【課題】電子部品と基板との間のはんだ接合が破断しているか否かを、確実に検知することが可能な電子回路基板を提供する。
【解決手段】電子回路基板１は、基板本体１０と電子部品１１を接合するはんだ接合部１２の状態を、はんだ接合部１２に含まれる２点間で監視し、破断を検知する監視手段１３を備える。監視手段１３は、基板本体１０と電子部品１１との間のはんだ接合部のうち、一定以上の熱ストレスによって破断するはんだ接合部１２の状態を監視することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】電源供給が遮断された場合であっても記憶装置に記憶された必要なデータを効果的にバックアップすることができるバックアップ装置等を提供する。
【解決手段】バックアップ装置２０は、メモリ１１やレジスタ１２のバックアップを行う必要がない非バックアップ部Ｐ１１，Ｐ２１に対して補助電源２ｂからの電源を供給する電源線Ｌ１，Ｌ２とは別途に設けられ、バックアップを行う必要があるバックアップ部Ｐ１２，Ｐ２２に対して補助電源２ｂからの電源を供給するバックアップ電源供給線Ｌ１０と、バックアップ部Ｐ１２，Ｐ２２に記憶されたデータをバックアップするための保持用電源２１と、バックアップ電源供給線Ｌ１０を監視し、補助電源２ｂからの電源供給が遮断された場合にバックアップ部Ｐ１２，Ｐ２２に対する電源供給を保持用電源２１からの電源供給に切り替える切替回路２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】ＤＵＴ試験にあたってＤＵＴの端子ごとの入力容量のバラツキに起因するタイミング誤差を補正し、試験におけるＤＵＴの歩留まりを向上させることができる半導体試験装置を実現すること。
【解決手段】 測定対象デバイスのピンに応じて可変遅延回路が複数系統設けられたピンエレクトロニクス部を含む半導体試験装置において、前記可変遅延回路の遅延時間を段階的に変化させて測定対象デバイスに既知のデータの書き込みおよび読み出しを行い、正常に書き込まれているか否かを判定してタイミング誤差を発生しているビットを特定し、特定したビットのＰａｓｓ領域が最大になるようにそのビットに対応した可変遅延回路の遅延時間を調整する手段、を設けたことを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、複数本の探針を用いて検出された吸収電流を使用して、試料温度の変化した場合の吸収電流像を取得し、その画像の差分から不良箇所を同定することにより不良解析の効率を向上させることを目的とする。
【解決手段】
本発明では、複数の探針を試料に接触させ、試料に電子線を照射しつつ、探針に流れる電流を測定し、少なくとも２本の探針からの信号を画像処理装置を通して吸収電流像を作成し、試料の温度変化による、画像の差分を取ることにより、不良箇所の同定をする。本発明により、半導体試料の不良解析の測定効率を向上できる。 （もっと読む）

【課題】シュムーパラメータの作成を少ない操作で容易に行うことを可能とするシュムーパラメータ設定装置およびシュムーパラメータ設定方法を提供する。
【解決手段】アイテム名文字列２４がシュムーパラメータ設定エリア２１にドロップされると、指定受付手段１２は、ドラッグしてきたアイテム名文字列２４に対応するアイテムの指定を受け付け、パラメータ抽出手段１３は、デバッガのドラッグ位置から判別する当該アイテムの補助情報（ピン番号・チャネル番号/タイミングセット番号/エッジ）を、テストプログラムの記述内容に基づいて判別する。設定手段１４は、アイテム名文字列２４に対応するアイテムと、デバッガのドラッグ位置から判別されたアイテムの補助情報とを、シュムーパラメータとしてシュムーパラメータ設定エリア２１に自動設定する。 （もっと読む）

【課題】ライン確定後のラインフェイルカウント数を１回の走査で取得できるようにし、ＤＵＴの検査時間を短縮すること。
【解決手段】フェイルメモリのデータをインタリーブでバッファメモリにコピーするように構成されたフェイルメモリ部を含む半導体メモリ試験装置において、インタリーブすることにより生じる前記バッファメモリの空き領域にも同一データがコピーされ、これらバッファメモリの複数領域にコピーされた同一データが同時にＸ方向およびＹ方向に走査されてライン確定後のラインフェイルカウント数が求められ、Ｘ方向に走査された領域のラインフェイルカウント数とＹ方向に走査された領域のＸラインフェイルカウント数が合わされて一次確定後のラインフェイルカウント数の値とされることを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】半導体試験装置のパフォーマンスボードの省スペース化、低コスト化等を図ることができる電源装置を提供する。
【解決手段】 抵抗器Ｒ１〜Ｒ４は、その抵抗値により定まる電流値または電圧値をそれぞれプログラマブル電源１ａ〜１ｄに与える。この電流値または電圧値は、電源電圧を指示する認識信号として機能する。抵抗器Ｒ１〜Ｒ４を、例えば、基準電圧と対比される電圧を生成する分割抵抗として機能させてもよい。プログラマブル電源１ａ〜１ｄの出力電圧は、順に、３Ｖ、３．３Ｖ、２．３Ｖ、および、−１．３Ｖであり、抵抗器Ｒ１〜Ｒ４には、それぞれの出力電圧に対応する抵抗値が与えられている。 （もっと読む）

