【課題】より安定な光学性能を有する光走査装置及び該光走査装置を含む画像形成装置を提供する。
【解決手段】光源から放出される光ビームを、少なくとも一つのレンズを通じて、ねじり梁を備えた振動ミラーに照射し、該ねじり梁を軸として該振動ミラーを振動させることによって、該光ビームで対象を走査する光走査装置は、該光源及び該少なくとも一つのレンズの相対的な配置を調整する調整手段を含む。対象に画像を形成する画像形成装置は、上記光走査装置を含む。 （もっと読む）

本発明は、光学装置、特に対物レンズ、好ましくはマイクロリソグラフィ用対物レンズの光学素子を補正光により照射するための補正光装置に関する。少なくとも１つの補正光源および少なくとも１つのミラー装置（２２）が設けられており、ミラー装置は、方正光源からの光を光学素子（６）の方向に偏向し、これにより、光学装置における少なくとも１つの光学素子の少なくとも１つの表面（９）の少なくとも部分を局所的および／または時間的に可変に照射し、補正光は低角度下に光学素子の表面に入射する。光学素子の場所における光学装置の光軸と補正光線との間の鈍角は１０５°以下、特に１００°以下、有利には９５°以下である。
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【課題】安定的な冷却効果をガルバノシステムのフォーカスレンズにもたらすレンズ系冷却システムを提供する。
【解決手段】レーザー光軸に平行に可動するレンズ及びレンズホルダを冷却するレンズ系冷却システムであって、当該レンズ系冷却システムでは、可動領域をトンネル形状で覆うように構成される冷却ジャケットと、レンズ及びレンズホルダの可動領域に圧縮エアを送気するための圧縮エア流路と、が設けられ、当該冷却ジャケットは、レンズ及びレンズホルダとの間の輻射による熱交換を利用して、レンズ及びレンズホルダとを冷却するために、内部に冷却ジャケット本体を冷却するための冷却オイル流路が設けられ、当該圧縮エア流路は、冷却ジャケットと、レンズ及びレンズホルダとの間の輻射を促進するために、レンズホルダ可動領域に吹き付けられる圧縮エアを送気するために設けられる、レンズ系冷却システムによって解決される。 （もっと読む）

【課題】長時間にわたる経時的な観察を行う場合においても、レーザ光の光軸の位置ズレを精度よく補正して、安定した観察を行う。
【解決手段】光源７と、強度変調器８と、強度変調されたレーザ光Ｌを走査するスキャナ１４と、レーザ光Ｌを標本Ａに集光し、標本Ａにおいて発生した蛍光を集光する対物レンズ１５と、集光された蛍光を検出する光検出器１７と、強度変調器８と対物レンズ１５との間において、光源７からのレーザ光Ｌの位置ズレを検出するレーザ位置検出部１１およびその検出結果に基づいて位置ズレを補正するレーザ位置補正部１０と、これらを制御する制御部４とを備え、制御部４が、光検出器１７およびスキャナ１４を作動させる蛍光検出開始時刻から強度変調器８を安定させるのに要する時間と、レーザ光Ｌの位置ズレ検出および位置ズレ補正に要する時間との和だけ遡った時刻より前に強度変調器８を作動させるよう制御する顕微鏡装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】試料の深さ方向の分解能を高めることができるスリット走査共焦点顕微鏡を提供する。
【解決手段】スリット状光源１、照明光学系２により、試料３上の結像面にスリット状光源１の像を結像する。これにより、試料３から発生する光は、結像光学系４により、試料３から発生する光の像を、１次元撮像素子であるラインセンサ５上に結像する。ラインセンサｂは、スリット状光源１と共役な位置に設けられており、信号Ｓｂを出力する、その横に補助ラインセンサａ、ｃが設けられており、それぞれ信号Ｓａ、Ｓｃを発する。信号の差分｛Ｓｂ−（Ｓａ＋Ｓｃ）｝をラインセンサｂの修正出力として、これに基づいて画像を形成することにより、試料の深さ方向の分解能を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】画像のサイズの変更を画像劣化を伴わず、しかも装置の大型化を抑制することができる画像表示装置を提供すること。
【解決手段】ドットクロック毎に読み出される画像信号に応じた光束を生成して出射する光束生成器と、光束を２次元走査することにより画像を表示する光走査部とを有し、光束生成器における光束の出射タイミングを変更して、表示する画像のサイズを変更する。この光束生成器における光束の出射タイミングの変更は、ドットクロックの周期を変更することによって行われる。 （もっと読む）

