【課題】径時変化による光学性能の劣化の少ない可変焦点距離素子を用い、簡便な構成の正立変倍アフォーカル光学系を提供すること。
【解決手段】第１可変焦点距離素子Ｌ１Ｖを有する第１レンズ群Ｇ１と、第２可変焦点距離素子Ｌ２Ｖを有する第２レンズ群Ｇ２から構成され、前記第１可変焦点距離素子Ｌ１Ｖは、第１液体材料と、該第１液体材料と屈折率が異なり混合しない第２液体材料とから形成される境界面形状を変化させて焦点距離を可変し、前記第２可変焦点距離素子Ｌ２Ｖは、第３液体材料と、該第３液体材料と屈折率が異なり混合しない第４液体材料とから形成される境界面形状を変化させて焦点距離を可変する正立変倍アフォーカル光学系。 （もっと読む）

【課題】径時変化による光学性能の劣化の少ない可変焦点距離素子を用い、簡便な構成かつ平易な可動機構の正立変倍アフォーカル光学系を提供すること。
【解決手段】可変焦点距離素子Ｌ１Ｖを有する第１レンズ群Ｇ１と、固定焦点距離素子Ｌ２を有する第２レンズ群Ｇ２からなり、前記可変焦点距離素子Ｌ１Ｖは、第１液体材料と、該第１液体材料と屈折率が異なり混合しない第２液体材料とを容器内に封入し、前記第１液体材料及び前記第２液体材料へ加える物理量を変化させることによって、前記第１液体材料と前記第２液体材料の境界面形状を変化させて焦点距離を変化させる正立変倍アフォーカル光学系。 （もっと読む）

【課題】露光光を基板上まで良好に到達させることができる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置ＥＸは、上方を向き、露光光ＥＬが射出される凹面２を有する光学素子ＬＳ１と、凹面２の上方で基板Ｐを保持する基板保持部材４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】液晶可変偏向プリズムを用いた小型の撮像レンズにおいて、撮像レンズの大型化、レンズ組込み調整の複雑化を防ぎながら、レンズ形状誤差、レンズ組込み誤差による収差を少なくすること。
【解決手段】レンズ系と、レンズ系を通して結像する光学像を撮像する撮像素子とを有する撮像レンズにおいて、レンズ系は、入射光線の、光軸に垂直な平面内のある１つの軸に平行な偏光成分の光線方向を偏向する第１の液晶可変偏向プリズムと、入射光線の前記した１つの軸に直交する偏光成分の光線方向を偏向する第２の液晶可変偏向プリズムとを備え、第１、第２の液晶可変偏向プリズムによって、光線方向を所定の方向に可変制御可能とした構成となっている。 （もっと読む）

【課題】浸漬リソグラフィにおける、レンズと基板との距離を小さくできるレンズ素子、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法を提供すること。
【解決手段】レンズ素子は第１の面及び第２の面を有し、第１の面は複数の凹形レンズ部を有する。各凹形レンズ部は、前記第２の面上に入射するビームの一部を、液体を通して単一の平面に集束させるように配置される。 （もっと読む）

多重の群の可変な焦点距離のレンズが提供される。レンズは、可変なパワーのレンズ素子を含む第一のレンズ群を有すると共に光軸に沿って静止の様式で位置決めされる。レンズは、また、光軸に沿って可動に位置決めされた第二のレンズ群を有する。可変なパワーのレンズ素子は、はっきりと識別する屈折率を有する二つの液体によって作り出された可変な曲率半径を備えた表面を有する電気的に制御可能な液体レンズであることができると共に、液体の一方は、１．６０よりも大きい屈折率を有するものである。代わりに又は加えて、液体レンズに使用された液体の少なくとも一方は、ナノスケールの粒子を含むことができる。
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軸対称複屈折材料が軸対称性を利用することによって深ＵＶ結像光学系に組み込まれる。テレセントリック物空間またはテレセントリック像空間に配置された軸対称複屈折光学素子の複屈折を回避するため、テレセントリック結像光学系のひとみに共役に、極性直交偏極パターンが提供される。
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【課題】 光の照射を受けて液体の温度が変化しても良好な結像性能を維持することのできる液浸型の投影光学系。
【解決手段】 第１面（Ｒ）の像を第２面（Ｗ）に投影する本発明の投影光学系は、最も第２面側に配置された第１光透過部材（Ｌｐ）と、この第１光透過部材に隣接して配置された第２光透過部材（Ｌｂ）とを備え、第１光透過部材と第２面との間の光路は第１媒質で満たされ、第１光透過部材と第２光透過部材との間の光路は第２媒質で満たされている。軸上光線に関する第２媒質の吸収率をＴ１とし、最外縁光線に関する第２媒質の吸収率をＴ２とし、軸上光線に関する投影光学系の透過率をＴＬとするとき、８０＜ＴＬ／（Ｔ２−Ｔ１）＜６００の条件を満足する。 （もっと読む）

