【課題】物体平面に配置されるパターンを像平面内に結像するマイクロリソグラフィ投影対物レンズにおいて迷光を抑制する。
【解決手段】物体平面に配置されるパターンを像平面内に結像するマイクロリソグラフィ投影対物レンズ１０が提供され、第１対物レンズ部１６と、第２対物レンズ部１８と、少なくとも一つの第３対物レンズ部２０とを備え、第２対物レンズ部１８は、第１対物レンズ部１０における光伝搬方向および第３対物レンズ部２０における光伝搬方向と異なる光伝搬方向を規定し、かつ第１対物レンズ部１０と第２対物レンズ部１８との間および第２対物レンズ部１８と第３対物レンズ部２０との間に少なくとも一つのビーム偏向装置２２をさらに備え、少なくとも一つのシールド２４が、第１対物レンズ部１６から第３対物レンズ部内２０への直接光漏れが少なくとも減少するようにしてビーム偏向装置２２の領域に配置される。 （もっと読む）

【課題】対物光学系、特に、投影対物光学系、好ましくは、マイクロリソグラフィー投影対物光学系の提供。
【解決手段】光線束を通過させる開口部を有さない少なくとも１枚の鏡Ｓ１を有する第１部分対物光学系１００と、少なくとも１枚の１次凹面鏡ＳＫ１と１枚の２次凹面鏡ＳＫ２を有する第２部分対物光学系２００とを含み、１次凹面鏡ＳＫ１と２次凹面鏡ＳＫ２が光線束を通過させる開口部を有する、動作波長が特に１９３ｎｍ以下の、対物光学系、特にマイクロリソグラフィー投影対物光学系に関する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、複数の投影対物レンズ（１０）のうち各々が１つの物体視野（５０）を像視野（６０）の中に結像する投影対物レンズを備える投影露光装置（１）に関する。
【解決手段】像視野（６０）は基板領域（４０）において１つの基板平面の中に配置されており、基板領域（４０）が所定の走査方向（５）で複数の投影対物レンズと相対的に移動可能であり、前記投影対物レンズの少なくとも１つが前記基板平面に対して垂直に延びない該投影対物レンズの光軸の部分区間を有し、かつ前記部分区間の投影が基板平面の中へ走査方向（５）と平行に延びない。 （もっと読む）

【課題】輝度斑を抑えた虚像表示装置を提供すること。
【解決手段】フィルター５０が投射光学系１２から導光装置２０までの間に配置され、透過光量の空間的な分布を変化させるので、投射光学系と導光装置２０とによって形成される虚像としての画像が比較的大きな輝度斑を有するものであっても、その輝度斑を抑制した画像を観察者に対して表示することができる。これにより、虚像表示装置１００によって表示される画像のサイズを大きくしつつ、表示される画像を高品位のものとすることができる。 （もっと読む）

【課題】照明光学系において、光源からの光の角度分布の不均一性を解消しつつ、均一な光強度分布を高い効率で形成するために有利な技術を提供する。
【解決手段】 光源からの光を用いて被照明面を照明する照明光学系は、前記光源からの光を分割して複数の光束を生成する分割部と、前記分割部によって生成された前記複数の光束の光強度分布のそれぞれを均一化する第１反射型インテグレータと、前記第１反射型インテグレータからの光を集光する集光部と、前記集光部からの光を受けて前記被照明面を照明する第２反射型インテグレータと、前記第２反射型インテグレータと前記被照明面との間に配置される開口絞りとを備え、前記分割部は、前記開口絞りが配置される面に対して、前記光源から前記分割部に提供される光の断面形状とは異なる断面形状を有する光が入射するように、前記複数の光束を生成する。 （もっと読む）

【課題】安価な手法で輝度ムラ・画像ムラを抑制可能な虚像光を射出できる虚像表示装置用の導光板及び虚像表示装置を提供する。
【解決手段】非連続反射ユニットにより観察者に虚像光を導く導光板で、反射ユニット２３ｃの第１の反射面２３ａ又は第２の反射面２３ｂに反射膜形成領域と反射膜非形成領域を混在させて形成する。 （もっと読む）

【課題】照射距離の長距離化あるいは光源の省電力化を図ることが可能な光照射器を提供する。
【解決手段】光照射器１１は、楕円鏡１と、放物面鏡２，３，６と、光源Ｓと、双曲面鏡４，５とを備える。楕円鏡１の第１焦点と放物面鏡２の焦点とが点Ｐ１で一致し、光源Ｓは、その中心が点Ｐ１と一致するように配置される。放物面鏡３、双曲面鏡４，５は、放物面鏡２の内部に配置され、双曲面鏡４の第１焦点と放物面鏡３の焦点とは点Ｐ３で一致する。双曲面鏡４の第２焦点と楕円鏡１の第２焦点とは点Ｐ２で一致する。放物面鏡６は、楕円鏡１と反対側に位置する放物面鏡２の端部（光を照射する側の端部）において放物面鏡２に接続される。放物面鏡６の焦点は双曲面鏡５の第１焦点と一致する。放物面鏡６の中央部分は開口しており、その開口部分から光が照射される。 （もっと読む）