【課題】スリットの長さ方向の分解能を高めることができるスリット走査共焦点顕微鏡を提供する。
【解決手段】ダブプリズム１１を走査光学系６と対物レンズ７との間に入れると、光束が９０°回転し、スリット２の像と走査方向が９０°回転する。よって、ダブプリズム１１を走査光学系６と対物レンズ７との間に入れた状態と入れない状態で撮像を行って検査対象物７の画像を２種類作成し、これらを合成することにより、スリット２の長さ方向の分解能を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】 画像投射光を導光路を用いて伝播させることにより、薄型化を可能にした導光路型表示装置の投影画像の歪を、小型かつ低コストの簡単な構成で低減する。
【解決手段】 ランプ光源１から発せられ、液晶表示素子２により空間変調され、投射レンズ３で拡大された画像投射光の投射光路を、２面の軸対称性を持たない自由曲面レンズ４、５により補正し、平面で構成された楔状導光板の入射面６ｉ上の同一の位置Ｉに入射させ、楔状導光板６内を伝播した画像投射光が、楔状導光板の出射面６ｂの所定の位置から出射させ、スクリーン７上の所定の位置に表示させる。 （もっと読む）

【課題】微小光変調要素の動作パターンを変更することなく、スキャン手段の走査だけで、鮮明な画像を取得するとともに、画像取得の高速化を図る。
【解決手段】走査型顕微鏡１０は、レーザ光源１と、２次元配列された複数のマイクロミラー２３を備えるＤＭＤ７と、レーザ光源１から発せられ、ＤＭＤ７を通過したレーザ光を一方向に走査するガルバノミラー９と、ガルバノミラー9により走査されたレーザ光を集光して試料１９に照射する対物レンズ１１と、少なくとも１次元配列された複数の画素を有し、試料１９からの光を検出する光検出器１７とを備え、ＤＭＤ７が、対物レンズ１１の試料側焦点位置と光学的に共役な位置に配置されるとともに、ガルバノミラー9による走査方向に直交する方向に隣接する列のマイクロミラー２３の内、前記走査方向に間隔を空けたマイクロミラー２３´をオン状態にする動作パターンで作動させられる。 （もっと読む）

【課題】新規な発想に基づいた回折格子、光変調器及びこれを用いた表示装置を提供する。
【解決手段】同一面上において第１の方向に併設された複数の梁体を備え、前記第１の方向にみた前記梁体の間隔が可変とされ、前記第１の方向にみた前記梁体の配置が第１の周期を有する第１の状態と、前記第１の方向にみた前記梁体の配置が前記第１の周期とは異なる第２の周期を有する第２の状態と、を選択的に形成可能であることを特徴とする回折格子が提供される。また、光源と、上記の複数の回折格子を前記第１の方向に併設され前記光源から放射された光が入射される回折格子と、前記回折格子の前記第１及び第２の状態のいずれかにおいて生じた回折光を選択的に取り出す光学手段と、前記光学手段により取り出された前記回折光をスクリーンに投影する投影手段と、を備えたことを特徴とする表示装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】スクリーンの大型化が可能であり、シースルーディスプレイとして利用できるとともに、高輝度・高画質で、かつ、長寿命のプロジェクションディスプレイを提供する。
【解決手段】プロジェクションディスプレイ１ａは、紫外域のレーザ光を発する光源２と、映像信号変調器１５及び音響光学素子１６からなる光変調手段３と、レーザ光を集光するリレーレンズ４ａと、垂直偏向鏡５ａ及び水平偏向鏡５ｂからなる光偏向手段５と、レーザ光７が照射されるスクリーン６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】回折格子型の光変調装置の製造上のばらつきによって生じる画像のスジを低減し、良好な画像表示を可能とする、画像投影装置を提供する。
【解決手段】光源１００と、回折格子型の光変調装置１０２と、投影光学系１１０と、走査光学系１０７とを有し、さらに１次元像発生装置６０を備え、この１次元像発生装置６０により、光変調装置１０２により発生した主１次元像と比較して、光量の充分に小さい副１次元像を発生させる画像投影装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】ビデオレート以上の走査速度で、顕微鏡観察に必要な視野数および開口数を達成し、かつ、簡易な構成で走査速度を変更する。
【解決手段】レーザ光源１５と、該レーザ光源１５から出射されるレーザ光を標本Ａに対して走査する走査手段１７と、該走査手段１７により走査されたレーザ光を標本Ａに集光させる対物レンズ５とを備え、走査手段１７が、電流の注入により屈折率のグラデーションが誘起される電気光学結晶を備える電気光学偏向素子２１，２２を備えるレーザ顕微鏡１を提供する。 （もっと読む）

