【課題】 遮光膜を用いることなく、マイクロレンズ以外の光透過領域からの光の影響を軽減可能な安価なマイクロレンズアレイ、および安価で高コントラストの露光が可能な露光ヘッドを得る。
【解決手段】 照照射された光を各々変調する多数の画素部が２次元状に配列されてなるＤＭＤ等の空間光変調素子５０と、空間光変調素子５０に光を照射する光源６６と、空間光変調素子５０の各画素部を経た光を受けて画素部の像を結像させる結像光学系５１と、空間光変調素子５０の各画素部からの光をそれぞれ集光するマイクロレンズ５５ａがアレイ状に配されたマイクロレンズアレイ本体５５からなるマイクロレンズアレイと、を備えた露光ヘッドにおいて、マイクロレンズアレイ本体５５のマイクロレンズ５５ａ以外の光透過領域に、回折構造５５ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】 ほぼ単一方向に偏光方向を有する直線偏光状態の入射光をほぼ周方向に偏光方向を有する周方向偏光状態の光に変換することのできる偏光変換素子を用いて、光量損失を良好に抑えつつ周方向偏光状態の輪帯状の照明瞳分布を形成する。
【解決手段】 本発明の照明光学装置は、照明光を供給する光源（１）と、この光源と被照射面（Ｍ，Ｗ）との間の光路に配置されて、入射光の偏光状態を所定の偏光状態に変換する偏光変換素子（１０）とを有する。偏光変換素子は、旋光性を有する光学材料により形成されて周方向に変化する厚さ分布を有すると共に、照明光路に対して挿脱可能に構成される。 （もっと読む）

【課題】逆ミセルの鋳型を利用して、有機ポリマーと両親媒性物質からなる多孔質構造体を形成する。
【解決手段】（ｉ）両親媒性物質、疎水性を有する有機ポリマー、親水性液体及び該有機ポリマーを溶解する疎水性有機溶媒からなる溶液を混合撹拌して、逆ミセルが形成された疎水性有機溶媒溶液を得る工程（工程１）、（ii）疎水性有機溶媒溶液を基板上にキャストする工程（工程２）、及び（iii）基板上の疎水性有機溶媒溶液から、疎水性有機溶媒と親水性液体を蒸発させて多孔質の構造体を形成する工程（工程３）、を含む、疎水性有機溶媒溶液中に形成された逆ミセルの鋳型を孔の形成に利用する多孔質構造体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】多量の紫外線を照射しても紫外線硬化型樹脂の透過率が下がらないような、紫外線硬化型樹脂を含む光学素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】ガラス１の基板と、屈折率の異なる紫外線硬化型樹脂２，４から形成された光学素子を、加熱処理用チャンバ６の中に入れて加熱処理を行う（ｆ）。加熱処理と加湿処理を同時に行ってもよい。加熱処理の温度は４０〜１３０℃が適当である。４０℃未満では効果が小さくなり、１３０℃を超えると樹脂が劣化し易くなる。６０〜１００℃が特に好ましい。加湿処理の湿度は、６０％以上が適当であり、８０％以上であることが特に好ましい。湿度が６０％未満では効果が小さい。このように、加熱処理により、紫外線硬化型樹脂２と紫外線硬化型樹脂４の黄色みがなくなり、透過率が向上する。 （もっと読む）

【課題】回折レンズ構造が形成された走査レンズを射出成型により製造する場合にも、段差面及びその近傍での形状の崩れを防ぎ、回折効率を高く保つこと。
【解決手段】走査レンズ１０は、第１面１１が偏向器側、第２面１２が感光体ドラム側となるように配置される。光束が透過するレンズ面の周囲には、レンズを装置に組み付ける際の固定部となる外枠部１３が形成されている。第１面１１が凹面、第２面１２の巨視的形状が凸面であり、第２面１２には、回折レンズ構造が形成されている。回折レンズ構造は、光軸Ａｘ1を中心とした同心円状に形成された回転対称な輪帯構造を有する。回折レンズ構造の輪帯間の段差面１２ａは、隣接する輪帯の法線に対して傾くよう形成されている。段差面１２ａの傾きは、金型からの離型時に段差面１２ａと金型との間に作用する応力を軽減できるように定められている。 （もっと読む）

