【課題】優れた細線再現性および高いエステル溶剤耐性を同時に満たす感光性樹脂組成物の提供。
【解決手段】少なくとも熱可塑性エラストマー（ａ）、光重合性不飽和単量体（ｂ）、炭化水素系可塑剤（ｃ）、３０℃で粘度が２０００（Ｐａ・ｓ）以下の液状の共役ジエンゴム（ｄ）および光重合開始剤（ｅ）を含むフレキソ印刷用感光性樹脂組成物であって、炭化水素系可塑剤（ｃ）の重量平均分子量が２０００以下、不飽和結合量が０．５ｍｏｌ／１００ｇ以下、且つ２０℃における屈折率が１．４９７以上であることを特徴とするフレキソ印刷用感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】製版時の画像再現性に対する広い露光ラチチュード、印刷版の高いインキ耐性および高いオゾン耐性を同時に満たすフレキソ印刷用感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】少なくとも、熱可塑性エラストマー（ａ）、光重合性不飽和単量体（ｂ）、および光重合開始剤（ｃ）を含むフレキソ印刷用感光性樹脂組成物であって、熱可塑性エラストマー（ａ）は、ビニル芳香族炭化水素を主体とする少なくとも１つの重合体ブロックと、イソプレンを主体とする少なくとも１つのブロック共重合体とからなり、イソプレンを主体とする重合体ブロックの側鎖基含有量（Ｖ）が４０ｍｏｌ％以上８０ｍｏｌ％以下であり、さらに上記熱可塑性エラストマー（ａ）を５０重量％以上含むフレキソ印刷用感光性感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】原画フィルムを必要としないで凸状のレリーフ像を形成することが可能な、取り扱い性に優れた感光性樹脂印刷版原版、感熱マスク層にピンホールのない感光性樹脂印刷版原版とその製造方法を提供すること。
【解決手段】支持体上に、水またはアルコールに溶解または分散可能な樹脂および紫外光により硬化可能なモノマーを含有する感光性樹脂層（Ａ）、紫外線吸収能と赤外線吸収能を有し水不溶性である２層以上の感熱マスク層（Ｃ）をこの順に有する感光性樹脂印刷版原版。 （もっと読む）

【課題】多種多様な性質のカバー膜に対応した除去処理を行うことができるカバー膜除去装置を提供する。
【解決手段】レジスト膜の上にカバー膜が形成された基板Ｗは露光処理後にカバー膜除去装置１に搬入される。カバー膜除去装置１は、基板Ｗを保持して回転させる保持回転部１０と、基板Ｗの表面にカバー膜を溶解する溶媒（剥離液）を互いに異なる形態にて吐出する３種類のノズル（スリットノズル２０，ストレートノズル４０，二流体ノズル６０）と、これらの要素の各駆動部を制御する制御部９０と、を備える。基板Ｗ上のカバー膜の性質に応じてスリットノズル２０，ストレートノズル４０，二流体ノズル６０を使い分けることができる。 （もっと読む）

【課題】露光装置内の汚染を防止でき、露光パターンの寸法不良および形状不良の発生を防止することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置５００は、インデクサブロック９、反射防止膜用処理ブロック１０、レジスト膜用処理ブロック１１、現像処理ブロック１２、レジストカバー膜用処理ブロック１３、レジストカバー膜除去ブロック１４、洗浄／乾燥処理ブロック１５およびインターフェースブロック１６を備える。基板処理装置５００のインターフェースブロック１６に隣接するように露光装置１７が配置される。露光装置１７においては、液浸法により基板Ｗの露光処理が行われる。洗浄／乾燥処理ブロック１５の洗浄／乾燥処理部８０における端部洗浄ユニットにおいては、露光処理前の基板Ｗの端部が洗浄される。 （もっと読む）

【課題】 優れた光学的特性（例えば、高屈折率、高透明性（可視光線に対する透明性）など）を有し、かつ基板に対する高い密着性、ハードコート性、高耐熱性などの特性を有する硬化物を得るのに有用な重合性組成物を提供する。
【解決手段】 前記重合性組成物を、フルオレン骨格を有する特定の多官能性（メタ）アクリレート［９，９−ビス（４−（メタ）アクリロイルオキシエトキシフェニル）フルオレンなど］、重合性基を有する加水分解縮合性有機ケイ素化合物（例えば、（メタ）アクリロイルオキシアルキルトリＣ_1-4アルコキシシラン）、および光酸発生剤で構成する。前記組成物は、光重合性を高めるため、さらに、光ラジカル開始剤を含んでいてもよい。 （もっと読む）

【課題】レジスト膜の上に形成されたカバー膜を確実に除去して現像欠陥を防止することができる基板現像技術を提供する。
【解決手段】露光処理後の基板を回転させつつＳ１、その表面に希釈現像液を供給するＳ２。希釈現像液とはレジスト膜の現像処理に使用する現像液よりも濃度の低い現像液である。レジスト膜の上に形成されたカバー膜は比較的低濃度の希釈現像液であっても溶解し、剥離する。また、希釈現像液であればレジスト膜の実質的な現像処理は進行しない。続いて、基板表面に純水を供給して希釈現像液および剥離したカバー膜を洗い流すＳ３。その後、基板の表面に通常の現像液を供給して現像処理を行うＳ５。 （もっと読む）

