【課題】高集積且つ高精度な電子デバイスを製造するための高精度な微細パターンを安定的に形成するために、ラインエッジラフネスが小さく、パターン倒れ性能が良好なネガ型現像用レジスト組成物及びこれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】（Ａ１）特定の脂環炭化水素構造から選ばれる部分構造を有する酸分解性の繰り返し単位を有し、酸の作用により極性が増大し、ネガ型現像液に対する溶解度が減少する第１の樹脂、（Ａ２）酸分解性の繰り返し単位を有し、酸の作用により極性が増大し、ネガ型現像液に対する溶解度が減少し、且つ酸分解性の繰り返し単位の平均含有率が、樹脂（Ａ１）の酸分解性の繰り返し単位の平均含有率とは異なる第２の樹脂、（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物及び（Ｃ）溶剤を含有するネガ型現像用レジスト組成物及びこれを用いたパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】優れた耐湿性を発揮し、同時に高いキュアクラック性と酸素透過性の高い型、例えばＰＤＭＳでできた型を用いても、型と感光性樹脂組成物との界面に未硬化の感光性樹脂組成物が残らないという高いＵＶ硬化性を有する感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】特定の（ｉ）感光性シロキサン樹脂；１００質量部、
（ｉｉ）光重合開始剤；（ｉ）感光性シロキサン樹脂と（ｉｉｉ）光重合性モノマーの総量に対して０．１〜３質量％、（ｉｉｉ）下記一般式（Ｉ）で表される化合物を含む光重合性モノマー；３００〜１７００質量部、を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。 ＣＨ_２＝ＣＲ−ＣＯ−Ｏ−（Ｃ_６Ｈ_１０）−Ｚ （Ｉ）（Ｒは水素原子又はメチル基、Ｚは水素原子又は炭素数１〜６の直鎖若しくは分鎖のアルキル基を示す。） （もっと読む）

【課題】微小網点再現性と印刷適性の両立可能な直描型水なし平版印刷版原版を提供すること
【解決手段】基板上に、少なくとも断熱層、感熱層およびシリコーンゴム層をこの順に有する直描型水なし平版印刷版原版であって、該感熱層が少なくとも（Ａ）光熱変換物質、（Ｂ）金属含有有機化合物、（Ｃ）ノボラック樹脂および（Ｄ）ポリウレタン樹脂を含有し、かつ（Ｃ）ノボラック樹脂が重量平均分子量の異なる２種類のノボラック樹脂を含有し、ノボラック樹脂のＧＰＣ法による分子量分布が、一方は５百以上５千以下に、他方は１万以上５万以下に極大を有することを特徴とする直描型水なし平版印刷版原版。 （もっと読む）

【課題】輝度やコントラストなどの表示色特性に優れたカラーフィルター用着色組成物の提供。
【解決手段】顔料と樹脂ワニスとからなるカラーフィルター用着色組成物において、上記顔料が、同一色相または類似色相の２種類以上の混合顔料であり、該混合顔料が、上記の２種類以上の粗顔料をそれぞれ単独で水溶性無機塩とともに磨砕した磨砕物を、所定の割合で混合し、該混合物からともに水溶性無機塩を除去してなる混合顔料であることを特徴とするカラーフィルター用着色組成物。 （もっと読む）

【課題】感光性樹脂組成物を用いたフォトリソグラフィーにより、工程が簡便で、工程歩留まりが高く、高精度な中空構造を有する成形体を安価に作成する方法を確立すること。
【解決手段】基板上に、波長が４００ｎｍ以上の光に感光しない第１の感光性樹脂層を形成し、第１のマスクを介して波長が４００ｎｍ未満の光を照射する工程、現像処理を施すこと無く、前記工程により感光処理された第１の感光性樹脂層の上に、波長が４００ｎｍ以上の光に感光する固形分９０重量％以上の固形又は半固形の第２の感光性樹脂層を形成し、第２のマスクを介して波長が４００ｎｍ以上の光を照射する工程、前記第１及び第２の感光性樹脂層に一括で加熱処理を施す工程、及び前記第１及び第２の感光性樹脂層の未感光部を一括で現像する工程を有する、中空構造を有する成形体の製造法。 （もっと読む）

【課題】ＩＣ等の半導体製造工程、液晶、サーマルヘッド等の回路基板の製造、さらにその他のフォトファブリケーション工程などに使用される、高精度な微細パターンを安定的に形成する方法、該方法に用いられる樹脂組成物及び該方法に用いられる現像液を提供する。
【解決手段】（ア）活性光線又は放射線の照射により、ネガ型現像液に対する溶解度が減少する、レジスト組成物を塗布する工程、（イ）露光工程、及び（エ）ネガ型現像液を用いて現像する工程を含むパターン形成方法、該方法に用いられるレジスト組成物及び該方法に用いられる現像液及びリンス液。 （もっと読む）

