【課題】簡単な構成で、反射膜間のギャップ寸法を変化させた場合でも分解能の低下を抑制でき、かつ容易に配線を接続可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定反射膜５６を有する固定基板５１と、可動反射膜５７を有する可動基板５２と、固定電極５４１および可動電極５４２を備えた静電アクチュエーター５４と、を具備し、固定電極５４１は、互いに絶縁された第一固定部分電極５４３Ａおよび第二固定部分電極５４３Ｂを備え、固定基板５１には、第一固定部分電極５４３Ａおよび第二固定部分電極５４３Ｂから延出する第一引出電極５４５および第二引出電極５４６を備え、可動電極５４２は、第一固定部分電極５４３Ａに対向する第一対向領域と、第二固定部分電極５４３Ｂに対向する第二対向領域とを覆う円環状に形成された。 （もっと読む）

【課題】分解能の低下を抑制できる光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】測色センサーは、固定反射膜５６を有する固定基板５１、固定基板５１に対向し、可動反射膜５７を有する可動基板５２、および固定基板５１に設けられた第一電極５４４を備えた波長可変干渉フィルター５と、モジュール基板３０と、波長可変干渉フィルター５およびモジュール基板３０を接合する異方性導電層３０１を備え、固定基板５１は、モジュール基板３０に対向する固定対向電極５１６Ａと、第一電極５４４および固定対向電極５１６Ａを電気的に接続する導電接続部５１６と、を有し、モジュール基板３０は、固定対向電極５１６Ａに対向するモジュール電極３０２を有し、異方性導電層３０１は、固定対向電極５１６Ａと、モジュール電極３０２とを導通させる。 （もっと読む）

【課題】分解能の高い光フィルターを提供する。
【解決手段】表面研磨された第１研磨平面を有する第１基板５１と、第１基板５１に対向し、第１研磨平面に対向する表面研磨された第２研磨平面を有する第２基板５２と、第１研磨平面に設けられた第１反射膜５６と、第１研磨平面に設けられ第１反射膜を覆うＳｉＮ膜５８と、第２研磨平面に設けられ、第１反射膜に対向する第２反射膜５７と、第１反射膜５６および第２反射膜５７の間に反射膜間ギャップを形成するＳｉＯ₂膜５３と、ＳｉＯ₂膜５３と第２基板５２との間に形成された金属膜６０とを有する。 （もっと読む）

【課題】基板の貼り合わせによって構成される光フィルターにおいて、基板の傾きを抑制して、各基板に設けられる光学膜間の平行度を確保すること。
【解決手段】光フィルターは、支持部２２を有する第１基板２０と、支持部２２によって支持される第２基板３０と、第１基板２０に設けられた第１光学膜４０と、第２基板３０に設けられた、第１光学膜４０と対向する第２光学膜５０と、を含み、支持部２２の、第２基板３０を支持する支持面の全領域上に設けられた第１接合膜１０５と、第２基板３０の被支持面上に設けられた第１接合膜よりも膜厚が薄い第２接合膜１０７との接合によって、第１基板２０と第２基板３０とが固着されている。 （もっと読む）

【課題】可動ミラーと固定ミラーがパチンと引き合うスナップダウン現象を防止し、且つ、低消費電力も実現できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】固定ミラー５６と可動ミラー５７は所定のギャップＧをもって対向配置されており、固定ミラー５６と可動ミラー５７の外側には、ギャップＧよりも大きな電極間距離Ｇ１が設定され、Ｇ１が設定された部位から更に外側には、ギャップＧよりも小さな電極間距離Ｇ２が設定される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、反射膜間のギャップ寸法を変化させた場合でも分解能の低下を抑制できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定電極５４１および可動電極５４２を備えた静電アクチュエーター５４を具備する。そして、固定電極５４１は、平面視で同一形状に形成される複数の固定部分電極５４３を備え、これらの固定部分電極５４３は、等角度間隔で配置され、可動電極５４２は、平面視において固定部分電極５４３と同一形状に形成され、かつ固定部分電極５４３と重なる複数の可動部分電極５４４を備え、互いに対向する固定部分電極５４３および可動部分電極５４４により部分アクチュエーター５５が構成される。そして、これらの部分アクチュエーター５５は、２つの前記電圧印加用部分アクチュエーター間で電気的に直列に接続される。 （もっと読む）

【課題】微細機械的装置の光学的性質の操作により入射光を変調させ、優れた融通性をもたらすカラー方式を実現するため干渉変調装置及び干渉変調器のアレーを制御する方法を提供すること。
【解決手段】複数の干渉変調器を有し、該複数の干渉変調器が、着色光を射出するようになった少なくとも一つの干渉変調器と、白色光を射出するようになった少なくとも一つの干渉変調器とを有する干渉変調装置である。 （もっと読む）

