ、該第２の偏光子１２を透過した透過光の色相を評価する。第１の偏光子１１と第２の偏光子１２とは直交ニコル関係に配置されている。毛髪２０に張力を加えて伸長させ、伸長した該毛髪２０を透過した前記透過光の色相を評価する。 （もっと読む）

【課題】光を用いて対象物の表面を走査する際に、該対象物の表面の情報を従来に比べて正確に取得可能な観測システムを提供する。
【解決手段】本発明の観測システムは、対象物を照明するための照明光を出射する光源部と、照明光を伝送する照明光伝送部と、照明光伝送部と対象物との間に配置され、照明光伝送部を通過した照明光に含まれる各光線が対象物の表面に到達するタイミングを夫々異ならせるタイミング調整部と、対象物の表面からの反射光が入射される反射光入射部と、反射光入射部に入射された反射光を、時間的に分解した後、電気信号に変換しつつ順次出力する光検出部と、光検出部から順次出力される電気信号を、対象物の表面の光学像に係る画素情報へ変換する信号処理部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】
差動ＳＭＰ法を発展させ、異なる三つの偏光状態における複素振幅反射率比の位相差及び大きさを短時間で測定できるようにする。
【手段】
Ａ〜Ｄ中、三つの偏光状態の合計１２種の光強度に基づき位相差及び大きさを測定する。
（Ａ）Ｐ±α_Ａの偏光について偏光間位相をγ_Ａ１及びγ_Ａ２に調整した合計４種類の偏光を入射させたときの反射光に含まれる合計４種類のＳ偏光；（Ｂ）Ｐ偏光を入射させたときに、反射光のＰ偏光とＳ偏光の偏光間位相差をγ_Ｂ１及びγ_Ｂ２に調整した偏光のうち、Ｓ±α_Ｂに振動する合計４種類の偏光；（Ｃ）Ｓ±α_Ｃの偏光について偏光間位相をγ_Ｃ１及びγ_Ｃ２に調整した合計４種類の偏光を入射させたときの反射光に含まれる合計４種類のＰ偏光；（Ｄ）Ｓ偏光を入射させたときに、反射光のＰ偏光とＳ偏光の偏光間位相差をγ_Ｄ１及びγ_Ｄ２に調整した偏光のうち、Ｐ±α_Ｄに振動する合計４種類の偏光。 （もっと読む）

【課題】少ない情報で波形ライブラリの作成を可能にし、かつ、小さな波形ライブラリで高い計測分解能を達成する。
【解決手段】プロセスパラメータを変化させてパターンの断面形状をシミュレーションにて予測し、予測した断面形状から分光波形をシミュレーションにて算出し、各プロセスパラメータに対応づけることにより波形ライブラリを形成する。該波形ライブラリを参照することにより、所望の形状が得られるように設定されたプロセスパラメータを用いて実際に作成された計測対象としてのパターンから実際に取得した分光波形に対応する最適なプロセスパラメータを算出し、得られた最適なプロセスパラメータに対応する最適なパターン断面形状を生成して計測を行う。 （もっと読む）

【課題】単純な構成で路面の状態を判別することができるとともに装置の小型化を図り、自動車等の車両に容易に装着して走行中においても路面の状態を検出する。
【解決手段】２つのレンズ２１ａ，２１ｂを有するレンズアレイ２と、レンズアレイ２の各レンズ２１ａ，２１ｂを透過した光束に応じて領域分離され、透過軸が直交する少なくとも２つの偏光子領域４１ａ，４１ｂを有する偏光フィルタ４と、偏光フィルタ４の各偏光子領域４１ａ，４１ｂを通過した光を受光して被写体像を撮影する複数の固体撮像素子６２ａ，６２ｂを有する固体撮像ユニット６とを備えた撮像装置１００で垂直偏光画像と水平偏光画像を撮影し、撮影した垂直偏光画像と水平偏光画像の偏光比によって路面状態を判別する。 （もっと読む）

