【課題】固形分含有量をさげることなく、スリットコーティングにおける高速塗布を可能とするフォトレジスト用溶媒と、スリットコーティングにより高速塗布が可能なフォトレジスト組成物の提供。
【解決手段】スリットコーティング法により基板上に塗布されるフォトレジスト組成物に用いられるフォトレジスト用溶媒であって、その溶媒の重量を基準として１０重量％以上が、２０℃における粘度が１．１ｃｐ以下の低粘度溶媒であることを特徴とする、フォトレジスト用溶媒、ならびに前記溶媒とアルカリ可溶性樹脂、および感光性物質を含んでなるフォトレジスト組成物。 （もっと読む）

【課題】微小異物の発生を抑制し、塗布膜としたときの膜厚の膜厚の均一性（面内均一性）が良好な染料含有ネガ型硬化性組成物の製造方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）染料、（Ｂ）光重合開始剤、及び（Ｃ）ラジカル重合性モノマー、を含んでなる混合物を、フィルタを複数回通過させる工程を有する。 （もっと読む）

【課題】レジスト組成物用として利用可能な化合物及びポジ型レジスト組成物の提供。
【解決手段】式（Ａ−１）で表される化合物［Ｒ’は水素原子または酸解離性溶解抑制基であり、Ｒ”はアルキル基であり、Ｒ^１１〜Ｒ^１７はアルキル基または芳香族炭化水素基であり、ｇ、ｊは１以上の整数、ｋ、ｑは０以上の整数、ａは１〜３の整数、ｂは１以上の整数、ｌ、ｍは０以上の整数、ｃは１以上の整数、ｎ、ｏは０以上の整数であり、Ａは式（Ｉａ）、式（Ｉｂ）または脂肪族環式基である。］
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【課題】微小異物の発生を抑制し、塗布膜としたときの膜厚の膜厚の均一性（面内均一性）が良好な染料含有ネガ型硬化性組成物の製造方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）染料、（Ｂ）光重合開始剤、及び（Ｃ）ラジカル重合性モノマーを含んでなる混合物を、孔径が０．０２μｍ以上０．２μｍ未満のフィルタを通過させる工程を有する。 （もっと読む）

【課題】製造レベルに於ける、安全かつ簡便な、分散度の低い重合体の製造方法を提供することである。さらにその重合体を用いることにより、１００ｎｍ以下の微細パターンの形成において、パターン倒れ、ラインエッジラフネスが改良され、かつ現像欠陥の少ないポジ型レジスト組成物、それを用いたパターン形成方法、及びその重合体の製造に使用される化合物を提供することである。
【解決手段】（ａ）モノマー、（ｂ）重合開始剤及び（ｃ）連鎖移動剤を反応系に添加しながらモノマーを重合させる重合体の製造方法であって、連鎖移動剤が、特定の一般式で表される重合体の製造方法、その製造方法によって製造された重合体を含有する、パターン倒れ、ラインエッジラフネス、現像欠陥が改良されたポジ型レジスト組成物及びそのポジ型レジスト組成物を用いたパターン形成方法、及びその重合体の製造に使用される化合物。 （もっと読む）

【課題】目的とする用途において設計通りの性能を発揮できる重合体、その製造方法、およびレジスト膜に設計通りの性能を発揮させ、かつレジストパターンにおけるディフェクトの発生を抑えることができるレジスト組成物を提供する。
【解決手段】溶液重合法によって単量体成分を重合し、重合体溶液を得る工程と、該重合体溶液を冷却手段（ジャケット２６）を用いて４０℃以下に冷却する工程とを有する製造方法によって重合体を製造する。 （もっと読む）

【課題】溶媒への溶解性のよい重合体粉末、溶媒への溶解性のよい重合体湿粉およびその製造方法、並びにレジストパターンにおけるディフェクトの発生を抑えることができるレジスト組成物を提供する。
【解決手段】重合体が分散媒に分散した分散液をろ過して、重合体湿粉を製造する工程と、製造された重合体湿粉を保管する工程とを有する重合体湿粉の製造方法であって、気温が常に３５℃以下となるように管理された環境下で重合体湿粉を保管する、重合体湿粉の製造方法；該製造方法によって得られた重合体湿粉；該製造方法によって得られた重合体湿粉を乾燥して得られた重合体粉末；および、該重合体湿粉から得られるレジスト組成物。 （もっと読む）

