【課題】 ブリッジ系ディフェクトおよび再析出系ディフェクトの両方が低減されたレジストパターンが形成できるポジ型レジスト組成物の製造方法、ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 酸の作用によりアルカリ可溶性が増大する樹脂成分（Ａ）および露光により酸を発生する酸発生剤成分（Ｂ）を有機溶剤（Ｓ）に溶解してなるポジ型レジスト組成物を、ナイロン製の膜を備えたフィルタ（ｆ１）を通過させる工程（Ｉ）を有し、前記樹脂成分（Ａ）が、少なくとも１種の単量体を重合させて製造する際に酸を存在させることにより得られる少なくとも２種の構成単位を有する共重合体であることを特徴とするポジ型レジスト組成物の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 ディフェクトの発生が抑制されたレジスト組成物が得られるレジスト組成物の製造方法、該製造方法に好適に使用できるろ過装置、該ろ過装置を搭載したレジスト組成物の塗布装置、およびディフェクトの発生が抑制されたレジスト組成物の提供。
【解決手段】 酸の作用によりアルカリ可溶性が変化する樹脂成分（Ａ）と、露光により酸を発生する酸発生剤成分（Ｂ）を有機溶剤（Ｓ）に溶解してなるレジスト組成物を、ポリエチレン製の中空糸膜を備えたフィルタ（ｆ１）を通過させる。 （もっと読む）

【課題】ポンプ循環を用いてアゾ化合物の金属化合物を調製する方法を提供する。
【解決手段】式（Ｉ）


に互変異性構造体の形態で一致するアゾ化合物の金属化合物を調製する方法であって、ポンプ循環を用いてバッチ法で調製が行われることを特徴とする方法。 （もっと読む）

【課題】 ノボラック樹脂の廃棄物量を低減させることができるノボラック樹脂の製造方法を提供する。
【解決手段】ノボラック樹脂（Ａ）に分別処理を施して高分子量のノボラック樹脂（Ｂ）と低分子量のノボラック樹脂（Ｃ）を得る分別工程と、前記分別工程で得られた低子量のノボラック樹脂（Ｃ）と、フェノール類および／またはノボラックオリゴマーとを、酸触媒の存在下、アルデヒド類あるいはケトン類を用いて縮重合させて、再生ノボラック樹脂（Ａ’）を合成する再生工程を有することを特徴とするノボラック樹脂の製造方法。 （もっと読む）

【課題】低タック性、光硬化性及び現像性に優れ、且つ解像性に優れるプリント配線板製造用アルカリ現像型感光性レジストインキ組成物、並びにこのプリント配線板製造用アルカリ現像型感光性レジストインキ組成物を提供する。
【解決手段】下記（Ａ）成分乃至（Ｃ）成分を含有することを特徴とする。
（Ａ）リビングラジカル重合法により得られる分散度が１．８以下のアルカリ可溶性重合体
（Ｂ）光重合性単量体
（Ｃ）光重合開始剤
（Ａ）成分がリビングラジカル重合法により生成され分子量分布が狭いことから、高分子量の成分が混入することによる乾燥塗膜の未露光部への現像液の浸透性が低下による現像性の悪化や、低分子量の成分が混入することによる乾燥塗膜の指触タックの悪化を防止することができ、且つ、乾燥塗膜の未露光部分におけるアルカリ可溶性の分布にむらが生じにくくなって、均一なアルカリ可溶性を有する乾燥塗膜を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】高いコントラストと耐候性を有するカラーフィルター、感光性樹脂転写材料などに用いられる、分散性、流動性に優れた顔料分散組成物の提供。
【解決手段】酸性基を有するアルカリ可溶性バインダー（Ａ）の存在下において、良溶媒に溶解した有機材料例えば有機顔料の溶液と、該溶媒と相溶する貧溶媒とを混合し、該有機顔料を粒径１μｍ以下の粒子として形成した有機顔料ナノ粒子を濃縮し、さらに酸性基を有するアルカリ可溶性バインダー（Ｂ）を含む有機溶媒中に再分散化した顔料ナノ粒子分散組成物。 （もっと読む）

【課題】 アルカリ可溶性に優れ、現像時に未硬化（未露光）残渣が生じず、高い解像度で像を形成でき、強度、耐熱性、耐薬品性、耐水性等に優れる硬化膜を形成でき、柱状スペーサー、カラーフィルター保護膜、カラーフィルター用着色層の形成等のパターン形成用組成物として好適な活性エネルギー線硬化型組成物の提供。
【解決手段】 水酸基及び２個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物と酸無水物との反応生成物を含有する活性エネルギー線硬化型組成物であって、前記反応生成物が、酸性基と２個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物を、逆相シリカカラムを用い且つ水／メタノール系の溶離液を用いた高速液体クロマトグラフ分析にて６０面積％以上の割合で含有する反応生成物である、活性エネルギー線硬化型組成物。 （もっと読む）