【課題】所望のギャップに正確に設定できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】第１基板に設けられた第１電極と、可動部５２２を有する第２基板５２に設けられ、第１電極と対向する第２電極５６２と、第１電極から第１基板の外周縁に向かって延出して設けられた第１電極線と、第２電極５６２から第２基板５２の外周縁に向かって延出して設けられた第２電極線５６２Ａと、第１電極線と対向し、第２電極５６２と絶縁されて設けられた第１対向電極線５６２Ｂと、第１電極線及び第１対向電極線５６２Ｂを導通する第１導通部とを備え、第２電極線５６２Ａと第１対向電極線５６２Ｂとは、第２基板５２の厚み方向から見た平面視において、可動部５２２の中心点を中心とした仮想円の中心点を通り、仮想円を等角度間隔に分割する方向に延出して形成される。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減させた波長可変干渉フィルターの製造方法、波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】固定基板１１と、可動部１２１および保持部１２２を有する可動基板１２と、固定反射膜１６と、可動反射膜１７と、固定反射膜１６および可動反射膜１７のギャップＧを可変させる静電アクチュエーター１４と、を備えた波長可変干渉フィルター１の製造方法であって、第一熱膨張係数を有する素材により、可動基板１２よりも大きい剛性を有する固定基板１１を製造する固定基板製造工程と、第一熱膨張係数よりも値が大きい第二熱膨張係数を有する素材により、可動基板１２を製造する可動基板製造工程と、固定基板１１および可動基板１２を第一温度まで加熱した状態で接合する接合工程を備える。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減させた波長可変干渉フィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】第一基板１２と、第二基板１１と、第一反射膜１７と、第二反射膜１６と、第一反射膜１７と第二反射膜１６とのギャップＧの大きさを変えることができるギャップ変更部１４と、を備え、第一基板１２は、第一反射膜１７が設けられた可動部１２１と、可動部１２１の厚み寸法よりも小さい厚み寸法に形成され可動部１２１を第二基板１１に対して進退移動可能に保持する保持部１２２と、を有する波長可変干渉フィルター１の製造方法であって、第一基板１２に第一反射膜１７及びギャップ変更部１４を形成する第一基板製造工程と、第二基板１１に前記第二反射膜１６及びギャップ変更部１４を形成する第二基板製造工程と、第一基板１２の温度を第二基板１１の温度よりも高くした状態で、第一基板１２と第二基板１１とを接合する接合工程と、を実施する。 （もっと読む）

【課題】従来よりも透過スペクトルの変調帯域が広い波長選択フィルタを提供すること。
【解決手段】波長選択フィルタは、対向配置された一対のミラー間のギャップ長さを変化させることのできる可変型のファブリペローフィルタを複数備え、複数のファブリペローフィルタが、ギャップ長さの変化方向を同じとして互いに積層されてなる。各ファブリペローフィルタにおいて、対をなすミラーの中心波長は互いに等しくされている。複数のファブリペローフィルタは、ミラーの中心波長が互いに異なるとともに、ミラーの反射帯域が他のファブリペローフィルタのミラーの反射帯域と重複しない領域をそれぞれ有する。 （もっと読む）

【課題】長波長域においても分解能を向上できる干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】固定ミラー５４と、固定ミラー５４とギャップＧを介して対向配置される可動ミラー５５とを備える。固定ミラー５４は、１層のＴｉＯ_２膜５７と、１層のＡｇ合金膜５８とが積層されて形成される。また、可動ミラー５５は、１層のＴｉＯ_２膜５７と、１層のＡｇ合金膜５８とが積層されて形成される。 （もっと読む）

【課題】工程の増大がなく、製造時及び使用時のスティッキングや電流リークを防止できる光フィルター及び光機器を提供する。
【解決手段】光フィルター１は、第１基板２と、第１基板２に設けられた第１ミラー４Ａと、第１ミラー４Ａの周辺に配置された第１電極６Ａと、第１基板２と対向した第２基板３と第２基板３に設けられ、第１ミラー４Ａと対向した第２ミラー４Ｂと、第２ミラー４Ｂの周辺に設けられ、第１電極６Ａと対向した第２電極６Ｂと、を少なくとも有し、第１ミラー４Ａ、及び第２ミラー４Ｂは誘電体多層膜９Ａ，９Ｂを含み、誘電体多層膜９Ａ，９Ｂが、第１電極６Ａ、または第２電極６Ｂの少なくとも一方を覆っている。 （もっと読む）