【課題】大きく偏向されたレーザー光でも、常に対物レンズの瞳中心に入射されるように構成され、像面湾曲及び諸収差を低減でき、さらには、装置の省スペース化を図ることができるレーザー描画装置を提供する。
【解決手段】レーザー光源４と、レーザー光源４から出射されたレーザー光６を偏向させる為の走査部５と、偏向されたレーザー光６を対物レンズ７に入射させるための相対向する第１のｆθレンズ群２、及び第２のｆθレンズ群３とを有し、第１及び第２のｆθレンズ群は、出射瞳が無限遠でありテレセントリックな光学系をなすことにより、常時対物レンズ７の瞳中心に前記レーザー光６を入射させるようにしてなる。 （もっと読む）

【課題】信頼性を向上させることが可能な走査装置及び走査型光学装置を提供すること。
【解決手段】内部に生じる電界の大きさに応じて屈折率分布が変化することによって入射されたレーザ光を走査する光学素子１３と、該光学素子１３の対向する２つの面にそれぞれ配置された第１電極１１及び第２電極１２と、光学素子１３に時間的に電界の方向が一方向Ａと該一方向と反対の他方向Ｂに生じるように、第１電極１１及び第２電極１２のうち少なくとも一方に印加する電圧を制御する制御部２０とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明はスクリーンとディスプレイ装置との距離にかかわらず映像を歪みなく投射できる映像歪み除去のための映像処理方法及びその装置を提供する。
【解決手段】回折型光変調器を用いたディスプレイ装置の映像歪み補正方法において、（ａ）原本映像座標値に縮小ファクタを乗じて縮小映像座標値を算出する段階と、（ｂ）前記算出された縮小映像座標値を変換映像座標値と比較する段階と、（ｃ）前記変換映像座標値に対応される前記縮小映像座標値を抽出する段階と、（ｄ）前記縮小映像座標値の階調値から前記変換映像座標値の階調値を算出する段階と、（ｅ）前記算出された変換映像座標値の階調値に応じて前記回折型光変調器を動作させる段階とを含む。 （もっと読む）

【課題】易な構成で、所望の色を得ることができ、高精度なレーザ光の走査を行うことが可能な走査型光学装置を提供すること。
【解決手段】異なる波長域のレーザ光を射出する複数の光源１０と、内部に生じる電界の大きさに応じて屈折率分布が変化することによって、光源１０から射出されるレーザ光を被投射面１５に向かって走査する電気光学素子２１と、該電気光学素子２１から射出された複数のレーザ光の被投射面１５上の走査位置に応じて複数の光源１０を個別に制御する制御手段３０とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、高精度なレーザ光の走査を行うことが可能な走査型光学装置を提供すること。
【解決手段】異なる波長域のレーザ光を射出する光源１０と、内部に生じる電界の大きさに応じて屈折率分布が変化することによって、光源１０から射出されるレーザ光を走査する電気光学素子２１と、該電気光学素子２１の射出側に設けられ、被投射面１５において同一の領域が照射されるように異なる波長のレーザ光の光路を補正する光路補正光学系２５とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被走査面に照射される光ビームの光量分布のピーク値が、走査光学系の光軸付近で最大値を取るとともに該光軸から主走査方向に離れるに連れて減少する。
【解決手段】露光信号のパルス幅を、下記の変換パターンに基づいて変換することで、補正露光信号を生成する露光信号補正工程と、光源から射出される光ビームの光量を下記の光量パターンに基づいて制御しつつ、該光ビームを補正露光信号により変調するビーム変調工程とを備える。変換パターンは、パルスに対応する照射領域と走査光学系の光軸との主走査方向における距離の遠さに応じて、該パルスのパルス幅を短くするパターンであり、光量パターンは、光源から射出される光ビームの照射領域と走査光学系の光軸との主走査方向における距離の遠さに応じて、該光ビームの光量を大きくするパターンである。 （もっと読む）

【課題】光束の２次元的な走査によって画像を表示し、少なくとも小画面表示モードと大画面表示モードとを有する画像表示装置において、省電力化を図ることができる画像表示装置および画像サイズ変更方法を提供する。
【解決手段】光束の２次元的な走査によって画像を表示し、少なくとも小画面表示モードと大画面表示モードとを有する画像表示装置であって、前記光束を２次元的に走査する光走査部と、前記光走査部の動作を制御する制御部とを有し、前記制御部は、前記光走査部に前記光束の走査角を変更させる制御を行うことにより、前記大画面表示モードと前記小画面表示モードとを切り替える。 （もっと読む）