【課題】 スプラッシュ、更にはパーティクルの発生を顕著に抑制でき、しかも高強度で低コストなＳｉＯ焼結蒸着材料及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 析出ＳｉＯからなる原料粉末を蒸着材料形状に成形する。ＳｉＯの成形体を酸素含有雰囲気中で低温焼結する。低温焼結体を非酸化性雰囲気中で高温焼結する。ＳｉＯ₂ からなる標準試料をＥＰＭＡにより定量分析したときのＯ／Ｓｉ比ａの理論値ａ₀ （≒１．１４）に対する比（ａ／ａ₀ ）を補正係数Ｋとし、ＥＰＭＡによるＯ／Ｓｉ比の実測値Ａを前記補正係数Ｋにより補正して得たＯ／Ｓｉ比の補正値Ａ₁ （＝１／Ｋ・Ａ）から求めた酸素定量分析値Ｏ₁ 〔＝１００／（１＋１／Ａ₁ ）〕が、酸素含有雰囲気中での低温焼結により４４〜４９％となる。高温焼結での析出Ｓｉの弊害が抑制されることにより、焼結温度の上昇が可能となり、圧縮破壊強度が１５ＭＰａ以上に上り、３０ＭＰａ以上も可能となる。 （もっと読む）

【課題】反射型液晶装置から効率良く熱エネルギーを逃がす。
【解決手段】多結晶シリコン層（１５０）は、ＴＦＴアレイ基板（１０）より熱伝導率が高い。したがって、液晶装置１の動作時に入射光に起因してＴＦＴアレイ基板１０に蓄積される熱エネルギーがＴＦＴアレイ基板（１０）から多結晶シリコン層（１５０）に速やかに伝播し、多結晶シリコン層（１５０）を介して液晶装置１外部に逃がされる。特に、多結晶シリコン層（１５０）は、ＴＦＴアレイ基板（１０）に直に接しているため、ＴＦＴアレイ基板（１０）の下面が空気（０℃における熱伝導率が０．０２４１Ｗ／ｍＫ）に曝されている場合に比べて、ＴＦＴアレイ基板（１０）から熱エネルギーを効率良く逃がすことが可能である。 （もっと読む）

【課題】平坦化層をポストベークしても表面に段差を発生させることなく、平坦化層からのイオンコンタミや、透明電極の膜付着が良好な液晶表示装置用カラーフィルタ基板及び液晶表示装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ガラス基板等からなる透光性基板１１上に、遮光パターン１１ａと、赤色パターン３１Ｒと緑色パターン３２Ｇと青色パターン３３Ｂとからなる着色パターン３０と、平坦化層４１と、無機酸化物、無機窒化物、無機酸窒化物及び無機炭化物の群から選ばれる少なくとも１層の透光性無機膜５１と、透明電極６１と、を含む液晶表示装置用カラーフィルタ基板１００。 （もっと読む）

【課題】グレーティング法を改善して生産性が高く十分な配向性を有し、高い画質を確保できる液晶表示装置を提供する。
【解決手段】液晶表示装置は、一対の基板とその間隙に保持された液晶と、少なくとも片方の基板に形成され液晶の分子を配向する配向層とを備えている。配向層は、複数本の溝Ｍが平行に形成された主面を有する基層と、溝Ｍの形成された主面を被覆する被膜とからなる。被膜は、主面に対して電圧無印加の状態で液晶の分子の長手方向を示す分子長軸を平行に配向する水平配向能を有し、各溝Ｍは所定の方向に沿って伸びており、且つ所定の方向と直交する直交方向に沿って与えられたピッチで繰り返し配列されており、以って液晶の分子長軸が溝Ｍの所定の方向と直交する直交方向に指向して水平配向する。被膜は、溝Ｍの形成された主面に対する被覆率が５０パーセント以上である。 （もっと読む）