【課題】加熱硬化後の残膜率に優れるネガ型感光性樹脂組成物の成分であるポリアミドイミド及びこれを用いたネガ型感光性樹脂組成物の提供。
【解決手段】下記化学式（１）で表される構造を有するポリアミドイミド。
【化１】
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【課題】露光の際に充分な深部硬化性が得られ、現像溶解性、現像マージン、パターン形成性に優れた着色パターンを形成でき、高コントラストを実現するカラーフィルタ用着色感光性組成物を提供する。
【解決手段】メルカプト化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、エチレン性不飽和二重結合を有する重合性化合物、顔料、及び、顔料分散剤を含有するカラーフィルタ用着色感光性組成物。 （もっと読む）

【課題】多層感光性印刷用原版の製造に用いられる粘着防止層形成用組成物であって、これにより形成される粘着防止層と保護層であるカバーフィルムとの密着性が高く、取り扱いの際にカバーフィルムの剥離等が生じない粘着防止層形成用組成物、当該粘着防止層形成用組成物を用いた多層感光性印刷用原版の製造方法、及び当該多層感光性印刷用原版の製造方法により製造される多層感光性印刷用原版を提供すること。
【解決手段】支持体上に、少なくとも感光性樹脂層、粘着防止層、及び保護層が積層されてなる多層感光性印刷用原版に用いられる粘着防止層形成用組成物であって、有機溶剤に可溶なバインダー樹脂、及びポリエチレンイミンを含有する粘着防止層形成用組成物。 （もっと読む）

【課題】固体撮像素子や電子部品一体型製品の製造用として有用な、硬化時の収縮率が小さく、硬化後のパターンが密着性、耐熱性（２６０℃リフロー耐性）に優れ、黄変がなく、耐湿性を有し、高温でもクラックや剥がれが生じないという耐温度衝撃性に優れる、感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】（I）特定の感光性樹脂；１００質量部、（II）光重合開始剤；該（I）感光性樹脂と下記（III）架橋性モノマーとの合計１００質量部に対して０．１〜５質量部、（III）CH_２＝CR−Ｏ−（PO）_ｎ−CR＝CH_２（Rは水素原子又はメチル基、POはプロピレンオキサイド基を示す。ｎは３〜１０の整数である。）で表される化合物を含有する架橋性モノマー；５〜１２００質量部を含有する感光性樹脂組成物、及びこれを用いたマイクロプラスチックレンズ又は液晶偏光板用光学素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】固体撮像素子や電子部品一体型製品の製造用として有用な、硬化時の収縮率が小さく、硬化後のパターンの密着性、耐熱性（２６０℃リフロー耐性）、耐湿性、高温でもクラックや剥がれが生じないという耐温度衝撃性に優れ、硬化後のパターンの屈折率が１．４７〜１．５３まで設計することができる感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】（I）特定の感光性樹脂；１００質量部、（II）光重合開始剤；該（I）感光性樹脂と下記（III）架橋性モノマーとの合計１００質量部に対して０．１質量部以上５質量部以下、及び（III）架橋性モノマー；１００質量部超過１２００質量部以下を含有する感光性樹脂組成物、及びこれを用いたマイクロプラスチックレンズ又は液晶偏光板用光学素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】ＵＶ−ｉ線での感光特性及び有機薄膜に対する接着性に優れ、２５０℃以下での低温硬化が可能であり、この加熱硬化の過程での体積収縮が極めて小さく、更に加熱硬化後の樹脂構造体および樹脂膜において、低デガス性に優れる新規なポリオルガノシロキサン組成物の提供。
【解決手段】下記（ａ）〜（ｃ）の各成分を含むポリオルガノシロキサン組成物。
（ａ）特定のシラノール化合物及び特定のアルコキシシラン化合物を混合し、触媒の存在下、積極的に水を添加することなく重合させる方法で得られる、ポリオルガノシロキサン１００質量部
（ｂ）光重合開始剤０．２〜２０質量部
（ｃ）スルファニル基を少なくとも２つ以上含む多価チオール化合物１〜５０質量部 （もっと読む）

【課題】電子部品の絶縁材料や半導体装置における表面保護膜、層間絶縁膜、平坦化膜などの形成する際に、硬化膜の低温硬化性、デガス性、体積収縮率を良好に保ちつつ、下地基板に対する現像によるリソグラフィー特性及び加熱硬化後の接着性に優れた感光性ポリオルガノシロキサン組成物を提供すること。
【解決手段】
下記（ａ）〜（ｃ）成分を含むポリオルガノシロキサン組成物。
（ａ）特定のシラノール化合物、特定のアルコキシシラン化合物を混合し、触媒の存在下、積極的に水を添加することなく重合させる方法で得られる、ポリオルガノシロキサン１００質量部
（ｂ）光重合開始剤０．２〜２０質量部
（ｃ）特定の有機ケイ素化合物を０．０５〜２０質量部 （もっと読む）