【課題】高いスループットを達成することのできる光学ユニット、光学系、露光装置、及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】光学ユニット２０は、光源装置と被照射面との間に配置され、光源装置からの露光光ＥＬを波面分割して反射する複数の入射側ミラー要素４７を有する入射側フライアイミラー４５と、入射側フライアイミラー４５で波面分割された露光光ＥＬを反射する複数の射出側ミラー要素６７を有する射出側フライアイミラー６５とを備える。また、光源装置と入射側フライアイミラー４５との間に挿入可能に配置され、光源装置からの露光光ＥＬを波面分割して、その反面分割した露光光ＥＬを、射出側フライアイミラー６５の位置に配置される射出側フライアイミラーに入射させる射出側フライアイミラー５０を備える。 （もっと読む）

【課題】オフアキシャル反射面が形成された結像ミラーによる結像光学系において、結像ミラーの温度上昇による変形を低減する。
【解決手段】画像を読み取る読取手段と、画像を前記読取手段に結像させる結像手段とを備え、前記結像手段は基準軸光線の入射方向と射出方向とが異なりかつ曲率を有するオフアキシャル反射面が形成された結像ミラーを含む画像読取装置であって、前記結像ミラー６、７、８、９は、ミラー基体６ａ、７ａ、８ａ、９ａの一面に第一の金属層６ｂ、７ｂ、８ｂ、９ｂを有し、当該第一の金属層の面にオフアキシャル反射面６ｃ、７ｃ、８ｃ、９ｃを形成し、当該オフアキシャル反射面の裏側面に第二の金属層６ｄ、７ｄ、８ｄ、９ｄを有する。 （もっと読む）

【課題】倍率色収差の量を任意に制御可能とする対物レンズ、及び、この対物レンズを有する結像光学系を提供する。
【解決手段】対物レンズＯＬと結像レンズＩＳとを有する結像光学系ＩＳにおいて、対物レンズＯＬは、物体からの光を集光するレンズ群ＧＦ，ＧＲと、凹面鏡Ｍ０を有する光路調整部材ＰＡと、物体からの光を光路調整部材ＰＡの凹面鏡Ｍ０に入射させるように偏向するとともに、凹面鏡Ｍ０で反射した光を像側に偏向する光路偏向部材ＰＣと、を有し、光路調整部材ＰＡを、光路偏向部材ＰＣにより光が偏向された方向に沿って移動可能に構成する。 （もっと読む）

【課題】構成する光学部材を大型化することなく、大きな開口数を有する液浸法を用いた反射屈折投影光学系を提供する。
【解決手段】第１面Ｒ１の像を第２面上に形成する反射屈折投影光学系ＰＬ１は、少なくとも６つのミラーＭ１〜Ｍ６を含み、前記第１面Ｒ１の第１中間像及び第２中間像を形成する第１結像光学系Ｇ１と、前記第２中間像を前記第２面上にリレーする第２結像光学系Ｇ２とを備える。 （もっと読む）

【課題】光量ロスを抑えつつ明るさムラによる画像の劣化を防いで、良好な状態で画像光を取り出すことのできる虚像表示装置を提供すること。
【解決手段】角度変換部２３において、横画角や瞳の大きさ等を考慮して、反射ユニット２３ｃの配列方向についての角度変換部２３の幅Ｌに関して眼ＥＹに画像を取り込むために必要な条件を確保しつつ上限サイズを設けることで、角度変換部２３における画像光の過度の光量ロスを抑制して、明るさムラ等の発生による画像の劣化を防ぎ、良好な状態で画像光を取り出すことができる。 （もっと読む）

【課題】 例えばＥＵＶ光を用いる露光装置に適用可能な反射光学系であって、大きい開口数を有し、収差が良好に補正された逆瞳タイプの反射結像光学系。
【解決手段】 第１面上の所定領域の像を第２面上に形成する反射結像光学系は、第１面から第２面に向かって反射される順に、第１反射鏡と、第２反射鏡と、第３反射鏡と、第４反射鏡と、第５反射鏡と、第６反射鏡と、第７反射鏡と、第８反射鏡とを備えている。反射結像光学系の入射瞳は、第１面を挟んで反射結像光学系の反対側に位置している。入射瞳と第１面との間の光軸に沿った距離をＰＤとし、第１面と第２面との間の光軸に沿った距離をＴＴとし、第１面に入射する主光線の入射角度（rad）をＲとしたとき、−１４．３＜（ＰＤ／ＴＴ）／Ｒ＜−２．５の条件を満足する。 （もっと読む）