【課題】光学部材の温度変化を抑えることができる光学装置を提供する。
【解決手段】光学装置３０は、照射光が照射される光学部材を備えている。光学部材の表面の少なくとも一部は、所定の熱量を吸収するために相変化する媒体３５で覆われている。 （もっと読む）

本発明は、小型で軽量な焦点距離を調節可能な光学系に関する。本発明は、その光学系で観察されるターゲットの像が形成される像面（２０２、３０２）と、調節可能な焦点距離を有する第１の光学要素（２０４、３０４）と、第１の光学要素（２０４、３０４）について調節された焦点距離と一致するように調節可能な光路を有するプリズム（２０１、３０１）を有する方法及び光学系に関する。本発明による光学系を用いて、第１の光学要素（２０４、３０４）の焦点距離に配置された観察下にあるターゲットの像を像面（２０３、３０３）上に形成する。その際、第１の光学要素（２０４、３０４）、プリズム（２０１、３０１）及び像面（２０３、３０３）が互いの関係において所定位置で不変である。
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マイクロリソグラフィ投影露光装置（１０）の光学系は、ユニットとして光学系に取り付け、かつ、光学系から取り外すことができるモジュール（５０、１５０）を含む。モジュールは、液体（３４、１３４）で完全に満たし、かつ、気密に密封することができる空洞（４２、１４２）と、投影露光装置（１０）の動作中、頂部において空洞の境界となる凹に湾曲した光学面（Ｓ）を含む。これは、光学系の外でモジュールを満たすことを可能にする。完全な充填を妨害する空気の泡が凹に湾曲した光学面の下方に形成できないように、モジュールを傾けることができる。
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【課題】
【解決手段】本発明はマイクロリソグラフィー投影対物レンズの結像特性を改良する方法に関し、該投影対物レンズは物体平面と画像平面との間に複数のレンズを有し、複数のレンズのうち第１レンズにはレンズを能動変形するための第１マニピュレータが割り当てられ、第１レンズは収差を少なくとも部分的に修正するために変形され、複数のレンズのうち少なくとも１つの第２レンズにはさらに少なくとも１つの第２マニピュレータが割り当てられ、かつ前記第２レンズは第１レンズに加えて変形される。さらに、投影対物レンズの複数のレンズのうち少なくとも１つのレンズを能動変形可能な素子として選択する方法、および投影対物レンズを説明する。 （もっと読む）

【課題】 像の平坦性が良好で且つローカルフレアの発生が良好に抑えられた高開口数の反射屈折結像光学系。
【解決手段】 第１面（Ｒ）からの光に基づいて第１中間像を形成する第１結像光学系（Ｇ１）と、凹面反射鏡（ＣＭ）と往復光学素子（Ｌ２１，Ｌ２２）とを含んで第２中間像を形成する第２結像光学系（Ｇ２）と、第２面（Ｗ）上に最終像を形成する第３結像光学系（Ｇ３）と、第１結像光学系と第２結像光学系との間および第２結像光学系と第３結像光学系との間に配置された偏向鏡（Ｍ１，Ｍ２）とを備えている。第２結像光学系中の往復光学素子の全ては、非球面形状に形成された光学面を含まない。 （もっと読む）

エレクトロウェッティング光学素子は、第１の導電性流体及び第２の電気絶縁性流体を有する。本発明によると、前記第２の流体は、脂肪族環構造を含む化合物を有する。前記光学素子は、レンズ、ズームレンズ又はズームレンズシステムの一部であることができる。
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【課題】 相対的に少量の透明光学材料を用いて製作することができるとともに、結像、特に最像側瞳面と像面との間における瞳結像の十分な補正自由度を得ることができる小型の投影対物レンズを提供する。
【解決手段】 自身の物体面内に配置されるパターンを自身の像面上に紫外放射を用いて結像させる投影対物レンズは、２６０ｎｍ＞λ＞１５０ｎｍである動作波長λの放射に対して透明性を有する透明光学素子を含む複数個の光学素子と、前記物体面と前記像面との間において、前記像面に最も接近して配置される像側瞳面と、前記像側瞳面と前記像面との間において配置されて、前記像側瞳面から到来する放射を前記像面の方へと収束させて、０．７≦ＮＡ≦１．４である像側開口数ＮＡを確定させる開口確定レンズ群とを有する。前記開口確定レンズ群は、ｎ_ＨＩ＞ｎ_ＳｉＯ２の屈折率ｎ_ＨＩを有する透明な高屈折率材料により製作される少なくとも１個の高屈折率レンズを含み、ｎ_ＳｉＯ２は、前記動作波長における二酸化ケイ素（ＳｉＯ_２）の屈折率である。 （もっと読む）

