【課題】 透明試料以外でも試料表面に特徴のある形状がない場合でも、荷電粒子ビーム装置における加工位置決めを高精度かつ容易に行えるようにする。
【解決手段】 赤外顕微鏡による観察を行いながら荷電粒子ビーム装置における加工・観察対象箇所１が視野内にくるように移動し、加工・観察対象箇所１周辺に光学観察系と同軸に配置されたレーザー光学系７によって、荷電粒子ビーム装置における二次荷電粒子像の目印となるレーザーマーク２をつける。次に、赤外透過像とCADデータとの重畳により、CADデータ上に加工・観察対象箇所とレーザーマークを登録する。そして、荷電粒子ビーム装置から読み出した登録データと二次荷電粒子像との関連付けによって、高精度かつ容易に加工位置を決定することができる。 （もっと読む）

【課題】観察光学系と自動焦点系とを併用したとしても自動焦点系の光束に影響を及ぼすことがないこと。
【解決手段】ＤＵＶ照明／結像装置５１におけるランプハウス２０から出射された照明光束を無限遠補正光学系７に入射させる偏光ビームスプリッタ２４と標本面９からの戻り光束を無限遠補正光学系７から分離するダイクロイックミラー２５との間にλ／４波長板５０を設けた。 （もっと読む）

【課題】 基本構成の顕微鏡に、所望する観察機能を簡単に付加して構成することができる顕微鏡を提供する。
【解決手段】 投光管４の可視光用光源５からの光により試料３の観察を可能にした基本構成の顕微鏡本体１に、別途用意された、紫外光域の照明光を発生する照明光学系を有するとともに、紫外光による試料像を観察する観察光学系を有する照明観察ユニット１０を装着することにより、照明観察ユニット１０の紫外光域の照明光による試料観察を可能とする。 （もっと読む）

【課題】刺激光の照射位置を把握するためのガイド光を刺激光と同じ位置に比較的簡単な構成によって精度良く照射できる顕微鏡の照明装置を提供する。
【解決手段】顕微鏡の照明装置は、単一の光源１０１とコレクターレンズ１０２とからなる光源部と、光源部からの光束を三つに分割する半透鏡１０３と半透鏡１０５と、分割された三つの光束のうちの二つの光束の光路を合成する半透鏡１０６と、半透鏡１０６からの光束の一部を選択的に透過するピンホール１０８と、分割された残る一つの光束の光路と合成された光路を合成する半透鏡１０９と、投影レンズ１１０と半透鏡１１１と対物レンズ１１２とからなる投影光学系と、分割された三つの光束を独立的に透過波長選択するバンドパスフィルター１１４Ａと１１４Ｂと１１４Ｃと、分割された三つの光束を独立的に遮光または導光するシャッター１１６Ａと１１６Ｂと１１６Ｃとを有している。 （もっと読む）

単分子の存在を分析する装置は、試料を上に配置する試料プレート（３０’）を備える。一実施形態では、この装置は、試料中で蛍光を励起するのに適した２つの異なる波長の照明光を提供する２つのレーザ（４６’、４６”）と、バンドパスフィルタ（５０’、５５”）、発散レンズ（５４’、５４”）、視野絞り（６２’）、および内部全反射対物レンズ（７４’）を介して試料上に照明光を方向づける収束レンズ（６６’）を含むコリメータと、照明光に応答して前記試料によって生成される蛍光像を検出する手段（３４’、３４”）とを備える。一実施形態では、この装置は、レーザ（３８’）と、ビームスプリッタキューブ（８６’）と、収束レンズ（９０’）と、オートフォーカス用ダイクロイック（９４’）とを含むオートフォーカスモジュールをさらに備え、それによって、試料に対する対物レンズの合焦を維持する。
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【課題】共焦点レーザ走査顕微鏡によりもたらされるものに匹敵する視野分解能の深度を与え、更に、光漂白及び光の有毒性を減少させる。
【解決手段】レーザ走査顕微鏡は、３つ又はそれ以上の光子の同時吸収により、目的物における分子励起を生じさせて、内在的な３次元分解能をもたらす。短い波長領域における単一光子の吸収を有する蛍光体は、比較的長い波長領域のレーザ光による、強く結像されたサブピコ秒のパルスのビームにより励起させられる。蛍光体は、生きた細胞及び他の極微的な対象物の蛍光画像を作成するために、レーザ波長の約３分の１，４分の１又はそれより小さい分数でさえも吸収する。蛍光体からの蛍光放射は、励起強度とともに、３次的に，４次的に又はそれより大きな冪乗の法則で増大し、その結果、レーザ光を結像させることにより、光漂白のみならず、蛍光が焦点面の近傍に限定される。 （もっと読む）

