【課題】エッチング時に必要な加速エネルギーを確保することができる、プラズマを分離加速させる中性ビームエッチング装置を提供する。
【解決手段】中性ビームエッチング装置は、一方が第１開口を形成する第１チャンバー１１０と、一方が第２開口を形成し、プラズマ生成領域が形成されるよう第１チャンバー１１０の内部に配置される第２チャンバー１２０と、第１開口およびプラズマ生成領域を連結する第１チャネル１３０と、第２開口およびプラズマ生成領域を連結する第２チャネル１４０と、第１チャンバー１１０の外部表面上に配置し、磁場を形成してプラズマ生成領域でプラズマを生成するコイル１６０と、第１チャネル１３０および第２チャネル１４０に配置し、第１チャネル１３０および第２チャネル１４０を介してプラズマを陽イオンと電子とに分離加速させて放出させる加速部１７０とを含む。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビームの軌道のズレを修正する軌道制御装置及び制御方法を提供すること。
【解決手段】誘導加速セル７を用いたシンクロトロン１において、シンクロトロン１の設計軌道２にある荷電粒子ビームの設計軌道２からのズレを感知する位置モニター１１からの位置シグナル１１ａ及びバンチ３の通過を感知するバンチモニター９からの通過シグナル９ａを受けて、誘導電圧の発生タイミングを制御するデジタル信号処理装置１２と、デジタル信号処理装置１２で生成されたゲート親信号１２ａを基にスイッチング電源５ａのオンおよびオフ制御するゲート信号パターン１３ａを生成するパターン生成器１３からなる荷電粒子ビームの軌道制御装置６。 （もっと読む）

【課題】加速用誘導加速セルによる一定電圧の加速電圧であっても、あらゆる磁場励磁パターンに同期して、任意の荷電粒子を任意のエネルギーレベルに加速することのできる誘導電圧制御装置及びその制御方法を提供すること。
【解決手段】磁場励磁パターンを基に求められる必要な可変遅延時間パターン、及び等価的な加速電圧値パターと、バンチモニター７からのバンチ３の通過シグナル７ａを基に可変遅延時間を制御するデジタル信号処理装置８ｄ、及びスイッチング電源５ｂのゲート信号パターン８ａへと変換するパターン生成器８ｂからなり、制御単位あたりの加速用の誘導電圧のパルス密度を制御する。 （もっと読む）

【課題】誘導加速セルにより、バリアー電圧をバンチの周回に同期して印加するシンクロトロン振動周波数制御装置及びその制御方法を提供すること。
【解決手段】シンクロトロン１は、バンチ３にバリアー電圧９を印加する誘導加速セル６と、誘導加速セル６を駆動するスイッチング電源５ｂ、及びスイッチング電源５ｂのオン及びオフを制御するゲート信号パターン８ａを生成するパターン生成器８ｂ、ゲート信号パターン８ａの基になるゲート親信号８ｃのオン及びオフを制御するデジタル信号処理装置８ｄからなるインテリジェント制御装置８より構成される。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値の高い共振空洞において、高周波が共振するように周波数を調節することを容易かつ高速にし、電気的ノイズに対してロバストな制御を行う高周波周波数同調装置の提供。
【解決手段】共振空洞に対する高周波の進入波と反射波の位相差を検出する。その位相差から、進相・合致・遅相のいずれかを示す３値の位相差信号を生成する。その位相差信号に基づいて、検出した位相差が小さくなる方向に、大きい刻み値で１刻みずつ高周波の周波数を変更する。位相差信号が進相から遅相へ、または遅相から進相へ変化したら、より小さい刻み値を用いて、位相差が小さくなる方向に、１刻みずつ高周波の周波数を変更する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、全種イオンを任意のエネルギーレベルに同一の加速器で加速できる加速器を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は前段加速器により入射されたイオンビーム３に、誘導加速シンクロトロン２に使用される閉込用及び加速用誘導加速セル９、１３によって印加する誘導電圧の発生タイミング及び印加時間２６ａ、２７ａ、２８ａ、２９ａを、イオンビーム３の通過シグナル７ａ、ｂ、位置シグナル８ａ及びイオンビーム３に印加された誘導電圧値を知るための誘導電圧シグナル９ｅ、１２ｅを基に、閉込用及び加速用デジタル信号処理装置１１ｄ、１４ｄ及び閉込用及び加速用パターン生成器１１ｂ、１４ｂで閉込用及び加速用ゲート信号パターン１１ａ、１４ａを生成し、前記閉込用及び加速用誘導加速セル９、１３のオン及びオフを閉込用及び加速用インテリジェント制御装置１１、１４によりフィードバック制御する全種イオン加速器１の構成とした。 （もっと読む）

