【課題】低コスト化を図りつつ、寸法精度を優れたものとし、長期にわたり高精度に波長分離を行うことができる光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。
【解決手段】第１の反射膜２５を備える可動板２１が変位可能に設けられた第１の基体２と、第１の反射膜２５に対向する第２の反射膜３４が設けられた第２の基体３とを有し、第２の基体３は、第１の層３ａと、第１の層３ａに接合膜４１を介して接合された第２の層３ｂとを有しており、接合膜４１は、シロキサン（Ｓｉ−Ｏ）結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含み、接合膜４１は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、接合膜４１の表面付近に存在する脱離基がＳｉ骨格から脱離し、接合膜４１の表面の当該領域に発現した接着性によって、第１の層３ａと第２の層３ｂとを接合している。 （もっと読む）

【課題】低コスト化を図りつつ、寸法精度を優れたものとし、長期にわたり高精度に波長分離を行うことができる光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。
【解決手段】本発明の光学デバイス１は、第２の凹部３２を有し、その底面に第１の反射膜２５に光学ギャップＧ１を隔てて対向する第２の反射膜３４が設けられた第２の基体３は、平面視にて第２の凹部３２に対応する部分に設けられた第１の部材３ａと、平面視にて第２の凹部３２の外側の部分に設けられた第２の部材３ｂ１、３ｂ２とが接合膜４１を介して接合され、接合膜４１は、シロキサン（Ｓｉ−Ｏ）結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含む。 （もっと読む）

【課題】調整中、制御されなくて予測できないＴＤＣの分散によって増加する信号ひずみを誘起することなく、所望の範囲にわたって連続的な熱光学調整を可能にする多段式縦続接続エタロンＴＤＣ装置の個々のステージを設計する方法を提供する。
【解決手段】少なくとも２つのエタロンステージを含む多段式エタロンの同調可能な分散装置（ＴＤＣ）を調整する本願発明は、第１の温度で各エタロンステージの温度を制御し、次いで、少なくともいくつかのステージの温度を第２の温度に変化させて、前記装置の分散を第１の分散値から第２の分散値に変化させる。ここで、各温度の変化は単調である。さらに、少なくとも３つのエタロンステージを含む多段式エタロンの同調可能な分散補償装置（ＴＤＣ）を製造する本願発明は、１つまたは複数の自由スペクトル領域にわたり、波長および温度の関数として、測定した群遅延または位相によって各エタロンステージを特徴付け、そしてその結果得られたデータと一連の対象分散値を相互に関連付ける。 （もっと読む）

【課題】微小光学フィルタの構成および製作に対する新たな方法を提案する。
【解決手段】交互になる屈折率の複数層（スロットおよび基板の薄層）を画定するように、複数の平行スロットが形成されている基板１によって光学干渉フィルタ２が提供される。図示したように、本フィルタは、スロットと基板薄層が交互になった２つのミラー群の間に、中央ファブリペロー共振器スロットキャビティ３を有し、両側のＶ溝６に収容された光ファイバ７に結合される。調節のために、一方のミラー群５が、矢印Ａの方向に移動されることができ、あるいは、中央共振器が基板材料によって与えられる場合は、その温度を変えることによる。１つまたは複数のさらなるファブリペローフィルタが基板に形成されて、フィルタ２に結合されることもできる。本発明は、非共振フィルタを包含する。 （もっと読む）

