【課題】トレンチ幅が照明光の波長と同程度の高アスペクト比のトレンチの深さを測定できるトレンチ深さ測定装置を実現する。
【解決手段】照明光学系は、ライン状の照明ビームを発生する光源装置１〜４及びライン状の照明ビームを前記試料に向けて投射する対物レンズ６を有し、光源装置と対物レンズとの間の瞳位置にトレンチの長手方向と平行なライン状の瞳パターンを形成する。ライン状の瞳パターンは対物レンズを介してトレンチが形成されている試料表面７にトレンチと交差するようにライン状の照明エリアを形成する。また、照明光として直線偏光した照明光を用い、その電界ベクトルの方向は、トレンチの長手方向に対してほぼ平行に設定する。直線偏光した照明光の電界ベクトルの方向をトレンチの長手方向に設定することにより、トレンチにおける光損失が減少し、トレンチの内部に照明光を進入させることでき、高精度な深さ測定が可能になる。 （もっと読む）

【課題】撮影フレームにおける患者眼の描画位置によらずに乱視軸角度を高確度で測定することが可能な眼科手術用顕微鏡を提供する。
【解決手段】眼科手術用顕微鏡１の記憶部７０には、少なくとも撮影光学系のパワー分布に起因する乱視パラメーターの分布を表す乱視分布情報７１が記憶されている。乱視情報算出部９２は、ＬＥＤ群１３１−ｉからの光が投影された状態の患者眼Ｅを撮像素子５６ａにより撮影して得られた画像に基づいて乱視情報を算出する。乱視情報補正部９３は、この乱視情報を乱視分布情報７１に基づいて補正する。 （もっと読む）

【課題】焦点位置調節レンズの移動と観察位置の関係を把握でき、観察対象物上の焦点位置を知ることができるオートフォーカス装置とこれを有する顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】対物レンズ１２を介して対象物の像を結像する観察光学系３と、前記対物レンズを介して前記対象物上にフォーカス用の光像を投影検出するフォーカス用光学系５と、前記観察光学系の結像位置と前記フォーカス用照明光学系の結像位置とのオフセット量を調節する結像位置調節手段８と、前記対物レンズの焦点位置を検出するＺ位置検出手段３４ｂと、前記結像位置調節手段の位置を検出するＸ位置検出手段９ｂと、前記Ｘ位置情報と前記Ｚ位置情報とを関連付けた座標テーブルを記憶する記憶部４２とを有し、前記結像位置調整手段を調節した際、前記Ｘ位置情報から前記対象物中の焦点位置であるＺ位置を検出する制御部４１を有する。 （もっと読む）

【課題】試料を詳細かつ適切に評価することができる形状測定装置、及び形状測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の一態様にかかる形状測定装置は、観察窓５１と、基板５４とを有する試料保持ユニット１１と、観察窓５１又は基板５４を介して、試料５３を加圧するシリンダ５６、５７と、試料５１の形状を測定するため試料５１を照明するとともに、照明光の焦点位置を光軸方向に走査可能な共焦点光学系３０と、共焦点光学系３０を介して、試料保持ユニット１１に保持された試料からの反射光を検出するラインセンサ１５〜１７と、焦点位置を光軸方向に走査した時での検出結果によって、形状を測定する処理部１８と、を備え、観察窓５１の表面５１ａに焦点位置を合わせて、観察窓５１の表面形状を測定するものである。 （もっと読む）

【課題】走査型顕微鏡において、低ノイズの画像を高速で取得する。
【解決手段】走査型顕微鏡は、光源ユニット、第１の走査手段１１４ａ、第１の光制限体１１５ａ、および光量検出器１１８を有する。光源ユニットは試料に照射する照射光を第１、第２の出射点から出射する。第１の走査手段１１４ａは照射光の偏向方向を変える。第１の光制限体１１５ａは照射光を通過させる複数の孔部１１５ａｓを有する。光量検出器１１８は試料への照射により生じる信号光の受光量を検出する。第１の走査手段１１４ａは走査点を照射光の偏向方向を変えることにより第１の走査方向に沿って移動可能である。複数の孔部１１５ａｓは、第１の走査手段１１４ａによる偏向方向の連続的な変化に応じて、第１、第２の出射点から出射された照射光が異なる時期に孔部１１５ａｓを通過するように、配置される （もっと読む）