【課題】複数検査される検査対象物において状態を未確認として扱うべき部位を特定する技術を提供する。
【解決手段】検査評価装置１は、予め定められた複数のテストＳ３２１、Ｓ３２２、Ｓ３４１〜Ｓ３４３各々について、このテストにより検査対象部位の状態を確認できたか否かを示す検査状態の取り得る値の組み合わせ毎に、この検査対象部位を確認済部位として扱うべきか、それとも未確認部位として扱うべきかを示す総合評価情報が記憶された総合評価決定テーブル記憶部１３３を有する。そして、総合評価情報検索部１２３は、検査対象部位各々について、これらのテストの検査状態が示す値の組み合わせに対応する総合評価情報を総合評価決定テーブル記憶部１３３から検索し、未確認部位情報出力部１２４は、総合評価情報に基づき未確認部位として扱うべきと総合評価された検査対象部位の情報を未確認部位の情報として出力する。 （もっと読む）

【課題】 診断・診断項目毎にどのカードでどの診断項目に関してフェイルが発生したかを１つのファイルを参照するだけで把握できる故障検出装置を提供する。
【解決手段】 構成要素が設けられた複数のカードと、この複数のカードで構成された装置に対し複数の診断プログラムを実行するテスト実行部を備え、前記装置の故障を検出する故障検出装置において、
複数の前記構成要素と複数の前記診断プログラムの対応関係を記憶し、前記テスト実行部で前記診断プログラムが読み出される記憶部と、
前記テスト実行部が実行した診断の結果を、前記診断プログラム毎に記録するプログラム別診断結果データベースと
を備える。 （もっと読む）

【課題】正確なＩＤＤＱ試験を提供する。
【解決手段】ＤＵＴの複数の良品サンプルを選別する（Ｓ１００）。複数の良品サンプルについて、複数のテストベクタを切り換えながら、テストベクタごとの静的電源電流（ＩＤＤＱ）を測定する（Ｓ１０２）。テストベクタごとの統計的なＩＤＤＱを算出し、テストベクタの識別子と統計的なＩＤＤＱを要素とする第１配列データを生成する（Ｓ１０４）。ＩＤＤＱをキーとして第１配列データをソートし、第２配列データを生成する（Ｓ１０６）。第２配列データにおいて隣接するＩＤＤＱの差分電流を算出し、テストベクタの識別子および差分電流を要素とする第３配列データを生成する（Ｓ１１０）。差分電流をキーとして第３配列データをソートし、第４配列データを生成する（Ｓ１１２）。 （もっと読む）

【課題】複数の論理回路に対して共通的な故障を抽出し、結果を表示する。
【解決手段】論理回路のテスト結果から取得されたフェイル情報に基づき論理回路の故障箇所を推定する。入力処理ステップとデータ抽出処理ステップと診断処理ステップと出力処理ステップとを備えた構成であり、入力処理ステップでは、故障診断ツールで得られる論理回路ごとの故障候補データについて、複数個の論理回路の故障候補データが入力され、データ抽出処理ステップでは、各論理回路の故障候補データから、故障候補データ内の項目が抽出され、出力処理ステップでは、診断処理で集計した結果が出力される。 （もっと読む）

【課題】生産効率・テスト効率を低下させることなく使用できるネットワークライセンス方式の半導体試験装置を実現すること。
【解決手段】ネットワークライセンス方式でライセンス管理を行う半導体試験装置において、テストデバッグおよび半導体の連続テスト機能をライセンス管理対象の制限機能の利用として判別する制限機能利用判別手段と、この制限機能利用判別手段で判別されたテスト機能実行中には各テスト単位が終わった時点でライセンスサーバーにライセンス使用状態を問い合わせるライセンス確保状態成立確認手段、が設けられたことを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】高周波成分を強調した信号を精度良く生成する。
【解決手段】外部から受け取った受信信号に応じた送信信号を出力するドライバ回路であって、入力される第１信号に応じた電圧を出力する第１ドライバと、第１ドライバが出力する電圧を電源電圧として受け取り、入力される第２信号および電源電圧に応じた送信信号を出力する第２ドライバと、受信信号の変化に応じて第１信号および第２信号の両方を変化させて、受信信号に応じた送信信号を第２ドライバから出力させる制御部と、を備えるドライバ回路を提供する。 （もっと読む）

