【課題】金属の塗膜や半導体ウエハのエピ層等の積層膜中の欠陥検査の測定時間を短縮したテラヘルツ波を用いた検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】予め基準サンプルを用いてテラヘルツ波信号の時間波形を求め、時間波形の基準ピーク位置およびその近傍の基準測定位置の強度データを予め求めておくステップと、被測定物の測定点の時間波形について、基準ピーク位置および基準測定位置について、被測定物の強度データを求めるステップと、基準サンプルと被測定物との基準ピーク位置および基準測定位置の強度データを比較して、ピーク位置のずれと強度データの差とが予め設定された値以上の場合に異常と判定するステップと、から成り、時間波形を予め測定された基準位置の強度データのみをサンプリングして、測定時間を短縮するようにしたことを特徴とするテラヘルツ波を用いた検査方法。 （もっと読む）

【課題】光学ヘッドの小型化が可能であり、より自由度の高い測定が可能なテラヘルツ波発生検出装置を提供すること。
【解決手段】テラヘルツ波発生検出装置１００は、装置の制御を行うコントローラＣと、被測定物１１６に接してテラヘルツ波の発生及び検出を行う光学ヘッドＨとを備える。コントローラＣは、装置を制御するコンピュータや電源等含む電気機器１４０と、テラヘルツ波発生の種光パルスとしての光パルスの発生を行うコントローラ側ユニット１５０とを備える。光学ヘッドＨは、種光パルスの増幅及び圧縮を行う光学ヘッド側ユニット１７０を備える。さらにコントローラ側ユニット１５０と光学ヘッド側ユニット１７０との間には、コントローラ側ユニット１５０からの種光パルスを光学ヘッド側ユニット１７０へ伝送するファイバ伝送部１６０が設けられる。 （もっと読む）

【課題】システム全体の遅延を測定し、その値に基づいてＣＰＵへ信号を取り込むことにより正確な分析が可能なレーザガス分析装置を実現する。
【解決手段】レーザガス分析装置において、前記タイミング生成回路から出力されたタイミング信号を入力しカウンタをスタートさせる遅延測定回路と、
前記ディテクタ回路で検出される測定信号のエッジ（測定のスタート点）を検出するエッジ検出回路と、を備え、前記タイミング生成回路は前記エッジ検出回路からのエッジ検出信号を入力し前記カウンタで前記レーザ掃引スタートパルスが送出されてからの時間遅れを検出し、その遅れに基づいて前記ＤＡＱ回路から前記ＣＰＵに取り込むデータ取り込み時間を遅延させるように構成した。 （もっと読む）

【課題】薄膜の物性を非破壊かつ高精度で測定することができる物性測定装置及び物性測定方法を提供する。
【解決手段】薄膜の物性を測定する装置において、レーザ発生源と、薄膜を励起する励起手段と、レーザ発生源が発生するレーザの偏光方向を制御する制御手段と、該制御手段により制御されたレーザを受光することによりｐ偏光およびｓ偏光のテラヘルツ波を発生し、励起手段により励起にされた薄膜にテラヘルツ波を照射する照射手段と、照射手段によりテラヘルツ波が照射された薄膜で反射したｐ偏光及びｓ偏光のテラヘルツ波を検出する検出手段と、検出手段により検出されたｐ偏光及びｓ偏光のテラヘルツ波夫々の振幅及び位相スペクトルを測定する測定手段と、測定手段が測定した振幅及び位相スペクトルに基づいて、検出手段により検出されたｐ偏光及びｓ偏光のテラヘルツ波の振幅比及び位相差を測定する手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板に形成された凹部の深度を、非破壊、非接触で検査できるとともに、高速に検査できるようにする技術を提供する。
【解決手段】基板検査装置１００は、ポンプ光の照射に応じて、基板Ｗに向けてテラヘルツ波を照射する照射部１２と、プローブ光の照射に応じて、基板Ｗを透過したテラヘルツ波の電場強度を検出する検出部１３と、テラヘルツ波が検出部１３に到達する時間と、検出部１３における検出タイミングを遅延させる遅延部１４とを備える。また、基板検査装置１００は、基板Ｗの第１領域を透過した第１テラヘルツ波の時間波形を構築する時間波形構築部２１と、基板Ｗの第２領域を透過した第２テラヘルツ波について、特定の検出タイミングで検出される電場強度と、前記時間波形とを比較することにより、第１テラヘルツ波と第２テラヘルツ波の位相差を取得する位相差取得部２４とを備える。 （もっと読む）

