【課題】従来の火炎加水分解法や、新たなスート押圧法、ゾル・ゲル法などの方法で作製することが困難な、ドープされたシリカ・チタニアガラスを使用した、ＥＵＶＬの投影光学系の大型部品を提供する。
【解決手段】５℃から３５℃の温度範囲に亘ってＣＴＥが０±３０ｐｐｂ／℃以下である材料から成る素子ブランク１０が、ドープされたシリカ・チタニアガラスから成る、インサート１４を備える。シリカ・チタニアガラスに加えられたドーパントは、酸化アルミニウムと選択された遷移金属酸化物とから成る群から選択されたものであり、また素子ブランク１０の材料は、ガラスとガラスセラミックとから成る群から選択される。このインサート１４は、フリットを用いて、またはフリットを用いることなく、ブランク１０に融合接合される。 （もっと読む）

【課題】メガネ等の表示装置取付部材に固定できる近距離での視認が可能で、かつ、背面方向の視野を損なわない表示装置を得る。
【解決手段】複数の反射集光ミラー単体１１１ｔと複数の画素（発光領域１２１）は１対１に対応する。そして、反射集光ミラー単体１１１ｔと発光領域１２１との位置関係は、発光表示面１２９における全領域において、複数の発光領域１２１から発光された光がそれぞれ対応する反射集光ミラー単体１１１ｔの半透過反射層１１４で反射される際、反射集光ミラー単体１１１ｔ，１１１ｔ間のピッチ程度の細い直径のビーム状の光線１５１となって、表示装置１００の発光表示面１２９における透明領域１２３を通過して、前方における所定の集光点１０８ａを通過する位置に設定されている。 （もっと読む）

【課題】
一方の主面側にある被観察物の実像を他方の主面側の空間に結像させ空中像の明るさを向上させる大型のリフレクタアレイ光学装置を提供する。
【解決手段】
リフレクタアレイ光学装置は、同一平面上に並置された複数枚の２面コーナーリフレクタアレイ光学素子を有する。複数枚の２面コーナーリフレクタアレイ光学素子の各々は、基盤と、各々が基盤の主面に垂直で且つ互いに直交する少なくとも２つの直交側面を有し且つ直交側面の内角の向きが揃うように基盤に一体的に形成された複数の２面コーナーリフレクタと、からなる。複数枚の２面コーナーリフレクタアレイ光学素子は、複数の２面コーナーリフレクタの直交側面の交線が基盤の法線に平行となるように、基盤の端面同士にて貼り合わされている。 （もっと読む）

【課題】実鏡映像結像光学系を応用した体積走査法による３次元空中映像ディスプレイ、特に歪みのない３次元空中映像ディスプレイを提供する。
【解決手段】体積走査型３次元空中映像ディスプレイ装置Ｘ１を、対称面となる幾何平面Ｓ１に対する面対称位置に被投影物の実像を鏡映像として結像可能な実鏡映像結像光学系２Ａと、その対称面Ｓ１の下面側に配置されて被投影物として映像Ｏを表示する表示面３１を備えたディスプレイ３と、このディスプレイ３´を表示面３１に対して垂直方向の成分を含む運動をするように動作させる駆動手段４とを具備するものとして構成し、駆動手段４によるディスプレイ３´の動作と同期させて表示面３１に表示される映像Ｏを変化させることにより、その映像Ｏを対称面Ｓ１の上面側の空間に立体空中映像Ｐとして結像させるようにした。 （もっと読む）

【課題】半導体リソグラフィー用のミラーアレンジメントの製造方法、及び、電磁放射線の反射のためのミラーアレンジメントを提供する。
【解決手段】基板２の前面３は、ミラー領域４を形成することを目的とする複数の光学層５が設けられる。この場合、基板２の前面３は、光学層５の適用に先立って、前面３が、要求された寸法精度を有するように、第１作業ステップにて処理される。第２作業ステップにおいては、少なくとも１つの電気的導電性経路７が、光学有効領域Ａの外側で、基板２の前面３に適用されている。第３作業ステップにおいては、電気的導電性経路７の適用により引き起こされた寸法精度の変化を補正するために、基板２の前面３は、少なくとも電気的導電性経路７に隣接する領域にて後処理される。光学層５は、第４作業ステップにて適用される。 （もっと読む）