【課題】感光性樹脂層と基材の両方と優れた接着力を有し、コート液作成作業工程が簡便で製造時のコート膜の外観品位に優れた接着層を提供することである。さらに該接着層を使用して、水現像可能な感光性樹脂層と基材が強固に接着した感光性樹脂版材を提供する。
【解決手段】（１）寸法安定性に優れる基材上に接着層を介して合成ゴム系感光性樹脂層を設けてなる感光性樹脂版材であって、該接着層が次の成分を含有することを特徴とする水現像可能な感光性樹脂版材。 （Ａ）共重合ポリエステル樹脂 （Ｂ）多官能イソシアネート （Ｃ）分子内に少なくとも一つ以上の水酸基を有する液状ゴムオリゴマー （Ｄ）分子内に少なくとも一つ以上の水酸基を有する光重合性化合物（２）分子内に少なくとも一つ以上の水酸基を有する光重合性化合物が分子中に３つの光重合性基を含有することを特徴とする請求項１に記載の感光性樹脂版材。 （もっと読む）

【課題】感度が高く、且つ高膜厚、高アスペクト比の微細なレジストパターンを形成できる高感度、高解像性の感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】特定の構造を有するオニウムフッ素化アルキルフルオロリン酸塩系のカチオン重合開始剤と、ジヒドロキシナフタレン構造を有する増感剤とを含有する感光性樹脂組成物によれば、感度が高く、且つ高膜厚、高アスペクト比の微細なレジストパターンを形成できる高感度、高解像性の感光性樹脂組成物を提供できる。 （もっと読む）

【課題】塗膜性に優れ、高感度で硬化し、解像度に優れ、良好なパターン形成性を示し、現像の際のラチチユードが広く、支持体との密着性に優れた硬化性組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）着色剤、（Ｂ）光重合開始剤、（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂および（Ｄ）エチレン性不飽和結合を有する多官能モノマーを含む感光性組成物において、該（Ｂ）光重合開始剤が、ビイミダゾール化合物と、メルカプト化合物と、アミノベンゼン誘導体、アルコキシベンゼン誘導体、チオキサントン誘導体、及びクマリン誘導体から選択される少なくとも１つの化合物とを含み、かつ、該（Ｄ）エチレン性不飽和結合を有する多官能モノマーが、分子内にヒドロキシル基を有し、二重結合密度が９．６ｍｍｏｌ／ｇ以上１１．５ｍｍｏｌ／ｇ以下である多官能モノマーを少なくとも１種含むことを特徴とする硬化性組成物。 （もっと読む）

【課題】数μｍ〜数十μｍの厚膜においても、すそ引きを発生することなく、テーパ形状の精度良いパターンが形成可能である光カチオン重合性エポキシ樹脂組成物を用いた液体吐出ヘッドの製造方法の提供。
【解決手段】基板１上にネガ型感光性樹脂１１の層を形成する工程と、層に対して３６５ｎｍの波長の光で露光を行い、吐出部７を形成する工程と、を有し、ネガ型感光性樹脂は、エポキシ樹脂と、光カチオン重合開始剤と、非共有電子対を有する原子を有し、非共有電子対を持つ原子が、芳香環に直接結合している、もしくはヘテロ環として取り込まれている多環式芳香族化合物と、を含む、液体吐出ヘッドの製造方法 （もっと読む）

【課題】ゲートパターンを形成するとき、セル領域のＣＤは一定に維持しつつ、周辺領域のＣＤのみ選択的に縮小することができる半導体素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】セル領域と周辺領域を有する基板上にゲート用導電物質層を形成するステップと、該ゲート用導電物質層上にハードマスクパターンを形成するステップと、前記セル領域のハードマスクパターンを備える全体構造上に前記周辺領域を露出させるマスクパターンを形成するステップと、前記周辺領域のハードマスクパターンをトリミングするステップと、前記マスクパターンを除去するステップと、前記ハードマスクパターンを用いて前記ゲート用導電物質層をエッチングしてゲートパターンを形成するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】微小網点の現像ラチチュードの広い直描型水なし平版印刷版原版を提供すること。
【解決手段】基板上に、少なくとも断熱層、感熱層およびシリコーンゴム層をこの順に有する直描型水なし平版印刷版原版であって、該感熱層が少なくとも（Ａ）光熱変換物質、（Ｂ）金属含有有機化合物、（Ｃ）ノボラック樹脂および（Ｄ）ポリウレタン樹脂を含有し、（Ｃ）ノボラック樹脂と（Ｄ）ポリウレタン樹脂の重量比（ノボラック樹脂／ポリウレタン樹脂）が７以上５０以下であることを特徴とする直描型水なし平版印刷版原版。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光や電子線に対する感度が高く、より少ない露光で、明瞭かつ微細なパターンを形成可能なレジスト材料を提供することを主目的とするものである。
【解決手段】上記目的を達成するために、本発明は、金属化合物を有するレジスト材料であって、上記金属化合物を構成する金属元素が、第１４族または第１５族の金属元素であり、かつ、上記金属化合物が化学量論的に不完全な化合物であることを特徴とするレジスト材料を提供する。 （もっと読む）