【課題】 金属不純物の含有量が低いビニルフェノールを、効率よく製造する方法、及びそれを付加重合して得られる重合体。
【解決手段】 酵素触媒の存在下、芳香族ビニル化合物を酸化させ、濾過膜により酵素触媒を除去するビニルフェノールの製造方法。酵素触媒除去後に、ビニルフェノールをアルカリ抽出により未反応芳香族ビニル化合物から抽出し、さらにビニルフェノールを酸中和により単離する方法が好ましい。また、酵素触媒としては好熱菌由来の酵素が好ましい。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ＡｒＦエキシマ・レーザーに関与したフォトレジストに用いられるアクリル系高分子化合物の適正な製造方法を提供することにある。
【解決手段】本発明は、酸により脱離してアルカリ可溶となる基を有するモノマーＡと、極性基含有脂環式骨格を有するモノマーＢとを少なくとも含むモノマーおよび重合開始剤を溶媒に溶解して、重合温度に昇温された溶媒中に滴下しながら重合させ、重合溶液を貧溶媒（沈殿溶媒）に添加して、ポリマーを沈殿させ、沈殿を遠心分離機により遠心分離で、溶媒を除去後、湿結晶を溶媒に溶解し、減圧蒸留にて濃縮してフォトレジスト高分子化合物の溶液を製造する方法において、重合に使用される全モノマーに対して、メタクリル酸エステルのモル比が６０モル％以上であることを特徴としたフォトレジスト用高分子化合物の製造方法を提供することにある。 （もっと読む）

【課題】
基板との密着性に優れ、現像後に開口部に残渣を発生させず、メッキ後のクラック発生を抑制することができるとともに、露光感度を大幅に向上させることができるポジ型感放射線性樹脂組成物、該組成物を用いた転写フィルム、および、バンプや配線などの厚膜のメッキ造形物を精度よく形成することができる製造方法を提供すること。
【解決手段】
本発明に係るポジ型感放射線性樹脂組成物は、（Ａ）酸により解離して酸性官能基を生じる酸解離性官能基を有する重合体、（Ｂ）放射線の照射により酸を発生する成分、および（Ｃ）有機溶媒を含有し、該重合体（Ａ）が、ラジカル重合開始剤として非シアノ系・非アミン系アゾ化合物を用いて合成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗布膜中に短時間で高効率に酸素を導入することができる。
【解決手段】塗布膜中の酸素量を調整する方法において、オゾン発生器４２から水タンク４０の水にオゾンを供給することにより、酸素ガスを飽和状態に溶解した酸素溶解水をミスト発生装置３２からミストを塗布膜１４ａに向けて噴霧して付与することにより、水をキャリアとして塗布膜１４ａ中に酸素を導入する。 （もっと読む）

【課題】 重ね塗りした際の染料の溶出を抑制する。
【解決手段】 全固形分の５０質量％以上の有機溶剤可溶性染料の少なくとも１種がアゾ系有機溶剤可溶性染料の２価以上の金属の塩である。 （もっと読む）

【課題】
２００ｎｍで以上の遠紫外線領域でも吸収が高く、かつフェノール性水酸基を有することによりアルカリ可溶な新規シリコーン共重合体を提供する。
【解決手段】
フェノール単位を有するシルセスキオキサンと縮合多環式炭化水素基を有するシルセスキオキサンを含むシリコーン共重合体を提供する。 （もっと読む）

【課題】画素のエッジ形状が良好な感光性組成物を提供する。
【解決手段】エポキシ樹脂（ａ）と不飽和基含有カルボン酸（ｂ）の反応物をさらに多塩基性カルボン酸またはその無水物（ｃ）と反応させて得られるバインダー樹脂（Ａ）と、光重合開始剤（Ｂ）を含有する感光性組成物において、エポキシ樹脂（ａ）が、１分子あたり２個以上の不飽和基を有する環状炭化水素化合物とフェノール類との重付加反応物と、エピハロヒドリンとの反応生成物であることを特徴とする感光性組成物。 （もっと読む）

【課題】回復率、弾性復元率等の機械的特性に優れると共に、パターン精度、基板密着性、硬化性にも優れ、かつ保存安定性の良好なエチレン性不飽和基及びカルボキシル基含有化合物と、このエチレン性不飽和基及びカルボキシル基含有化合物を用いた硬化性組成物を提供する。
【解決手段】エポキシ基含有化合物より得られるエチレン性不飽和基含有カルボニルオキシ基を有する化合物に、４価以上の多価カルボン酸及び／又はその無水物を含まない多価カルボン酸及び／又は無水物を反応して得られるエチレン性不飽和基及びカルボキシル基含有化合物、及びその硬化性組成物。 （もっと読む）