【課題】精度上の要求を満たしつつ、大型化及び軽量化の両立を可能にするミラー及びその製造方法を提供する。
【解決手段】反射膜１４を形成する板状の母材１１が、板ガラスを加熱によって軟化させ湾曲させることで形成されるととともに、研磨を含む表面仕上処理を施した光学面である表面１１ａを有するので、ミラー本体１０の光学的な精度を高めることができる。すなわち、母材１１の表面（光学面）１１ａは、加熱を利用した湾曲によって所望の曲率を有する曲面になっているだけでなく、研削や研磨といった表面仕上処理によって精度劣化につながる微視的な凹凸や巨視的な凹凸が除去されて光学的に精密なものとなっている。よって、この表面１１ａ上に反射膜１４を形成することにより、湾曲した板状でありながら高精度の反射面を有するミラー本体１０を得ること。 （もっと読む）

【課題】物体を見る観察者側の空中に立体像を簡便に形成することが可能な光学結像装置を提供する。
【解決手段】透明平板の内部に、透明平板の一方側の面に垂直に多数かつ帯状の平面光反射部２２、２３を一定のピッチで並べて形成した第１及び第２の光制御パネルＣ、Ｄを用い、第１及び第２の光制御パネルＣ、Ｄのそれぞれの一面側を、平面光反射部２２、２３を直交させて向かい合わせてなる。そして、第１の光制御パネルＣの平面光反射部２２に物体Ｎからの光を入射させ、平面光反射部２２で反射した反射光を第２の光制御パネルＤの平面光反射部２３で再度反射させ、物体Ｎの像Ｎ´を光学結像装置２１の反対側に結像させる。 （もっと読む）

【課題】安価な手法で輝度ムラ・画像ムラを抑制可能な虚像光を射出できる虚像表示装置用の導光板及び虚像表示装置を提供する。
【解決手段】非連続反射ユニットにより観察者に虚像光を導く導光板で、反射ユニット２３ｃの第１の反射面２３ａ又は第２の反射面２３ｂに反射膜形成領域と反射膜非形成領域を混在させて形成する。 （もっと読む）

【課題】基盤表面から突出した複数の筒状体を有する２面コーナーリフレクタアレイ光学素子を、成型後にスタンパから容易に取り出すことを可能とする製造方法を提供する。
【解決手段】筒状体５１の各々の端面の面積が、基盤６０側との接合平面５１の面積より小となり、且つ筒状体の各々が２面コーナーリフレクタ６１となる２つの直交する平面６１ａ，６１ｂを含む直方体形状部と、これと一体となった直交側面に非平行な側面を含むテーパー部６２ａ，６２ｂとからなる筒状体の反転形状を備えた金型を用意する。２面コーナーリフレクタアレイ光学素子の製造方法は、かかる金型を型締してキャビティを画定する工程と、金型キャビティ内にて樹脂からなる２面コーナーリフレクタアレイ光学素子を形成する工程と、樹脂冷却後に、直交側面から金型が真っ先に離れる離型方向に金型を移動させて、２面コーナーリフレクタアレイ光学素子を離型する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】高いスループットを達成することのできる光学ユニット、光学系、露光装置、及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】光学ユニット２０は、光源装置と被照射面との間に配置され、光源装置からの露光光ＥＬを波面分割して反射する複数の入射側ミラー要素４７を有する入射側フライアイミラー４５と、入射側フライアイミラー４５で波面分割された露光光ＥＬを反射する複数の射出側ミラー要素６７を有する射出側フライアイミラー６５とを備える。また、光源装置と入射側フライアイミラー４５との間に挿入可能に配置され、光源装置からの露光光ＥＬを波面分割して、その反面分割した露光光ＥＬを、射出側フライアイミラー６５の位置に配置される射出側フライアイミラーに入射させる射出側フライアイミラー５０を備える。 （もっと読む）

