【課題】 本発明は、撮影した複数の赤外線画像から欠陥位置特定に適した画像を抽出して、短絡欠陥部の位置を正確に特定することを目的とする。
【解決手段】 本発明の配線検査方法は、基板に形成された配線の短絡欠陥部の有無を検査する配線検査方法であって、配線に電圧を印加して前記短絡欠陥部を発熱させる発熱工程（Ｓ３〜Ｓ６）と、基板を撮影して複数の時刻毎の赤外線画像を取得する画像取得工程（Ｓ２〜Ｓ５）と、所定時刻の赤外線画像を用いて発熱領域を認識する発熱領域認識工程（Ｓ８）と、発熱領域から短絡欠陥部の位置を特定できるか判定する発熱領域判定工程（Ｓ９）と、発熱領域から短絡欠陥部の位置を特定する欠陥位置特定工程（Ｓ１０）とを含み、発熱領域認識工程はさらに、発熱領域判定工程において短絡欠陥部の位置を特定できないと判定されたとき、所定時刻と異なる別時刻の赤外線画像を用いて、発熱領域を認識することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】並列に電気的に接続された複数の保持容量を積層した場合でも、いずれの保持容量に不具合が発生したかを容易かつ確実に検査することのできる電気光学装置、および当該電気光学装置を備えた電子機器を提供すること。
【解決手段】電気光学装置１００においては、並列に電気的に接続された第１保持容量７０ａと第２保持容量７０ｂとによって保持容量７０が形成され、かつ、第１保持容量７０ａと第２保持容量７０ｂとは積層された構造になっている。また、素子基板１０の端部と画像表示領域との間には、第１保持容量７０ａと同一の層構造を備えた検査用第１容量と、第２保持容量７０ｂと同一の層構造を備えた検査用第２容量が形成されているとともに、検査用第１容量に電気的に接続する第１容量検査用端子対と、検査用第２容量に電気的に接続する第２容量検査用端子対とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】 外観の良好な液晶表示装置を提供する。
【解決手段】 アレイ基板２０と、アレイ基板２０と対向するように配置された対向基板１０と、アレイ基板２０と対向基板１０との間に挟持された液晶層ＬＱと、マトリクス状に配置された複数の表示画素ＰＸを含む表示部ＤＹＰと、表示部ＤＹＰを囲む額縁部ＦＲＭと、を備え、アレイ基板２０は額縁部ＦＲＭに配置され表示部ＤＹＰから離れる方向に延びる避雷針パタン２４を備えた第１配線ＣＯＭと、接続パッド２６Ａ、２６Ｂと、テスタパッドＰＤＣ、ＰＤＶと、表示部ＤＹＰに対してテスタパッドＰＤＣ、ＰＤＶと反対側に配置されたテスタ配線ＷＣ、ＷＶ、Ｗｃｏｍと、備え、避雷針パタン２４は絶縁層Ｌ１を介してテスタ配線ＷＣ、ＷＶ、Ｗｃｏｍの少なくとも一部と重畳している液晶表示装置。 （もっと読む）

【課題】層数を低減し、製造コストを抑え、かつ点灯異常を抑制して製造歩留まりの向上を図ることのできる液晶表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】画素部（ａ）と周辺部（ｃ）とを有する基板を用いた液晶表示装置の製造方法において、ゲート絶縁膜３上に半導体層４と画素電極５を形成した後、基板上に導電膜を平面ベタに形成し、ホトレジストパターンをマスクとして、画素部（ａ）の半導体層４と画素電極５とを電気的に接続するドレイン電極を形成すると共に、画素部（ａ）と周辺部（ｃ）における半導体層４を露出させ、周辺部の半導体層４をエッチング量の指標として用いて画素領域（ａ）の半導体層４をエッチングする。 （もっと読む）