【目的】容易でかつ迅速な製造が可能であるために製造効率が高く、屈折率の高い発光体からの発光効率を向上させることができる光取り出し効率向上フィルムを提供することにある。
【構成】高分子材料を溶解した疎水性有機溶媒溶液を高湿度雰囲気下でキャストし、該キャスト液から該有機溶媒を徐々に蒸散させると同時に該キャスト液表面で高湿度雰囲気成分を結露させ、該結露により生じた微小液滴を蒸発させることで形成される多孔を備え、該多孔により可視光の散乱効果、回折効果またはフォトニック結晶効果を有することを特徴とする光取り出し効率向上フィルム。 （もっと読む）

【課題】広い温度範囲で適用可能な顕微鏡対物レンズを提供すること。
【解決手段】
検査対象物（７）に供給源（２）からの照明放射が送られる際に通る照明ビーム経路と、照明ビーム経路の少なくとも一部を囲む部分検出ビーム経路とを備える対物レンズ（３）を備える顕微鏡対物レンズシステムであって、部分検出ビーム経路は、照明ビーム経路と共に、試料（７）から来る被検出放射が検出器（６）に向けて案内される際に通る検出ビーム経路を形成する顕微鏡対物レンズシステムが提供される。 （もっと読む）

【課題】単一光ビームから複数の光学トラップを形成する。
【解決手段】誘電体小粒子を操作するための装置及び方法。本装置及び方法は、レーザービームを受取り、複数のレーザービームを形成する光学回折素子(４０)の使用を含む。これらの光ビームは、次いで、テレスコープレンズ系により操作され、次いで、対物レンズ素子(２０)により操作されて、誘電体小粒子を操作するための光学トラップ(５０)のアレイを形成する。 （もっと読む）

【課題】ディジタル画像収集用の固定又は可変焦点距離のコンパクトなレンズを得ること。
【解決手段】入射光を検出器アレイ（２１）に作像するための２つ又は３つの屈折性光学素子(１〜３)と少なくとも１つの回折性光学素子（５，６）とを有し、少なくとも１つの回折性光学素子（６）が屈折性光学素子(１〜３)上に設けられたディジタル画像収集用の固定焦点距離コンパクトレンズであって、レンズの屈折性光学素子が、第１の屈折率をもつガラス又は光学セラミックから成る第１のレンズ素子（１）と、前記第１の屈折率より小さい第２の屈折率をもつプラスティックから成る第２のレンズ素子（２）とをもつ複合レンズとして設けられ、第１のレンズ素子（１）が第２のレンズ素子（２）の前方のビーム経路及びレンズの光入力側に位置付けられて成ることを特徴とするコンパクトレンズ。 （もっと読む）

【課題】 光回折構造形成フィルムを効率的に加熱及び冷却するパターン複製方法を提供する。
【解決手段】 熱成形性を有する樹脂層１２が設けられた光回折構造形成フィルム１０を、外周に光回折構造を構成するパターンが設けられたエンボスローラ２２に巻き付け、その巻き付けられた光回折構造形成フィルム１０をエンボスローラ２２から剥離することにより、樹脂層１２にパターンを賦型するパターン複製方法であって、光回折構造形成フィルム１０がエンボスローラ２２に巻き付けられる時に、光回折構造形成フィルム１０を非接触で加熱して樹脂を軟化させ、光回折構造形成フィルム１０がエンボスローラ２２から剥離される時に、光回折構造形成フィルム１０を非接触で冷却して樹脂を硬化させる。 （もっと読む）

