【課題】加工精度に大きく影響し、集積度やさらには歩留まりを左右する大きなファクターである、半導体リソグラフィー工程におけるレジストパターン形状を改善するために低分子領域における水酸基含有繰り返し単位の組成を制御した半導体リソグラフィー用共重合体の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明によれば、水酸基を有する単量体と水酸基を有さない単量体とを共重合して得る半導体リソグラフィー用共重合体において、水酸基を有する繰り返し単位の組成を制御した共重合体を用いることにより、上記の目的を達成することができる。 （もっと読む）

【課題】非画像部の汚れ防止性、及び、画像部と支持体との密着性に起因する耐刷性のいずれにも優れた平版印刷版原版の提供。
【解決手段】支持体上に、下記一般式（１）で表される構造単位と、カルボン酸塩含有構造単位と、それ以外の構造単位と、を含む共重合体を含有する中間層と、画像形成層と、をこの順で有する平版印刷版原版。
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【課題】高強度の皮膜を形成しうるとともに未硬化領域のアルカリ現像性に優れ、且つ現像後の現像液中で現像カスを発生しないポリウレタン樹脂含有重合性組成物、これを用いた平版印刷版原版、該ポリウレタン樹脂の原料として有用なジオール化合物の製造方法。
【解決手段】下記一般式(1)で表される化合物を使用して合成されたポリウレタン樹脂、該ポリウレタン樹脂を含む重合性組成物、これを用いた平版印刷版原版、ジオール化合物の製造方法。
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【課題】高濃度の微細顔料を含んでいても低粘度で、液晶表示装置の画素欠陥の要因となる顔料凝集物がなく、分散安定性に優れるカラーフィルタ用着色組成物の製造方法、および液晶表示装置の画素欠陥を引き起こさず、色特性が良好なカラーフィルタの提供。
【解決手段】顔料、樹脂、溶剤、および必要に応じてモノマーおよび／または光重合開始剤を含む着色組成物を、好ましくは固定刃であるステータと回転刃であるロータとからなるジェネレータを具備し、ステータ（１）とロータ（２）のクリアランスが５０μｍ〜１０ｍｍである高速剪断機により、剪断速度５,０００〜９００，０００[1/sec.]で処理するカラーフィルタ用着色組成物の製造方法、および該方法で製造された着色組成物を用いて形成されたフィルタセグメントを基板上に備えるカラーフィルタ。 （もっと読む）

【課題】高感度で保存安定性に優れるポジ型感光性樹脂組成物の製造方法の提供。
【解決手段】（Ａ）ノボラック樹脂、（Ｂ）ヒドロキシル基を含有して良いポリイミド前駆体および（Ｃ）キノンジアジド化合物を含有するポジ型感光性樹脂組成物の製造方法であって、（Ｉ）（ａ）前記ノボラック樹脂を有機溶剤に溶解してなる溶液、および（ｂ）前記ポリイミド前駆体を有機溶剤に溶解してなる溶液を用意する工程、（II）前記（ａ）溶液と（ｂ）溶液を混合する工程、を有するポジ型感光性樹脂組成物の製造方法。 （もっと読む）

【課題】光触媒を利用し、親水・撥水パターンを有するパターン形成体であって、親水性部分と撥水性部分とが、十分なコントラストをもって形成されたパターン形成体を提供すること。
【解決手段】本発明は、基材上に、光触媒含有層と、前記光触媒含有層の上層においてパターン化された、金属酸化物被膜を有していてもよい金属層と、前記金属層の上層に形成された撥水性薄膜層と、を有するパターン形成体を提供する。本発明によれば、撥水性部分と親水性部分とが、十分なコントラストをもって形成されたパターン形成体を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】“焼きつき”を生じないカラーフィルタを高い製品歩留まりで形成することができ、また乾燥後でも洗浄溶剤に対する溶解性の高い着色層形成用感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）着色剤、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｃ）多官能性単量体並びに（Ｄ）感放射線性ラジカル発生剤を含有し、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂が、（ｂ１）重合性不飽和カルボン酸および／または重合性不飽和カルボン酸無水物と（ｂ２）他の重合性不飽和化合物との混合物を、下記式（１）で表される化合物の存在下で重合する工程を経て製造された共重合体、を含有することを特徴とする着色層形成用感放射線性樹脂組成物。
【化１】