【課題】 パフォーマンスが向上した試験装置とその送信方法を提供する。
【解決手段】 フェイル／マスク情報と、そのサマリ情報およびステータス情報からなるサマリ／ステータス情報をフェイル制御カード１３０にシリアル転送する試験装置において、フェイル／マスク情報が格納されるＦＩＦＯメモリ２と、ＦＩＦＯメモリ２に格納されているデータの数に応じて、ＦＩＦＯメモリ２から出力されるデータまたはサマリ／ステータス情報のいずれかを選択するセレクタ８と、このセレクタ８の出力をシリアル転送する第１のシリアルＩ／Ｆ回路３とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】受信デバイスの実動作周波数での試験を可能とするシリアル信号を生成するシリアル信号生成装置、及び当該シリアル信号を用いて受信デバイスの多種多様な試験を効率的に行うことができるデバイス試験装置を提供する。
【解決手段】デバイス試験装置１は、デバイスの試験を行う汎用の試験装置である試験装置本体１０とシリアル信号を生成するシリアル信号生成装置２０とを備えており、受信デバイスであるＤＵＴ４０の試験を行う。シリアル信号生成装置２０は、試験装置本体１０から出力される試験データＤ１を記憶する送信制御部２２と、ジッタ低減部２１から出力されるクロック信号ＣＫ２に同期して送信制御部２２から読み出される試験データＤ１を、クロック信号ＣＫ２の周波数と試験データＤ１のビット数とに応じたデータ転送速度を有するシリアル信号に変換する送信モジュール２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】半導体製造に好適なデータ解析のための方法および装置を提供する。
【解決手段】ウエハ上に製造された複数のコンポーネントに対する試験データのようなデータ内の統計的外れ値（大きなデータ母集団のサブセット内の外れ値を表す混成外れ値を含む）を識別するための方法と装置を、半導体をテストするための自動テスト設備（ＡＴＥ）のようなテスタを有するテストシステムおよびこれと協働し得るコンピュータ支援システムにより、外れ値をデータの分布に従って識別および分類することで実現する。 （もっと読む）

【課題】テストプログラム間の差分を容易に抽出することのできるテスト情報データベース比較装置を提供する。
【解決手段】テスト情報データベース比較装置１は、記述言語あるいは表現形式の違いに関わらず、共通の階層的ディレクトリ構造を持って、テストデータごとに生成された複数のテスト情報データベース１０１、１０２、１０３、・・・に対して、ディレクトリ指定部１１が、比較対照のディレクトリを指定し、正規化部１２が、指定されたディレクトリのデータを予め定められた標準形式のデータに正規化し、比較部１３が、正規化されたデータを比較し、差分抽出部１４が、比較部１３の比較結果からテスト情報データベース１０１、１０２、１０３、・・・間の差分を抽出する。 （もっと読む）

【課題】制御装置が制御対象を制御する負荷を軽減することができる制御システム、及び当該制御システムを備えることで試験時間の短縮を図ることができる半導体試験装置を提供する。
【解決手段】制御システム１は、制御装置としてのＣＰＵ１１と、ＣＰＵ１１によって制御される複数の制御対象２５ａ〜２５ｃと、ＣＰＵ１１が複数の制御対象２５ａ〜２５ｃに対して行うべき制御に関する制御命令を記憶するシーケンスメモリ２２と、シーケンスメモリ２２に記憶された制御命令に従って、複数の制御対象２５ａ〜２５ｃに対する制御をＣＰＵ１１に代わって行うシーケンスコントローラ２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】 電気回路装置の故障を正確に判定可能とする。
【解決手段】 検出電流値Ｉが適正範囲であるか否かを、検出温度Ｔを考慮して判定する。これにより、電子部品は温度の影響を受け易いく、温度によって電流値が大きく変動するものの、検出温度Ｔが考慮されて故障判定がされるので、故障判定時の温度影響を小さくすることができ、正確に電気回路装置の故障を判定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ランダムサンプリングの前提や正規母集団の前提が成り立たなくても、抜取検査を正確に評価する方法及び装置の提供。
【解決手段】検査対象の第１サンプリングプラン及び第１合格判定値の算出条件を決定し、決定された第１サンプリングプランに基づいて、第１測定値を取得し、取得された第１測定値及び決定された第１合格判定値の算出条件に基づいて、第１合格判定値、第１分布関数及び第１合格率を算出し、検査対象の第２サンプリングプラン及び第２合格判定値の算出条件を決定し、決定された第２サンプリングプランに基づいて、第２測定値を取得し、取得された第２測定値及び決定された第２合格判定値の算出条件に基づいて、第２分布関数及び第２合格率を算出し、決定された許容範囲を用いて、第１分布関数及び第１合格率並びに第２分布関数及び第２合格率を比較することによって、第１サンプリングプラン及び第２サンプリングプランを評価する。 （もっと読む）