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Fターム[2H096GA43]の内容

感光性樹脂・フォトレジストの処理 (33,738) | 現像 (4,506) | 乾式現像 (159) | 加熱による除去 (38)

Fターム[2H096GA43]に分類される特許

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【課題】PAG(光酸発生物質)二重層を用い、残留物が無くLERも僅かな犠牲ポリマー層、及び犠牲ポリマー層の分解方法と、これを使用して改良されたエアキャビティー、又はエアギャップを作製するための方法を提供する。
【解決手段】PAG二重層はその中に光酸発生物質を組込み、上部のPAG濃度は構造物の低部より高い。PAGが非存在の犠牲層15が基板10上に形成される。犠牲層が乾燥された後、PAG単層20が形成され、層15と層20はPAG二重層25を形成する。次いで二重層25の像様暴露(光線照射35)遮蔽物30を使用して行われる。暴露部分は熱分解法によって除去されて、基板上に残った非暴露部分40を残す。次いで保護被覆層50が構造体上に配置され、部分45の分解及び保護被覆50を通る分解生成物の浸透のために適当な温度に加熱した後、エアギャップ55が形成される。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、感度等の基本特性を満足し、LWR等を指標としたリソグラフィー性能に優れ、さらにパターン裾部分に残渣を生じることなく良好な矩形性のパターン形状を有するパターンを形成することができる感放射線性組成物を提供することである。
【解決手段】本発明は、[A]下記式(1)で表される繰り返し単位(I)を有する重合体成分、及び[B]感放射線性酸発生体を含有する感放射線性組成物である。また、下記式(1)におけるR及びRのいずれかとRとは互いに結合して炭素数5〜20の環構造を形成していることが好ましい。
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【課題】感光性要素を熱現像するための方法および装置の提供。
【解決手段】加熱時に一部分を液化することのできる組成物層を含む。その層を1種または複数の有機化合物が蒸気を形成するのに十分な温度に加熱するステップと、前記蒸気の酸化により、有機化合物を二酸化炭素および水蒸気に変換するステップを含み有機化合物を含む廃棄物の流れを管理する必要性を低減させる。 (もっと読む)


【課題】印刷版を回転ドラムに固定しかつ印刷版に対して適切な張力を維持する改善されたシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】回転ドラムを有する装置において印刷版を固定しかつ張力を付与する方法および装置は、ドラムの表面に結合されたピンの第1セットの上に印刷版の第1部分を位置決めすることを含む。そして、印刷版の第1部分は、ピンの第1セットの上で打ち抜かれ、それにより印刷版の第1部分をドラムに固定する。ピンの第2セットを有する回転部材は、ピンの第1セットとピンの第2セットとの間の円周方向の距離が印刷版の長さにおよそ等しいように回転する。ドラムは、印刷版の第2部分がピンの第2セットの上に配置されるまで回転する。そして、印刷版の第2部分は、ピンの第2セットの上で打ち抜かれる。 (もっと読む)


【課題】 薄膜でありながら高い遮光性と耐傷性を有し、且つ従来よりも光学濃度のばらつきが小さい感熱マスク層を持つ感光性凸版印刷原版を提供する。
【解決手段】少なくとも(A)支持体、(B)感光性樹脂層、(C)感熱マスク層が順次積層されてなる水現像可能な感光性凸版印刷原版であって、(C)感熱マスク層がカーボンブラックと、分散バインダーで構成され、分散バインダーがブチラール樹脂、カチオン性ポリアミド及びアニオン性高分子化合物とを含有することを特徴とする感光性凸版印刷原版。 (もっと読む)


【課題】振動エネルギーを用いて印刷版を製造する方法および装置を提供する。
【解決手段】本発明は、外側表面を有し、部分的に液化可能な光重合可能な組成物層を含む感光要素から、凸版印刷版を製造する方法および装置に関する。本方法は、(a)光重合可能な組成物層の外側表面を、層の一部を液化させるのに十分な温度まで加熱して、液化材料を形成する工程と、(b)液化材料を除去する工程とを含み、加熱工程は、振動誘起摩擦エネルギーを用いて行われる。 (もっと読む)


