【課題】十分に補正された波面に対する要求に加え、レチクル側のテレセントリック性などのパラメータが考慮された投影露光のための光学系の提供。
【解決手段】第１対象物を第２対象物の領域内に結像させる屈折投影光学系は、当該投影光学系の結像ビーム経路に沿って配置された複数のレンズを含み、当該投影光学系は、第２対象物側に１よりも大きい開口数を有し、第１対象物の中間像を生成し、かつ、中間像を第２対象物の領域内に結像させるように構成され、中間像は第１対象物と第２対象物との間に形成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は自動焦点調節光学系に関するもので、より詳しくは印加される電圧に応じて曲率の変わる液体レンズを使用し、小型でありながらも高解像度を得られるカメラモジュールの自動焦点調節光学系に関するものである。
【解決手段】自動焦点調節光学系であって、物体側から順次に、印加される電圧に応じて内部に含まれる相異する液体間に形成される境界面の曲率が変わり、上記境界面がレンズの面の役目を果たす液体レンズと、少なくとも1個の屈折面が非球面である少なくとも1個の光学レンズとを備え、プラスの光学的パワーを有する第1レンズ群と、少なくとも1個の屈折面が非球面であるレンズを備え、プラスの光学的パワーを有する第2レンズ群と、少なくとも1個の屈折面が非球面であるレンズを備え、マイナスの光学的パワーを有する第3レンズ群とを含み、上記液体レンズの境界面の曲率が変わることにより自動焦点調節が行われる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、相互に屈折率が異なる、相互に不混和な、それぞれが光透過性を有する、絶縁性液体および導電性の水溶液が内部に収容された光学素子、レンズユニット、および、このような光学素子が組み込まれた撮影光学系を経由して入射した被写体光を捉えることにより撮影を行う撮像装置に関し、重力の影響を受けても界面部分の形状が維持される光学素子、レンズユニット、および、このような光学素子が組み込まれた撮影光学系を経由して入射した被写体光を捉えることにより撮影を行う撮像装置を提供することを目的とする。
【解決手段】水の比重との差が「０．１」以下の化合物のうち１つ以上の化合物を主成分とする絶縁性液体が適用される。 （もっと読む）

【課題】長期にわたって光の透過性を維持することができる光学素子、レンズユニット、および撮像装置を提供することを目的とする。
【解決手段】相互に屈折率が異なる、相互に不混和な、それぞれが光透過性を有する、水性液体および油性液体が内部に収容された、少なくとも所定の光軸方向については光を透過させる液体収容器と、液体収容器の内面の少なくとも一部を覆う、電圧の印加を受けて、水性液体あるいは油性液体と接触する面の分子の形状が変化して、面の親疎水性が変化する被覆膜と、被覆膜に対して電圧を印加するための電極とを備えたことを特徴とする。液体の境界面の形状を変化させるのに、液体に電荷を放電する必要がないため、液体が電気分解されて気泡が発生する不具合が回避され、長期にわたって光の透過性を維持することができる。 （もっと読む）

【課題】変倍比が大きく、結像性能が良く、消費電力が小さく、音が静かで、応答時間が短く、小型で、機械的構造が簡単でコストダウンに寄与する光学特性可変光学素子を含む光学系等を提供する。
【解決手段】光学特性可変光学素子４０９と、負のパワーを持つ光学素子群８０５と、正のパワーを持つ光学素子群８０６があり、前記負のパワーを持つ光学素子群８０５と正のパワーを持つ光学素子群８０６を動かすことにより変倍を行なう。 （もっと読む）

ズーム光学装置は、放射光線に対して連続的な可変のズーム設定を有するレンズ装置を有している。レンズ装置は、さらに、第１の流体と、第２の流体と、前記放射光線が透過するようにされた部分を有する波面変更部と、を有している。第１のモードにおいて、切替可能な光学要素は、部分が第１の流体により実質的に覆われるような第１の流体構成を有し、第２のモードにおいて、切替可能な光学要素は、部分が第２の流体により実質的に覆われるような第２の、他の流体構成を有している。
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本発明は、ある動作波長のためのマイクロリソグラフィー投影対物レンズとして設計された対物レンズに関する。対物レンズは、最も大きい調整可能な像側開口数ＮＡと、屈折率ｎ_Lを備える特にガラスまたは水晶といった固体透明体で作られた少なくとも１つの第１のレンズと、屈折率ｎ_Fを備える透明液体で作られた少なくとも１つの液体レンズ（Ｆ）とを有する。動作波長において、第１のレンズは、対物レンズの全部の固体レンズのうちで最も大きい屈折率ｎ_Lを有しており、少なくとも１つの液体レンズ（Ｆ）の屈折率ｎ_Fは第１のレンズの屈折率ｎ_Lよりも大きく、開口数ＮＡの値は１よりも大きい。
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固浸レンズ３を支持する固浸レンズホルダ５が連結された第一腕部材７１と、この第一腕部材７１を、観察対象物に対して略平行を成すＸ−Ｙ平面内で回動させる第一腕部材回動源７２と、この第一腕部材回動源７２を保持する第二腕部材７３と、第一腕部材回動源７２の回動軸と非同軸の位置を回動軸として、第二腕部材７３をＸ−Ｙ平面内で回動させる第二腕部材回動源７４と、を具備する構成とする。そして、二個の腕部材７１，７３を回動することで、固浸レンズ３をＸ−Ｙ平面内の所望の位置に移動可能とし、直交するＸ方向、Ｙ方向に構成部品を長尺とする必要を無くし、占有領域を小とすると共に簡易な構成とする。これにより、低コスト化を図りつつ、装置の小型化を図ることが可能な固浸レンズ移動装置、及びこれを備えた顕微鏡が実現される。 （もっと読む）

約２６６〜１０００ｎｍの波長域や１５７ｎｍから赤外に至る波長域といった各種の波長域に属する光エネルギ用の対物系を用いる検査システム及び方法を提供する。この対物系は、光を受け取る１個又は複数個の合焦レンズ素子（３０４)を含む合焦レンズ素子集合体（３１１)と、合焦レンズ素子集合体（３１１)により合焦された光エネルギを受け取り中間的な光エネルギを出射するよう方向設定された視野レンズ素子（３０５)と、視野レンズ素子（３０５)から中間的な光エネルギを受け取り制御された光エネルギを発生させるよう位置設定されたマンジャンミラー装置（３１２)とを備える。各合焦レンズ素子は約１００ｍｍ未満と小径であり、その最大補正視野サイズは約０．１５ｍｍである。制御された光エネルギは、検査する標本（３１０)に与える前に、油、水、シリコーンゲル等の浸漬媒に通してもよい。

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【課題】「電気的濡れ現象」を利用した、屈折作用可変光学要素を用いた、小型かつ撮影性能の良好な撮像装置を提供する。
【解決手段】絶縁体から構成され、光束が通過する開口を備えた外殻部材ＣＨに、第１屈折率を有し導電性を有する第１流動体ＬＱ１及び、該第１流動体と親和性を有せず、前記第１流動体と実質的に同密度であり、前記第１屈折率と異なる第２屈折率を有し、かつ絶縁性を有する第２流動体ＬＱ２が、前記開口を介して光束が通過するように密閉充填されるとともに、光透過性の非球面光学面を有する封止部材によって前記開口が封止されてなり、前記第１流動体に接触する電極Ｐ２と、前記外殻部材に設けられた電極Ｐ１との間に電圧を印加することにより、前記外殻部材の前記第２流動体に対する濡れ性を変化させることによって、前記第２流動体の前記外殻部材内における充填形状を変化せしめる電圧印加手段Ｖを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）