【課題】被着体上にてパターン形成した後においても、加熱すれば、そのパターンを維持したまま、高い接着性を有し、そのパターン上に第２の被着体を接着することができ、特に、フィルム厚みが大きい場合であっても、そのパターン上に第２の被着体を接着する際に、パターンの変化、主として、膜厚の減少が少ない感光性エポキシ樹脂接着性フィルムを提供する。
【解決手段】中間層とこれを挟む一対の表面層とからなる感光性エポキシ樹脂接着性フィルムにおいて、上記中間層と上記一対の表面層のいずれもがエポキシ当量１００〜３００ｇ／当量のグリシジル基を有する多官能エポキシ樹脂とエポキシ当量４５０〜１００００ｇ／当量のグリシジル基を有する多官能エポキシ樹脂とからなる低反応性エポキシ樹脂と光酸発生剤とを有し、上記中間層が更に脂環式エポキシ樹脂及びオキセタン樹脂から選ばれる少なくとも１種の高反応性樹脂を含有している。 （もっと読む）

【課題】基板周囲の環境をより詳細に分析し、より精密なレジスト膜厚制御を行うことができる基板処理装置及び基板処理方法を提供する。
【解決手段】レジストパターンを形成する際に影響を及ぼす、「気圧ｐ」と、「カップＣＰの温度ｑ」と、「ユニット内の湿度ｒ」とをパラメータとする膜厚モデルの作成を予め実験的に行い、この作成した膜厚モデルに基づいて、レジスト膜形成条件の１つであるウェハの回転数を制御することにより、フィードフォワード制御が可能となる。これにより、露光装置における露光条件だけでは精密な制御を行うことができないレジストパターンの膜厚を予測することができる。 （もっと読む）

半導体デバイス及びＭＥＭＳデバイス製造時に用いられる新規なフォトレジストを提供する。プライマー層は好ましくは、溶媒系に溶解または分散したシランを含む。フォトレジスト層は、スチレンモノマー、アクリロニトリルモノマー、およびエポキシ含有モノマーから調製されたコポリマーを含む。フォトレジスト層は光酸発生剤を含み、好ましくはネガ型である。 （もっと読む）

【課題】硬化後のポリイミド樹脂膜として、耐熱性、耐薬品性、及びメタル接着性を有する感光性樹脂組成物、及び硬化レリーフパターンの形成方法の提供。
【解決手段】（ａ）下記一般式（１）で表される繰り返し単位を有するポリアミド酸エステル１００質量部、（ｂ）下記一般式（２）で表される２つの繰り返し単位を有するポリアミド酸エステル０．１〜４０質量部、（ｃ）光重合開始剤１〜２０質量部、及び（ｄ）溶媒３０〜６００質量部を含む感光性樹脂組成物。


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【課題】飛散した液が乾燥してカス化する問題の生じない平版印刷版用原板の作製方法を提供する。
【解決手段】支持体上に画像記録層を有する平版印刷版原板を画像露光した後、平版印刷版原板の搬送方向の最上流にある第１処理浴から最下流にある最終浴まで複数の処理浴を通過させて平版印刷版原板を処理する平版印刷版処理方法であって、少なくとも最終浴に水溶性高分子を含有した水溶液により現像処理を行う平版印刷版の作製方法において、第１処理浴に少なくとも１つの擦り部材を備え、かつｐＨ２〜１０の範囲にある水溶液の液溜まりに平版印刷版原板を浸漬した状態で、擦り部材による非画像部の除去を行ない、最終浴にのみ新しい水溶液を補充し、複数の処理浴のうち、搬送方向下流にある処理浴から直近上流にある処理浴に水溶液をオーバーフローさせるようにした。 （もっと読む）

【課題】斜め方位における視認性に優れた赤色着色膜、および該赤色着色膜を構成する赤色着色組成物、該着色膜を用いたカラーフィルタおよび液晶表示装置を提供すること。
【解決手段】赤色着色膜は、膜面の法線方向から４５°傾いた方位から膜に入射させた楕円偏光がその膜を透過した透過光の、５７５〜６３５ｎｍの波長範囲における平均振幅透過率比（av.ｔａｎΨ）が、下記式（１）：
０．９６０＜av.ｔａｎΨ＜１．０４０ （１）
を満足することを特徴とする。赤色着色組成物は、ＢＥＴ法による比表面積が９０〜１４０ｍ²／ｇの範囲にある赤色顔料Ａと、ＢＥＴ法による比表面積が７０〜８５ｍ²／ｇの範囲にある赤色顔料Ｂと、透明樹脂、その前駆体またはそれらの混合物からなる顔料担体とを含む。また、カラーフィルタは、赤色フィルタセグメントとして該赤色着色膜を備える。液晶表示装置は、該カラーフィルタを備える。 （もっと読む）