【課題】誘電体多層膜から基板を取り外したときに誘電多層膜を反らせる方向に働く応力を軽減することができる光学フィルタを提供する。
【解決手段】本発明による光学フィルタ(1)は、誘電体の低屈折率層(8)と高屈折率層(10)とを交互に積層させた第１の誘電体多層膜(2)及び第２の誘電体多層膜(4)と、第１の誘電体多層膜(2)と第２の誘電体多層膜(4)とを積層方向(A)に接着する樹脂層(6)を有する。樹脂層(6)は、第１の誘電体多層膜(2)、樹脂層(6)及び第２の誘電体多層膜(4)が一体の光学フィルタ(1)を構成するように、低屈折率層(8)又は高屈折率層(10)と実質的に同じ屈折率を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする課題は、格子パターンが形成された金型やマスクでパターニングすることによる、安価かつ選択波長をオーダーメイド可能な波長選択素子の製造、樹脂材料を使ったフレキシブルな波長選択素子の製作、視野角の広い波長選択素子の製作、可視光領域での波長選択素子を提供することである。
【解決手段】基板と、基板上に形成され格子層及び導波層を含むサブ波長構造層を備え、選択波を反射又は透過する波長選択素子であって、格子層の周期が選択波長の真空中の長さより小さく、かつ少なくとも格子層は樹脂材料で構成されていることを特徴とする波長選択素子である。 （もっと読む）

【課題】光の利用効率が低下を抑えつつ、コンパクトな構成で、無偏光光を偏光方向及び波長領域が異なる複数の光成分を生成する波長選択性偏光変換素子を実現する。
【解決手段】波長選択性偏光変換素子１０６は、それぞれ入射した光を互いに異なる偏光方向を有する２つの偏光成分に分離する複数の偏光分離面１３と、それぞれ各偏光分離面からの２つの偏光成分のうち一方の偏光成分の偏光方向を他方の偏光成分の偏光方向に一致させる複数の位相板３と、複数の偏光分離面よりも光入射側又は複数の偏光分離面と複数の位相板との間に配置され、それぞれ入射した光を互いに異なる２つの波長領域成分に分離するダイクロイック面２３とを有する。 （もっと読む）

【課題】一本の光ファイバで複数の波長を伝送する波長多重伝送や一芯双方向光伝送に用いられる光合分波器の小型化、部品点数削減および実装・作製工程の簡易化を可能にする構造を提供する。
【解決手段】対向するＳｉ基板１１，１２を有し、前記Ｓｉ基板１１，１２の内部には、傾斜面３０１，３０２および空隙部を有している。傾斜面３０２には反射膜３１が設けられ、傾斜面３０１には波長選択フィルタ２１，２２，２３が設けられている。前記反射膜３１と波長選択フィルタ２１，２２，２３は対向し、前記Ｓｉ基板１１，１２の屈折率値と前記空隙部内の屈折率値とは異なる光合分波器。 （もっと読む）

【課題】非化学量論比を有するＳｉＯ_Ｘ１Ｎ_Ｙ１薄層光学フィルターを提供する。
【解決手段】本発明の光学フィルターは、基板および基板を覆う第１の非化学量論比を有するＳｉＯ_Ｘ１Ｎ_Ｙ１薄層フィルム（ここで、Ｘ１＋Ｙ１＜２であり、Ｙ１＞０）から構成されている。上記薄層フィルムは、約１．４６から３までの範囲における屈折率（ｎ１）と、複素屈折率（Ｎ１＝ｎ１＋ｉｋ１）とを有している。ここで、上記ｋ１は、０から０．５までの範囲の減衰係数である。また、上記薄層フィルムは、１〜１０ｎｍの大きさのナノ粒子を有している。第２の非化学量論比を有するＳｉＯ_Ｘ２Ｎ_Ｙ２薄層フィルム（第２の薄層フィルム）は、上記薄層フィルムを覆うように形成されていてもよい。上記Ｙ１≠Ｙ２である。また、上記薄層フィルムおよび第２薄層フィルムは、ドープされていなくとも、されていてもよい。 （もっと読む）