【課題】 撮像レンズに液状レンズを用いることでレンズ径、重量がともに小さい防振系を構成し、かつ防振状態においても良好な光学性能が得られ、しかも装置全体が小型となる撮像レンズ及びそれを用いた光学機器を提供する。
【解決手段】 カメラ装置において被写体像を固体撮像素子面上に導光するため複数のレンズ群を有する撮像レンズであって、撮影時に手振れが発生した場合に、前記手振れを補正するように前記撮像レンズの光軸に対して略垂直方向へ移動する可動レンズを具備する構成となっている。 （もっと読む）

【課題】 撮像レンズに液状レンズを用いることでレンズ径、重量がともに小さい防振系を構成し、かつ防振状態においても良好な光学性能が得られ、しかも装置全体が小型となる撮像レンズ及びそれを用いた光学機器を提供する。
【解決手段】 カメラ装置において被写体像を固体撮像素子面上に導光するため複数のレンズ群を有する撮像レンズであって、被写体側より順に、負の焦点距離を持つ第１レンズ群と、正の焦点距離を持つ第２レンズ群と、正の焦点距離を持つ第３レンズ群とが配設されており、前記第２レンズ群の被写体側に前記第２レンズ群と一体に移動する絞りが設けられ、前記第２レンズ群内の所定の部位に、撮影時に手振れが発生した場合に、前記手振れを補正するように前記撮像レンズの光軸に対して略垂直方向へ移動する可動レンズとして液状レンズが具備される構成となっている。 （もっと読む）

【課題】 青色波長用の半導体レーザと、赤色／赤外波長用の半導体レーザの２つの半導体レーザを用いる光ピックアップ装置において、簡単な構成にて円滑に、赤外波長のレーザ光を対物レンズに対して有限系にて入射させ得る光ピックアップ装置を提供する。
【解決手段】 赤／赤外マルチレーザ１０から出射された赤／赤外波長のレーザ光は、液晶回折レンズ１３に入射される。液晶回折レンズ１３は、赤外波長のレーザ光が記録／再生用として用いられる場合にのみ液晶回路５０から駆動信号が印加され、赤外波長のレーザ光の拡散状態を調整する。すなわち、赤外波長のレーザ光は、液晶回折レンズ１３透過時に拡散作用を受けて、対物レンズ２０に対し、設計値どおりの有限系の状態にて入射される。他方、赤色波長のレーザ光は、液晶回折レンズ１３による拡散作用を受けずに、平行光のまま対物レンズ２０に無限系にて入射される。 （もっと読む）

【課題】液晶レンズを用いた小型の撮像レンズにおいて、マクロ撮影時にもオートフォーカス機能によるピント合わせを行うことと、収差を少なくすること。
【解決手段】撮像レンズ１は、被写体側から順に、凸レンズよりなる第１の光学レンズ２と、対向する透明基板間に封入された液晶層に印加する電圧に応じて液晶層の面内屈折率分布が変化する液晶レンズ３と、第２の光学レンズ４と、第３の光学レンズ５を備えている。これらのレンズ２〜５は、レンズ枠体７に固定されている。液晶レンズ３の透明基板の、光軸に垂直な面には、遮光性の膜よりなる絞り６が形成されている。絞り６は、液晶レンズ３の液晶層を温めるためのヒータを兼ねる。カメラモジュール９は、撮像レンズ１の後に赤外線カットフィルタ９１とイメージセンサ素子９２を取り付けた構成となっている。 （もっと読む）

【課題】 通常撮影状態と軟焦点状態とを切換えるに際して、画角（焦点距離）や焦点位置の変動が発生せず、軟焦点の度合いについても可変できる撮像光学系を実現する。
【解決手段】 撮像光学系１は、被写体像を撮像素子上に結像するための結像光学系である。絞り２１に隣接するレンズＬ２は、液状レンズ（の小滴）で構成されている。液状レンズは、レンズＬ２（小滴）のレンズ面の形状を変化させることができる。この形状変化により撮像光学系１について通常撮影状態と通常撮影状態よりも大きな球面収差を発生させた軟焦点状態とを切換えることができる。 （もっと読む）