【課題】
観察方法の切換え時の光軸上に対する素子の挿脱操作を１回でも少ない回数で行える操作性のよい顕微鏡を提供する。
【解決手段】
コンデンサレンズ５Ｅにおいて、ターレット２４にはＤＩＣプリズム２０とＲＣスリット２１のみを搭載し、照明光軸Ｌ１上の位置でその上方に、ＤＩＣ観察用ポラライザ２３とＲＣ観察用ポラライザ２２との機能を共用する１個の共用ポラライザ３４を配置させたものである。この共用ポラライザ３４は、モータ４３を利用した電動制御で自動的に、ＲＣ観察用ポラライザ２２用の第１の振動方向の位置（角度）とＤＩＣ観察用ポラライザ２３用の第２の振動方向の位置（角度）とを記憶させ、記憶させた第１または第２の振動方向の位置を選択的に再現保持可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】標本に対して精度よく焦点合わせする。
【解決手段】カバーガラス５付きの標本Ａに照射される照明光をライン状に集光する照明光学系１１と、ライン状に集光された照明光を標本Ａに照射し、カバーガラス５からの反射光を集光する対物レンズ１３と、対物レンズ１３により集光された反射光の光軸に対して傾斜して配置された撮像面３６を有し、反射光を撮影して画像情報を検出する検出部１５と、検出部１５により検出された画像情報における光強度の最も高い位置が反射光の光軸上に位置するように、対物レンズ１３とカバーガラス５付きの標本とを光軸方向に相対移動させる合焦調節部１７とを備える自動合焦機構１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】照明が単一の方向だけから捕らえられる場合に起こる可能性がある反射された強度変化の結果としての基体表面の態様の不正確なまたは不完全な特徴付けを克服する。
【解決手段】基板１２の表面から複数の方向において反射される照明を同時に捕らえるように構成される。一組の照明器５２ａ５２ｂと、表面を離れて反射された照明の少なくとも２つのビームを同時に捕らえるように構成される画像捕獲装置である３Ｄ輪郭カメラ５６とを含む。画像捕獲装置によって同時に捕らえられる照明の少なくとも２つのビームは、反射されたそれらの移動通路間で異なる角度の分離を有する。一連の照明器は、表面に入射する細線照明の一以上のビームを供給するために配置され、構成される一組の細線照明器を含むことができる。例えば、細線照明の２つのビームは、表面の垂直軸に異なる入射角で表面に導くことができる。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の表面に段差部があった場合でも好適に測定できるオートフォーカス装置を提供する。
【解決手段】光出射部１０と、光出射部１０からの出射光とワークＷからの戻り光とを通過させる対物レンズ部３０と、戻り光によりフォーカス検出を行う検出部５０Ａ，５０Ｂと、を備え、光出射部１０は、発散光を出射する光源１１と、光源１１からの発散光を集光させる集光レンズ１２と、集光レンズ１２の焦点位置に配設される光形状変形部材１３と、を備え、光形状変形部材１３は、異なる方向に延在する直線状又は曲線状のスリットからなる光透過領域Ｓを備え、集光レンズ１２からの出射光を透過させて当該出射光の形状を光透過領域Ｓの形状に変形させる。 （もっと読む）

【課題】広い倍率域で最適な偏斜照明を行い、効果的なコントラスト観察が行える実体顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】実体顕微鏡装置１０は、光源１００の像の近傍に配置される照明光学系開口絞り１１１と、この光を略平行光束にして標本面１０１に照射するコンデンサレンズ１０７と、標本面１０１から射出した光を集光して略平行光束にする対物レンズ１０８と、対物レンズ１０８の像側の焦点面若しくはその近傍に配置される結像光学系開口絞り１１３と、変倍状態に関わらず固定された入射瞳が結像光学系開口絞り１１３と略一致するように配置され、略平行光束を複数の略平行光束として射出する複数のアフォーカルズーム系１０９と、これらの略平行光束を集光する複数の結像レンズ１１０と、照明光学系開口絞り１１１の開口部の形状を変化させる複数のコントラスト観察用の光学部材１１２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】蛍光、ラマン散乱光等の観察光と励起光の波長の順序が変動しても同一の光学系を用いて複数の波長の光を観察することができる。
【解決手段】異なる照明光を射出する複数の光源部４，５と、該光源部４，５から射出された複数の照明光を標本Ａに集光する対物光学系６，７と、光源部４，５からの複数の照明光を標本Ａ上の異なる位置に集光させるように対物光学系６，７に導光する照明光学系８，９，１０と、照明光を照射することにより標本Ａにおいて発生した複数の観察光を異なる位置に結像させる結像光学系１１と、該結像光学系１１による異なる結像位置において複数の観察光を検出する光検出部１２とを備える顕微鏡１を提供する。 （もっと読む）