【課題】 荷電粒子の進行方向に沿って荷電粒子を加速することができる粒子線加速器を提供すること。
【解決手段】 本発明にかかる粒子線加速器は、スパイラル形偏向用電磁石３により軌道が偏向された荷電粒子ビームが加速部５で加速され真空ダクト１の環状真空通路を異なる軌道で複数回周回し荷電粒子ビームが加速される粒子線加速器であって、真空ダクト１の加速部５にはギャップ９が形成され、このギャップ９を構成する真空ダクト１の端面が第１の軌道を周回中の荷電粒子ビームの進行方向と第２の軌道を周回中の荷電粒子ビームの進行方向との各々に垂直に形成されたものである。 （もっと読む）

【課題】 試料の表面に低エネルギーの中性粒子ビームを照射し、試料が電気的に中性を保つように不純物を導入することができるドーピング装置を提供する。
【解決手段】 ドーピング装置１０は、試料１８に中性粒子を照射して不純物をドープする。ドーピング装置１０は、試料１８を保持する保持台４４と、荷電粒子をプラズマとして発生させるプラズマ室１４と、荷電粒子を試料に向けて加速する電極３２と、加速された荷電粒子を中性化して中性粒子を生成する中性室１６とを備えている。また、このドーピング装置１０は、中性化室１６と試料１８との間に設けられ、中性化室１６で中性化されなかった荷電粒子５４を除去する偏向電極６０と、偏向電極６０により除去された荷電粒子５４を計測することにより試料１８へのドープ量を計測する計測手段６４，６６，６８，７０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】摂動装置を通して取り込んだ荷電粒子が安定周回閉軌道から飛び出して実質的な入射効率が低下するのを阻止する。
【解決手段】摂動装置１により安定周回閉軌道５に摂動を発生させて荷電粒子を安定周回軌道５に取り込む。荷電粒子のベータトロン振動が小さくなって荷電粒子が安定周回閉軌道５上を周回するようになった後に、高周波加速空洞３を用いて積極的に荷電粒子を加速する。 （もっと読む）

【課題】
患者の体内の深さ方向におけるビームの照射位置ずれを抑制することにある。
【解決手段】
エネルギー補正装置２７は、ビーム加速終了時の加速高周波信号の周波数Fmesと目標周波数Fdesの差が許容範囲±Ferr内にある場合、周波数Fmesを目標周波数Fdesにするための時間的に滑らかな変化の補正周波数データを逐次算出する。高周波制御装置２４は、これらの補正周波数データを、逐次、高周波発振器１１に設定する。高周波発振器１１は、それらの補正周波数データに基づいて出力した周波数の高周波信号を、逐次、シンクロトロン３に設けた加速空胴１０に印加する。このため、シンクロトロン３内を周回するビームのエネルギーが、加速後の目標エネルギーに一致する。目標エネルギーになったビームが、シンクロトロン３から出射されて照射野形成装置１６から患者に照射される。 （もっと読む）

【課題】
給電ループの両端にそれぞれ接続された高周波増幅装置のうちの一方が故障した場合であっても高周波信号が供給できる。
【解決手段】
外導体５内に挿入された一対の内導体４を取り囲むように、複数の磁性体コア６を配置する。金属板１６を外導体５内面に取り付けてそれらを電気的に接続する。金属板１６の両面にそれぞれ磁性体コア６が設置される。磁性体コア６の孔部を貫通する給電ループ
１１が外導体５内に配置される。給電ループ１１の両端は、それぞれ同軸線１０を介して高周波増幅器１３ａ，１３ｂに接続される。高周波増幅器１３ａから給電ループ１１の一端に供給される高周波信号と、高周波増幅器１３ｂから給電ループ１１の他端に供給される高周波信号とは、位相が１８０度異なっている。 （もっと読む）