【課題】ガス濃度の高低によらずに濃度を確実に検出し、検出精度を向上させた多成分用レーザ式ガス分析計を提供する。
【解決手段】可視光用処理回路や近赤外光用処理回路は、各ピグテール型発光素子における高周波変調信号の２倍周波数成分を有する参照信号をそれぞれ生成し、可視光用受光素子や近赤外光用受光素子の出力信号から前記２倍周波数成分をそれぞれ検出して同期検波信号を出力し、この同期検波信号およびトリガ信号に基づいて測定対象ガスの濃度を演算するような多成分レーザ式ガス分析計とした。 （もっと読む）

【課題】発生するテラヘルツ波のビーム断面の電界分布の対称性を改善した電気光学結晶を含むテラヘルツ波発生素子を提供する。
【解決手段】テラヘルツ波発生素子は、光１１、１１´を伝搬させる電気光学結晶を含む導波路１３と、導波路を伝搬する光から発生するテラヘルツ波１２を外部に取り出す光結合部材１４とを備える。導波路１３を複数有し、複数の導波路は所定の軸１５に対して略回転対称となるように配置される。更に、光結合部材は、複数の導波路から発生するテラヘルツ波１２の波面が略一致するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】複数の光源を有する生体検査装置において、光源間の発光タイミングのずれを低減し、診断画像中のアーチファクトを低減するための技術を提供する。
【解決手段】生体検査装置は、複数のレーザ光源と、レーザ光源に対して励起の開始を指示する励起開始信号を出力するとともに、励起開始信号から所定の時間の経過後にレーザ光源に対して発振の開始を指示する発振開始信号を出力することで、レーザ光源からパルス光を発生させる制御手段とを備える。複数のレーザ光源は、第１のレーザ光源と、励起の開始からパルス光の発生までにかかる準備時間が前記第１のレーザ光源よりも長い第２のレーザ光源とを含んでいる。制御手段は、第１のレーザ光源と第２のレーザ光源の間の準備時間の差に応じて、第１のレーザ光源に対して励起開始信号を出力するタイミングを第２のレーザ光源に対して励起開始信号を出力するタイミングよりも遅延させる。 （もっと読む）

【課題】励起光の反射抑制と光伝導層の高抵抗化を実現した光伝導素子を提供することである。
【解決手段】光伝導素子１００は、化合物半導体結晶からなる光伝導層１０２と、光伝導層の上に配置された２つ以上の電極１０３を少なくとも備える。光伝導層１０２は、光による光励起キャリアが発生するキャリア発生部１０４と、キャリア発生部１０４の表面に電気的に接続され幅とピッチがλ未満（λ：前記光の波長）の複数の突起構造１０６を含み構成される表面部１０１を有する。 （もっと読む）

【課題】計測信号からガス吸収信号を抽出する新規な方法及びその方法が適用されたガス濃度測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 測定対象とされるガス状物質に固有な吸収波長のレーザ光を、発振波長を変調してガス状物質が存在する測定領域に導き、測定領域を通過したレーザ光を受光して得られる計測信号から、ガス状物質にレーザ光が吸収されたことに基づくガス吸収信号を抽出する方法に関する。本発明は、計測信号からガス吸収信号の周波数成分を除いて基本波信号を得るステップ（ａ）と、計測信号から基本波信号を差し引くことで、ガス吸収信号を抽出するステップ（ｂ）と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検出感度を高くできるバイオセンサーを提供する。
【解決手段】光導波路型バイオセンサー１０は、基板１と、クラッド２と、コア３と、開口部４とを備える。クラッド２は、基板１上に形成される。コア３は、マッハツェンダー型のコアからなり、クラッド２中に形成される。そして、コア３の一部の領域３２１は、抗体を含む。開口部４は、コア３のうち、抗体がドープされた一部の領域３２１に接してクラッド２に設けられる。その結果、一部の領域意３２１は、開口部４を介して外部に露出される。 （もっと読む）

【課題】テラヘルツ光などの光が被測定物を透過したものの測定結果に生ずるジッタを抑制する。
【解決手段】被検出光パルスが、被検出光パルス出力部24から出力されてからトリガ信号出力器23に与えられるまでの時間をＴ１とし、プローブ光パルスが、プローブ光源11から出力されてから測定用信号出力器22に与えられるまでの時間をＴ２とし、被検出光パルスが被検出光パルス出力部24から出力されてから、被測定物2を透過して、測定用光パルスとして測定用信号出力器22に与えられるまでの時間をＴ３とし、プローブ光パルスが、プローブ光源11から出力されてからトリガ信号出力器23に与えられるまでの時間をＴ４としたときに、光測定装置1が、時間Ｔ１と時間Ｔ４との差と、時間Ｔ３と時間Ｔ２との差とが等しくなるように、時間Ｔ２を調整する光遅延部15を備える。 （もっと読む）