【課題】プローバフレームの個数やプローバフレームストッカの容積を増やすことなく、多種類のパネル仕様に対するプローバフレームの対応を可能とする。
【解決手段】プローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更自在とし、コンタクトピンの配置位置変更をプローバフレームストッカにおいて行う。真空状態でＴＦＴアレイ基板の検査を行うメインチャンバと、大気側との間及びメインチャンバとの間でＴＦＴアレイ基板の搬出入を行うロードロックチャンバと、プローバフレームを格納するプローバフレームストッカとを備え、プローバフレームストッカ内にプローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更するコンタクトピン配置位置変更部を備える。プローバフレームストッカは、二つのプローバフレームをプローバフレームストッカとメインチャンバとの間で交互に入れ替え、コンタクトピン配置位置変更部は、プローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更する。 （もっと読む）

【課題】ショート欠陥部の破片の発生を抑えつつ、かつ確実に配線のショートを解消すること。
【解決手段】薄膜トランジスタを内蔵するＴＦＴパネルと、前記ＴＦＴパネルの表面上にマトリクス状に配置され、かつ画素電極を含む画素と、を有するディスプレイパネルの製造方法であって、前記ＴＦＴパネルを準備する工程と、前記ＴＦＴパネルの表面に画素電極をパターニングする工程と、前記画素電極のショート欠陥部を検出する工程と、前記ショート欠陥部に電圧を印加し、前記ショート欠陥部を溶断する工程と、を有する、ディスプレイパネルの製造方法。 （もっと読む）

【課題】素子基板の端子に検査端子が当接した際に発生した異物が素子基板の一方面に付着することを確実に防止することのできる電気光学装置の製造方法、および電気光学装置用素子基板検査装置を提供する。
【解決手段】素子基板検査装置３００において素子基板１０の検査を行う際、気流吐出装置３５０の吹き出し口３５１から素子基板１０の一方面１０ｓに向けて斜め方向から気流Ｓを吹き付けるとともに、気流Ｓの下流側において、吸引装置３６０の吸引口３６１で気流を吸い込みながら、検査端子３２０を素子基板１０の端子１０２に当接させて検査を行う。従って、検査端子３２０と端子１０２とが当接した際に異物Ｐが発生しても、かかる異物Ｐは気流Ｓによって素子基板１０および検査端子３２０から離脱して、吸引装置３６０の吸引口３６１に気流Ｓとともに吸い込まれる。 （もっと読む）

【課題】引出配線が複数の層のそれぞれに形成された場合において、同じ層に形成された隣接する引出配線間の短絡を簡易な構成で確実に検出することができるアクティブマトリクス基板を提供する。
【解決手段】アクティブマトリクス基板２は、引出配線６１₁，６１₃，６１₅，６１₇が接続されたゲート端子５１に接続される第１接続配線６４₁，６４₃，６４₅，６４₇と、引出配線６１₂，６１₄，６１₆が接続されたゲート端子５１に接続される第２接続配線６４₂，６４₄，６４₆と、互いに隣接する２本の第１接続配線および第２接続配線を１本に束ねる束配線６５₁〜６５₄と、束配線のうちで互いに隣接しない束配線６５₂，６５₄へ検査信号を入力可能な第１検査配線６６と、束配線のうち第１検査配線６６が接続されておらずかつ互いに隣接しない束配線６５₁，６５₃へ検査信号を入力可能な第２検査配線６７とを備える。 （もっと読む）

【課題】清掃装置によるＣＦ基板の損傷を防止することにある。
【解決手段】プローブ装置は、電極を備える被検査体の上方に配置されて、またプローブ装置本体と、該プローブ装置本体に結合された清掃装置と、該清掃装置を前記プローブ装置に結合する結合装置とを含む。前記プローブ装置本体は、前記電極に接触されるように下方に向けられた針先を有する。前記清掃装置は、前記プローブ装置本体と前記被検査体とが相寄り相離れる上下方向への相対移動により前記電極に接触可能の前端部を前記針先より下方及び前方に備える。前記結合装置は、上方ほど後方となる斜めの方向に前記清掃装置と前記プローブ装置本体とを相対的に移動可能に結合している。 （もっと読む）