【課題】物体を見る観察者側の空中に立体像を簡便に形成することが可能な光学結像装置を提供する。
【解決手段】光学結像装置２１は、透明平板の内部に、透明平板の一方側の面に垂直に多数かつ帯状の平面光反射部２２、２３を一定のピッチで並べて形成した第１及び第２の光制御パネルＣ、Ｄを用い、第１及び第２の光制御パネルＣ、Ｄのそれぞれの一面側を、平面光反射部２２、２３を直交させて向かい合わせてなる。そして、第１の光制御パネルＣの平面光反射部２２に物体Ｎからの光を入射させ、平面光反射部２２で反射した反射光を第２の光制御パネルＤの平面光反射部２３で再度反射させ、物体Ｎの像Ｎ´を光学結像装置２１の反対側に結像させる。 （もっと読む）

【課題】リアルタイムで映像に特殊効果を施すことができ、レンズユニットの交換により着脱する必要がない撮像機器を提供すること。
【解決手段】撮像レンズユニット機器１は、被写体Ｗを撮影する撮影カメラ５０に着脱自在に装着され所定のレンズ９を設けたユニットフレーム２の入射口から前記撮影カメラの撮像素子５１までの光路中に配置される波面制御機構５を有する撮像レンズユニット機器であって、前記波面制御機構は、前記光路中に配置され波面制御面となる薄膜ミラー６と、この薄膜ミラーの裏面に当接して当該薄膜ミラーを凹面、凸面あるいは凹凸面に変形させる複数の押動凸部７と、この押動凸部のそれぞれを出没駆動させる駆動手段８とを備え、前記被写体の光の方向を前記薄膜ミラーで反射して前記被写体の光を前記光路に沿って送り出すことで前記被写体の光を制御する構成とした。 （もっと読む）

【課題】
基盤表面から突出した筒状体を有する２面コーナーリフレクタアレイ光学素子であって成型後にスタンパから容易に取り出すことができる２面コーナーリフレクタアレイ光学素子を提供することを目的とする。
【解決手段】
透明材料で一体的に成型された、基盤とその表面内の接合平面から突出した筒状体の複数とからなり、筒状体の各々には２面コーナーリフレクタとして２つの直交する側面が形成され、基盤の一方の主面側にある被観察物の実像を他方側の空間に結像させる２面コーナーリフレクタアレイ光学素子において、筒状体の２面コーナーリフレクタ以外の側面は、筒状体の基盤面側の基盤との接合平面の面積より筒状体の基盤側とは反対側の端面の面積の方が小となるように、筒状体のテーパー構造を画定する。 （もっと読む）

【課題】魔鏡の製造方法には、レーザー加工方法などのさまざまな方法が知られている。しかしながら、従来の方法には材料の厚み、意匠模様、焦点距離等が制限される欠点があった。また、熟練した職人の手による研磨などの工程を必要であった。
【解決手段】金属板の鏡面加工した面の反対面にフォトエッチング法などにより、所定の模様の凹凸を形成させる。その後、プレス加工により鏡面加工した面が凸になるように金属板に曲面を付ける事により、表面に肉眼では可視不可能な微細な凹凸を付けることにより、魔鏡とする。このときの曲面の角度によって投影される意匠模様の焦点距離を変える事が出来る。本体を湾曲させ表面の中に凸面の模様を、曲面を出す事によって作り出し平面の焦点距離の中に凸面の模様を他の部分より暗い影を像として現れるようにする。その事により、細い線での細かい模様から、太い線での模様などさまざまな表現が可能となった。 （もっと読む）

【課題】反射鏡の局部的な熱変形を抑制し、結像画像のぼけや歪など光学特性の低下を防ぐことを目的とする。
【解決手段】反射面を有する鏡面体２と、この鏡面体２の前記反射面と反対の面に接続され、鏡面体２と同じ材質で構成された隔壁４を有し、前記隔壁４に発熱部８を備えたワッフル構造体５と、発熱部８に電力を供給する電力供給部とを備え、光学反射鏡に外部から熱供給が行なわれたときに、発熱部８を発熱させることによって、光学反射鏡全体を、最も熱入力の大きい部分の温度に合わせる。 （もっと読む）

【課題】観察者の目の前方に配置するヘッドマウント式表示装置に関し、小型化を可能にする。
【解決手段】表示素子５５から発射されて結像素子５６を通った光が通る第１及び第２の焦点を有する第１の楕円体５１の一部として形成された第１の凹面鏡５３と、第２の焦点と共通の位置に配置される第３の焦点及び第４の焦点を有する第２の楕円体５２の一部として形成された第２の凹面鏡５４とを備え、表示素子から発射された光が第１の焦点の近傍に集光され、第１の焦点を通った光が第１の凹面鏡によって反射されて共通の第２及び第３の焦点に向かって進み、第２及び第３の焦点を通った光が第２の凹面鏡によって反射されて第４の焦点の近傍に集光され、観察者の目が第４の焦点の近傍に配置されるようにした。 （もっと読む）