【課題】小型化可能で、分波特性及び生産性に優れる光通信用フィルタ及びそれを用いた光通信用モジュールを提供すること。
【解決手段】本発明に係る光通信用フィルタ１００は、主面をｘｙ平面としてｘ方向とｙ方向とに所定のピッチの周期的凹凸形状が、当該主面上に形成された基板１０１と、前記主面上に形成され、低屈折率膜１０７と高屈折率膜１０６とを交互に積層した多層膜とを備え、周期的凹凸形状が、前記ピッチ毎に複数の領域１０２、１０３、１０４に分割して基板１０１上に形成されたものである。高屈率折膜１０６の屈折率が２．５以上であり、かつ、高屈折率膜１０６と低屈折率膜１０７との屈折率比が１．６以上である。 （もっと読む）

極端紫外線（ＥＵＶ）顕微鏡はサンプル（５）を分析するように構成される。この顕微鏡は、約２〜６ｎｍの範囲内の波長を有するＥＵＶ放射を発生させるように構成されたＥＵＶ放射源（２）と、ＥＵＶ放射でサンプルを照明し、サンプルから放出される放射（６）を集めるように構成された光学システム（３）とを含む。光学システムは、約２〜６ｎｍの範囲内の放射の少なくとも一部の同相反射のための多層構造を含む少なくとも１つのミラーを備える。 （もっと読む）

【課題】従来型の平坦多層膜型波長フィルターの有していた、使用する膜材料の屈折率に起因する残留透過率及び透過波長帯から遮断波長帯に切り替わる遷移波長帯の幅の性能限界を打破することが可能な波長フィルターを提供することである。
【解決手段】３次元空間ｘｙｚにおいてｚ方向には屈折率の異なる材料からなる交互多層膜構造をなし、ｘ方向には屈折率が周期ｐをもって周期的に変動しており、ｙ方向には周期がｑ（ｑ≧ｐ）をもって周期的に変動している構造体からなり、ｚ軸に平行に入射する光の真空中での波長をλ_０とするときｐ≦λ_０、ｑ＞（λ_０／３）を満たすようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】比較的高い反射率を示す反射帯域を有すると共に、その反射帯域の幅および中心波長に関する設計自由度の高い光学フィルタを提供する。
【解決手段】この光学フィルタは、光学基板１００の表面１００Ｓ上に設けられた合計ｊ層からなる多層膜であり、互いに異なる屈折率を有する奇数層（第１層Ｔ１，第３層Ｔ３，第５層Ｔ５，・・・）と偶数層（第２層Ｔ２，第４層Ｔ４，第６層Ｔ６，・・・）とが光学基板１００上に交互に繰り返し積層されたものである。ここで各層の光学膜厚は、全体として積層方向において周期的に変化するようになっており、例えば、所定の条件式（１）および条件式（２）を満たしている。 （もっと読む）

【課題】波長の異なる複数種類の入射光のうち、特有の波長の光のみを選択的に回折する透過型回折素子を迅速に製造する。
【解決手段】単一材料からなる透明基板２を用意し、その透明基板２上に、エッチング加工に基づき、凹部３を周期的にそれぞれ加工し、その各凹部３内に前記光学多層膜を充填する。これにより、エッチング加工において、エッチング最適条件を、単一物質からなる透明基板２にだけ合わせることができるようにして、途中で、エッチング条件を変えることなく、一気に透明基板２に凹部３を周期的に形成できるようにする。 （もっと読む）

本発明は、プローブビームの出力を増大させることなく、散乱反射性サンプル内のプローブ光の照射強度を増大させる技術を提供する。一般に、光学フィルタを用いることで、コリメートされたプローブビーム光はサンプルを透過可能になるが、それはサンプルに向かって、より広い角度範囲に出射する後方散乱された散乱プローブ光の大部分を反射する。特定の実施形態では、コリメートされたレーザビームは、サンプルの一部をカバーしている多層誘電体フィルタを介して、前記サンプルに送出しされる。このフィルタは法線入射ではレーザ光に対して透過性であるが、後方散乱光の入射特性のより浅い角度では反射性である。 （もっと読む）