【課題】従来技術の欠点を回避する、カラー・イメージ・センサと、その製造方法と、カラー・イメージ検知方法とを提供すること。
【解決手段】カラー・イメージ・センサは複数のピクセルを有する。ピクセル上に、ゼロ次回折カラー・フィルタ（ＤＣＦ）（１）が配置される。異なるゼロ次ＤＣＦ（１）、例えば赤と、緑と、青の光をそれぞれ透過するＤＣＦ（１）が、カラー・イメージ・センサのピクセルに割り振られる。カラー撮像装置に対するＤＣＦ（１）の使用は、現在使用されているラッカーよりも良好な定義済み帯域フィルタまたはノッチ・フィルタをもたらす。ＤＣＦ（１）は、時間と、温度と、任意の環境的攻撃に関してより安定である。ＤＣＦパターンの製造は、様々なタイプのＤＣＦが同時に製造され得るので、従来型染料フィルタ・パターンの製造よりも単純で安価である。 （もっと読む）

【課題】 回折素子の光学性能に悪影響を与えずに回折素子成形金型の転写性を向上させることによって、優れた光学性能を確実に得ることができる回折素子を成形することができ、かつ、回折素子成形金型の寿命を向上させることができる回折素子成形金型およびこれを用いて成形された回折素子を提供すること。
【解決手段】 回折格子面１６におけるゲート３側の端部およびゲート３に対向する側の端部のうちの少なくともゲート３に対向する側の端部に隣接する回折格子面１６の外側位置に対応する位置に、キャビティ２内のガスをキャビティ２の外部に逃がすためのガス逃げ部２６、２７を有すること。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスに均一なＣＤを提供するためのフォトマスクの製作方法を提供する。
【解決手段】フォトマスクを透過または反射された０次光を測定し、ウェーハ上に非均一なＣＤを補正する方法である。該フォトマスクは、ウェーハＣＤが均一になるように、フォトマスクの０次光を均一に変える。該フォトマスクは、フォトマスクの背面に位相グレーティングを形成するか、フォトマスクに陰影成分を注入し、フォトマスクの透過率が変わりうる。 （もっと読む）

【課題】レーザー干渉による加工、特にパルス幅が１ｆｓ以上１ｐｓ以下のパルスレーザーを用いたレーザー干渉による加工において、表面波による乱れを抑制することが可能となる加工方法及び加工装置を提供する。
【解決手段】レーザーの干渉を用いて被加工物を加工する加工方法において、前記被加工物の表面で前記レーザーの干渉の周期方向に伝播する表面波の波長を、前記レーザーの干渉のピッチよりも長くして、前記被加工物を加工するように構成する。その装置としては、干渉点に向かう分割されたパルス光の各光路上に、偏光方向が調整可能な波長板を設け、該波長板によって偏光されたパルス光を干渉させて被加工物を加工するように構成する。 （もっと読む）

【課題】複数のパターンを印刷する能力を有する干渉型リソグラフィ投影装置を提供すること。
【解決手段】照明系と、交換可能な上部光学モジュールと、下部光学モジュールとを備えるリソグラフィ投影装置。照明系は放射線のビームを提供する。交換可能な上部光学モジュールはビームを受け取り、また、ビームを複数の部分に分割するビーム分割器と、開口プレートと、複数の反射面とを含む。下部光学モジュールは反射面の個々からビームの複数の部分を受け取り、基板上にビームの複数の部分を方向付ける。干渉縞又はコンタクト・ホール・パターンがビームの複数の部分を用いて基板上に形成される。 （もっと読む）

【課題】 導波モード共鳴格子素子への配線などによる機器の複雑化、および大型化を招来することなく、入射光の反射と透過とを切り替え可能な波長選択素子として利用できる導波モード共鳴格子素子を実現する。
【解決手段】 本発明に係る波長選択素子は、格子層１と導波層２を備え、前記格子層１は屈折率の温度係数の異なる格子部材１１、および熱反応充填材１２により形成されている。従って、制御光Ｌ２の非照射と照射とを切り替えることにより、格子層１における光学的な回折格子の機能の有無を切り替える。これにより、前期波長選択素子への配線なしに、該波長選択素子における信号光Ｌ１の透過と反射とを制御することができる。 （もっと読む）

