【課題】石英ガラスなどのガラスに較べて紫外線透過率の低い樹脂シートの表面に形成した透明電極の検査に必要な測定精度を得ることのできる透明電極の観察装置を提供すること。
【解決手段】樹脂シートＦの表面に形成された透明電極Ｐの光透過率が５０％以下となる２００〜３００ｎｍの波長帯域の紫外線光を含む光を照射する光源１と、光源１から照射された紫外線光によって励起され、蛍光発光した樹脂シートＦの光の強度が０．１以上となる４００〜５００ｎｍの波長帯域の光を透過する光学フィルタ２と、光学フィルタ２を透過した可視域の波長に感度を有する画像を撮影するカメラ３とを備えたので、透明電極Ｐが形成された部位は暗くなり、それ以外の部位は明るく撮影される。これにより、可視光では視認が困難な透明電極Ｐの形状を特定でき、透明電極Ｐの検査に必要な測定精度を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】広範囲ズーム機能を備えた超広帯域紫外（ＵＶ）カタディオプトリック映像顕微
鏡システムが開示される。
【解決手段】カタディオプトリックレンズ群及びズーミングチューブレンズ群を含む顕微
鏡システムは、極ＵＶ波長で高光学解像度と、連続的に調整可能な倍率と、高開口数とを
有する。このシステムは、部品点数を削減し、システムの製造プロセスを簡単化するため
、対物レンズ、チューブレンズ及びズーム光学系のような顕微鏡モジュールを統合する。
好ましい実施例によれば、全屈折ズーミングチューブレンズと組み合わせることにより、
非常に広い極紫外スペクトル域に亘って優れた画質が得られる。ズーミングチューブレン
ズは、一般的に性能を制限する高次色収差を補償するように変更される。 （もっと読む）

【課題】 観察対象物を構成する各材料を視覚的に区別できる光学顕微鏡観察用試料の製造方法を提供することを課題としている。
【解決手段】 光学顕微鏡によって観察対象物を観察するための観察用試料を製造する光学顕微鏡観察用試料の製造方法であって、複数種の構成材料を含む前記観察対象物の少なくとも１種の材料が変質する温度で前記観察対象物を加熱する加熱工程を実施することにより、前記観察用試料を製造する光学顕微鏡観察用試料の製造方法等を提供する。 （もっと読む）

【課題】結果の研究およびコンピュータ解析のために、対象物を染色し、対象物を準備する方法を提供することにある。
【解決手段】・対象物を非蛍光体により染色し、
・生成プロセスで、前記非蛍光体の分子を、励起されると蛍光することのできる分子に修正し、
・励起プロセスで、前記修正された分子を励起し、これにより蛍光させ、
・記録プロセスで、
−前記染色された対象物をフレームごとに検出装置によって光学的にキャプチャし、
−前記フレーム中に蛍光する分子を少なくとも１つの検出装置によって、回折に依存する大きさを有するスポットとして記録し、
−前記記録されたフレームを記憶媒体に記憶し、
・前記生成プロセス、前記励起プロセス、および前記記録プロセスを周期的に繰り返すナノスコピー方法。 （もっと読む）

【課題】小型化したカタジオプトリック型対物系を使用するシステムを開示する。
【解決手段】このシステムでは小型化された対物系に加え各種サブシステムを用いて結像能力を増強する。サブシステムには照明、結像、自動合焦、位置決め、センサ、データ取得及びデータ分析サブシステムが含まれる。対物系が使用される光エネルギ波長は例えば約１９０ｎｍ〜赤外域であり、対物系を構成する素子の直径は１００ｎｍ未満とする。対物系はレンズ型合焦装置（１６０７）、少なくとも１個の視野レンズ（１６０５）及び配列マンジャンミラー（１６０１）を備える。視野レンズ（１６０５）の向きは、レンズ型合焦装置（１６０７）から合焦済光エネルギを受け取り中間光エネルギを供給するよう設定する。本発明においては、０．６５超で約０．９０以下の開口数にて標本に対し結像用に調整済光エネルギを与える。本発明は様々な環境にて使用できる。 （もっと読む）

【課題】顕微鏡照明システム、顕微鏡および傾斜入射照明方法の提供。
【解決手段】光源２と、光軸１６を中心にして延びる照明ビーム経路１５’を生成するための開口部９を有する開口装置と、を含む顕微鏡照明システム１であって、このシステムでは、光軸１６から偏心して延びる照明ビーム経路１５を、開口部９を変位することによって傾斜入射照明用に生成可能である。開口装置には、回転軸１１を中心に回転可能であり、かつ異なるサイズの複数の開口部９が円周方向に形成される開口ホイール８が含まれ、前記開口部のそれぞれは、開口ホイール８を回転させることによって、光軸１６を中心として、または光軸１６の回りの所定領域内で光軸１６から偏心して配置することができる。 （もっと読む）