【課題】反射膜どうしのオプティカルコンタクトを回避しつつ、反射膜どうしを十分に近接させて所望の分光特性を得る。
【解決手段】間隔をあけて対向する一対の光学基板２，３と、該光学基板２，３の対向面にそれぞれ配置され、互いに対向する２つの反射膜５と、該反射膜５が配置された側にそれぞれ配置され、当該光学基板２，３の間隔を検出する間隔センサを構成する互いに対向する２つのセンサ電極６と、前記光学基板２，３を相対的に移動させ、当該光学基板２，３間の間隔を変化させるアクチュエータ４とを有し、前記２つの反射膜５の対向する表面間の距離が前記２つのセンサ電極６の対向する表面の間の距離より大きい可変分光素子１を提供する。 （もっと読む）

【課題】波長分解能と測定精度の両方を向上させることが可能なであり、また、機械的な駆動部を必要とせず、小型かつ軽量の分光計測器を提供すること。
【解決手段】透過スペクトルが順次異なる複数の微小フィルターを列状に配置してなり、一定の透過波長帯域を有するユニットフィルターを一列或いは複数列有する複合型の分光フィルター１０５と、個々の前記微小フィルターに光学的に対応した画素を有し、微小フィルターを透過した光を受光する光電変換素子１０５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】高信頼性、低コストのフィルタアセンブリを提供する。
【解決手段】複数個の光素子から出射される異なる波長の光信号Ｌａ〜Ｌｄを波長多重し波長多重光信号とする、または波長多重光信号を異なる波長の光信号Ｌａ〜Ｌｄに波長分離して複数個の光素子にそれぞれ入射するフィルタセンブリ１において、光信号Ｌａ〜Ｌｄが伝搬する光透過部材２と、光透過部材２の上面２ｕに設けられ光信号Ｌａ〜Ｌｄが出射される、または上面２ｕに設けられ光信号Ｌａ〜Ｌｄが入射される複数個の光フィルタ３ａ〜３ｄとを備え、複数個の光フィルタ３ａ〜３ｄは所定の間隔で設けられ、各光フィルタ３ａ〜３ｄ間に上側反射面５ａ〜５ｄが設けられ、光透過部材２の下面２ｄに下側反射面４が設けられ、かつ波長多重光信号は光透過部材内２で同一の光路ＬＧを伝搬するものである。 （もっと読む）

【課題】長波長側の透過率のピークの半値全幅を大きくして透過光量を多くする。
【解決手段】エタロン型分光素子は、基板上に多層膜を形成した光学素子を２つ平行に対向配置し、これら光学素子の配置間隔を変更可能に構成されている。エタロン型分光素子は、短波長側のブロードな第３の透過率特性Ｌ３を有し、長波長側では相対的にシャープな第４の透過率特性Ｌ４ａを有する。第４の透過率特性Ｌ４ａを有する波長領域ＷＬ４において、光学素子単体での透過率にピークを持たせることで、第４の透過率特性Ｌ４ａのピークＰ４ａの半値全幅を大きくしている。 （もっと読む）

【課題】所望の波長領域の分光透過率特性を変化させた際に、その他の波長領域の分光透過率特性は一致させた状態を維持して、所望の波長帯域の光のみを高精度に取り出すことができる光学ユニットを提供すること。
【解決手段】エタロン型光学素子１６が、その空気層の厚さにより、エタロン型光学素子１６に入射する光に対して、第一波長帯域２７における第一分光透過率特性２８Ａ、２８Ｂと、第一波長帯域２７より短波長側の第二波長帯域３０における第二分光透過率特性３１Ａ、３１Ｂとを備え、エタロン型光学素子１６の空気層の厚さが、７２０ｎｍ（第一間隙距離）と５２０ｎｍ（第二間隙距離）との間で変化した場合に、第一分光透過特性２８Ａ、２８Ｂが変化する一方、前記第二分光透過率特性３１Ａ、３１Ｂが略一致している。 （もっと読む）