【課題】 広波長範囲で高い回折効率を発現する優れた光学特性を有しながら、実用上十分な散乱特性と形状保持特性を有する光学材料の製造方法を提供すること。
【解決手段】 不飽和二重結合を有する官能基を少なくとも２つ以上有する多官能モノマーと不飽和二重結合を有する官能基を１つ有する単官能モノマーと光重合開始剤とインジウム錫酸化物微粒子を含有することを特徴とする光硬化型樹脂組成物を用いることにより、広波長範囲で高い回折効率を発現する優れた光学特性を有しながら、実用上十分な散乱特性と形状保持特性を有する光学材料およびその製造法を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 ガウシアンビームを回折させて均一または準均一パワー密度のビームに変換する回折型光学部品（ＤＯＥ）において、画素の段差などの製造誤差があると回折光とゼロ次光との干渉がおこりパワー密度が大きく揺らぎ不均一になる。これを防ぐことのできるＤＯＥを与えること。
【解決手段】 ＤＯＥの形を平行平板でなく前面と後面が傾斜角Θをなす楔型（ウエッジ）にして、ゼロ次光を回折光から空間的に分離する。ＤＯＥ屈折率をｎ、像面での回折光が均一である範囲のＤＯＥ中心から見込む角度をΥ、ＤＯＥと像面の距離をＬ、入射光の直径をＤとしたとき、ＤＯＥのウエッジの傾斜角ΘをΘ≧｛Υ＋（Ｄ／Ｌ）｝／（ｎ−１）とする。
あるいはＤＯＥを平行平板にするがその前後に楔形のガラスブロックを設けてゼロ次光と回折光を空間的に分離する。 （もっと読む）

【課題】 ３次元構造体製造上の歩留まりを改善することができる３次元構造体の製造方法及び３次元構造体製造用基板を提供することにある。
【解決手段】 この３次元構造体の製造方法は、第１の基板１０上に保持部材７（連結部材２）を介して空中保持された３次元構造体のスライスパターンに応じた複数の断面形状部材１を形成し、後工程の断面形状部材の接合時における連結部材２の破断を防止するための介在物９３を第１の基板１０と断面形状部材１との間に配置する。そして、断面形状部材１を第２の基板上に順次接合転写して積層する。この介在物９３を配置する工程は、介在物９３の材料である例えばフォトレジスト等の樹脂９１を第１の基板１０上に塗布し、硬化させる。樹脂９１が保持部材および断面形状部材の少なくとも一方の一部または全部を覆っている場合には、この覆っている樹脂９１を例えばアッシングにより除去する。 （もっと読む）

二焦点多次数回折レンズ（１０）が、近視矯正をもたらす第１多次数回折構造を有している１つ以上の第１領域（１４）と遠視矯正をもたらす第２多次数回折構造を有している１つ以上の第２領域（１６）とがあるレンズ本体（１１）を有して提供され、このレンズ（１０）は第１領域（１４）と第２領域（１６）とに分割された有効口径部を画定している。このような１つ以上の第１領域（１４）は、１つ以上の環状リングあるいはレンズ（１０）の他の部分に相当していてもよく、また、第２領域（１６）は、第１領域（１４）の外側におけるレンズの有効口径部を占有していてもよい。レンズ本体（１１）は、単一の光学素子によって設けられていてもよく、あるいは複数の光学素子によって設けられていてもよい。複数の光学素子が使用されているときには、多次数回折構造はレンズ（１０）の内面（１８，２４）に沿って配置することができる。他の実施形態では、二焦点多次数回折レンズ（１０）が、遠視矯正のための多次数回折構造と近視矯正のための度数を付加する１つ以上の屈折領域（１７，２２，２８，２９）とを有している単一素子のあるいは複数素子のレンズ本体によって、あるいは、遠視矯正のための屈折能と近視矯正のための度数を付加する多次数回折構造とのために形成された単一素子のあるいは複数素子のレンズ本体によって設けられている。レンズ（１０）は、コンタクトレンズ、眼鏡レンズ、あるいは眼内レンズ（ＩＯＬ）の光学部分に相当している。多次数回折構造は明所視および暗所視についての性能のために最適化することができる。
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