【課題】表示装置に信号を入力する端子の信頼性を向上させることが可能な技術を提供することである。
【解決手段】
複数の走査信号線と前記走査信号線に交差する複数の映像信号線とが形成される表示領域と、前記表示領域の外側に形成され、前記複数の走査信号線と前記複数の映像信号線とのうちの何れかに第１の端子配線を介して信号を供給する複数の端子からなる端子群と、を備える表示装置であって、前記端子は、前記第１の端子配線の端部に形成され、面状の端子表面が露出される第１部分と、前記第１部分に隣接し、前記第１部分の周りに形成される第２部分と、で構成されており、前記第２部分は、絶縁膜で覆われる前記第１の端子配線と同層又は前記絶縁膜で覆われる前記第１の端子配線と異なる導電性薄膜からなり、前記第１の端子配線と前記第１の電極との接続部から離間した位置において、前記第１の端子配線と電気的に接続される表示装置である。 （もっと読む）

【課題】液晶パネル、駆動用基板、制御基板、制御基板と駆動用基板を接続する第１の配線部材、駆動用基板と液晶パネルとを接続する第２の配線部材間の接続不良に起因する部品破壊の発生を適切に防止すること。
【解決手段】制御基板１２は、ＦＦＣ１５ａ、１５ｂ、１６ａ、１６ｂ、１８、１９、ソース基板１３ａ〜１３ｄ、ゲート基板１４ａ、１４ｂ、ソース側ＳＯＦ１７ａ〜１７ｈ、ゲート側ＳＯＦ２０ａ〜２０ｄ、液晶パネル１１の接続状態検出用の入出力端子２７、２８、３１を有するとともに、ＦＦＣ１５ａ、１５ｂ、１６ａ、１６ｂ、１８、１９、ソース基板１３ａ〜１３ｄ、ゲート基板１４ａ、１４ｂ、ソース側ＳＯＦ１７ａ〜１７ｈ、ゲート側ＳＯＦ２０ａ〜２０ｄ、液晶パネル１１は、それぞれ接続状態検出用の配線を有し、それらの各部品が組み合わされた際に、各配線が、制御基板１２の接続状態検出用の入出力端子２７、２８、３１に接続される。 （もっと読む）

【課題】基板上に形成されたアクティブエリアと共にアクティブエリア外に設けられたＴＦＴ駆動回路の欠陥を検出する。
【解決手段】ＴＦＴアレイ検査装置は、ＴＦＴ駆動回路に検査信号を供給するＴＦＴ駆動回路用ドライバ部と、アクティブエリアの走査画像に基づいて、ＴＦＴ駆動回路およびアクティブエリアの駆動状態を検出する検出部とを備える。ＴＦＴ駆動回路用ドライバ部は、基板上のＴＦＴ駆動回路に検査信号を供給することによってＴＦＴ駆動回路のＴＦＴアレイを駆動し、基板上のアクティブエリアに形成されたＴＦＴアレイを駆動する。検出部は、アクティブエリアの走査画像を用いて、アクティブエリア上で駆動していない非駆動部位を検出する。 （もっと読む）

【課題】フィルムタイププローブの各接触子と被検査体の各電極との接触精度を高く維持する。
【解決手段】フィルムタイププローブの先端部に各接触子が備えられると共に当該先端部がプローブブロックから延出して自由に撓み得る状態で当該フィルムタイププローブが上記プローブブロックに支持され、加圧機構が、上記フィルムタイププローブの先端部に接触する加圧面を有する。当該加圧面を上記フィルムタイププローブの先端部に臨ませた状態で、当該加圧面が上記被検査体の各電極に対して、並列に配設された当該各電極に沿う方向と直交する方向に円弧を描いて当該各電極に近接離間するように、上記加圧機構が上記プローブブロックに揺動可能に支持されると共に、上記加圧機構の加圧面と上記フィルムタイププローブ側との間に隙間を有する。 （もっと読む）

【課題】微小電荷を検出する高精度な回路構成を要することなく、簡易な構成で静電気を検出する。
【解決手段】アレイ検査装置が備えるプローバフレームは、基板に検査信号を印加するプローブを備えると共に、基板に蓄積された電荷を検出するための静電気プローブを備えることによって、表面接地板等の機構をアレイ検査装置に別途設けることなく、アレイ検査装置が備えるプローバフレームを用いて、基板に蓄積された電荷を簡易な構成で取り出す。静電気プローブを通して得た電荷を、高抵抗に通して接地側に流す。高抵抗に発生する電圧降下を電圧モニタで検出することによって、蓄積した電荷量に相当する値を検出する。高抵抗および電圧モニタは、高性能を要する微小電荷検出用の汎用表面電位モニタと比較して簡易な構成であり、価格も安価とすることができる。 （もっと読む）

