【課題】全反射する光の入射角を正確に制御することができる入射光学系、及びラマン散乱光測定装置を提供することにある。
【解決手段】本発明の入射光学系では、平面状の試料面１１１及び半球面状の曲面１１２を有する透光部材１１と、反射面１２１が回転放物面１２２の一部をなす放物面鏡１２とを備え、曲面１１２が反射面１２１に対向し、試料面１１１上の球中心が回転放物面１２２の焦点１２５に一致する。回転放物面１２２の回転対称軸１２３に平行なレーザ光（光束）Ｌは、反射面１２１で反射し、試料面１１１上の焦点１２５へ集光する。試料面１１１でレーザ光Ｌが内部全反射して発生したエバネッセント光により試料Ｓからラマン散乱光が発生する。レーザ光Ｌの光軸を回転対称軸１２３に接離する方向に移動させることにより、試料面１１１に対するレーザ光Ｌの入射角を変更することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、軽量化されているにもかかわらず依然として高い剛性を保つ鏡体支持体用の基板を提供することである。
【解決手段】基板、特に鏡体支持体用の基板において、該基板の一方の面、好ましくは裏面に凹部が導入され、その結果、特に凹部間につなぎ部材が画定され、それによって、軽量化されているにもかかわらず依然として高い剛性を保つという状況が達成される。このことは、基板が、該基板用に設けられた保持装置内に正しく取り込まれた後でわずかにしかたるまないことを意味し、つなぎ部材の少なくとも１つの第１の部分はつなぎ部材の第２の部分とは異なる幅を有する。 （もっと読む）

【課題】透過性の窓を有する光学ミラー素子を提供すること。
【解決手段】本願の一実施形態による光学ミラー素子は、第１の表面および第２の表面を有する光透過性の素子と、ミラー表面を定義する上記第１の表面上の反射コーティングであって、上記第１の表面の上記第１の部分は、上記第１の部分がミラー表面において光透過性の窓を定義することができるように、上記反射コーティング層を含んでいない、反射コーティング層とを備えている、光学ミラー素子である。 （もっと読む）

【課題】高反射部の反射率の経時的な低下を防止し易く、検出精度を長期間維持することが可能な光学式エンコーダのスケールを提供する。
【解決手段】基板２１と、基板２１の表面に形成された低反射率材料層２３と、低反射率材料層２３の表面に形成され、低反射率材料層２３より反射率が高い高反射率材料層２５と、高反射率材料層２５の表面に形成された透光性保護層２７とからなり、高反射率材料層２５が低反射率材料層２３の表面の複数の部分を覆うことで、低反射率材料層２３からなる低反射部３３と高反射率材料層２５からなる高反射部３５とでパターン３１が構成され、高反射率材料層２５は、基板２１の周縁２１ｅより内側に離間して配置され、透光性保護層２７は、高反射率材料層２５の表面及び全ての縁部２５ｅを被覆している。 （もっと読む）

【課題】特別な設備を必要とすることなく光源装置の反射鏡が曇るのを防止することが可能な、光学部材を提供すること。
【解決手段】支持部（透明ガラス１６ａ）と、支持部に支持され、所望の波長の光１４ｂ（例えば、紫外線光から可視光線）を反射させる反射部１６ｂと、支持部に支持され、少なくとも前記所望の波長以外の光１４ｃ（例えば、赤外線光）を反射部に向けて反射し、反射部を加熱する熱線反射部１６ｃとを具備してなる。 （もっと読む）

【課題】検出光を広範囲にわたって均一に照射することができる光学系を簡易な構造で実現することが可能な光反射装置を提供する。
【解決手段】平行光出力部９００は、本体部２３と、本体部２３に設けられ、放物曲面２１の内面２１ａに小さい平面鏡２２を多数並べた反射鏡２０と、を備えている。この反射鏡２０は、放物曲面の一部のみを用いた楕円形状であり、焦点ｆを有する。レーザ光Ｌ８が反射鏡２０の平面鏡２２で反射したレーザ光Ｌ２ａ，Ｌ２ｂ，Ｌ２ｃを含むレーザ光Ｌ２は、所定の照射範囲を照射する。反射鏡２０の焦点ｆは、オフセットされた位置に存在する。 （もっと読む）

【課題】本発明は二軸駆動の光学反射素子において、小型で振動の周波数比を大きくすることができる光学反射素子を提供することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、ミラー部１と、第一の支持部２で連結された一対の音叉型振動子３と、第二の支持部５で連結された枠体６と、この枠体６と一端７が連結されたミアンダ型振動子８と、ミアンダ型振動子８の他端９が連結された支持体１０とを備え、音叉型振動子３は、第一のアーム１２と第二のアーム１３とを有し、音叉型振動子３の回転軸２８Ｂと、ミアンダ型振動子８の回転軸２８Ａとは直交した構成とする。 （もっと読む）

