【課題】 絶縁膜を簡易にパターニングすることができ、素子の構成要素に対するダメージの少ない絶縁膜のパターン形成方法および電子素子を提供すること。
【解決手段】 熱重合性のポリマー前駆体材料を含有するポリマー絶縁膜材料を下地１１上に塗布してポリマー前駆体層１２を形成する工程と、加熱手段によって該ポリマー前駆体層１２を選択的に重合する工程と、重合部１３のポリマーを溶解せずかつ未重合部１４を溶解する溶媒を用いて未重合のポリマー前駆体材料を除去する工程とを有することを特徴とするポリマー絶縁膜のパターン形成方法と、該方法により、ポリマー絶縁膜にコンタクトホールを形成したことを特徴とする電子素子。 （もっと読む）

【課題】高感度、高解像度で、低吸水性であり、膜にしたときの収縮率が小さい感光性樹脂前駆体組成物を提供する。
【解決手段】一般式（１）で表される構造単位を主成分とするポリマーと、フェノール性水酸基を有する化合物と、キノンジアジド化合物を含有する。


（式中Ｒ^１、Ｒ^２は２個以上の炭素原を有する２価から８価の有機基、Ｒ^３、Ｒ^４は水素または有機基。ｍは１０から１０００００までの範囲、ｋ、ｌは０から４までの整数、ｎ、ｏは０から４までの整数。ただしｋ＋ｌ＞０またはｎ＋ｏ＞０。） （もっと読む）

【課題】作製が容易で、現像処理が不要であり、湿し水を使わなくても地汚れの少ない印刷用版材、刷版、および刷版の作製方法を提供する。
【解決手段】少なくとも疎水性基を有するポリイミド前駆体を含有するポリイミド前駆体樹脂組成物を基板上に塗布して印刷用版材を形成する。版材のポリイミド前駆体層を加熱してポリイミド化する工程と、該ポリイミド化した版材表面に画像情報に応じてエネルギーを付与する工程とを有する刷版の作製方法によって表面の濡れ性を画像情報に応じて選択的に制御した刷版を作製する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、作業性が高く、また耐刷性、汚れ回復性に優れた印刷版及び点質の優れた印刷物を与える感光性平版印刷版の製造方法及び使用方法を提供することにある。
【解決手段】 支持体上に（Ａ）波長７００ｎｍ〜１２００ｎｍの範囲に吸収をもつ色材及び（Ｂ）ラジカル発生剤を含有する画像形成層を有し、波長７００ｎｍ〜１２００ｎｍの範囲に発光波長を有するレーザー光によって露光される感光性平版印刷版の製造方法であって、少なくとも塗布工程、乾燥工程、断裁工程、検査・選別工程を有し、該塗布工程、該乾燥工程、該断裁工程、該検査・選別工程の何れかの工程が、発光波長極大が２５０ｎｍ〜４５０ｎｍにある発光ダイオードの光を吸収して、青色、緑色及び赤に各々発色する蛍光体を有する光源灯下に行われることを特徴とする感光性平版印刷版の製造方法。 （もっと読む）

【課題】２層構造の微細構造を２種のポジ型レジストで生成する場合に、少なくとも下層における熱架橋処理が不要な微細構造の形成方法、およびこの微細構造の形成方法を利用した液体吐出ヘッドとその製造方法を提供する。
【解決手段】ヒータを形成した基板上に下層としての第１のポジ型レジスト層（ＰＭＩＰＫ）を形成し、その上に上層としての第２のポジ型レジスト層（ＰＭＭＡ系共重合体）を形成し、第２のポジ型レジスト層が分解反応する波長域の電離放射線にて上層のポジ型レジスト層１３を露光、現像して所定のパターンを形成し、更に、第１のポジ型レジスト層が分解反応する波長域の電離放射線にて下層のポジ型レジスト層１２を露光、現像して所定のパターンとして微細構造を得る。この方法を用いた液体吐出ヘッドの製造方法と、その方法で製造された液体吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】 高精細のパターン加工が可能で、少ない溶剤量でも低温保管時の光重合開始剤の結晶化が起こりにくい感光性ペーストを提供すること。
【解決手段】 本発明の感光性ペーストは、（Ａ）無機微粒子、（Ｂ）光重合性化合物を含む有機成分、及び（Ｃ）光重合開始剤として２−ジメチルアミノ−２−（４−メチルベンジル）−１−（４−モルフォリノフェニル）ブタノンを含有することを特徴とする。こにより、少ない溶剤量でも低温保管時の光重合開始剤の結晶化が起こりにくい感光性ペーストを提供することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ビニル付加ポリマー組成物、当該組成物の形成方法、エレクトロニクスおよびオプトエレクトロニクスデバイスを形成するための当該組成物の使用方法を提供する。
【解決手段】ノルボルネン型モノマーから得られる二つ以上の種類の区別される型の反復単位を有する主鎖を持ったビニル付加ポリマーからなり、第一型の反復単位は、式１に表わされるグリシジルエーテル置換ノルボルネンモノマーから得られ、第二型の反復単位はアラルキル置換ノルボルネンモノマーから得られる。


［式中、Ｘは−ＣＨ_２−，−ＣＨ_２−ＣＨ_２−および−Ｏ−Ｏ−から選択、ｍは０〜５，Ｒ^１，Ｒ^２，Ｒ^３およびＲ^４の少なくとも一つはグリシジルエーテル含有基］ （もっと読む）

本発明は、（Ａ）少なくとも１つ以上のチイラン環を有する分子を有し、かつ分子内のチイラン環及び／又はエポキシ環の合計数が２つ以上である化合物、並びに（Ｂ）光酸発生剤を含む、感光性樹脂組成物を開示し、該組成物は、屈折率を少なくとも１．６有し、そして本発明の感光性樹脂組成物をホトリソグラフィに付すことを含む、高屈折率周期構造を得る方法を開示する。 （もっと読む）