【課題】少なくともＰＢ１５：６ならびにＰＶ２３を含む青色画素形成用の着色剤組成物においても分散安定化させ、コントラストを向上し、表示性能が良好な液晶表示装置、それを実現するために好適なカラーフィルターおよび着色剤組成物を提供することにある。
【解決手段】有機溶媒中に少なくとも第１の顔料と硫酸バリウムとが分散された第１の顔料分散液と、有機溶媒中に少なくとも第２の顔料が分散された第２の顔料分散液とを混合し、次いで有機溶媒中に樹脂が溶解された樹脂溶液を添加してなるカラーフィルター用着色剤組成物の製造方法。 （もっと読む）

【課題】水酸基のα位にパーフルオロアルキル基を有する（メタ）アクリレートおよびその誘導体を含む少なくとも１種以上のモノマーを用いて、リビングアニオン重合法により（メタ）アクリル酸系（共）重合体を製造する。
【解決手段】アルキルビニルエーテル等を用いて、α位にパーフルオロアルキル基を有する水酸基を酸解離性保護基で保護した状態で、アルキルリチウム及び鉱酸塩の存在下でリビングアニオン重合を行った後、該保護基を脱離させることにより、水酸基のα位にパーフルオロアルキル基を有する（メタ）アクリル酸系（共）重合体を製造する。 （もっと読む）

【課題】高分子量成分が除去された感光性組成物用樹脂を簡便な方法により製造する方法、この方法によって製造されたレジスト用樹脂、この方法によって製造されたレジスト用樹脂を用いることにより現像欠陥、パターン倒れが改良されたレジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供する
【解決手段】樹脂が溶剤に溶解している樹脂溶液に対し、該樹脂を溶解する能力の低い溶剤を接触させることにより、該樹脂の高分子量成分を析出させ、この高分子量成分を除去して、高分子量成分の除かれた樹脂溶液を得る工程を含む感光性組成物用樹脂の製造方法、この方法によって製造されたレジスト用樹脂、この方法によって製造されたレジスト用樹脂を用いることにより現像欠陥、パターン倒れが改良されたレジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】目的とする用途において設計通りの性能を発揮できる重合体、その製造方法、およびレジスト膜に設計通りの性能を発揮させ、かつレジストパターンにおけるディフェクトの発生を抑えることができるレジスト組成物を提供する。
【解決手段】重合体の製造に用いる各容器（調合槽１０、重合槽２０、または精製槽３０）として、容器充填後の水の電気伝導度（Ｘ）と容器充填前の水の電気伝導度（Ｙ）との差（Ｘ−Ｙ）が、１．８μＳ／ｃｍ以下であるものを用いる。ただし、容器充填前の水としては、電気伝導度が０．５μＳ／ｃｍ以下である純水を用い、容器充填後の水の電気伝導度（Ｘ）は、所定量の純水を容器に充填し、充填完了後１時間撹拌してから測定した容器内の水の電気伝導度とする。 （もっと読む）

【課題】目的とする用途において設計通りの性能を発揮できる重合体、その製造方法、およびレジスト膜に設計通りの性能を発揮させ、かつレジストパターンにおけるディフェクトの発生を抑えることができるレジスト組成物を提供する。
【解決手段】重合体の製造に用いる各容器（重合槽２０、精製槽３０、溶解槽５０または、濃縮槽７０）として、前製造ロットの重合体の貧溶媒を容器の内面に接触させた際に前製造ロットの重合体が析出しないものを用いる。 （もっと読む）