【課題】部品点数が少なく簡素な構成で小型化、低コスト化を実現可能な焦点検出装置に用いる光学素子を提供する。
【解決手段】被検物体６０に光を照射するための光源１０と、この被検物体６０で反射した光を検出する２分割受光素子８０と、光源１０からの光を集光して、当該光を対物レンズ５０を介して被検物体６０に照射し、被検物体６０で反射した光を対物レンズ５０を介して集光して２分割受光素子８０に導く光学素子２０と、を有する焦点検出装置１００において、光学素子２０は、光源１０からの光が入射する入射面２０ｄと、この光を反射する第１の反射面２０ｂと、第１の反射面２０ｂで反射した光を被検物体６０に集光し、その反射光を２分割受光素子８０に集光する屈折面２０ａと、屈折面２０ａで集光された光を２分割受光素子８０の方向に反射する第２の反射面２０ｃと、この光を射出させて２分割受光素子８０に導く射出面２０ｅと、を有する。 （もっと読む）

【課題】データの迅速な撮影が可能であって、構成が技術的にできるだけ簡単に実現されるような、ミリメータサイズの生物学的な対象物の高解像度による３次元的な観察に適した顕微鏡を提供する。
【解決手段】顕微鏡１００において、試料４を定置に保持することができ、照明光路２と検出光路５とには、この両光路２，５を試料近傍領域において摺動させる装置２４，２６が設けられている。この装置２４，２６は例えば、それぞれ１つの傾動可能な鏡を有しているビーム変向ユニットであって良い。両ビーム変向ユニット２４，２６は、その運動を互いに適合させるために１つの制御装置２８の制御下にある。これにより、試料４の、その時点で対象物照明領域２０´によって照射される領域が常に、検出光路５によって検出器８に結像されることが保証される。 （もっと読む）

【課題】共焦点絞りを励起光及び蛍光に作用させながら、自家蛍光による蛍光画像の画質の劣化を抑制することができる共焦点走査型顕微鏡を提供する。
【解決手段】共焦点走査型顕微鏡１は、光源部２から射出された励起光を光分離手段３により対物光学系６へ導き、対物光学系６の試料１２側の焦点位置に配置された試料１２に照射する。共焦点走査型顕微鏡１は、試料１２から生じた蛍光を、対物光学系６を介して光分離手段３へ入射させ励起光から分離し、撮像光学系１３を介して撮像素子１９で検出する。共焦点走査型顕微鏡１は、光源部２と対物光学系６の間で、且つ、対物光学系６の試料１２側の焦点位置と光学的に共役な位置に配置されたラインスリット部材５ａにより共焦点効果を生じさせ、撮像光学系１３内でラインスリット部材５ａと光学的に共役な位置に配置されたラインスリット部材１５ａにより自家蛍光を遮断する。 （もっと読む）