【課題】紫外領域と可視領域の２つの領域における光に対して、光学的に安定して、光の吸収が少なく、かつ所定の反射防止を効果的に実現可能な反射防止膜を提供する。
【解決手段】透明な基板上に、空気側から基板側へ順に第１層、第２層、第３層、第４層、第５層、第６層、と、６層以上の薄膜を形成した構成を備え、空気側から奇数番目の薄膜が低屈折率膜であり、偶数番目の薄膜が低屈折率膜又は低屈折率膜より屈折率の大きな中間屈折率膜であって、中心波長λ０での中間屈折率膜と低屈折率膜の屈折率を各々Ｎ_Ｍ、Ｎ_Ｌとしたとき、これらが所定の式を満足し、さらに、紫外域の波長λ１と、可視域の波長λ２と、が所定の式を満足する。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化を抑制しつつ、標本の蛍光画像をマルチスペクトル画像として取得すること。
【解決手段】本発明のある実施の形態の顕微鏡観察システム１は、紫外域から可視域の波長範囲に亘る照明光を射出する励起用光源１３と、観察光軸ＯＡ２上に択一的に配置されて対物レンズ１５とともに対物光学系１９３を構成し、観察波長範囲を複数に分割した各波長域を個別に観察波長域として励起波長域と組み合わせた対となる励起波長域および観察波長域の光のみを透過させる複数のフィルター２１を収容するフィルターユニット２０と、標本の蛍光観察像を撮像する撮像部１８とを備え、観察光軸ＯＡ２上に配置するフィルター２１を切り換えながら観察波長域毎に蛍光観察像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化、複雑化およびコストアップを招くことなく、観察対象から発生する蛍光を高いＳＮ比で検出できる蛍光検出装置を提供する。
【解決手段】励起光源102から射出される励起光を観察対象115に照射し、該観察対象115から発生する蛍光を光増幅器110により光増幅して検出する蛍光検出装置１において、励起光源102から射出される励起光を光増幅器110に入射させて、観察対象115から発生する蛍光を光増幅する。 （もっと読む）

【課題】高分解能な多光子励起顕微鏡を提供する。
【解決手段】周期的な光サイクルを有する分子に対して、光サイクルを回すための第１の励起光（λ_ｐ）と第２の励起光（λ_ｒ）および信号光（ＦＬ）を発生させるための第３の励起光（λ_ｐ）を照射し、信号光を検出する。ここで、第１または第２の励起光の少なくともいずれかを周波数ωで強度変調し、検出される信号光から周波数ｎω成分を抽出する。周波数ｎω成分は光サイクルをｎ回回った後に信号光が発生する遷移である。このように、励起光の波長を長くすることなく多光子励起の信号光を識別できるので、空間分解能を向上できる。本発明は、蛍光顕微鏡にもラマン散乱顕微鏡にも好適に適用できる。 （もっと読む）