強度および他の顕微鏡検査様式の光学的な質を阻害することなく、位相差顕微鏡画像を生成し、かつこれを得るシステムおよび方法は、位相顕微鏡検査適用のための波長特異的な照明ストラテジーおよび減衰ストラテジーを用いる。特異的な波長でのみ不透明である波長特異的対物位相リングが、位相顕微鏡検査装置に関連して使用され得る。波長の減衰は、モニターされる蛍光シグナルのために所望される範囲の外である波長に関してのみ、不透明性が選択的に提供され得るように調節され得る。対物位相リングのための不透明な波長の範囲内の照明が、位相顕微鏡検査適用のために選択され得る。従って、波長特異的位相顕微鏡検査を可能にするために有効な対物位相リングは、例えば、蛍光顕微鏡検査のような他の適用のための顕微鏡の一般的な使用法を阻害しなくともよい。
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【課題】 細胞のダメージや蛍光色素の退色を防ぎつつ正確な焦点検出ができる自動焦点検出装置を提供すること。
【解決手段】 ＡＦ用暗視野照明装置６０は、対物レンズ３１とともに、Ｚ方向に移動可能な保持部３０に固設されている。ＬＥＤ光源６３から射出した赤外光Ｌ５は、集光レンズ６４によって集光され、ペトリディッシュ１００中の生体試料Ｓへ斜め入射する。赤外光Ｌ５の照射により生体試料Ｓから散乱光Ｌ６が発生し、散乱光Ｌ６の一部は、対物レンズ３１を通り、ＣＣＤカメラにより暗視野顕微鏡像として撮像される。暗視野顕微鏡画像は、対物レンズ３１のＺ軸上の位置によって鮮明さが異なり、最も鮮明になったときの対物レンズ３１の位置を合焦位置とする。 （もっと読む）

本発明は、生体試料を分析するための機器、システム、および方法に関するものである。特に、本発明は、光学顕微鏡による試料の分析のためのシステムと方法を提供する。本発明は微細な、位置検出および焦点合わせを可能にする。本発明は、少なくとも二つの連携した光線の使用を含む。そのうちの一つはもう一方の位置を決定するために機能する。望ましい実施様態においては、前記システムは全内部反射光学系が据え付けてある顕微鏡である。本発明はまた、全内部反射対物レンズが組み込まれている標準的な顕微鏡からも構成可能である。
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【課題】紫外域から可視域、さらには赤外域にわたる広帯域で高い反射防止性能を有した反射防止膜を設けた高い透過率を有する光学素子を備えた顕微鏡及びこれに用いられる撮像装置を提供する。
【解決手段】光学素子の表面から数えて第１，３，５層に高屈折率材料を、第２，４層に低屈折率材料または中間屈折率材料を、第６層に低屈折率材料をそれぞれ成膜したものであり、前記各層の光学的膜厚ｎｄが設計波長λに対して、第１層は（０．１３〜０．３５）×λ／４、第２層は（０．１８〜０．７５）×λ／４、第３層は（０．２８〜２．３１）×λ／４、第４層は（０．２６〜０．９２）×λ／４、第５層は（０．２０〜０．３７）×λ／４、第６層は（１．０９〜１．１８）×λ／４として構成されている、反射防止膜を設けた光学素子を備えている。 （もっと読む）

【課題】複雑な光学系を用いずに、正確な可視光観察を可能にする、赤外顕微鏡のための照明光照射機構を提供する。
【解決手段】赤外顕微鏡に使用される従来のカセグレン鏡の代わりに、カセグレン鏡を構成する凸面鏡４の背部に放物面鏡６を設置し、この放物面鏡６に光ファイバー７を介して照明光源１０の光を照射し、放物面鏡６の反射光で試料８表面を照明する。放物面鏡６の焦点の位置に光ファイバー７の先端を位置させることにより、照明光を平行光束とすることが出来る。また、光ファイバー７内で反射が繰り返されるため、均一な照射光が得られる。顕微鏡内に照明光源１０を備える従来の方法に比べて、単純な光学系で、明るい均一な照明が得られ、正確な試料観察ができる。 （もっと読む）

【課題】観察に悪影響を与えることなく、ＡＦ装置の検出光の不所望な面での反射が抑えられた標本体を構成することを可能にする標本体構成部材を提供する。
【解決手段】狭持標本体１１０は、スライドガラス１２０と、カバーガラス１３０と、スライドガラス１２０とカバーガラス１３０の間に保持された標本１４０とから構成されている。標本１４０は、例えば、観察対象物１４２とグリセリンなどの封入剤１４４とからなり、略１．３〜１．５５の屈折率を有している。スライドガラス１２０は、上面すなわち標本１４０と接する標本保持面１２０ａに、可視光反射防止・近赤外光反射コート１２４が施されている。可視光反射防止・近赤外光反射コート１２４は、略１．３〜１．５５の屈折率の標本１４０に対して、可視域の光に対して低い反射率を有し、近赤外域の光に対して高い反射率を有している。 （もっと読む）