加熱された印刷要素とブロッターとを接触させることで軟化又は溶融された未硬化の感光性ポリマーを刷版から取り除くことができるように、感光性ポリマーの未硬化部分が選択的に溶融又は軟化する温度に印刷要素が加熱される画像形成及び露光された感光性ポリマー印刷要素を現像する方法が開示される。取り除かれた未硬化の感光性ポリマーの画像は、暗色に着色されたブロッターを使用することで分かりにくくするため、印刷作業のセキュリティー性が改善される。 (もっと読む)


【課題】異なる長さの円筒形状の印刷要素の安全かつ迅速な位置決めを確保する。
【解決手段】本発明は、円筒形状の要素を処理するための装置、および、その要素を位置決めするための方法をもたらす。その装置は、軸線方向長さを有し、その要素の内面における第1部分に接触するようにしたその要素を支持する手段と、その支持する手段の内面軸線方向長さに沿ってその要素を移動させる手段とを含む。 (もっと読む)


【課題】フォトリソグラフィを利用した微細加工を行うために使用される新規なフォトレジスト用化合物、それを用いたフォトレジスト液、およびその液を使用するエッチング方法の提供。
【解決手段】一般式(I)で表される化合物またはその塩であるフォトレジスト用化合物。


[R1およびR2はHまたは置換基、L1〜L3は置換基を有していてもよいメチン基を表し、V1およびV2は少なくとも一方はハメットの置換基定数σpが0.2〜0.9の範囲の置換基、またはV1およびV2が窒素を含有するへテロ環を形成してもよく、nは0または1を表す。] (もっと読む)


【課題】円筒形状印刷フォームを調製するのに用いる円筒形状エレメントを処理するための処理媒体をエレメントの外側表面に提供する手段と、円筒形状エレメントの支持手段との間の接触圧を軸方向に沿って均一化する。
【解決手段】エレメントの内側表面に接触することで前記エレメントを支持する支持手段と、前記内側表面の反対側のエレメントの外側表面に隣接する処理媒体を提供する手段と、支持手段をその一端のプリセット位置に付勢し、支持手段のまわりを開放または閉鎖するのに適合したクランプ手段、または前記提供手段をその一端のプリセット位置に付勢し、提供手段のまわりを開放または閉鎖するのに適合したクランプ手段と、を具える。 (もっと読む)


【課題】本発明は、円筒状のワークを横置きにしてワークの内表面を加工する場合であっても、ワークの撓みを抑制して良好に加工を行うことを目的とする。
【解決手段】円筒内表面の加工装置(レーザ照射装置6)は、ワーク3の両端を回転可能に支持するワーク支持台(中空支持軸64aおよびベアリング台64b)と、ワーク3を回転させる駆動装置(モータ、ベルト64cおよびプーリ64d)と、前記ワーク支持台に形成される孔64fから通されてワーク3内においてワーク3の軸方向に延びるヘッド支持軸(ヘッドガイド軸62およびヘッド駆動軸63b)と、前記ヘッド支持軸に沿って移動しながら、ワーク3の内表面にレーザ光を照射するヘッド61と、を備えて構成されている。 (もっと読む)


【課題】外部表面および部分的に液化させることができる組成物層を有する感光性要素から印刷組版を形成するための装置および方法を提供する。
【解決手段】この装置は、組成物層を加熱するための変位可能な加熱器、要素から組成物層の少なくとも一部分を除去するための手段、および外部表面から所定の距離まで変位可能な加熱器を変位させる手段を含む。変位可能な加熱器を所定の距離に位置決めすることは、この装置で熱的に処理できる様々な種類の感光性要素から液化した組成物の再現可能な除去を確実にし、結果として改善された凸版表面均一性を有する印刷組版になる。 (もっと読む)