この発明は、荷電粒子発生装置と、偏向電磁石と、加速手段と、真空ダクトを備えた荷電粒子加速器であって、第１、第２の加速期間（２２）、（２３）を設け、加速手段による加速電界は、第１の加速期間（２２）の開始時（２５）から第２の加速期間（２３）の終了時刻まで印加し、偏向磁場は第１の加速期間は一定値で、第２の加速期間はその終了時刻まで増加するよう印加する。小型で大出力、大電流加速が可能な荷電粒子加速器を提供する。
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【課題】 セラミック部材に強固にネジ止めしてもセラミック部材を破損させることがなく、セラミック部材にネジにより強固に締結できるセラミック複合体を提供すること。
【解決手段】 本発明のセラミック複合体は、セラミック基体１の表面に凹部４を形成するとともに、凹部４内に、厚み方向に貫通するネジ穴を有した金属製のネジ受け部材３を嵌挿して、ネジ受け部材３と凹部４内面との当接部をロウ付けし、ネジ穴の下端側開口部に切り欠き３ａを設けて成る。 （もっと読む）

【課題】 装置の大型化を回避しながら、高電圧発生部と密閉容器との間の耐電圧の確保を図ることができ、更には、加速部構造の簡素化をも図ることができる高電圧発生回路の絶縁方法及び荷電粒子加速器を提供する。
【解決手段】 高電圧発生部２０，２１と、荷電粒子を加速する加速部１９Ａ，１９Ｂとが、それぞれ密閉容器１８の内部空間に配置されており、加速部１９Ａ，１９Ｂが高電圧発生部２０，２１と密閉容器１８の内壁との間に配置された荷電粒子加速器３０に用いられ、密閉容器１８の内部空間を、荷電粒子が通る加速部１９Ａ，１９Ｂの内部と同一の真空度に維持して、高電圧発生部２０，２１と密閉容器１８との間を電気的に絶縁する。 （もっと読む）

電子ビーム強度が強く小型軽量な固定磁場型強収束を用いた電子加速器（２，４０，６０）で、真空容器（１０）と、真空容器（１０）に配設した電磁石（２０）と、真空容器（１０）へ電子ビームを入射させる電子ビーム入射部（１１）と、電子ビームを加速する加速装置（１３）と、真空容器（１０）から加速された電子ビームを輸送する電子ビーム輸送部（２６）とを備え、電磁石（２０）が、集束電磁石（２１）とその両側に設けた発散電磁石（２２）からなる強収束電磁石、または、集束電磁石（２１）とその両側に設けた発散部からなる強収束電磁石であり、電子ビーム輸送部（２６）の直前の真空容器（１０）内に、Ｘ線を発生させる内部標的（２５）を配設し、加速された電子ビームとＸ線とを選択可能に取り出す。加速電圧１０ＭｅＶで１ｍＡから１０ｍＡという従来の１０倍以上の電子ビームが得られるので、従来の１／１０以下の短時間で癌組織などに電子ビーム照射ができる放射線治療装置（１）を提供できる。
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本発明は、特にサイクロトロンで使用される無線周波空洞を設計するための方法に関し、無線周波空洞２は、少なくとも２つの本質的に誘導性の要素すなわち「ステム」４によって容量性電極２’に接続される、導電性筐体すなわち「ライナ」３を備え、前記方法は、以下に続くステップ、すなわち、Ａ．前記無線周波空洞２の容積を、少なくとも２つのステム４に対応する複数の副空洞１０、２０、３０であって、各副空洞がそれぞれのステム４を備える複数の副空洞に細区分化するステップと、Ｂ．前記少なくとも２つの副空洞１０、２０、３０の間の分割面に、磁気正規直交性の条件を課すステップと、Ｃ．前記少なくとも２つの副空洞１０、２０、３０ごとに独立に、境界における物理的条件に関して、それぞれのステム４のサイズ及び／又は位置を計算するステップと、を含むことで特徴付けられる。本発明はさらに、本発明による方法を使用して実現される無線周波空洞、及びそのような空洞を使用するサイクロトロンにも関する。
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【課題】 円形加速器における空間荷電効果を抑制するために必要な加速電圧波形を安定して発生させることができる高周波加速装置を提供する。
【解決手段】 加速電圧における基本波の周波数の指示値と、加速電圧における高調波の周波数の指示値及び位相の指示値と、各指示値が更新されたことを示すストローブ信号とを出力するディジタル演算器32と、基本波の周波数の指示値に応じた波形データの信号を出力する基本波用ディジタル発振器35ａと、高調波の周波数の指示値及び位相の指示値に応じた波形データの信号を出力する高調波用ディジタル発振器35ａと、各指示値毎のストローブ信号のアンド信号を生成して、各ディジタル発振器35ａ，35ａに対して、アンド信号に基づく共通ストローブ信号を出力する位相同期制御器34と、を備えている。各ディジタル発振器35ａ，35ａは、共通ストローブ信号に基づいて各指示値を更新する。 （もっと読む）