【課題】散乱特性が夫々異なる複数の領域を具備する散乱媒体において、簡易な動作により所望の散乱特性を示す領域を同定することが可能な被検体観測装置等を提供する。
【解決手段】本発明の被検体観測装置は、被検体に対して光を出射する光出射部と、光出射部から出射される光の分光特性を切り替える分光特性切替部と、被検体からの戻り光の散乱角を検出するとともに、分光特性切替部による分光特性の切り替え結果に基づき、散乱角に応じた光学的な変調を戻り光に対して施す光変調部と、光変調部による光学的な変調後の光に基づき、被検体における光散乱の状態を示すための信号を生成して出力する信号出力部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】散乱特性が夫々異なる複数の領域を具備する散乱媒体において、所望の散乱特性を示す領域を同定することが可能な被検体観測装置等を提供する。
【解決手段】本発明の被検体観測装置は、被検体に対して光を出射する光出射部と、被検体からの戻り光の散乱角を検出するとともに、散乱角に応じた光学的な変調を戻り光に対して施す光変調部と、前記光変調部による前記光学的な変調後の光に基づき、前記被検体における光散乱の状態を示すための信号を生成して出力する信号出力部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】物質内部の動態をより詳細に計測することができる顕微分光装置を提供する。
【解決手段】試料Ｓの一部もしくは全部を測定部分として分光測定を行う共焦点顕微分光装置１００であって、光軸に対して対称な偏光分布を有する軸対称偏光レーザ光を生成する分布型液晶旋光子３と、分布型液晶旋光子３により生成された軸対称偏光レーザ光を試料Ｓに集光する対物レンズ８と、を備え、対物レンズ８は、試料Ｓからの反射光及び／又は散乱光を集光するように構成した。 （もっと読む）

【課題】より高いレベルでの有機ＥＬ素子の計測を実行することが可能な有機ＥＬ素子の計測方法を提供する。
【解決手段】発光測定手段は、有機ＥＬ素子を発光させた状態で、透光性基板側から光を照射し、試料で反射した光の偏光状態を測定する。また非発光測定手段は、有機ＥＬ素子を発光させない状態で、透光性基板側から光を照射し、試料で反射した光の偏光状態を測定する。発光算出手段はモデルを用いたフィッティングにより、発光測定手段により測定した光の偏光状態に基づき、膜の光学定数を算出する。同様に、非発光算出手段は、非発光測定手段により測定した光の偏光状態に基づき、膜の光学定数を算出する。最後に出力手段は、発光算出手段及び非発光算出手段により算出した光学定数間の差または変化率を出力する。 （もっと読む）

【課題】透明基板上に作成した薄膜のリタデーションは、波長に対し薄膜内の多重干渉の影響を受けて波打つものとなり、３次元屈折率を波長ごとにもしくは波長依存性を算出するための基礎データとしては不十分であるという問題がある。
【解決手段】透明基板上に形成した薄膜からの反射率ができるだけ少ない透明基板を用い、直線偏光を垂直入射させて前記薄膜の面内の光学軸を求めるステップ、前記光学軸を含みかつ薄膜に垂直な平面内を進む単色偏光光を少なくとも３つ以上の複数の入射角φｉで前記薄膜に入射させてリタデーションＲ（φｉ）を求めるステップ、３次元屈折率の計算式Ｒ（φｉ；ｎ_x，ｎ_y，ｎ_z，β）を決めるステップ、前記リタデーションＲ（φｉ）と計算式Ｒを用いて、（Ｒ（φｉ）−Ｒ（φｉ；ｎ_x，ｎ_y，ｎ_z，β））2ができるだけ小さくなるように、ｎ_x，ｎ_y，ｎ_z，βを求めるステップ、からなる薄膜の３次元屈折率測定方法である。 （もっと読む）

【課題】より高いレベルでの有機ＥＬ素子の計測を実行することが可能な有機ＥＬ素子の計測方法を提供する。
【解決手段】封止部材で覆う前の有機ＥＬ素子を計測する。発光測定手段は、有機ＥＬ素子を発光させた状態で、透光性基板側から光を照射し、有機ＥＬ素子で反射した光の偏光状態を測定する。非発光測定手段は、有機ＥＬ素子を発光させない状態で、透光性基板側から光を照射し、有機ＥＬ素子で反射した光の偏光状態を測定する。発光算出手段は、発光測定手段により測定した光の偏光状態に基づき、膜の光学定数を算出する。非発光算出手段は非発光測定手段により測定した光の偏光状態に基づき、膜の光学定数を算出する。そして出力手段は、発光算出手段及び非発光算出手段により算出した光学定数間の差または比を出力する。 （もっと読む）