【課題】π電子軌道を含む不飽和結合と単結合が交互に連続する部分を有するにもかかわらず、電磁波に対して、より短波長領域まで高い透過率を示す高分子化合物前駆体を提供する。
【解決手段】π電子軌道を含む不飽和結合と単結合が交互に連続する部分を有する、高分子化合物前駆体であって、分子内反応により最終生成物の高分子骨格を構成する繰り返し単位を形成する第１の官能基と第２の官能基を有し、分子内のπ電子軌道により形成される共役状態の少なくとも一部が、分子の立体構造により切断され、又は希薄となり、少なくとも４３６ｎｍ、４０５ｎｍ、３６５ｎｍ、２４８ｎｍ及び１９３ｎｍの波長のうち１つの波長の電磁波に対する透過率を向上させた高分子化合物前駆体を提供する。 （もっと読む）

【解決手段】一般式(1)


(Yは官能基を有してもよい脂肪族有機基、又は官能基を有してもよい芳香族構造を含む有機基、X¹，X²，X³はH、ハロゲン原子、アルコキシ基、又はアリーロキシ基を示す。)
で示される側鎖に嵩高い置換基を有する3官能性シランを含むシラン原料を酸又は塩基を触媒とする第1段の加水分解後、第2段として上記シラン原料に強塩基触媒の存在下、縮合による生成する水を反応系外に除去する操作を伴う脱水縮合反応を行う側鎖に嵩高い置換基を有する縮合度100％であるシルセスキオキサン型化合物高含量のシルセスキオキサン系化合物混合物の製造方法。
【効果】本発明によれば、嵩高い置換基を有する縮合度が実質的に100％であるシルセスキオキサン型化合物の存在比の高いシルセスキオキサン系化合物混合物を容易かつ確実に得ることができ、この混合物は、ポジ型レジスト組成物に好適な材料である。 （もっと読む）

【課題】 脂環式オレフィンのメタセシス開環重合体を含有してなる感放射線性樹脂組成物を安全に且つ簡便に短時間で製造する方法、この方法によって得られる感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】 溶媒中で開環メタセシス重合触媒と連鎖移動剤との存在下に脂環式オレフィンを重合して得た脂環式オレフィン開環メタセシス重合体含有重合反応溶液に、感放射線化合物を配合することを特徴とする感放射線性樹脂組成物の調製方法。上記脂環式オレフィン開環メタセシス重合体含有重合反応溶液を水素添加反応に供して該重合反応溶液に含まれる重合体を水素添加して得た脂環式オレフィン開環メタセシス重合体水素添加重合体含有反応溶液に感放射線化合物を配合する感放射線性樹脂組成物の調製方法。この感放射線性樹脂組成物の調製方法により得られた感放射線性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】 ＫｒＦエキシマレーザー等の遠紫外線に感応する化学増幅型レジストとして、感度等の基本物性が優れると共に、ＬＥＲ特性及び焦点深度余裕に優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】 本感放射線性樹脂組成物は、下記一般式（３）で表される単量体及び酸解離性基を有する単量体を含む単量体混合物を、下記一般式（４）で表されるラジカル発生剤を用いて共重合させた後、一般式（３）で表される上記単量体由来の繰り返し単位を、塩基触媒を用いてフェノール性水酸基を有する繰り返し単位に変換した共重合体と、感放射線性酸発生剤と、を含有する。
【化３】


（式中、Ｒ"は水素原子又はメチル基を示し、Ｒ^４は炭素数１〜４の飽和炭化水素基を示す。）
【化４】


（式中、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７、Ｒ^８、Ｒ^９及びＲ^１０は相互に独立に炭素数１〜４の飽和炭化水素基を示す。） （もっと読む）

【課題】 感光性組成物塗布液を支持体上に塗布した際に、面状の安定した感光層が形成される感光性フィルムの製造方法を得ることができ、プリント配線板、高密度多層板及び半導体パッケージ等の製造に好適に用いられる感光性フィルムを提供すること。本発明はまた、この感光性組成物からなる感光層を支持体に積層し、優れた耐熱性、耐湿熱性、密着性、機械特性、電気絶縁性を有する硬化膜が得られる感光性フィルムの提供。更に、青紫色レーザーダイレクト露光方式に最適な永久パターンを提供すること。
【解決手段】 バインダー、重合性化合物及び光重合開始剤を含む塗布液（Ａ）を調製し、熱架橋剤を含む塗布液（Ｂ）を調製し、前記塗布液（Ａ）及び前記塗布液（Ｂ）を混合し、該混合から４時間以内に、支持体上に塗布して感光層を形成することを特徴とする感光性フィルムの製造方法。 （もっと読む）