【課題】薄型の基板に光学膜が形成されたときに、特別な修正用の薄膜を形成することなく、光学膜による膜応力を緩和して、光学膜の平面化を図ることを目的とする。
【解決手段】反射多層膜１２の応力を緩和するために、透明基板１０の被成膜面１０Ｓと被摺面１０Ｒとで面の粗さに差を持たせて、被成膜面１０Ｓには反射多層膜１２を形成し、被摺面１０Ｒを摺面化して摺面１３を形成する。反射多層膜１２は膜応力を有しているため、被成膜面１０の方向に凸の歪みを生じさせ、また摺面１３が形成されることにより、トワイマン効果による応力が作用し、摺面１３の方向に凸の歪みを生じさせる。膜応力と摺面形成による応力とは、相互に逆の方向に湾曲させるため、相互に応力をキャンセルし合い、反射多層膜１２を平面化させる。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて透明性が高く遮蔽係数の小さい透明熱反射積層体を提供する。
【解決手段】透明誘電体と金属の多層膜よりなる可視光に透明で低熱放射率の透明熱反射膜と、基板よりなる積層体で、該金属の少なくとも１つがネオジウムまたはイットリウムを含む銀合金、また好ましくは全ての金属がネオジウム及び銅を含む銀合金よりなる。本発明の積層体は、可視光透過率が高く、近赤外光の遮蔽性能が高い性能を持つことを見出した。 （もっと読む）

光信号の複数回のフィルタ通過が行われて光信号から目標スペクトル成分を除去することができるノッチフィルタシステムが提供される。有利なことに、このノッチフィルタシステムは調整可能である。カスケードの形に構成された多重ノッチフィルタを含むカスケードノッチフィルタシステムが提供され、フィルタのそれぞれが、スペクトルフィルタリング特性を有し、また、その中を光信号が通るときに目標スペクトル成分が光信号からフィルタ除去されるように、適切なフィルタ角度で光信号の経路内に配置される。光信号がフィルタ中を通過するときに目標スペクトル成分が光信号からフィルタ除去されるように、スペクトルフィルタリング特性を有するノッチフィルタと、光信号が適切な角度でフィルタ中を複数回フィルタ通過するように導くための光学アセンブリとを含むマルチパスノッチフィルタシステムが提供される。
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本発明は、非反射性または反射性を有し、かつ、少なくとも１つの主面を有する光学製品の製造方法であって、基材の１つの主面上に１層の副層を堆積する工程と、イオンボンバードメント処理によって前記副層を処理する工程と、前記副層上に、少なくとも１層の高屈折率層および少なくとも１層の低屈折率層を含む多層スタックを堆積する工程とを含む製造方法に関する。好ましい実施形態に従って、副層の堆積は、堆積する工程中に気体が供給される真空チャンバー内で行われる。 （もっと読む）

【課題】小型、かつアライメントが容易な光フィルタモジュールを提供する。
【解決手段】 対応する波長の光を反射する反射面をそれぞれ有する複数の基板が、反射面が平行になるように積層されてなるフィルタ基板を備え、第１光ファイバおよび複数の第２光ファイバの一方の先端部は、各反射面に関して同じ側において、フィルタ基板に光学的にそれぞれ接続され、第１光ファイバは、その軸方向が各反射面に垂直な方向に対して角度αになるように配置され、複数の第２光ファイバは、第１光ファイバと同一平面上において、各反射面に垂直な方向に関して第１光ファイバと反対側に、その軸方向が反射面に垂直な方向に対して角度αになるようにそれぞれ配置されている。 （もっと読む）

【課題】照明器具用光学フィルタにおいて、光学フィルタを透過した光を、赤色の物体をより鮮やかな赤色に見せ、かつ光源色と同等の色とする。
【解決手段】照明器具用光学フィルタは、波長略５８０〜５９０ｎｍの光透過率が波長略６００〜７００ｎｍの平均光透過率の略５０％以下となるように、波長略４００〜５００ｎｍの光透過率が波長略６００〜７００ｎｍの平均光透過率の略６０〜８０％となるよう形成されている。そのため、照明器具用光学フィルタを透過した光は、赤色の物体をより鮮やかな赤色に見せ、かつ光源色と同等の色とすることができる。 （もっと読む）