〔式（１）において、Ｚ¹ およびＺ² は炭素数４〜１８のアルキル基または置換されていてもよいベンジル基を示す。〕 （もっと読む）

【課題】カルボキシル基とエポキシ基との付加反応を利用して好適に側鎖含有重合体を製造することできる側鎖含有重合体の製造方法を提供する。
【解決手段】エポキシ基とカルボキシル基とを触媒を用いて付加反応することによって重合体に側鎖を導入して側鎖含有重合体を製造する方法であって、該側鎖含有重合体の製造方法は、アミド化合物を触媒として用いる側鎖含有重合体の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】レジスト微粒子を小さくして膜厚を均一にした電着レジスト膜を高精度に形成でき、量産性に優れたスプレーレジスト法によるレジスト膜の塗布装置を提供する。
【解決手段】レジスト塗布装置（１００）は、レジスト剤とキャリアガスと混合して霧状にレジスト剤を噴霧する二流体ノズル（８２）と、レジスト容器（８０）と、レジスト粒子のうちの重量の小さいレジスト粒子をキャリアガスとともに排出する排出口（８１）と、排出口からキャリアガスにより送り込まれる重量の小さいレジスト粒子を吐出する吐出ノズル（７１）と、吐出ノズルに取り付けられ重量の小さいレジスト粒子を帯電させる電極針（７２）と、帯電したレジスト粒子を使って複数のウエハ（１０）にレジスト膜を形成するため、それぞれのウエハに対して接地領域を有するウエハ保持部（７６）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、均一なパターン形成を可能とするろ過性の良好なフォトレジスト組成物を提供することを目的とし、長期的に安定なフォトレジスト用樹脂溶液、つまり長期間保管してもろ過性能が低下しないフォトレジスト用樹脂溶液を提供する事にある。
【解決手段】
本発明は、酸によりアルカリ可溶となるフォトレジスト用樹脂を含む溶液を３０〜９０℃において、３０分以上加熱熟成後、細孔径１μｍ以下のろ材によりろ過することを特徴とするフォトレジスト用樹脂溶液の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】経時での安定性を向上したアルカリ可溶性樹脂の製造方法を提供する。
【解決手段】重合反応後に酸素存在下に加熱処理することを特徴とするアルカリ可溶性樹脂の製造方法。前記アルカリ可溶性樹脂がアクリル又はメタクリル共重合体であること、加熱処理時の酸素濃度が７〜１６容量％であること、加熱処理温度が８０〜１２０℃であること、加熱処理時間が２〜２４時間であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】微細パターンの形成に於いて、露光ラチチュードが改良され、感度も良好な、ポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】（Ａ）活性光線又は放射線の照射により、酸を発生する化合物、および、（Ｂ）下記一般式（Ｉ'）で表される酸分解性繰り返し単位を有し、分散度が１．５以下である、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増大する樹脂、を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法。式（Ｉ'）中、各記号は所定の基等を表す。
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【課題】組成分布の狭い樹脂、およびそれをを再現性良く供給できる製造方法を提供し、さらに、微細パターン形成時のパターン形状が改良されたポジ型感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】モノマー溶液（Ａ）と重合開始剤を、重合開始剤を含有しないモノマー溶液（Ｂ）に連続的に添加しながら共重合する工程を含み、モノマー溶液（Ａ）のみで重合を行った場合の重合速度が最も速いモノマー成分を（Ｐ）、最も遅いモノマー成分を（Ｑ）とし、モノマー溶液（Ａ）及びモノマー溶液（Ｂ）中の（Ｐ）の割合（モル％）をそれぞれＰａ及びＰｂ、モノマー溶液（Ａ）及びモノマー溶液（Ｂ）中の（Ｑ）の割合（モル％）をそれぞれＱａ及びＱｂとすると、Ｐａ＞Ｐｂ且つＱｂ＞Ｑａであることを特徴とする酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増大する樹脂の製造方法。 （もっと読む）

【課題】組成分布が均一な樹脂、およびそれをを再現性良く供給できる製造方法を提供し、さらに、それを含有するポジ型感光性組成物によってレジスト性能（ＬＥＲ（ラインエッジラフネス）・露光ラチチュード）が改良されたポジ型感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】二種類以上のモノマーを含有するモノマー溶液を加熱した溶剤に滴下して重合する工程と、モノマー溶液の滴下終了前もしくは後に重合を停止させる工程、を含むことを特徴とする酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増大する樹脂の製造方法。 （もっと読む）