【課題】光硬化性、硬化物の透明性、耐熱性及び耐熱変色性に優れる感光性樹脂、及びそれを含む感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】ヒドロキシフェニル（メタ）アクリレートを含む重合体にグリシジル（メタ）クリレート、アクリル酸等を付加反応して不飽和二重結合を導入した感光性樹脂。
上記の感光性樹脂、光ラジカル開始剤、ラジカル重合性モノマー及び／又は有機溶剤を含有する感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】高感度、高解像度であり、かつパターン形状、圧縮強度、ラビング耐性、耐熱性などの諸性能に優れたパターン状薄膜を容易に形成することができ、焼成時の昇華物の発生が抑制され、ＬＣＤ表示における焼付きが抑制され、配向膜剥離液などの薬液に対する十分な耐性を備えた、スペーサーの形成に好適な感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】エポキシ基含有エチレン性不飽和化合物例えばアクリル酸グリシジルと、（メタ）アクリロイルアルキルオキセタンとのそれぞれに由来する重合単位を有するブロックセグメントを少なくとも１つ有する、２以上のブロックセグメントからなるブロック共重合体、重合性不飽和化合物および感放射線性重合開始剤を含有する感放射線性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】レジスト性能を悪化させることなく、レジスト用樹脂を効率よく製造する方法及びその製造方法により製造されたレジスト用樹脂を提供し、更には、解像度、露光ラチチュードが改良されたレジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】樹脂溶液に対し、該樹脂を溶解する能力の低い溶剤を添加することにより、粉体樹脂を析出させ、該粉体樹脂を回収する工程を含むレジスト用樹脂の製造方法、この製造方法により得られたレジスト用樹脂、該レジスト用樹脂を含有するレジスト組成物及び該レジストを用いたパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】塗布膜面内均一性が良好で、高感度な微細パターン形成が可能な染料含有ネガ型硬化性組成物並びにこれを用いたカラーフィルタおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）染料と、（Ｂ）光重合開始剤と、（Ｃ）ラジカル重合性モノマーと、（Ｄ）有機溶剤と、（Ｅ）フッ素系および／またはシリコン系界面活性剤とを含み、前記（Ａ）染料の含有量が、全固形分に対して３０〜８０質量％であることを特徴とする染料含有ネガ型硬化性組成物並びにこれを用いたカラーフィルタおよびその製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】感光性が非常に良好である、露光・現像によるパターン形成の際にアンダーカットを起こさない樹脂組成物を提供する。
【解決手段】構造中に、少なくとも１個以上のラジカル重合性不飽和基を有し、かつ少なくとも１個以上のフェノール性水酸基およびまたはカルボキシル基を有する光硬化性樹脂、下記一般式（１）で示される化合物、光重合開始剤、希釈剤、および、エポキシ樹脂硬化剤を含んでなる感光性熱硬化性樹脂組成物。一般式（１）


（式中、ｍは、０〜１０の整数を表す。） （もっと読む）

【課題】本発明は、分散機を用いて、顔料の分散を効率的に行ない、顔料の再凝集が発生せず、透過率、コントラスト、表面平滑性の高いカラーフィルタを製造できるカラーフィルタ用着色樹脂組成物用分散液、カラーフィルタ用着色樹脂組成物および上記分散液の製造方法を提供することを主目的とするものである。
【解決手段】上記目的を達成するために、本発明は、溶媒と、前記溶媒に分散した顔料と、前記顔料を溶媒に分散させる顔料分散剤とを有するカラーフィルタ用着色樹脂組成物用分散液であって、前記カラーフィルタ用着色樹脂組成物用分散液のゼータ電位の絶対値が１０〜２００ｍＶであり、かつ、水分量が２％以下であることを特徴とするカラーフィルタ用着色樹脂組成物用分散液を提供する。 （もっと読む）

【課題】固体表面に超微細のグラフトポリマーパターンを容易に形成しうるパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】ラジカル重合を開始しうる光重合開始部位と基材結合部位とを有する化合物を基材に結合させる工程と、パターン露光を行い、露光領域の該光重合開始部位を失活させる工程と、前記基材上にラジカル重合可能な不飽和化合物を接触させた後、該ラジカル重合可能な不飽和化合物が光吸収しない波長の光のみで全面露光を行い、前記パターン露光時における非露光領域に残存した該光重合開始部位からラジカル重合を開始させることでグラフトポリマーを生成させる工程と、をこの順に行うことを特徴とするパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、フォトレジスト樹脂組成物の樹脂成分として、良好なレジスト性能を達成するために、しかも工業的な生産において効果的な樹脂の精製方法を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、酸の作用によりアルカリ可溶になるフォトレジスト用樹脂を溶解している１０リットル以上の重合溶液を貧溶媒に添加して沈殿させる沈殿工程において、重合溶液を攪拌されている貧溶媒に添加するための沈殿槽に取り付けられているノズルの内径が６ｍｍφ以下であり、しかも２つ以上のノズルが設置され、それぞれのノズルの方向が異方向である事を特徴としたノズルから重合液を貧溶媒中へ添加し樹脂を沈殿させるフォトレジスト樹脂の沈殿方法を提供する。 （もっと読む）