【課題】視野に照射する光を、可視光、紫外線、赤外線、またはこれらの組み合わせに自在に変更可能な顕微鏡を提供する。
【解決手段】顕微鏡１０は、光源ユニット１６、可視光を発する可視光源と、紫外線を発する紫外光源と、赤外線を発する赤外光源とを有する光源ユニット１６を備える。光源ユニット１６からの光は、光ファイバ３１や対物レンズ１８等を介して視野の範囲内でワーク１１に照射される。光源ユニット１６から視野に照射する光の種類は、光源切替ダイヤル３２によって、可視光、紫外線、赤外線、あるいはこれらの組み合わせのいずれかに切り替えられる。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクなどの試料についての望まれない粒子や、パターンきず等の検査するためのデザインを提供する。
【解決手段】このシステムは、開口（絞り）およびフーリエフィルタリングのための外部瞳がなく、比較的緩い製造公差を提供し、ブロードバンド明視野やおよびレーザ暗視野イメージングおよび波長３６５ｎｍ以下における検査に適する。使用されるレンズは単一の材料を用いて形成または構成される。少なくとも１つの小さな折り返しミラー（３０４）およびマンジャンミラー（３０６）を含んでいる。第２の戻りイメージが第１のイメージから横方向にずれるように軸をはずして構成される。これによって、受光を許容する横方向分離および各イメージを別々に操作することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】標本内部に刺激光を照射して、標本の界面付近の反応を観察する。
【解決手段】顕微鏡装置１１では、コンフォーカル光学系１９を介して標本１２の各深さごとに照射されるレーザ光による標本１２の各深さごとの蛍光断面画像を取得し、全反射照明光学系１７を介して標本１２の境界面で全反射するように照射されるレーザ光による標本１２の境界面の蛍光画像を取得し、蛍光断面画像に基づいて指定される所定箇所にコンフォーカル光学系１９を介して刺激光を照射し、刺激光が照射された後に、全反射照明光学系１７を介して標本１２の境界面で全反射するように照射されるレーザ光による標本１２の境界面の蛍光画像を取得する。本発明は、例えば、全反射照明光学系およびコンフォーカル光学系を有する顕微鏡装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、顕微鏡装置に関し、同一の光源からの長波長の光束を試料に広域照射し短波長の光束をスポット照射することを目的とする。
【解決手段】 試料を拡大する対物レンズと、前記対物レンズで拡大された像を結像する結像光学系とを備えた顕微鏡装置において、光源と、前記光源からの光の光路を波長の長短に応じて異なる方向に設定する光路設定素子と、前記光路設定素子からの長波長の光束を前記試料に広域照射するための第１の照明光学系と、前記光路設定素子からの短波長の光束を前記試料にスポット照射するための第２の照明光学系と、前記第１の照明光学系からの長波長の光束から所定波長の光束を選択し、前記対物レンズに導く第１の波長選択素子と、前記第２の照明光学系からの短波長の光束から所定波長の光束を選択し、前記対物レンズに導く第２の波長選択素子と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】汎用的な撮像装置を採用することができ、紫外光の照明光量を変更した場合でも波長帯域ごとの輝度値の強度バランスを常に一定に保つ。
【解決手段】波長帯域ごとに定められた光量比率で紫外光を標本に照射して戻り光を撮影し、波長帯域ごとの仮画像を取得する仮画像取得工程ＳＡ４と、取得された波長帯域ごとの仮画像の輝度値を検出する輝度値検出工程ＳＡ６と、検出された仮画像の輝度値と目標輝度値との割合に基づき、波長帯域ごとに目標輝度値を得るための適正露光時間を算出する適正露光時間算出工程ＳＡ８と、算出された波長帯域ごとの適正露光時間のうち、最小の適正露光時間を全ての波長帯域の露光時間に設定する露光時間設定工程ＳＡ１４と、仮画像取得工程ＳＡ４時における光量比率で紫外光を標本に照射し、波長帯域ごとに露光時間設定工程ＳＡ１４により設定された露光時間で撮影を行う本撮影工程ＳＡ１５とを備える顕微鏡観察方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】被写体の像のぶれ量に応じて、照明光量／露光時間／カメラゲインを変化させることにより、最適撮影を行うことができる顕微鏡カメラを提供する。
【解決手段】顕微鏡カメラ１の制御部（マイクロコントローラ４）は、試料Ｏのデジタル画像を撮影する前の予備動作として、利得制御部１４を制御して予め決められたカメラゲインに設定した状態で光学像ぶれ検出部１６により試料Ｏの像のぶれ量を検出し、露光時間調整部１３により撮像部３における露光時間を短くし、且つ、照明調光部７により照明部６から放射される照明光の光量を増加させた露光を行う第１モードを備えている。 （もっと読む）

【課題】 長い作動距離を有し、開口数が大きく、かつ色収差の発生を極力抑えたアポクロマート級の平行系実体顕微鏡用の対物レンズを提供する。
【解決手段】 変倍光学系側から物体面側へ向かって順に並んだ、変倍光学系側に凹面を向けた負レンズＬ１と、少なくとも１つ以上の正レンズ（図１ではレンズＬ２が該当）とを有する第１レンズ群Ｇ１と、２組以上の接合レンズ（図１ではレンズＬ３〜Ｌ５からなる接合レンズと、Ｌ６，Ｌ７からなる接合レンズとが該当）を有し、全体として正の屈折力を持つ第２レンズ群Ｇ２とから構成され、条件式 ３９＜ν２ｎ＜６０ 及び ０．００＜θｇＦ（ｎ）−θｇＦ（ｐ）＜０．０４ の条件を満足する。 （もっと読む）

【課題】高精度で露光する。
【解決手段】露光照明ユニット３２は、レボルバに装着されている複数の対物レンズのそれぞれに対して倍率補正調整がなされている第２対物レンズを複数有している。そして、露光照明ユニット３２では、光軸Ｌ１上に配置される対物レンズが切り替えられると、第２対物レンズ５５−１および５５−２がスライドし、光軸Ｌ１上に配置された対物レンズ１４に対して倍率補正調整がなされている方を経由して、DMD５４により変調された露光光が対物レンズに入射される。本発明は、例えば、MEMSデバイスの製作および観察をする顕微鏡システムに適用できる。 （もっと読む）

【課題】MEMSデバイスの製作および観察を効率よく行う。
【解決手段】露光対象物１２の観察に使用される観察鏡筒１９と、露光対象物１２を露光する露光光を発生する露光照明ユニット３２と、ステージ１３およびレボルバ１５が装着される顕微鏡本体１６と、露光対象物１２に照射する照明光を発生する落射照明ユニット１７と、対物レンズ１４の露光対象物１２に対する焦点を合致させるＡＦユニット１８とが、共通の接続部を有する。本発明は、例えば、MEMSデバイスの製作および観察をする顕微鏡システムに適用できる。 （もっと読む）