【課題】フッ酸（ＨＦ）と硝酸（ＨＮＯ₃）との混酸を用いたエッチング方法では、この混酸を供給し続けている個所のエッチングレートが低下する傾向が見られ、基板の表面または裏面のポリシリコン膜を、均一に除去することは困難である。
【解決手段】フッ酸と硝酸とを混合した薬液である混酸、およびフッ化アンモニウムとフッ化水素酸とを混合した薬液であるバッファードフッ化水素酸の少なくとも２種類の薬剤をそれぞれの種類ごとに供給するので、マザー基板１１０の一方の面１１０ｆに形成されたポリシリコン膜１８０ｆ、および他方の面１１０ｒに形成されたポリシリコン膜１８０ｒが残ることなく、マザー基板１１０の一方の面１１０ｆのポリシリコン膜１８０ｆ、および他方の面１１０ｒのポリシリコン膜１８０ｒを除去することができる。 （もっと読む）

【課題】液膜を乾燥させて形成する膜の膜厚制御性を向上させる成膜方法及び成膜装置を提供する。
【解決手段】膜厚計測部は、液膜Ｆ０における反射光の分布を計測して反射光データを生成する。制御部は、反射光データを用いることにより各座標の膜厚差分値を演算し、膜厚温度変換を用いることにより各座標の膜厚差分値を液膜Ｆ０の温度に変換する。そして、制御部は、膜厚差分値の分布に応じた温度分布を液膜Ｆ０に形成して液膜Ｆ０の乾燥処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】品質を低下させることなく配向膜を好適に形成する。
【解決手段】配向膜の製造方法は、基板（１０）と、基板上に形成された外部との接続用端子部（１０２）を含む実装部とを備える電気光学装置用パネルに対して配向膜（８）を形成するための配向膜の形成方法であって、基板上で平面的に見て配向膜の端領域に局所的に又は離散的に存在し且つ膜厚が配向膜の中央領域に比べて不均一となり得る不安定領域（８１）が、基板上の画像表示領域（１０ａ）以外の部分に位置するように、パターニング法により配向膜を基板上に塗布する塗布工程と、塗布された前記配向膜を定着させる定着工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を用いてマザー基板を分割する際、マザー基板に設けられた機能部への熱ダメージを防止できる方法及び基板を提供する。
【解決手段】マザー基板Ｗの生成時に、ＴＦＴ基板１および対向基板２の電極群５側の面と電極群５との間、つまり、ＴＦＴ基板１および対向基板２に照射されたレーザ光が当たる領域（電極群５に対向する領域より若干広い領域）にレーザ光を遮る遮光膜６、８を形成した。そのため、レーザ光の照射時に、ＴＦＴ基板１および対向基板２を透過したレーザ光を遮光膜６、８で遮ることができ、電極群５にレーザ光が照射されることを防止でき、電極群５の熱ダメージを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】画素電極の導通不良を抑制して有機絶縁膜をリワークする。
【解決手段】基板に設けられた複数のＴＦＴ５に重畳すると共に、各ＴＦＴ５にそれぞれ接続するためのコンタクトホールＨが設けられた有機絶縁膜を形成し、その形成された有機絶縁膜を検査した後に、その検査された有機絶縁膜が異常なときに各ＴＦＴ５上に有機絶縁膜をリワークし、また、その検査された有機絶縁膜が正常なときにその有機絶縁膜上に複数の画素電極１７をマトリクス状に形成するアクティブマトリクス基板２０の製造方法であって、リワーク工程は、剥離工程、アッシング工程、モノエタノールアミンを含む第１の洗浄液により洗浄を行う第１洗浄工程、ジメチルスルホキシドを含む第２の洗浄液による洗浄、及び純水により洗浄を行う第３洗浄工程とを有し、第３洗浄工程の後に有機絶縁膜をリワークする。 （もっと読む）