【課題】
非常に小さく、軽量でかつ形状の自由度が高い１個の光学素子によって、画像表示素子の画像を虚像として観察者眼球に投影することが可能な偏心光学系を提供する。
【解決手段】
少なくとも５面の光学面を有する偏心光学系であり、光学面は、ＸＹＺ座標空間におけるＹ−Ｚ面内において軸上主光線に対して偏心しており、かつ、少なくとも１面はＹ−Ｚ面と直交するＸ−Ｚ面内において偏心した面であり、複数の光学面のうち少なくとも２面は回転非対称面であり、少なくとも２面の回転非対称面のうち、少なくとも１面はＸの奇数次数項を有する回転非対称面であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】マイクロリソグラフィにおける使用のための現在の設計の投影対物器械は、露光視野にわたって変化する迷光成分を有する。
【解決手段】視野にわたる迷光成分の変動は、付加的迷光を導入することによって低減され、及び／又は別の投影対物器械の変動に適応させることができる。これは、視野近接表面の表面粗度を事前適応させるか又は変更することにより、及び／又は特別にターゲットを定めた光散乱特性を有する光学要素を瞳平面に設置することにより有利に達成される。このことにおいて、本発明は、視野にわたる迷光成分の変動、及び異なる投影対物器械の迷光成分の異なるそれぞれの変動が、半導体構成要素の製造業者に対して迷光成分それ自体よりもより大きい問題を呈するという観測を利用する。 （もっと読む）

【課題】
非常に小さく、軽量でかつ形状の自由度が高い１個の光学素子によって、画像表示素子の画像を虚像として観察者眼球に投影することが可能な偏心光学系を提供する。
【解決手段】
入射する光束の軸上主光線に対して互いに偏心した少なくとも２面の光学面により形成される空間が屈折率１より大きい媒質で満たされたプリズムを有し、少なくとも２面の光学面は、回転非対称面であり、プリズム内において内部反射を５回行い、かつ、プリズム内にて中間像を形成し、その中間像をプリズムの外部に結像することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光の利用効率を高めた虚像表示装置用の導光板及びこれを組み込んだ虚像表示装置を提供すること。
【解決手段】画像取出部２３から光射出面ＯＳまでの距離が反射ユニット２３ｃの配列方向であるＺ方向に関して光路上流側よりも光路下流側で短いので、反射ユニット２３ｃに入射することなく画像取出部２３と光射出面ＯＳとの間を通過するように伝搬するため外部に取り出すことができなくなってしまう画像光を減少させることができる。つまり、導光板２０内での全反射角が大きな画像光を画像取出部２３に確実に入射させ光射出面ＯＳから効率的に取り出すことができるので、結像に際しての光利用効率を高めることができる。これにより、明るく高性能の虚像表示装置１００を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】照明波長での分解能に関してマイクロリソグラフィ投影露光装置における投影対物鏡として使用できる光学系を改善する
【解決手段】放射光を物体平面１０３から像平面１０２に結像するように配列された複数の素子を含み、これらの複数の素子のうちの少なくとも１つは放射光の経路内に位置する回転非対称面を有する反射素子であるマイクロリソグラフィ投影光学系１０１を特徴とする。回転非対称面は、回転対称面から約１０ｎｍ以上の値だけずれ、光学系はマイクロリソグラフィ投影光学系である。 （もっと読む）

【課題】投写型映像表示装置における高画質化、及び高信頼性を実現する。
【解決手段】黄色成分を赤色及び緑色からカットして色純度を向上させると共に、緑色の光路に光を反射させる反射型減衰フィルタを挿入して３色の光エネルギーバランスを良くする。更に、緑色の光路に光学位相差補償板を設け、コントラスト性能を向上させ、同時に映像表示素子の長寿命化を実現するため、紫外線反射コーティングした光学部品を青色の光路に２個配置し、青色液晶パネルの入射側に紫外線吸収フィルタを設ける。 （もっと読む）

【課題】放射ビームの反射効率を向上させることができる反射光学部材、光学系、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】射出側フライアイミラーは、射出側ミラー要素ＭＡ１，ＭＡ２，ＭＡ３を有するミラーブロック５０Ａと、射出側ミラー要素ＭＢ１を有するミラーブロック５０Ｂと、射出側ミラー要素ＭＣ１，ＭＥ１を有するミラーブロック５０Ｃ，５０Ｅと、射出側ミラー要素ＭＤ１，ＭＤ２を有するミラーブロック５０Ｄとを備えている。 （もっと読む）