【課題】 固体表面に汎用のインクジェット方式などの簡便な方式を用いて、デジタルデータなどによる高解像度の撥油・撥水性領域を所望のパターン状に容易に形成しうるグラフトパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 加熱又は露光によりラジカルを発生しうる基板表面に、撥油・撥水性の官能基とラジカル重合可能な不飽和二重結合性基を有する化合物を含有する液体をパターン状に配置した後、加熱又は露光により、液体配置領域に基板表面と直接結合する撥油・撥水性のグラフトポリマーパターンを形成することを特徴とする。液体をパターン状に配置する方法としては、インクジェット法、印章法、印刷法などが挙げられる。 （もっと読む）

【課題】改良された印刷要素は、従来の印刷要素よりも一貫性のある印刷要素を提供する一体型フロア層、及び任意の圧縮性層を含んで形成できる。
【解決手段】一体型画像形成印刷面を有するレリーフ像印刷要素、及びレリーフ像印刷要素の調製方法を記載する。レリーフ像印刷要素は、寸法安定性基質層、硬化時の弾性が少なくとも４０％である、感光性樹脂、及びポリマーからなる群より選択される硬化したポリマーからなるフロア層、並びに少なくとも１つの画像形成材料層を含む。最も好ましくは、フロア層は、印刷要素の表面から面露光で硬化することで形成される。印刷要素は、基質層とフロア層との間に圧縮性層を更に含んでもよい。 （もっと読む）

本発明は、共役ジエンとモノアルケニルアレーンの選択的水添ブロック共重合体を含むフレキソ印刷版用光硬化性組成物、および前記光硬化性組成物から製造されるフレキソ印刷版に関する。線状または放射状いずれかのこれらのブロック共重合体は、不飽和共役ジエンの末端ブロックを有する。このブロック共重合体は、さらに、モノアルキレンアレーンブロックおよび水添共役ジエンブロックから成る。本組成物は、比較の選択的水添ブロック共重合体にまさる硬化度のひときわ優れた改善を示す。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクを介して露光させ、現像処理することによってパターン形成をすることができ、しかも、このようにして、パターン形成した後においても、加熱すれば、そのパターンを維持したまま、高い接着性を発揮する感光性エポキシ接着剤組成物と、更には、そのような感光性エポキシ接着剤組成物よりなる感光性接着性フィルムを提供する。【解決手段】本発明によれば、エポキシ樹脂と光酸発生剤を含む感光性エポキシ樹脂接着剤組成物において、エポキシ樹脂がエポキシ当量１００〜３００ｇ／当量の多官能エポキシ樹脂とエポキシ当量４５０〜１００００ｇ／当量の多官能エポキシ樹脂とからなるものであることを特徴とする感光性エポキシ樹脂接着剤組成物が提供される。更に、本発明によれば、上記感光性エポキシ樹脂接着剤組成物よりなる感光性接着性フィルムが提供される。 （もっと読む）

ホットメルトフォトレジスト混合物を調製する工程、光画像形成性ホットメルト組成物を、スロットダイコーティングシステムを使用してフィルム基板に適用する工程、ホットメルトを十分に冷却して流動を防ぐ工程、及び保護カバーフィルムを、部分的に冷却された組成物の反対側の表面に適用し、それによってフォトレジスト素子を形成する工程を含む、フォトレジスト素子を形成する方法。 （もっと読む）

本発明は、再使用可能なフィルムを用いて、レリーフ画像を有する物品を形成する方法に関する。先ず、画像形成されたフィルムを形成するために、少なくともマスク基体と画像形成性材料とを含む画像形成性フィルムを画像形成用輻射線に像様露光させる。該画像形成されたフィルムをその後、フレキソグラフィ印刷版先駆体のような画像形成性物品に転写する。得られた集成体を、硬化輻射線に露光させ、画像形成性物品上で感光性材料の露光された領域と露光されなかった領域とを生成させる。硬化輻射線に露光させた後、画像形成されたフィルムを画像形成性物品から除去する。そして、画像形成性物品を、好適な現像剤で現像してレリーフ画像を形成させる。その後、画像形成されたフィルムを再使用して、さらにレリーフ画像を有する物品を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】 サポートを必要とせず、高弾性率かつ耐衝撃性に優れた造形物を得ることができる光学的立体造形用硬化性組成物およびそれを用いた立体造形物を提供する。
【解決手段】 アイソタクチシティが８０％以上のメタクリル酸メチル重合体、ポリアルキルアクリレートブロックとシンジオタクチシティが６０％以上のポリメチルメタクリレートブロックとを有するブロック共重合体、および光重合可能なエチレン性不飽和化合物を特定の割合で含有する光学造形用硬化性樹脂組成物、並びに該組成物を硬化させてなる立体造形物。 （もっと読む）