【課題】 色収差や像面湾曲などの諸収差が良好に補正されて優れた結像性能を有し、光学面での反射損失を良好に抑えて大きな実効的な像側開口数を確保することのできる比較的小型の投影光学系。
【解決手段】 第１面（Ｒ）の縮小像を第２面（Ｗ）上に形成する反射屈折型の投影光学系は、少なくとも２枚の反射鏡（ＣＭ１，ＣＭ２）と透過部材（Ｌ１１〜Ｌ２１７）とを備え、且つ投影光学系の光軸（ＡＸ）を含まない円弧形状の有効結像領域を備えている。有効結像領域を規定する円弧の曲率半径の大きさをＲとし、第２面上における最大像高をＹ₀とするとき、１．０５＜Ｒ／Ｙ₀＜１２の条件を満足する。 （もっと読む）

【課題】最も対物側に位置するレンズの背面側に空間が形成されるような場合において、その空間に接するレンズの表面等に結露が発生し難い構造を持つとともに防塵機能も持つレンズ組立体を提供する。
【解決手段】レンズ枠１０に挿入された４枚のレンズ１１〜１４のうちの最も対物側に位置する第１のレンズ１４とその第１のレンズ１４に隣接する第２のレンズ１３との間の空間１７に液体Ｌを封入する。 （もっと読む）

【課題】焦点可変レンズとして有限系と無限系のダイナミックな切り替えが可能でありながら、可視光の広い波長帯域でも、有限系あるいは無限系のいずれか一方を確実に波面収差のＲＭＳ値がλ／１４以下（マレシャル基準）を満たし、回折限界の高い精度を持ち光学性能が十分に得ることができ、かつ安価な構成で量産性に優れた液晶レンズを提供すること。
【解決手段】液晶３を挟持する２枚の透明基板２ａ、２ｂにおける液晶３に接する少なくとも一方の面に、レンズ面４が形成されている液晶レンズ１において、このレンズ面４を含む透明基板２ａ、２ｂを構成する部材のアッベ数と、液晶３における常光屈折率のアッベ数、または異常光屈折率のアッベ数とを等しくなるように構成した。 （もっと読む）

【課題】液体レンズを用いた自動焦点調節機能を有する撮像レンズ系及びこれを用いた撮像装置において、より少ないレンズ枚数で撮像レンズ系を構成し、小型化を図る。
【解決手段】物体側から順に第１のレンズ群１及び第２のレンズ群２を有し、第２のレンズ群２に、印加電圧に応じて導電性液体２２と絶縁性液体２３との界面の曲率半径が変化する液体レンズ系を有する。液体レンズ系の導電性液体２２と絶縁性液体２３との界面の曲率中心が、導電性液体２２側に存在する構成とする。 （もっと読む）

【課題】液体レンズを用いた自動焦点調節機能を有する撮像レンズ系及びこれを用いた撮像装置において、より少ないレンズ枚数で構成することを実現し、小型化を図る。
【解決手段】物体側から順に第１のレンズ群１及び第２のレンズ群２を有し、第１のレンズ群１に、印加電圧に応じて絶縁性液体１２と導電性液体１３との界面の曲率半径が変化する液体レンズ系を有する。液体レンズ系の絶縁性液体１２と導電性液体１３との界面の曲率中心を、物体距離を無限大としたときに、導電性液体１３側に存在する構成とする。 （もっと読む）

【課題】光学レンズモジュールは、節電型で、組立てが簡単であり、かさばらないので、薄く小さくすることができる。
【解決手段】光学レンズモジュール７００は、支持フレーム７１０、液晶レンズ群７２０、および、収差補償レンズ群７３０を備える。収差補償レンズ７３０は、液晶レンズによって生じた収差を補償する。液晶レンズ群７２０、および、固定収差補償レンズ群７３０は、同じ光軸上に配置される。 （もっと読む）

【課題】 視度調整が可能でありながら、機械的に光学系を移動させる機構が不要な、小型化に有利な観察光学系を提供する。
【解決手段】 拡大観察を行う接眼レンズ系を有した観察光学系において、前記接眼レンズ系は、第１液体ＬＱ１と、前記第１液体ＬＱ１と混合しない第２液体ＬＱ２とを備えて容器内に封入し、前記第１液体ＬＱ１と前記第２液体ＬＱ２との境界面ＲＬＱの形状を変化させることで、焦点距離Ｆを変化させて視度調整を行う液体レンズＬを有している。そして、液体レンズＬは、最も被写体側の面（面番号２に該当）と最もアイポイント側の面（面番号６に該当）が曲面であり、少なくとも一方の面が凸曲面に構成されている。 （もっと読む）