【課題】微細パターン形成時のラインエッジラフネス及びデフォーカスラチチュードを改良することができる樹脂、ポジ型感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法、及びその樹脂の製造方法の提供。
【解決手段】モノマー溶液（Ａ）と重合開始剤を、モノマー溶液（Ｂ）に連続的に添加しながら共重合する工程を含み、モノマー溶液（Ａ）のみで重合を行った場合の重合速度が最も速いモノマー成分を（Ｐ）、最も遅いモノマー成分を（Ｑ）とし、モノマー溶液（Ａ）及びモノマー溶液（Ｂ）中の（Ｐ）の割合（モル％）をそれぞれＰａ及びＰｂ、モノマー溶液（Ａ）及びモノマー溶液（Ｂ）中の（Ｑ）の割合（モル％）をそれぞれＱａ及びＱｂとすると、Ｐａ＞Ｐｂ且つＱｂ＞Ｑａである条件で製造され、かつ、分散度が１．５以下である、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増大する樹脂。 （もっと読む）

【課題】 良好な耐熱性を有し、かつ高感度で高残膜性をもち、その他特性についても汎用のものより劣ることのないフォトレジスト用フェノール樹脂及びその製造方法及びフォトレジスト用樹脂組成物を提供する。
【解決手段】 特定のクレゾールノボラック系３量体で表されるフェノール化合物とｍ−クレゾール、２，３−キシレノール、３，５−キシレノール、２，３，５−トリメチルフェノールからなる群から選ばれる１種以上のフェノール類とを酸性触媒下で反応させた後、ホルムアルデヒドとを加えて続けて反応させてなることを特徴とするフォトレジスト用フェノール樹脂、及びこれを使用したフォトレジスト用樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】ＬＥＲ、パターン倒れ、現像欠陥が改良されたポジ型レジスト組成物の提供。
【解決手段】一般式（Ｉ）で表される繰り返し単位を含有し、リビングラジカル重合で製造されたことを特徴とする、酸の作用によりアルカリ可溶性となる樹脂、該樹脂を含有するレジスト組成物およびそれを用いたパターン形成方法。式中、Ｘ_ａ１は水素原子、アルキル基、またはシクロアルキル基を表す。Ｒは単環の脂環基を含有する酸分解性基を表す。

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【課題】金メッキのプロセスにおいても劣化しにくく、かつ銅箔に対し十分な接着力を有する保護膜を形成できるとともに、従来技術と同様の現像性を維持し、残渣等の問題を発生しにくい感光性ポリイミド組成物、並びに、その成分として用いられる可溶性ポリイミド樹脂の製造方法、及びこの感光性ポリイミド組成物の製造方法を提供する。
【解決手段】可溶性ポリイミド樹脂及びポジ型感光剤を含有する感光性樹脂組成物であって、前記可溶性ポリイミド樹脂が、芳香族テトラカルボン酸二無水物とジアミンの縮合物であり、前記ジアミンが、シリコーンジアミン及び水酸基を有するジアミンを含有し、前記可溶性ポリイミド樹脂の重量平均分子量が、２００００〜５００００であり、かつ分子量分布が１山分布で、分散が２．０以下である感光性ポリイミド組成物。
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【課題】光重合開始剤や多官能モノマーに依存することなく、熱および／または光による硬化が可能な架橋性高分子化合物、およびこれを含有した高感度な感光性樹脂組成物を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、不飽和カルボン酸から誘導される構成単位（Ａ）と、スチレン、メチルスチレン、α−メチルスチレンおよびインデンから選択される少なくとも１種の化合物から誘導される構成単位（Ｂ）とを含有する共重合体（Ｉ）に、下記式（１）で表される化合物（II）を付加させて得られる高分子化合物である。
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【課題】レジスト組成物に利用可能なハイパーブランチポリマーの解像性能の経時安定性の向上を図ることができるハイパーブランチポリマーの合成方法を提供すること。
【解決手段】極性溶媒の存在下においてモノマーをリビングラジカル重合させることによりハイパーブランチポリマーを重合し、前記ハイパーブランチポリマーが存在する反応溶液の中から再沈法によって前記ハイパーブランチマーポリマーを回収し、前記回収したハイパーブランチポリマーを溶解させた溶液を、孔径０．１μｍ以下のフィルターを用いて濾過するようにした。 （もっと読む）