【課題】 物体の３次元形状を維持したまま空間に結像することを可能にした空間映像表示装置を提供する。
【解決手段】 物体からの入射光を第１の反射型面対称結像素子の第１及び第２光反射面により２回反射して第１の反射型面対称結像素子について物体と面対称となるように物体の第１の実像を結像させ、第１の実像からの入射光を第２の反射型面対称結像素子の第１及び第２光反射面により２回反射して第２の反射型面対称結像素子について第１の実像と面対称となるように物体の第２の実像を結像させる。 （もっと読む）

本発明は、感光材料の構造露光のためのマイクロリソグラフィ用投影露光装置のミラー（Ｍ）、及びミラー（Ｍ）を製造する方法に関する。本発明によるミラー（Ｍ）は、基板本体（Ｂ）と、第１鏡面（Ｓ）と、第２鏡面（Ｓ５）とを有する。第１鏡面（Ｓ）は、基板本体（Ｂ）の第１面（ＶＳ）に形成される。第２鏡面（Ｓ′）は、基板本体（Ｂ）の第２面（ＲＳ）に形成され、該第２面は、基板本体（Ｂ）の第１面とは異なる。本発明によるミラー（Ｍ）は、特に、基板本体（Ｂ）がガラスセラミック材料から製造されるよう具現され得る。 （もっと読む）

本発明は、基板（Ｓ）及び層構成体を備え、層構成体がそれぞれ個別層の少なくとも２つの周期（Ｐ_２、Ｐ_３）の周期的配列からなる複数の層サブシステム（Ｐ’’、Ｐ’’’）を備え、周期（Ｐ_２、Ｐ_３）が高屈折率層（Ｈ’’、Ｈ’’’）及び低屈折率層（Ｌ’’、Ｌ’’’）に関して異なる材料から構成される２つの個別層を含み、各サブシステム（Ｐ’’、Ｐ’’’）内で、隣接する層サブシステムの周期の厚さから逸脱した一定の厚さ（ｄ_２、ｄ_３）を有する、ＥＵＶ波長域用のミラー（１ａ；１ｂ；１ｃ）に関する。ミラーは、基板（Ｓ）から２番目に遠い層サブシステム（Ｐ’’）が有する周期（Ｐ_２）の配列が、基板（Ｓ）から最も遠い層サブシステム（Ｐ’’’）の第１高屈折率層（Ｈ’’’）が基板から２番目に遠い層サブシステム（Ｐ’’）の最終高屈折率層（Ｈ’’）の直後に続くように、且つ／又は基板（Ｓ）から最も遠い層サブシステム（Ｐ’’’）が基板（Ｓ）から２番目に遠い層サブシステム（Ｐ’’）の周期（Ｐ_２）の数（Ｎ_２）よりも多い周期（Ｐ_３）の数（Ｎ_３）を有するようになっていることを特徴とする。本発明はさらに、上記ミラー（１ａ；１ｂ；１ｃ）を備えるマイクロリソグラフィ用の投影対物レンズ、及び当該投影対物レンズを備える投影露光装置に関する。 （もっと読む）

【課題】Ｍｏ、Ｓｉの多層膜を含む多層膜反射鏡を製造するにあたり、製品ごとの反射率のバラつきを低減する。
【解決手段】ＭｏとＳｉのターゲット１１、１２を交互にスパッタして反射多層膜を成膜する工程において、Ｍｏ層の内部応力は、真空チャンバー１内の雰囲気ガスの水分圧値に応じて変化し、製品ごとの反射率のバラつきを招く。そこで、Ｍｏ層の成膜工程において、真空チャンバー１に導入される高純度アルゴン２２と水を０，１％添加したアルゴン２３の混合比を調整することで真空チャンバー１内の雰囲気ガスの水分圧値を一定に制御し、ロットごとに多層膜の反射率が変化するのを防ぐ。 （もっと読む）