【課題】 電圧供給の有無に係わらず、視度調整が可能で、高い光学性能を維持できる観察光学系を提供する。
【解決手段】 拡大観察を行う接眼レンズ系を有した観察光学系において、前記接眼レンズ系は、第１液体ＬＱ１と、第１液体ＬＱ１と混合しない第２液体ＬＱ２とを備えて容器内に封入し、第１液体ＬＱ１と第２液体ＬＱ２との境界面ＲＬＱの形状を変化させることで、焦点距離を変化させて視度調整を行う液体レンズＬを有している。そして、液体レンズＬの境界面ＲＬＱの形状変化によって視度調整を行うことが可能な第１配置状態と、第１配置状態から少なくとも観察光学系の一部を移動させ、第１配置状態における視度調整範囲内のいずれかの視度に調整された第２配置状態とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

１つ又は２つ以上の液体レンズを使用する像安定化システム。像安定化システムは、２本の光軸に沿って揃えられた複数のレンズ素子と、第１及び第２の接触液体を含む１つ又は２つ以上の液体レンズセル（７０，７１）であって、接触液体間の接触光学面は、それ自身の光軸に対して実質的に対称で且つ少なくとも１本のその他の光軸に対して非対称である可変形状を有する、１つ又は２つ以上の液体レンズセルと、を備え、複数のレンズ素子及び少なくとも１つの液体レンズセルは、物体側から発せられる放射を集め、像の安定化を提供する。
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固定群内に液体レンズを有する望遠タイプのズームレンズ。望遠タイプのズームレンズ（６０）は、軸方向に可動なレンズ群（Ｇ２）と、第１及び第２の接触液体、並びに可変な形状を有する接触液体間の接触光学表面（２１）を含む少なくとも１つの液体レンズセル（ＬＣ）を含む軸方向に固定されたレンズ群と、放射軸の方向を変える光学素子とを含み、軸方向に可動なレンズ群（Ｇ２）及び軸方向に固定されたレンズ群（ＬＣ）は、共通の光軸（３８）上に並べられ、ズームレンズの物体側（１）から発せられる放射を集めてその放射を像側（３６）に送る。一部の実施形態では、ズームレンズ系は、また、ズーム群の調整、及び液体レンズセル内の可変的に形成された光学表面の調整によって、熱的に誘起される望ましくない効果に対する補償を提供する。
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【課題】走査レンズの製造誤差や取り付け誤差等の製造により発生する像面湾曲を抑制できる光走査装置を提供する。
【解決手段】液体レンズ１４は、レーザダイオード１２が出射した光を集光すると共に、焦点距離を変化させることができる。ポリゴンミラー２０は、レーザダイオード１２を通過した光を偏向する。走査レンズ２２，２４は、ポリゴンミラー２０が偏向した光を感光体ドラム３２に結像させる。制御部３０は、感光体ドラム３２に光が走査されている期間において、予め定められたパターンで液体レンズ１４の焦点距離を変化させる。 （もっと読む）

カメラでの使用に適した高性能のズームレンズ系が開示される。ズームレンズ系は、近距離から無限遠までの合焦距離においてズーム焦点距離範囲にわたって光学性能を提供するために、液体光学（ＬＣ）及び可動レンズ群（Ｇ２）を用いる。ズームレンズ系は、また、ズーム群の調整、及び液体レンズセル（ＬＣ）内の可変的に形成された光学表面の調整によって、熱的に誘起される望ましくない効果に対する補償を提供する。
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【課題】慣用の干渉リソグラフィシステムの整合の複雑さのない、調整可能な解像力を備えたシステムを提供する。
【解決手段】レーザビーム１０６を出力するレーザと、レーザビーム１０６を複数のビーム１０７に分割するビームスプリッタ１０３と、複数のビームを使用して基板上に干渉フリンジを形成するプリズム１０１とが設けられており、リソグラフィシステムの解像力が、リソグラフィシステムの光路におけるあらゆる光学コンポーネントを交換することなく調整可能である。 （もっと読む）

【課題】本発明は光源から照射される光を走査して画像を形成する画像形成装置に関し、構造の単純化及び小型化を図ることを課題とする。
【解決手段】レーザ光源１１と、焦点位置を調整可能な構成とされると共にレーザ光源１１から照射される光をスクリーン１３に焦点合わせする液体レンズ１２と、この液体レンズ１２を駆動するレンズ駆動装置１４とを有し、このレンズ駆動装置１４により液体レンズ１２を駆動して焦点位置Ｐを走査させることにより、スクリーン１３上に画像を形成する。 （もっと読む）