【課題】応力集中が発生するのを抑制しながら基板の被処理面に形成された液膜を効率的に凍結させる。
【解決手段】基板Ｗの下面に向けて、液膜１１ｆ、１１ｂを構成するＤＩＷの凝固点より低い温度を有する冷却ガスが供給されて液膜１１ｆ、１１ｂの凍結が行われる。また、冷却ガスは基板Ｗの下面中央部に向けて局部的に吐出され、該下面中央部に対する冷却能力が基板Ｗの下面周縁部に対する冷却能力よりも高くなっている。このため、液膜１１ｆ、１１ｂ全体のうち基板中央部に対応する液膜部分がまず凍結し、それに続いて、液膜凍結が基板周縁部に向けて進行する。したがって、基板Ｗの周縁部に対応する液膜部分が最終的に凍結することとなる。その結果、最終的に凍結する部分、つまり液膜の周縁部分では、体積膨張による応力の一部は外周方向に解放されて応力集中が抑制される。 （もっと読む）

【課題】基板周辺部材の耐久性が劣化するのを防止しながら表面処理を良好に行うことができる基板処理装置および方法を提供する。
【解決手段】ノズル３から回転駆動される基板Ｗの端部（表面周縁部ＴＲおよび該表面周縁部ＴＲに連なる周端面ＥＦ）に対して局部的に薬液が供給される。また、基板Ｗの回転方向Ｒにおいてノズル３からの薬液が供給される供給位置ＬＰに対して上流側で薬液が供給される直前の直前位置ＡＰで基板Ｗの端部がレーザユニット７から照射されるレーザ光によって局部的に加熱される。これにより、基板Ｗの端部が薬液処理に応じた温度に昇温する。このため、基板Ｗの端部が薬液処理に応じた温度に昇温された直後に基板Ｗの回転により加熱昇温された基板Ｗの端部に薬液が供給される。 （もっと読む）

【課題】光漏れが起こりにくい液晶表示装置用基板の提供。
【解決手段】凹凸段差を有するカラーフィルタ基板上に面内方向に遅相軸を有する光学異方性層を有する液晶表示装置用基板であって、該光学異方性層の任意の直径１０μｍ領域における該遅相軸のずれの最大値が１０°以下にすると、一般的な偏光顕微鏡による観察部分は通常直径１０μｍの領域となるが、この観察部分につき、遅相軸を消光位に合わせた場合に光漏れが観察されず、さらに消光位から１０°回転させても光漏れが観察されない状態を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】 高透明性、平坦性という保護膜の機能を有する液晶配向膜用組成物が求められていた。また、液晶表示素子の製造コストの低減化が求められていた。
【解決手段】 少なくとも、酸無水物基を２つ以上有する化合物（ａ１）とジアミン（ａ２）と酸無水物基を１つ有する化合物（ａ３）とを反応させて得られたポリアミド酸（Ａ）、および、酸無水物基を２つ以上有する化合物（ｂ１）とジアミン（ｂ２）とを反応させて得られたポリアミド酸（Ｂ）を含む液晶配向膜用組成物を提供する。また、少なくとも、酸無水物基を２つ以上有する化合物（ａ１）とジアミン（ａ２）と酸無水物基を１つ有する化合物（ａ３）とヒドロキシ化合物（ａ４）とを反応させて得られたポリエステル−ポリアミド酸（Ｃ）、および、酸無水物基を２つ以上有する化合物（ｂ１）とジアミン（ｂ２）とを反応させて得られたポリアミド酸（Ｂ）を含む液晶配向膜用組成物。
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【課題】透明電極の形成において異物が付着した場合であっても、良好な表示品質を可能にする電気光学装置の製造方法等を提供することである。
【解決手段】電気光学装置に設けられた透明電極を複数回の透明導電膜成膜工程ＳＴ１０，ＳＴ２０によって形成し、複数回の透明導電膜成膜工程ＳＴ１０，ＳＴ２０の各工程間の１以上において洗浄工程ＳＴ１５を実施する。 （もっと読む）