複数成分流れにおける粒子監視、特にインライン粒子監視及び対象物の選択操作のためのシステム及び方法が開示される。例示のシステムは、不透明な流体キャリア中の粒子などの成分を監視するための検出システムを含むことができる。例示のシステムは、少なくとも第１の波長範囲の光波に不透明な流動性試料を閉じ込めることと、流動性試料を第１の方向に圧縮し、同時に試料を流動性試料の流れの方向と平行かつ第１の方向に垂直な第２の方向に制限し、同時に試料を第１及び第２の方向に垂直な第３の方向に伸長することを含む。試料が第１の方向に圧縮された時、試料は、第１の波長範囲内の少なくとも１つの波長に透明になり、粒子検出のための光学的手段が使用可能になる。システムはまた、検出成分を流体キャリア中の他の成分から操作するための弁又はアクチュエータなどの装置を含むことができる。制御装置又は他の処理装置が、検出成分のデータを受け取って処理し、関心のある成分を残りの流動性試料と区別することができる。成分が認識されると、制御装置は、流れ操作装置を検出システムと同期させて、流体キャリアから検出成分を操作する。
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【課題】照射された光の電場ベクトルの所定方向の成分を検出する素子によって、光の検出をなるべく可能とする。
【解決手段】光検出装置が、被測定物２に入射光が与えられたことに対する被測定物２からの応答光を受ける受光面を有し、応答光の受光面における電場ベクトルの所定方向の成分を検出する応答光検出部（光伝導スイッチ）２１と、応答光の受光面における電場ベクトルの方向を、時間に応じて変化させる（例えば、円偏光）電場変化部（フォトニック結晶板）４とを備える。電場変化部（フォトニック結晶板）４が、応答光の受光面における電場ベクトルの所定方向の成分が、応答光検出部（光伝導スイッチ）２１により検出できる最小の電場以上となる時点が存在するようにする。 （もっと読む）

【課題】試料の測定精度を向上し得るテラヘルツ分光装置を提案する。
【解決手段】このテラヘルツ分光装置１０におけるテラヘルツ波伝播光学系には、テラヘルツ波発生部１３から放物面鏡２１を経て入射されるテラヘルツ波を透過する偏光子３１と、該偏光子３１から入射される直線偏光のテラヘルツ波に対して９０度の位相差を与えて円偏光に変換するフレネルロムプリズム３２と、該フレネルロムプリズム３２を経て入射される円偏光のテラヘルツ波を照射面に集光する放物面鏡２２とが配置される。 （もっと読む）

【課題】皮膜付き合金化溶融亜鉛めっき鋼板の皮膜付着量を精度良く測定する方法及び装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る皮膜付着量測定装置１００は、ｐ偏光反射強度測定手段１とｓ偏光反射強度測定手段２と信号処理手段３とを備える。各反射強度測定手段は、皮膜の特性吸収が生じる第１波長帯域の赤外光と皮膜の特性吸収が生じない２つ以上の第２波長帯域の赤外光とを皮膜に入射させて、各波長帯域の赤外光のｐ偏光及びｓ偏光の反射強度を測定する。信号処理手段は、各波長帯域のｓ偏光に対するｐ偏光の相対反射強度に基づいて各波長帯域の実測吸光度を算出し、第２波長帯域の実測吸光度に基づいて第１波長帯域のバックグランド吸光度を推定し、第１波長帯域の実測吸光度と第１波長帯域のバックグランド吸光度とに基づいて第１波長帯域の実質吸光度を算出し、算出した実質吸光度に基づいて皮膜の付着量を算出する。 （もっと読む）

異常が疑われる生体組織を検出するための光散乱・吸収技術。異常のある組織、病変部または、そうした病変部や腫瘍に発展する前の組織の位置を特定するため内視鏡または結腸鏡をより良く導くためのデータを有益に提供するために複数の血液量センサおよび／または接触センサ（１２ａ〜１２ｎ）を利用する装置および方法。
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