シンクロサイクロトロンが、電極を間に磁界を横切るすき間を持たせつつ備えている共振回路を有している。プログラマブル・デジタル波形生成器によって決定される可変の振幅および周波数を有する振動入力電圧が、前記すき間を横切る振動電界を生成する。このシンクロサイクロトロンは、共振周波数を変化させるため、前記電極を備える回路に可変のキャパシタを備えることができる。さらに、プログラマブル・デジタル波形生成器によって制御される電圧を有する注入電極および抽出電極を備えることができる。さらに、ビーム監視器を備えることができる。このシンクロサイクロトロンは、入力電圧によって駆動される共振回路の電圧および／または電流を測定することによって、共振回路の共振状態を検出することができ、共振状態を維持するために、可変のキャパシタのキャパシタンスまたは入力電圧の周波数を調節することができる。 （もっと読む）

【課題】 加速高周波電圧の周波数を変えるための複雑な構造を廃止し、かつ大きな電力損失を軽減する。
【解決手段】 加速高周波電圧の周波数を固定し、加速高周波周期Ｔ_rfに対する荷電粒子の回転周期Ｔ_Pの比であるハーモニック数Ｎが、荷電粒子が１回転するごとに、整数単位で減少するように加速高周波電圧の振幅を変調する。 （もっと読む）

本発明は、イオンビーム（１５０）による放射線治療のための粒子加速器に関する。この粒子加速器は、６つの直線的なビーム区域（１〜６）および６つの湾曲したビーム区域（７〜１２）を有する、６つの部分を有するシンクロトロン環（１００）を含む。直線的に加速されたイオンビームをシンクロトロン環（１００）中に導入するための注入手段（４３）は、６つの直線的なビーム区域（１〜６）の第１の直線的なビーム区域（１）上に配置されている。イオンビームのための少なくとも１つの加速要素（４４）は、第２の直線的なビーム区域（５）の経路に沿って配置されている。数回の周期の間に迅速に加速された内部ビームを抽出するための抽出手段（４５）は、第３の直線的なビーム区域（４）上に配置されている。各々の湾曲したビーム区域（７〜１２）は、一対の双極子磁石（１３／１４、１５／１６、１７／１８、１９／２０、２１／２２、２３／２４）を含む。水平に焦点をぼかす四重極磁石（３１〜３６）は、双極子磁石の各々の対（１３／１４、１５／１６、１７／１８、１９／２０、２１／２２、２３／２４）の間に配置されており、水平に焦点を合わせる四重極磁石（２５〜３０）は、各々の双極子磁石対（１３／１４、１５／１６、１７／１８、１９／２０、２１／２２、２３／２４）の上流に配置されている。
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