【課題】 サーモクロミック特性を有する酸化バナジウム層を低温でガラス上に形成する方法を提供する。
【解決手段】 酸化バナジウムのシード層として、酸化ジルコニウム／酸化錫の積層体を用いることで、サーモクロミック特性を有する酸化バナジウムの成膜に適した結晶質層および配向性を有する酸化ジルコニウム／酸化錫シード層を非加熱成膜で形成することを可能にし、そのシード層に酸化バナジウム層を形成したサーモクロミック体を得る。 （もっと読む）

【課題】微細なスルーホールを有する透明着色層を形成することを可能とする半透過型液晶表示装置用感光性着色組成物、そのような感光性着色組成物を用いて形成された半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ基板、そのようなカラーフィルタ基板を製造する方法、及びそのようなカラーフィルタ基板を備える半透過型液晶表示装置を提供すること。
【解決手段】光重合性モノマー、樹脂バインダー、重合開始剤、着色剤、及び溶剤を含有し、前記重合開始剤の少なくとも１種の最大吸収波長が、３３０ｎｍ以下であることを特徴とする半透過型液晶表示装置用感光性着色組成物。 （もっと読む）

【課題】液晶装置において容易にコントラストを向上させる。
【解決手段】一対のＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０と、これらの基板１０及び２０間に挟持された液晶層５０とを備えており、対向基板２０は、平面的に見て画像表示領域１０ａが分割されてなると共に夫々が一つ以上の画素を含んでなる複数の部分領域Ｐｘ若しくはＰｘｇについて、該部分領域Ｐｘ若しくはＰｘｇ毎に、液晶層５０へ向かう入射光の光路の方向を液晶層５０の明視方向に近付ける側に曲げるように、液晶層５０に対して傾斜する傾斜界面２２０を構成する第１及び第２層２１０及び２３０が積層されてなる積層体部分２０ａを含む。 （もっと読む）

【課題】ＬＣＤ、ＰＤＰ、ＣＲＴ、タッチパネルなどの各種ディスプレイに使用され、簡単な操作で効率よく製造することのできる低反射ガラス板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス基材の片面又は両面に、比重２.４以上のガラス成分と比重１.９以下の多孔性シリカ粒子を含む無機混合物層を有する低反射ガラス板、及びガラス基材上に、（Ａ）バインダー樹脂と、（Ｂ）比重２.４以上のガラス粒子と、（Ｃ）比重１.９以下の多孔性シリカ粒子を含む分散液を塗工して塗膜層を形成したのち、４００〜６５０℃の範囲の温度で、前記（Ａ）成分のバインダー樹脂を分解、除去すると共に、前記（Ｂ）ガラス粒子を焼成処理し、無機混合物層を形成する前記低反射ガラス板の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】ヒステリシスフリーな弱いアンカリングを実現する液晶配向層を用いることにより、残像を発生することなく、より低い駆動電圧及び低消費電力の液晶表示素子を提供する。
【解決手段】一対の基板と、前記一対の基板間に配置された液晶層と、該液晶層と前記一対の基板の少なくともいずれか一方との間に配置された液晶配向層とを備え、該液晶配向層の少なくとも一方が、表面に溝が形成された液晶配向層であり、該液晶配向層による液晶配向アンカリングエネルギーが、該表面溝の方向からの方位角φのｓｉｎ^４φに概比例して変化し、従来技術における方位角φのｓｉｎ^２φに概比例して変化する場合より弱いアンカリングである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、フレキシブルな液晶表示装置に用いられ、フレキシブルなカラーフィルターやＴＦＴアレイ等を作製することが可能であり、かつ、寸度安定性に優れた液晶表示装置用フレキシブル基板を提供することを主目的とする。
【解決手段】本発明は、ガラス転移温度が２１０℃よりも高い耐熱樹脂からなる基材と、上記基材の両面上に形成され、上記基材の寸度変化を抑制する保護層とを有することを特徴とする、液晶表示装置用フレキシブル基板を提供することにより上記課題を解決するものである。 （もっと読む）