【課題】 ＭＥＭＳ光学台において自由空間を介した光のルーティングを正確に制御する。
【解決手段】 光学台（１０２）は、台に形成された複数の溝の自由空間を介して光を伝達し、各溝は深掘りイオン反応性エッチングにより形成されて２つの対向する側壁により定義され、対向する側壁間に自由空間が存在する。例示的な実施例は、光ビームを受け取り、自身の自由空間を介して光ビームを伝達するように動作可能な第１の溝（１０４）と、第１の溝を介してルーティングされた光ビームを受け取り、光ビームの少なくとも一部を反射するように動作可能な角度のついた反射側壁（１０８）と、角度のついた反射側壁（１０８）から反射された光ビームの一部を受け取り、自身の自由空間を介して光ビームの一部をルーティングするように動作可能である第２の溝（１０６）とを具備する。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ装置におけるテレセントリック性を測定および補正するシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】放射ビームは複数のビームに分割され、その各々は個別制御可能素子アレイを用いて変調され、投影系により基板の一部に投影される。一組のアライメントビームは複数の放射ビームと類似の光路を同時に伝送される。対応する一組のセンサは、それぞれ一組のアライメントビームの角度および位置を投影系の入射口の近傍で測定する。テレセントリック制御ミラー（ＴＣＭ）の組立体は、検出された生じたテレセントリック性を補正するために測定結果に応じて、複数の放射ビームのうち適切なものを調整する。 （もっと読む）

極端紫外線（ＥＵＶ）顕微鏡はサンプル（５）を分析するように構成される。この顕微鏡は、約２〜６ｎｍの範囲内の波長を有するＥＵＶ放射を発生させるように構成されたＥＵＶ放射源（２）と、ＥＵＶ放射でサンプルを照明し、サンプルから放出される放射（６）を集めるように構成された光学システム（３）とを含む。光学システムは、約２〜６ｎｍの範囲内の放射の少なくとも一部の同相反射のための多層構造を含む少なくとも１つのミラーを備える。 （もっと読む）

【課題】円錐体表面に反射部を有する光反射装置において、多様な用途に使用可能にすること。
【解決手段】光反射装置１０２の円錐体１０３には、反射部１０４が円錐体１０３の頂部２０１を含む円錐状領域に設けられ、環状の反射部１０６が環状の非反射部１０５を挟んで同心円状に設けられている。光源１０１から光１０７を光反射装置１０２の頂部２０１側へ向けて照射すると、中心部分の光２０２は円錐領域である反射部１０４によって反射され、シート状で円形状の光１０８となって円筒部材１１０内面側に照射される。これによって円筒部材１１０内面は線状に照射される。外側部分の光２０３は反射部１０３によって反射され、所定の厚みを有し円形状の光１０９となって円筒部材１１０内面側に照射される。これによって円筒部材１１０内面は帯状に照射される。 （もっと読む）

【課題】安価、かつ簡素な構成で光波の位相分布を高精度に演算し、光波の位相分布を高速度に制御することができる位相分布制御装置を提供する。
【解決手段】ＳＬＭ３で位相変調された光波を集光する集光レンズ４と、集光された光波を反射光波と透過光波とに分割する第３スプリッタ５と、透過光波を屈曲する平面ミラー６、７と、反射光波および屈曲された透過光波を受光し、強度分布を画像信号として出力するＣＣＤカメラ２０と、ＳＬＭ３で位相変調された光波の位相分布信号を出力する信号処理装置２１と、ＳＬＭ３で位相変調された光波の位相分布が所定の位相分布になるように、ＳＬＭ３に制御信号を出力するＳＬＭ制御装置２２とを備え、第３スプリッタ５および平面ミラー６、７は、反射光波と平面ミラー６、７で屈曲された透過光波とが、互いに略平行になり、かつそれぞれ受光面１１の異なる箇所に入射するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】 正確な曲率可変制御が期待できる可変曲率ミラーデバイス及びその製造方法を提供することを課題とし、特にマイクロマシン技術またはこれに準じた微細加工技術によって得られる小形かつ正確な可変曲率ミラーデバイスおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 基材薄板（１）と、該基材薄板とは異なる熱膨張係数を有する素材を前記基材薄板表面に被着せしめたミラー金属薄膜（３）と、前記基材薄板の内部または表面に形成された加熱素子（４）と、から構成される可変曲率ミラーデバイスである。この可変曲率ミラーデバイスの製造に当たっては、基材薄板（１）の出発原料として単結晶シリコンウェハ、ＳＯＩウェハが使用可能であり、半導体加工技術、ＭＥＭＳなどの技術を個々にまたは組み合わせた製造プロセスからなる可変曲率ミラーデバイスの製造方法が適用可能である。 （もっと読む）