【課題】吸収率以外の他のパラメータに基づきＣＴ法を行う。
【解決手段】電磁波測定装置が、被測定物に向けて、０.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、被測定物を透過した電磁波を検出する電磁波検出器と、被測定物を透過する電磁波の光路と被測定物とが交差する交差部分の被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部と、電磁波検出器の検出結果に基づき、被測定物を透過した電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出部１２と、位相導出部１２の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出部１６と、サイノグラムに基づき、交差部分の軌跡を含む被測定物の断面の画像を導出する断層像導出部１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で試料を測定し得るテラヘルツ分光装置を提案する。
【解決手段】超短パルス発振器を構成するゲインファイバから得られる光パルスをディテクタに導く光ファイバに対して負荷を与えて、ディテクタに対するパルス光の到達時間を遅延させる。またこの光ファイバを、時間遅延部から負荷が与えられた状態においてゲインファイバから出力されるパルス光のパルス幅の広がりが相殺されるよう、該パルス光の中心波長を基準とする所定帯域での分散特性が互いに異なる光ファイバを連結して構成する。 （もっと読む）

【課題】 計測感度が良く効果的に分析を行うことのできる試験片、及び該試験片の製造方法、並びに該試験片を用いた測定方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る試験片は、ナノ構造表面を有する試験片を得る第１ステップと、第１ステップにより得られたナノ構造表面を有した試験片の表面に対して特定領域と特定領域を囲む外周領域とに区分けする第２ステップと、第２ステップにより区分けされた特定領域が外周領域に対して接触角が相対的に小さくなるように、特定領域に対して親液化処理，または外周領域に対して疎液化処理を施すこと第３ステップと、から構成することにより、計測感度が良く効果的に分析を行うことのできる試験片を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】非接触で物体の厚さ、物性などの性状の値、或いはそれらの分布を同時に取得できる検査装置、検査方法を提供する。
【解決手段】物体検査装置は、物体２に電磁波を照射する照射手段９と、物体からの電磁波を検出する検出手段１０と、取得手段２６と、記憶手段２１と、演算手段２０を有する。取得手段は、検出手段による電磁波の検出時間に係る電磁波の伝搬時間と検出された電磁波の振幅とを取得する。記憶手段は、伝搬時間及び電磁波振幅と、物体の電磁波に対する性状の典型値との関係データを予め格納する。演算手段は、取得した伝搬時間及び電磁波振幅と格納した関係データとを用いて、物体２の厚さと性状の絶対値を求める。 （もっと読む）

【課題】光音響トモグラフィを利用した測定装置において被検体の吸収特性を高精度に測定することができる測定装置を提供する。
【解決手段】被検体４の吸収特性を光音響トモグラフィを利用して測定する測定装置は、被検体の内部の不均質部５から分離された均質部４ａに由来する信号成分を近似することによって得られる均質部の異物位置における光強度と、μａ＝２Ｐ（ｚ）／（ΓΦ（ｚ））に基づいて異物の吸収特性を求める信号処理部８を有する。ここで、μａは光源１からの距離ｚにおける吸収係数、Ｐ（ｚ）は弾性波の距離ｚにおける圧力、Γはグリュナイゼン係数、Φ（ｚ）は光強度である。 （もっと読む）

【課題】数μｍ以下のオーダーの高い空間分解能で被検体の内部を観測できる超音波顕微鏡を提供すること。
【解決手段】励起用パルス光照射部１０から励起用パルス光Ｂ１が照射されることにより，熱弾性効果によって超音波を発するとともに，被検体１に照射されて反射した反射超音波を受波し，光弾性効果によって光反射率が変化する膜部材３２が音響レンズ３１の表面に形成され，その膜部材３２に測定光Ｂ２を照射し，その測定光の反射光Ｂ２’を光検出器４２で検出する。 （もっと読む）

【課題】参照ミラーを移動させる駆動機構が不要で、構成が極めて簡易でありながら、干渉信号の振幅検出を正確に行なうことのできる断層映像装置を得る。
【解決手段】干渉計装置部は、被検体231と参照ミラー242に対する光照射光学系部と、分波した信号光および参照光の２系統の導光部と、２つのヤング干渉計部と、２つの多画素撮像素子252A,Bと、両多画素撮像素子により得られた光強度分布信号の差分を求める光強度分布差分手段282とからなり、バランス検波の手法を導入し光源の揺らぎも含めたバイアス成分を相殺する。 （もっと読む）