温度応答切換型光ダウンコンバーティング（ＴＳＯＤ）フィルタ（１００）は、ダウンコンバータ（１０２）を含む自己調節デバイスであり、そのダウンコンバータ（１０２）は、当該デバイスの温度に応じて、種々の波長を有する入射光をそれより長い波長の放射光に変換し、さらに、その放射光を、１以上のバンドブロックフィルタ（１０１，１０３）を用いて入射方向または出射方向に誘導する。放射エネルギーの流れに関するこのような制御は、当該デバイスの熱伝導率すなわち断熱特性から独立して発生し、この制御は、入射可視光の像および色の特性を維持しても維持しなくてもよい。ＴＳＯＤフィルタ（１００）は、外部電源を必要とすることも、作業者からの信号を必要とすることもなく、建物、乗物およびその他の構造物の内部温度および照度を調節するために使用することが可能であるため、ＴＳＯＤフィルタ（１００）は、エネルギー効率を向上させるという意義がある。ＴＳＯＤフィルタ（１００）は、従来の窓、天窓、ステンドグラス、照明設備、ガラス製のブロック、ブリックおよび壁のいずれにもない固有の光学特性を有するため、ＴＳＯＤフィルタ（１００）には美観を向上させるという意義もある。ＴＳＯＤフィルタ（１００）は、建材としての特定の用途を有するが、それに限定されない。 （もっと読む）

【課題】極端紫外線用の反射鏡の多層膜構成を簡略化し、製作効率の向上および製造コストの低減を図る。
【解決手段】第１材料Ａと第２材料Ｂからなる２層構成の第１積層体２の上に、第１材料Ａと第２材料Ｂと第３材料Ｃからなる３層構成の第２積層体３を積み重ねた多層膜反射鏡を製造する。２層構成と３層構成を組み合わせることで、全体が３層構成の多層膜反射鏡に比べて膜構成の複雑化を抑制することができる。多層膜反射鏡の入射面に近い３層構成の第２積層体３の周期数を２層構成の第１積層体２の周期数より小さくして、全体を３層構成にした状態と同等の反射率を得られるよう、層数および厚さを最適化する。 （もっと読む）

【課題】露光に不要な非露光光のウエハへの到達を抑制し、露光精度を良好に維持できる光学素子、露光装置、及びこれらを用いたデバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】光学素子１００は、露光光である例えば極端紫外線を反射する多層膜１０３と、多層膜１０３の最表層に設けられて光学素子１００の反射特性を調整する反射調整層１０５とを備える。反射調整層１０５は、光源光に含まれる露光光の反射率と比較して、光源光に含まれる露光光以外の非露光光の反射率が低くなるように、光学素子１００の反射特性を調整する。 （もっと読む）

基板のビーム結合側に施された硬質誘電体コーティングを有する楔形の透光性基板を備えるビーム遮断および結合光学部品。コーティングは、レーザー波長において高反射率を有し、可視波長において高透過率を有する。単一の光学部品が、良好なカラーバランス、観察路中の非常に低い非点収差、および反射レーザービーム中の非常に低い非点収差を提供すると同時に、レーザービームを観察路に結合し、反射レーザー光線から観察者を保護するためのレーザー安全フィルタとして作用することができる。
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本発明は、金属を含む少なくとも１つの赤外線反射層と、ナノ粒子を含む少なくなくとも１つの赤外線吸収層とを備えた太陽光制御フィルムに関するものである。このフィルムでは、赤外線吸収層は、赤外線反射層よりも太陽から遠くに配置されている。赤外線エネルギーの最初の反射と、その後の赤外線エネルギーの吸収とを組み合わせることによって、反射と吸収との間の最適条件を得ることができる。
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【課題】反射防止膜やミラーを構成する光学多層膜の応力を低減し、変形の少ない多層膜光学素子を実現する。
【解決手段】基板１上に積層される高屈折率膜２と低屈折率膜３からなる光学多層膜に、非晶質のＳｃＦ₃ 膜からなる応力緩和層４を挿入する。ＳｃＦ₃ は、他の材料に比べて大きな圧縮応力を有するため、膜厚が小さくても光学多層膜の引張応力を相殺できる。基板１上に金属膜５を有する場合には、非晶質のＳｃＦ₃ 膜からなる応力緩和層４を金属膜５の上に挿入することで、防湿、防錆の効果も期待できる。 （もっと読む）