【課題】 高感度で高解像度のパターンを得ることができ、低線膨張係数を有し、アルカリ可溶性樹脂と感光性ジアゾキノン化合物と無機酸化物のコロイド溶液との分散性に優れるため膜厚が均一なポジ型感光性樹脂組成物の製造方法並びに半導体装置及び表示素子を提供することを目的とする。
【解決手段】 アルカリ可溶性樹脂と感光性ジアゾキノン化合物と無機酸化物のコロイド溶液とを含んでなるポジ型感光性樹脂組成物を高圧ホモジナイザーにより微分散化して製造することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物の製造方法。 （もっと読む）

（ａ）少なくとも１つの反応性種と、（ｂ）多光子光開始剤系と、（ｃ）複数の実質的無機粒子と、を含有し、前記粒子が直径約１０ミクロン未満の平均粒度を有する、多光子反応性組成物。 （もっと読む）

【課題】 ディフェクトを低減することができるポジ型レジスト組成物及びこれを用いたレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）酸の作用によりアルカリ可溶性が増大する樹脂成分、及び（Ｂ）露光により酸を発生する酸発生剤成分を含有するレジスト組成物であって、
前記（Ａ）成分が、酸解離性溶解抑制基を含むアクリル酸エステルから誘導される構成単位（ａ１）、ラクトン環を有するα−低級アルキルアクリル酸エステルから誘導される構成単位（ａ２）、及び極性基含有多環式基を含む（α−低級アルキル）アクリル酸エステルから誘導される構成単位（ａ３）を有する共重合体（Ａ１）であることを特徴とするポジ型レジスト組成物。 （もっと読む）

【課題】各種印刷液に対する耐性を持ち、優れた印刷適性を有する印刷版製造用感光性組成物、並びに、これを用いた感光性印刷原版積層体および印刷版を提供する。
【解決手段】少なくとも、バインダー樹脂、光重合性モノマー、および、光重合開始剤を含有する印刷版製造用感光性組成物において、バインダー樹脂として、エラストマー樹脂とテルペン樹脂とを併用することによって、各種印刷液、特に、ＵＶ硬化性インキ、油性インキ等のインキ成分や、配向膜液等の印刷液に対して、優れた耐性を有する感光性組成物を得る。 （もっと読む）

【課題】本来のＣＴＰ版の特徴である鮮明な画像を有し、破れ（破損）、キズおよび現像液の汚染等の問題点もなく、かつ、印刷ムラをも解消した感光性樹脂積層体を提供すること。
【解決手段】少なくとも支持体、感光性樹脂層、ＩＲアブレーション層、非ＩＲ感受性高分子樹脂層およびカバーフィルムを有する感光性樹脂積層体であって、前記非ＩＲ感受性高分子樹脂層の２５％引っ張り弾性率が１０〜６０kgf/mm²であることを特徴とする感光性樹脂積層体。 （もっと読む）

本発明は、ターポリマーである化合物を提供し、これは、（ａ）フッ素原子少なくとも1つが共有結合したエチレン性不飽和線状又は分岐化合物少なくとも１種と、（ｂ）前記ターポリマーにおいて、環状又は多環式脱結晶化モノマーを形成する、フッ素原子少なくとも1つが共有結合した環状又は多環式化合物のエチレン性不飽和前駆体少なくとも１種と、（ｃ）前記ターポリマー中のモノマーとして、酸又は塩基に曝されると、溶解度を変えるエチレン性不飽和官能化合物少なくとも1種とのターポリマーである化合物である。そのような化合物の製法及びフォトリソグラフィでの使用法も記載する。 （もっと読む）

（ｉ）ポリマーまたはオリゴマーおよび架橋部分を含む溶液を基板上に成膜して層を形成する工程、および（ｉｉ）不溶性架橋化ポリマーを形成する条件下で工程（ｉ）で形成された層を硬化する工程を備え、架橋部分が溶液中のポリマーまたはオリゴマーおよび架橋部分の繰返し単位のモル総数に対して０．０５から５モル％の範囲の量で工程（ｉ）に存在することを特徴とする、ポリマーデバイスを形成する方法。 （もっと読む）

【課題】 ｎｍオーダのパターンラフネスの生成を十分に抑制できて素子特性の顕著な向上に寄与し得る基板用パターン形成方法を提供すること。
【解決手段】 本発明の方法は、基板上にｐ−メチルヘプタアセトキシカリックス［７］アレーンに代表されるカリックス［７］アレーン化合物を主成分とする薄膜を形成する薄膜形成工程と、薄膜の所望領域に電子線等の高エネルギー線を照射して薄膜に潜像を形成する潜像形成工程と、潜像が形成された薄膜に対して潜像が形成された領域以外の領域を選択的に現像液に溶解させてパターンを形成するパターン形成工程とから選ばれる少なくとも１つの工程を含むものである。ｐ−メチルカリックス［７］アレーンは分子の大きさが１ｎｍ程度であり、しかも分子の対称性が低いため、１００ｎｍ以下の微細パターン形成時に生成されるパターンラフネスを極めて低いレベルまで低減することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】耐光性、耐熱性、および透明性の優れたカラーフィルタ用の感光性着色組成物を提供する。
【解決手段】下記一般式＜化１＞で表される色素単量体を重合して得られる着色重合物と、この着色重合物を基板に固定すると共に、露光又は露光とこれに続く後処理によりその現像液溶解性能が変化する感光性材料とを主成分とする。
【化１】
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