【課題】このような点の解消を課題の一つとし、一つの機構でより精度良く複数の収差を補正することを可能とした液体レンズ、ピックアップ装置、及び収差補正方法等を提供することを目的する。
【解決手段】本願は、電極Ａ、電極Ｂ、電極Ａと電極Ｂとを絶縁する絶縁体２１及び一対の窓部を備えた容体によって、内部に第一の液体及び第二の液体が封止されている液体レンズであって、第一の液体及び第二の液体は界面を介して分離された状態で隣接しており、電極Ａと電極Ｂの間に印加される電圧に応じて界面の形状が変化し、電極Ｂは複数に分割され、分割された分割電極は互いに絶縁されている。 （もっと読む）

マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学システムを提供する。本発明は、マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学システムに関する。強度分布及び／又は偏光状態への比較的柔軟かつ迅速な作用を可能にするために、本発明による光学システムは、いくつかの層から成る干渉層システムであって最大１マイクロメートル（μｍ）で最大厚みを有する少なくとも１つの液体又は気体層部分（１２３、２２０）を有する、少なくとも一方の側がレンズ又はミラーと境を接する少なくとも１つの層システム（１２０、２００）と、層部分（１２３、２２０）の厚みプロフィールの操作のためのマニピュレータ（１０５）とを含む。 （もっと読む）

【課題】用いる偏向器の種類や設計誤差に起因して画質低下が起こるのを回避して、高品質な作像を行うことが可能な光ビーム走査光学装置を実現する。
【解決手段】光源からのレーザ光は、集光光学系で集光され、偏向器にて偏向された後、走査光学系を介して被走査面上に集光される。このとき、集光光学系の液体レンズでは、電圧印加手段により、第１および第２の電極に印加する電圧を主走査方向１ライン内で変化させる。これにより、２種の液体の界面形状の変化により、その界面を透過するレーザ光の感光体上での集光位置が、主走査方向１ライン内の各位置ごとに異なる量だけ副走査方向に変化し、副走査方向の集光位置が主走査方向１ライン内の各位置ごとに異なる量だけ適切に補正される。 （もっと読む）

標本をイメージングするための対物レンズが開示される。この対物レンズは、ほぼ４８０〜６６０ナノメートルの波長範囲の光エネルギーを発生するように構成される光エネルギー源から光エネルギーを受け入れて、１．０を上回る開口数および０．０５ミリメートルを上回る照射野を備えるために浸液と関連したマンジンミラー装置を使用する。ここで、この対物レンズの全ての要素は、４０ミリメートル未満の直径を有する。 （もっと読む）

【課題】可変焦点距離素子を用い、光学系からの射出光線がほぼアフォーカルであり、収差を良好に補正し、高い光学性能を有する変倍アフォーカル光学系を提供すること。
【解決手段】第１可変焦点距離素子Ｌ１Ｖを有する第１レンズ群Ｇ１と第２可変焦点距離素子Ｌ２Ｖを有する第２レンズ群Ｇ２から構成され、低倍率端状態から高倍率端状態への変倍を、第１レンズ群Ｇ１の屈折力と第２レンズ群Ｇ２の屈折力の少なくとも一方を変化させることによって行い、低倍率端状態もしくは高倍率端状態において、第１レンズ群Ｇ１の屈折力と第２レンズ群Ｇ２の屈折力は一方の屈折力が正で、他方の屈折力が負である変倍アフォーカル光学系。 （もっと読む）

反射屈折投影対物系は、物体面に配置された軸外物体視野を投影対物系の像面に配置された軸外像視野上に結像するように配置された複数の光学要素を含む。光学要素は、物体面から到来する放射線から第１の中間像を発生させ、かつ第１の瞳面を含む第１の屈折対物系部分と、第１の中間像を第２の中間像へと結像する少なくとも１つの凹面ミラーを含み、かつ第１の瞳面と光学的に共役な第２の瞳面を含む第２の対物系部分と、第２の中間像を像面上に結像し、かつ第１及び第２の瞳面と光学的に共役な第３の瞳面を含む第３の屈折対物系部分とを形成する。物体面と第１の瞳面の間に配置された光学要素は、第１の瞳面に光学的に近く配置された負のレンズ群を含むフーリエレンズ群を形成する。 （もっと読む）