【課題】光学系に発生する歪みを抑制するとともに、外来光によるノイズの増加を防止して、精度の高い観察を行う。
【解決手段】標本を収容して恒温恒湿を維持しつつ培養する培養部３と、該培養部３を保持するステージ４と、光源２からの照明光を標本に集光する第１の集光光学系５と、標本を透過した透過光を集光する第２の集光光学系６と、標本における照明光の集光位置と光学的に共役な位置に配置され、第２の集光光学系６により集光された透過光の一部を遮断する透過用ピンホール７と、透過用ピンホール７を通過した透過光を検出する透過用光検出器８と、これらとステージ４とを相対的に移動させる移動機構と、これらを取り囲み外光を遮断する筐体９と、筐体９内の温度を制御する温度制御部１０，１１，１２とを備える顕微鏡装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】ポリゴンミラーを用いた走査型顕微鏡で、より高画質の画像をより高速に得る。
【解決手段】ポリゴンミラー１５により、対物レンズ１８の焦点面において、試料２に照射する一方向に長いレーザ光を長手方向と垂直な方向にスキャンする。試料２からの観察光を、ポリゴンミラー１５の照明光のスキャンに用いた面を用いてデスキャンし、集光レンズ１４により集光し、スリット１９を通過させた後、同じ面を用いて、CCDイメージセンサ２５の受光面においてスキャンする。観察光をデスキャンするときのポリゴンミラー１５の面に対する反射角と、スキャンするときのポリゴンミラー１５の面に対する入射角との回転軸Ａ１方向の角度が等しく、デスキャンするときのポリゴンミラー１５の面における像と、スキャンするときのポリゴンミラー１５の面における像の大きさが等しい。本発明は、例えば、共焦点レーザスキャン顕微鏡に適用できる。 （もっと読む）

本発明は、ａ）それぞれ顕微鏡対物レンズを介してＴＩＲＦ法により試料が照明され、ｂ）構造の種々の移動位置で試料が構造化照明され、少なくとも１つの試料領域の画像をそれぞれ形成するために、ａ）及びｂ）による方法の試料光が検出され、ａ）及びｂ）にしたがって形成された試料画像が互いに計算され、好ましくは乗算され、新たな試料画像を形成するために結果が格納される、顕微鏡画像を形成するための方法および顕微鏡に関する。
（もっと読む）

【課題】白内障外科で使用するためにも網膜外科で使用するためにも同様に良く適した手術用顕微鏡を提案する。
【解決手段】第１立体部分光路（５）および第２立体部分光路（７）によって貫通され、物体領域（９）で物体平面（４５）を可視化する顕微鏡主対物レンズ（１２）と、この対物レンズにおける物体領域に向いていない側に配置したビーム偏向手段（１９）を有する照明光学系を含み、顕微鏡主対物レンズを通って照明光を物体領域に偏向する調節可能な照明手段（１５）とを備え、照明光が照明手段の初期設定で第１立体部分光路および／または第２立体部分光路の光軸を部分的に取り囲む面部分（９１，９２）で顕微鏡主対物レンズの横断面（８９）を貫通する手術用顕微鏡（１）において、照明手段の別の設定で、面の重心が立体部分光路の光軸から両立体部分光路の立体基準よりも大きい間隔を有する面部分で照明光が顕微鏡主対物レンズの横断面を貫通する。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成により、参照ミラーを僅かに傾斜させるだけで、ウェハなどの試料（被測定物）の表面形状を計測し、ごみやポールピースなどの正確な座標位置を特定し、電子顕微鏡、描画装置などの荷電粒子ビーム装置にその正確なデータを送受信して、作業効率の向上に一層貢献することができる干渉顕微鏡及び測定装置を提供する。
【解決手段】ウェハなどの試料にレーザ光を照射し、干渉計を用いて、試料の表面内部を観察検査する干渉顕微鏡及び測定装置において、ビームスプリッターと参照ミラーとの間に光を導光するための参照光路を設けるとともに、ビームスプリッターと試料との間に光を導光するための測定光路を設けて、参照光路と測定光路において光学的光路差を設ける。しかも、参照ミラーを微小量傾けることによって、検出手段に干渉縞を形成する。 （もっと読む）

【課題】観察像への悪影響がなく、安定した検焦光量を得ることができる共焦点顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】ピンホールおよびマイクロレンズを利用して共焦点効果を獲得するニポウディスク方式の共焦点顕微鏡装置に適用される。検焦光の反射光を前記ピンホールおよび前記マイクロレンズを通過させる検焦光学系と、前記検焦光学系を経由した前記検焦光の反射光の光量を検出する検出手段と、前記検出手段の検焦結果に応じて合焦を行う合焦装置と、を備える。 （もっと読む）