【課題】フィルムタイププローブの各接触子と被検査体の各電極との接触精度を高く維持する。
【解決手段】フィルムタイププローブの先端部に各接触子が備えられると共に当該先端部がプローブブロックから延出して自由に撓み得る状態で当該フィルムタイププローブが上記プローブブロックに支持され、加圧部材が、上記フィルムタイププローブの先端部に接触する加圧面を有し当該加圧面を上記フィルムタイププローブの先端部に臨ませた状態で上記プローブブロックに揺動可能に支持されると共に、上記加圧部材の加圧面と上記フィルムタイププローブの先端部との間に隙間を有する構成にした。 （もっと読む）

【課題】ドライバの半導体集積回路装置の出力端子数が増加しても、半導体集積回路装置内部の配線層による電圧降下を防止する。
【解決手段】第１の配線層と第２の配線層とが形成されたフィルム基板と、前記フィルム基板上にチップオンフィルム方式で実装された半導体チップとを有し、前記第１の配線層と前記半導体チップの出力端子とが電気的に接続され、前記第２の配線層によって、前記半導体チップの複数の端子同士が電気的に接続されており、前記第２の配線層を介して、前記半導体チップの電源、或いはクロックが伝達される。前記第２の配線層は、前記半導体チップと前記フィルム基板との間に形成される。 （もっと読む）

【課題】 スリットバーのスリットのピッチを小さくすることなく、プローブを狭ピッチで配置することができるようにすることにある。
【解決手段】 プローブ組立体は、左右方向に間隔をおいて下方に開放する複数の第１のスリットを備える第1のスリットバーを支持片の先端部下側に配置し、左右方向に間隔をおいて下方に開放する複数の第２のスリットを備える第２のスリットバーを、その第２のスリットが第１のスリットに対し左右方向及び前後方向に位置するように、第１のスリットバーに配置し、第１及び第２のプローブの前部針先領域の少なくとも一部を、それぞれ、第１及び第２のスリットに位置させている。 （もっと読む）

【課題】マザーボード及びアレイ基板の製造方法に関する。
【解決手段】マザーボード及びその製造方法であって、該マザーボードは、少なくとも一つの表示領域及び上記表示領域の周辺のプレカッティング領域を有する基板を備え、上記表示領域はゲートスキャンライン及びデータスキャンラインを有し、上記プレカッティング領域は電気的に接続されているゲートライン連通線とデータ連通線を有し、上記ゲートライン連通線は上記表示領域におけるゲートスキャンラインごとと電気的に接続し、上記データ連通線は上記表示領域におけるデータスキャンラインごとと電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】データ集積回路の小型化にかかわらず、接続線の不良を検出することが可能な、液晶表示装置、および液晶表示装置の検査方法を提供する。
【解決手段】走査線およびデータ線に接続されるように形成される画素と、データ線に電気的に接続されるデータパッドと、データパッドを経由してデータ線にデータ信号を供給するためのデータ集積回路と、データパッドにそれぞれ接続され、データ集積回路と重なるように形成される第１データトランジスタと、データ線にそれぞれ接続され、データ集積回路と重ならない領域に形成される第２データトランジスタと、を備える液晶表示装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】製造時や使用時にテストパッドに起因する短絡故障が生じ難く、しかもテストパッドの腐食のおそれも少ない表示装置及び表示装置の接続状態検査方法を提供すること。
【解決手段】液晶表示パネル１１と配線基板１３とを電気的に接続する可撓性配線基板１２には、配線基板１３の電極端子２２と可撓性配線基板１２の入力端子２６との間の電気的接続状態及び可撓性配線基板１２の出力端子２５と表示パネル１１の入力端子２０との間の電気的接続状態を測定するための複数本の電気抵抗測定用配線２７ａ〜２７ｄが設けられており、複数本の電気抵抗測定用配線２７ａ〜２７ｄにはそれぞれ絶縁膜で覆われた電気抵抗測定用パッド２９ａ〜２９ｄが設けられている。 （もっと読む）