【課題】結晶の主面に対して略平行に配向したラメラ状のミクロドメインをミクロ相分離構造に含む高分子フォトニック結晶を備え、従来に比して光学特性を向上させることが可能な光学素子の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る光学素子の製造方法は、互いに対向する板状部材３０の主面３０ａ及び板状部材４０の主面４０ａの間に、ブロック共重合体と光重合開始剤と光重合性モノマーとを含有するポリマー溶液６０を介在させた状態で、主面３０ａ又は主面４０ａの少なくとも一方に略平行な互いに異なる方向に板状部材３０，４０をポリマー溶液６０に対して相対移動させて、ランダムずり流動場をポリマー溶液６０に対して印加する配向性付与工程と、ポリマー溶液６０に光を照射して光重合性モノマーを重合させ、高分子フォトニック結晶を得る光重合工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】従来のＧＭＲＦよりも小さな面積で入射光と結合可能であり、高屈折率の材料を必要とせず、所望波長の光とそれ以外の波長の光とを別個に取り出す波長選択フィルタを提供する。
【解決手段】波長選択フィルタは、導波コア２と、導波コア２上に設けられたＤＢＲ１１、位相調整区間ｐ１、ＧＣ１０、位相調整区間ｐ２、及びＤＢＲ１２とを備える。所望波長の光及び所望波長以外の波長の光を含む入射光がＧＣ１０に入射したとき、導波コア２を伝搬する導波光をＧＣ１０により回折して導波コア２の第１の面から放射させることにより、ＧＣ１０に入射した所望波長の光を反射し、導波コア２を伝搬する導波光をＧＣ１０により回折して導波コア２の第２の面から放射させることにより、ＧＣ１０に入射して導波コア２を透過した所望波長の光を相殺する。所望波長以外の波長の光は導波コア２を透過する。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で、かつ所望のギャップを正確に設定でき、正確な分光特性を測定可能な光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】第１基板及び第２基板に互いに対向配置されて、ギャップが可変されて最小となる最小ギャップにおいて互いに接触する一対の検出電極と、反射膜間のギャップ及び電圧の関係を示すマップを複数有する相関データ７２１が記憶された記憶部７２と、検出電極の接触時での最小ギャップにおける静電アクチュエーターに印加している接触電圧を取得する接触検出部７１１と、相関データ７２１から１つのマップを選択するデータ選択部７１２とを備える。相関データ７２１は、最小ギャップに対する接触電圧が異なる複数のマップを備え、データ選択部７１２は、接触検出部７１１で取得した接触電圧に基づいて、マップを選択する。 （もっと読む）

【課題】 レーザ装置の小型化に貢献する。
【解決手段】 レーザ光を２系統に分割するビームスプリッタと、第二の透明部材と、ビームスプリッタと第二の透明部材との間に設けられる中空部材と、を備え、ビームスプリッタが、中空部材と対向する面に反射膜を備えつつ反射膜上に第一接合膜を備え、第二の透明部材が、中空部材と対向する面に反射膜を備えつつ反射膜上に第二接合膜を備え、中空部材が、中空部分の開口周囲であってビームスプリッタと対向する面及び第二の透明部材と対向する面に第三接合膜を備え、ビームスプリッタの第一接合膜と中空部材の第三接合膜とが原子拡散接合法により接合され、第二の透明部材の第二接合膜と中空部材の第三接合膜とが原子拡散接合法により接合されて構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 レーザ発振波長のモニターの精度を向上させる。
【解決手段】 ガラス又は水晶からなる第一の透明部材及び第二の透明部材と、第一の透明部材と第二の透明部材との間に設けられる中空部材とを備え、第一の透明部材が中空部材と対向する面及びこの面と平行となる反対側の面に反射膜を備えつつ反射膜に第一接合膜を備え、第二の透明部材が中空部材と対向する面及びこの面と平行となる反対側の面に反射膜を備えつつ中空部材を向く側の反射膜に第二接合膜を備え、中空部材が第一の透明部材と対向する面及び第二の透明部材と対向する面に第三接合膜を備え、第一接合膜と第三接合膜とが接合され、第二接合膜と第三接合膜とが接合され、中空部材の中空の内部が真空又は大気圧の状態を維持する気密状態となって構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 レーザ装置の小型化に貢献する。
【解決手段】 レーザ光を２系統に分割するビームスプリッタと、第二の透明部材と、ビームスプリッタと第二の透明部材との間に設けられる中空部材と、を備え、ビームスプリッタが、中空部材と対向する面に反射膜を備え、第二の透明部材が、中空部材と対向する面に反射膜を備え、ビームスプリッタの反射膜と中空部材とがオプティカルコンタクトにより接合され、第二の透明部材の反射膜と中空部材とがオプティカルコンタクトにより接合されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 レーザ発振波長のモニターの精度を向上させる。
【解決手段】 第一の透明部材と、第二の透明部材と、第一の透明部材と第二の透明部材との間に設けられる中空部材と、を備え、第一の透明部材が中空部材と対向する面に反射膜を備え、第二の透明部材が中空部材と対向する面に反射膜を備え、第一の透明部材の反射膜と中空部材とがオプティカルコンタクトにより接合され、第二の透明部材の反射膜と中空部材とがオプティカルコンタクトにより接合され、中空部材の中空の内部が真空又は大気圧の状態を維持する気密状態となって構成されることを特徴とする。 （もっと読む）