【課題】一台の顕微鏡でもって、一つの標本に対し、観察する目的に応じて、多光子励起蛍光観察、第二高調波観察、コヒーレントラマン散乱光観察の全てを並行して或いは選択的に行うことができる顕微鏡を提供する。
【解決手段】第一のパルスレーザ発生手段１と、第二のパルスレーザ発生手段２と、第一のパルス光と第二のパルス光を合成して標本４に照射可能な照射手段（符号省略）と、照射光を照射された標本４からの光から、コヒーレントラマン散乱光のみを抽出する抽出手段（符号省略）と、多光子励起蛍光のみを抽出する抽出手段６と、第二高調波のみを抽出する抽出手段７と、抽出されたコヒーレントラマン散乱光を検出する検出手段８と、抽出された蛍光を検出する検出手段９（又は１０）と、抽出手段７を介して抽出された第二高調波を検出する検出手段１０（又は９）とを有する。 （もっと読む）

本発明は、人間の関心領域（１２０）における生物学的構造の特性を決めるための分光システム（１００）を提供する。この分光システム（１００）は、励起ビームを関心領域（１２０）に向け、この関心領域（１２０）からの戻り放射線（１２４）を収集するための低コストの対物レンズ（１１８）を有する。この戻り放射線（１２４）、すなわち分光信号を検出した後、補正ユニット（１０６）は、対物レンズ（１１８）によりもたらされる分光信号の収差の補償を行う。対物レンズ（１１８）の収差は、この対物レンズ（１１８）の光軸（１１６）から関心領域（１２０）までの横方向距離（１２２）に強く依存しているので、補正ユニット（１０６）は、補正値と、関心領域（１２０）の様々な横方向位置（１２２）との間に割当てを設ける補正テーブル（１１０）を効果的に利用する。
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【課題】 レーザ光源を切換えても標本内の目的とする位置に、それぞれのレーザ光を位置ずれを生じることなく正確に照射できる走査型光学観察装置を提供する。
【解決手段】 観察用可視レーザユニット１から発せられる１光子励起波長の観察用励起レーザ光と観察用赤外レーザユニット７から発せられる２光子励起波長の観察用励起レーザ光のそれぞれの光路をダイクロイックミラー９により合成し、さらに刺激用レーザユニット１５から発せられる２光子励起波長の刺激用レーザ光の光路をダイクロイックミラー１８により合成し、これら合成された光路を介して、それぞれのレーザ光を標本２３内に照射し、可視レーザによる１光子励起観察、赤外パルスレーザによる２光子励起観察、さらには、刺激用レーザによる２光子励起による化学反応を得られるようにする。 （もっと読む）

従来使用していた検査装置および検査方法では、反射された可視光または紫外光を使用し、それによりたとえばウェハの微細構造サンプルを解析している。本発明の目的は、この装置の可能な用途を増やすことにあり、すなわち構造的な詳細を明らかにすることである。たとえば、塗装材料や中間材料が不透明であることから可視光または紫外光で見ることができないように両面を塗膜化されたウェハなどが対象となる。上述の目的は、反射光として赤外光を使用する一方で、光を透過させることにより実現される。すなわち、赤外線画像のコントラストを大きく改善し、サンプルを、反射または透過赤外光および反射可視光で同時に検査することができる。 （もっと読む）

検査対象の半導体デバイスＳに対して、画像取得部１と、対物レンズ２０を含む光学系２と、半導体デバイスＳから対物レンズ２０への光軸を含む挿入位置、及び光軸を外れた待機位置の間を移動可能な固浸レンズ（ＳＩＬ）３とを設置する。そして、ＳＩＬ３を待機位置に配置し、半導体デバイスＳの基板の屈折率ｎ_０、及び厚さｔ_０に基づいて焦点及び収差を補正する第１モードと、ＳＩＬ３を挿入位置に配置し、基板の屈折率ｎ_０、厚さｔ_０、ＳＩＬ３の屈折率ｎ_１、厚さｄ_１、及び曲率半径Ｒ_１に基づいて焦点及び収差を補正する第２モードとの２つの制御モードで観察を行う。これにより、半導体デバイスの微細構造解析などに必要な試料の観察を容易に行うことが可能な顕微鏡、及び試料観察方法が得られる。 （もっと読む）

【課題】特別な知識がなくてもユーザサイドで簡単に実行可能な調整が実現可能であると共に、４Ｐｉ画像記録（撮像）の安定化が長時間にわたって達成可能な４Ｐｉシステムの２つの対物レンズを調整するための方法及び装置。
【解決手段】有利には共焦点走査顕微鏡（１）の４Ｐｉシステムにおける２つの対物レンズ（１９、２０）の調整方法及び装置であって、該２つの対物レンズ（１９、２０）の少なくとも一方が他方の対物レンズ（２０、１９）に対して運動可能に構成されるものにおいて、基準対象物が、前記２つの対物レンズ（１９、２０）の瞳（複数）に結像されること、前記基準対象物の結像（複数）から、前記２つの対物レンズ（１９、２０）の各々に対し夫々１つの固有のフーリエ画像が生成されること、及び前記２つの対物レンズ（１９、２０）の少なくとも一方の他方の対物レンズ（１９、２０）に対する相対的な運動によって、前記基準対象物の前記２つのフーリエ画像が一致されることを特徴とする。 （もっと読む）