【課題】本発明は、感光性要素から作られる凸版印刷組版で、段ボール板紙などの基板上にインクのパターンを印刷する方法を提供する。
【解決手段】この方法は、感光性要素用のその場マスクを形成するステップと、この要素をその場マスクを介して不活性ガスと190,000ppmと100ppmとの間の酸素濃度を有する環境内で化学放射線に露出させるステップと、印刷領域のパターンを有する凸版印刷組版を形成するように、露出された要素を処理するステップとを含む。印刷は、印刷機に凸版印刷組版を固定し、印刷組版の印刷領域にインクを塗布し、かつインクのパターンを基板上に転写するために、この印刷領域からのインクを基板に接触させることによって実施される。 (もっと読む)


【課題】ヒートモード型のフォトレジスト層に凹部を形成する際に発生する異物の影響を抑制することができる凹部形成方法と、この方法を用いた凹凸製品の製造方法、発光素子の製造方法および光学素子の製造方法を提供する。
【解決手段】ヒートモードの形状変化が可能なフォトレジスト層12に光源を含んで構成される光学系50から集光した光を照射することでフォトレジスト層12に複数の凹部15を形成する凹部形成方法であって、フォトレジスト層12の凹部形成面12Aを重力方向に向けて凹部15を形成する。 (もっと読む)


【課題】レリーフパターンを形成するために、感光性要素から印刷フォームを形成するための方法および装置の提供。
【解決手段】感光性要素の組成物層を加熱して層の一部分を液化させ、かつ感光性要素に現像媒体を提供して液化された組成物を除去することによって、感光性要素を熱現像する。感光性要素とベース支持体との間に適合層が配設され、これによって感光性要素と現像媒体との間の圧縮性および接触が改善する。この方法および装置は、感光性要素からの液化された部分の除去効率および形成されるレリーフパターンの均一性を改善する。 (もっと読む)


【課題】 薄膜エッチング方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 紫外光でフォトマスクを介して基板上の光学樹脂層について露光を行い、そして焙焼プロセスを通じてすでに露光された光学樹脂層を気化させ、また露光していない部分を残して薄膜として形成することで前記光学樹脂層の気化された箇所に補填し、再度紫外光で光学樹脂層に対して全面露光を行い、また再度高温焙焼を通じて基板上の光学樹脂層の全部を気化させ、必要な薄膜パターンを残すことで、設備と製造の低コストの状況において、薄膜エッチングの精度を向上させることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】経時変化により現像不良が発生せず原画フィルムを必要としないで、凸状のレリーフ像を形成することが可能な感光性樹脂印刷版原版を提供すること。
【解決手段】支持体上に、少なくとも水に溶解または分散可能な樹脂および紫外光により硬化可能なモノマーを含有する感光性樹脂層(A)、および赤外線吸収物質を含有する感熱マスク層(C)、カバーフィルム(E)を有する感光性樹脂印刷版原板において、感熱マスク層(C)が、水不溶性で重量平均分子量が100000〜500000のアクリル樹脂を含有することを特徴とする感光性樹脂印刷版原版。 (もっと読む)


【課題】感光要素、およびこの要素から印刷フォームを作製するための方法を提供すること。
【解決手段】感光要素は、結合剤、モノマー、およびノリッシュII型光開始剤を含有する感光性組成物の層を含み、この感光性層は、20%未満の化学線透過率を有し、グラフェンおよび/またはカーボンナノチューブの強化粒子を含有する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、印刷フォームとして使用される、円筒状に成形された感光部材を作製するための方法を提供すること。
【解決手段】この方法は、感光性層を支持体に接触させる前に、感光性層および/または円筒状に成形された支持体を予熱するステップを含む。感光性層を積層して、隣接する端部を一緒に封止し融着して、円筒形感光部材を形成する。 (もっと読む)


【課題】感光性素子から床部上のレリーフ面を有する印刷版の製造方法を提供すること。
【解決手段】この方法は、化学線源のエネルギー密度に対する素子の床部の厚さまたは1つまたは複数のレリーフ画像特性などの硬化応答性を測定することによってステップ露光テストから感光性素子の重合率曲線を作成するステップを含んでいる。この方法は、化学線源に使用されるランプの光強度の変化を考慮に入れたエネルギー密度に基づいて感光性素子を化学線源に露光する。 (もっと読む)


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