【課題】高反射帯域が広い光学多層膜ミラーおよびそれを備えたファブリペロー干渉計を提供する。
【解決手段】第２、第４高屈折率膜５、９の壁面、つまり第１、第２低屈折率層４、８を貫通して第２、第４高屈折率膜５、９のうち第１、第２低屈折率層４、８の上面を覆う部分を支えるような補強部を設ける。これにより、第１、第２低屈折率層４、８の機械的な強度が不足しても、それにより第２、第４高屈折率膜５、９が反る等の問題が発生しなくなる。したがって、第１〜第４高屈折率膜３、５、７、９や第１、第２低屈折率層４、８の材料の選択により、高ｎ比を達成した場合にも、第２、第４高屈折率膜５、９が反る等の問題が発生しないため、高反射帯域が広い光学多層膜ミラーを備えたファブリペロー干渉計とすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】液晶装置等の電気光学装置において、温度上昇を抑制し、高い信頼性を確保する。
【解決手段】電気光学装置は、表示領域（１０ａ）に光源から光源光が入射される電気光学パネル（１１０ａ）と、該電気光学パネルにおける光源光が入射される側に、表示領域を少なくとも部分的に覆うように設けられており、光源光のうち少なくとも第１波長範囲内の光を透過すると共に少なくとも第１波長範囲よりも長波長側の第２波長範囲内の光を反射する光学薄膜（８１０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】使用するコリメートレンズの数を減らし、小型化を図ること。
【解決手段】波長合分波モジュール１００は、レンズ１２０と、多層膜フィルタ部材１３０と、レンズ１４０と、を備える。レンズ１２０は、異なる複数の波長からなる合波光をコリメートする位置に設けられる。多層膜フィルタ部材１３０は、互いに異なる角度を有して配置された複数のフィルタ膜１３１〜１３３から形成され、レンズ１２０によってコリメートされる合波光が斜めに入射および出射の少なくとも１つを行う位置に設けられ、合波光を波長毎に分波して、分波したそれぞれの分波光を反射させる。レンズ１４０は、多層膜フィルタ部材１３０によって反射したそれぞれの分波光をそれぞれ異なる位置に集光する位置に設けられる。 （もっと読む）

【課題】平板部同士の接合位置、機能層の位置、平板部の厚さ、平板部の屈性率などを最適化することにより、微視的な光強度分布のばらつきや損失を抑えることができるクロスダイクロイックミラー、光学ユニットおよび投射型表示装置を提供すること。
【解決手段】クロスダイクロイックプレート１は、厚さが等しい透光性材料からなる平板部１１〜１４がＸ字形状に配置されている。第１の平板部１１および第３の平板部１３において、第２の平板部１２が位置する側の面には第１の機能膜２１が形成され、第２の平板部１２および第４の平板部１４において、第３の平板部１３が位置する側の面には、別の第２の機能膜２２が形成されている。第１の平板部１１および第４の平板部１４は第１のＶ字部１５を構成し、第２の平板部１２および第３の平板部１３は第２のＶ字部１６を構成しており、Ｖ字部１５、１６の稜線１５０、１６０同士が線接触している。 （もっと読む）

【課題】分光クロストークを抑制でき、安定した色分解性能が得られる光学フィルタ及び色分解プリズムを提供する。
【解決手段】本発明に係る光学フィルタＰ１２は、第１光学膜Ｈと第２光学膜Ｍとを交互に複数積層した光学多層膜からなる。そして、第１光学膜Ｈとして高屈折率膜、第２光学膜Ｍとして屈折率が基材１１Ｗ，１２Ｗよりも高くかつ第１光学膜Ｈよりも低い中間屈折率膜を用いることで、第１，第２光学膜Ｈ，Ｍ間の屈折率差を小さくしている。その結果、入射角３０°以上で入射する光の偏光分離が抑制され、ＰＳ偏光分離幅が狭められることになる。これにより、分光クロストークを抑制でき、安定した色分解性能を得ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】高い透明性と優れた熱線反射特性を兼ね備えるとともに、耐候性に優れた熱線反射基材およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の熱線反射基材１０は、基材１１上に、スズ添加酸化インジウム膜（熱線反射膜）１２、耐熱膜１３、および、二酸化ケイ素膜（耐候性膜）１４を順に重ねて配したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】Ｍｏ／Ｓｉ構成の多層膜反射鏡において、表面粗さを増大させることなく膜応力を低減する。
【解決手段】マグネトロンスパッタ装置によって、基板１上にＭｏ層２とＳｉ層３を交互に成膜し、多層膜反射鏡を製作する工程において、圧縮応力の大きいＳｉ層３の成膜中にＨ₂ ガスを導入し、Ｓｉ層３に水素を含有させることで、膜内の圧縮応力を低減する。また、この工程により多層膜の表面粗さを増大させるおそれはない。このようにして、Ｍｏ層２の引張応力とＳｉ層３の圧縮応力とを相殺し、多層膜の全応力を低減する。 （もっと読む）

【課題】広い入射角度範囲にわたり、高反射かつ、照度ムラの少ないＸ線用の多層膜ミラーを実現する。
【解決手段】基板１００上に、屈折率差を有するＳｉ膜１２とＭｏ膜１１を交互に積層してＸ線用の多層膜ミラー１０を形成する。入射光Ｒの入射角度が小さい左端位置Ａから入射角度２５度の斜入射の右端位置Ｂに向かって、増大する入射角度に合わせて周期長Ｍを最適化するとともに、周期長Ｍに対するＭｏ膜１１の膜厚比（γ）を増大させることで、反射率の入射角度依存性を低減する。このようにして、多層膜ミラーの反射光の照度ムラを抑える。 （もっと読む）