【課題】少ない材料および少ないコストで、効果的にかつ確実に必要な補強効果を得られるミラー補強方法と、そのミラー補強方法によって補強されたミラーを提供する。
【解決手段】本発明は、反射面１ａが細長く延びた形状のミラー１の補強方法であって、前記ミラー１の反射面１ａに対する側面に補強部材２を固定し、かつ前記補強部材２は条件式、
０．８×Ｌｍ≦Ｌｈ
Ｌｍ：ミラーの長手方向の長さ（ｍｍ）
Ｌｈ：補強部材の長手方向の長さ（ｍｍ）
を満たすように構成したので、補強部材を貼り付けたのに十分なミラー補強効果が得られないというようなことがなく、効率良いミラー補強を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】ハーフミラーを配置したデジタルカメラにおいて、ガラスハーフミラーに起因する諸問題を解決したデジタルカメラを提供する。
【解決手段】複数の微小孔４０１ａを有し、入射光束の一部を反射し、残りを通過させるハーフミラー４０１と、このハーフミラー４０１で反射された光束を受光する測距／測光センサと、上記複数の微小孔４０１ａを通過した光束を受光するＣＣＤ２２１を具備し、ハーフミラー４０１の通過光束でもってスルー画表示を行うと共に、ハーフミラー４０１の反射光束に基づいて測距／測光を行う。 （もっと読む）

活性層４を含む調光ミラー素子であって、該活性層４が、水素の添加／除去によってその光学的特性を変化し、Ｍｇ遷移金属層又はＹ若しくは希土類をベースとする層を含み、その片側に保護層３が提供され、該保護層３が水素及び酸素に透過性且つ水に不透過性の層を含む調光ミラー素子において、前記層が液体の水に不透過性かつ水蒸気に透過性でありかつ疎水性表面特性を有することを特徴とする、調光ミラー素子。活性層４と保護層３の間にｐｄ触媒層５を形成してもよい。 （もっと読む）

【課題】複屈折材による光学ローパスフィルタを不要とし、低価格化かつ小型化が可能な撮像光学系を備えたカメラを提供する。
【解決手段】撮像レンズを介した被写体光による像を撮像素子により撮像するカメラにおいて、透明部材の第１面と第２面とに反射率Ｒ１の第１反射部３０３と反射率Ｒ２の第２反射部３０４を所定間隔をもって設け、その反射率Ｒ１と反射率Ｒ２との関係をＲ２＝Ｒ１／(１−Ｒ１)^２とした反射部材１０３を介し、前記被写体光が前記撮像素子へ向けて入射するようにした。 （もっと読む）

【課題】反射率に影響を与えることなく、多層膜ミラーが有する内部応力の解消を図ることが可能となる多層膜ミラーを提供する。
【解決手段】Ｘ線領域における、真空の屈折率との差が相対的に大きい屈折率を有する低屈折率層と、相対的に小さい屈折率を有する高屈折率層とを、交互に積層した多層膜を基板上に有する多層膜ミラーを構成する。
そして、このような多層膜ミラーの基板１１と多層膜１５との間に、元素の一部に置換型拡散可能で且つ原子半径が異なる他元素を含有させた材料で構成された応力緩和層１２が設けられた構成とする。 （もっと読む）

回折が制限された光ビーム束の反射のための二面反射鏡（１´、１´´）は、本発明による実施例であり、絶対的な付加定数ゼロが第１と第２の反射要素の特性の目標とされる選択と距離測定のための基準軸RAに関する配置から結果するように、たとえば、反射フィルムとキャッツアイ反射鏡（３）のような平面の第１および第２の反射要素が反射鏡の基準軸に対して配置される。したがって、距離の測定は、自然表面についての距離の測定に本質的に対応する。この距離測定は、更なる補正なしに、基準軸（RA）に直接関連つけることが可能となる。
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【課題】反射面光束の波面ひずみを補正する可変形状ミラーを用いて眼底観察装置を含む光学装置収差を補償する。
【解決手段】 複数の電極部と、これらの電極と対向して配置され電極部に印加された静電電圧により歪みを生じる薄膜状の反射面とを備え、前記反射面の反射光を検出して、所望の反射面形状をなすときの各電極部への印加電圧を測定し、一の基準となる反射面形状に対応する各電極部への印加電圧を１つの組として、所定の異なる数の反射面形状に対応する所定の組数を記憶し、前記記憶された電極部と印加電圧との組を重ね合わせることにより所望の形状に反射面を変形させ、収差を補償する。反射面の基準反射面形状をゼルニケ多項式の所定の次元に関連させて記憶しておくことが望ましい。 （もっと読む）