【課題】ｉ線仕様、ＫｒＦ仕様、ＡｒＦ仕様等の多種多様のホトレジストに対して幅広く適用可能で、優れた洗浄性を示す洗浄液であって、かつ、使用済みの該洗浄液を高収率で回収・再生してリサイクル洗浄液として循環使用することができるホトリソグラフィ用洗浄液、およびその循環使用方法を提供する。
【解決手段】（ａ）酢酸またはプロピオン酸の低級アルキルエステルの中から選ばれる少なくとも１種と、（ｂ）炭素数５〜７の環状若しくは非環状ケトンの中から選ばれる少なくとも１種とを、（ａ）／（ｂ）＝４／６〜７／３（質量比）の割合で含有し、かつ、（ｃ）ホトレジストに用いられる有機溶剤を０．０１質量％以上１質量％未満の割合で含有するホトリソグラフィ用洗浄液、およびその循環使用方法。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、微細な線幅制御性の良い矩形な材料パターンが得られるインクジェット方式による材料パターン形成方法を提供することにある。
【解決手段】本発明は、化学増幅型ノボラック樹脂組成物からレジストモールドパターンを形成し、該レジストモールドパターン内に金属材料または有機材料をインクジェット方式によって塗布する材料パターン形成方法を提供する。
本発明のインクジェット方式による材料パターン形成方法は、微細な線幅制御性の良い矩形な材料パターンが得られる。 （もっと読む）

【課題】感光性シートを積層する際に、感光膜を保護でき、且つ積層した状態で一枚ずつ剥離して確実に取り出すことができる。
【解決手段】ウエブＷの表裏面のうちの一方面に感光膜Ｂを設けて成るＰＳ版１２８の製造装置において、ウエブＷ裏面に凹凸を形成する凹凸形成装置１５Ａと、凹凸が形成されたウエブＷ裏面に樹脂膜Ａを塗布形成する塗布装置１５Ｂと、塗布膜Ａを乾燥固化する乾燥装置１５Ｃとを、を備えている。 （もっと読む）

【課題】凹版転写法で形成するカラーフィルタ用のブラックマトリクスにおいて、上表面が撥インク性であるブラックマトリクスを形成する。
【解決手段】感光性を有し、層状物上表面が、カラーフィルタの色材層用のインクジェットインクに対して撥インク性を有するブラックマトリクス材層状物４を仮支持体１に配してなる感光性転写部材５を凹版転写法用凹版ｊに、熱、圧を加えた状態の下で貼り合わせ、裏面露光し、仮支持体１を剥がした後、ブラックマトリクス材層状物を現像し、所望のパターンにして凹版転写法用凹版の凹部にブラックマトリクス材を得て、カラーフィルタ用基板ｄと現像後の凹版転写法用凹版ｊとの間に無溶剤感光硬化型接着材を挟み込み、露光して接着剤を硬化させ、凹版転写法用凹版ｊをカラーフィルタ用基板から引き剥がした。 （もっと読む）

【課題】フォトレジスト膜に対してエッチング選択比が高く、かつ無機性の緻密な膜を形成することにより上層のフォトレジスト膜が良好なパターンを形成でき、またウエットストリップが可能であり、さらに、保存安定性が高く、下層膜のエッチング時に優れたドライエッチング耐性を示して多層レジスト膜のレジスト中間層膜として好適な反射防止膜材料、及び、この反射防止膜をレジスト中間層膜として有する基板を提供する。
【解決手段】リソグラフィーで用いられる多層レジスト膜のレジスト中間層膜として用いる反射防止膜材料であって、少なくとも、下記一般式（１）で表される繰り返し単位を有する高分子化合物をキレート化剤と反応させて得られる高分子化合物と、有機溶剤と、酸発生剤とを含有することを特徴とする反射防止膜材料。
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【課題】原料溶液及び／又は画像形成層塗布液の調製の過程で生じる気泡の発生を、抑制及び除去することができるので、支持体に塗布形成された画像形成層に縦スジやピンホール状のハジキ等が発生しない平版印刷版を製造することができる。
【解決手段】
複数の原料溶液を調製タンク６０で混合して調製した画像形成層塗布液を塗布部３０に送液し、連続走行する支持体上に塗布して画像形成層を形成する平版印刷版の製造方法であって、原料溶液及び／又は画像形成層塗布液を調製する過程で反応又は気体溶解度の差により気泡を発生する平版印刷版の製造方法において、原料溶液を調製タンク６０の内壁面に沿わせて流下するように投入する。 （もっと読む）

【課題】従来品に較べ少量で洗浄効果を発揮し、かつ顔料の凝集・沈降が起きにくい、顔料分散型感光性樹脂を除去するための洗浄剤を提供する。
【解決手段】少なくとも１つのアルキル基を有する芳香族化合物を２種類以上含有し、該芳香族化合物における全アルキル基の炭素の総数が３〜５であり、更に、該芳香化合物の全洗浄剤に対する含有量が１０〜４０質量％で、該芳香化合物が１〜３個のアルキル基をもつ単環化合物であり、該芳香化合物以外の溶剤を含有することを特徴とする洗浄剤。 （もっと読む）

【課題】平版印刷版材料の生産時に所定のサイズに断裁する際の粉落ちによる工程汚染、平版印刷版材料を印刷機に取り付ける際の印刷機汚染、および作業者の平版印刷版材料取り扱い時の汚れ、を著しく軽減する平版印刷版材料の製造方法、および印刷時の位置精度を大幅に高めるための印刷方法を提供する。
【解決手段】支持体表面に、少なくとも親水性層と感熱画像形成層を有してなる平版印刷版材料を切断するに際し、切断の前に切断部位の表面側から結合性素材を塗布することを特徴とする平版印刷版材料の製造方法。 （もっと読む）

【課題】ドライオフセット印刷版に求められる張り込み精度に優れたドライオフセット印刷版の提供。
【解決手段】少なくとも円筒状支持体（Ａ）、印刷層（Ｂ）を順に積層してからなる円筒状印刷版であって、印刷版の表面張力が０．０４Ｎ／ｍ以上であることを特徴とするドライオフセット印刷用円筒状印刷版。 （もっと読む）

【課題】合紙を用いずに積層した場合であっても、記録層に傷が生じることを抑制し、また、高湿下でのプレート間の接着を防止しうる赤外線感光性平版印刷版原版を提供すること。
【解決手段】支持体の片面に、水不溶性且つアルカリ可溶性樹脂と赤外線吸収剤とを含み、赤外線照射により画像を形成し得る記録層を有し、前記支持体の記録層を有する面とは反対側の面に、数平均粒径１〜１００μｍの架橋されたポリマー粒子を含有する有機ポリマー層を有することを特徴とする赤外線感光性平版印刷版原版。 （もっと読む）

【課題】 フォトレジスト用樹脂の分解を極力抑制しつつ、レジスト特性を低下させる要因となる低沸点不純物の含有量が極めて低いフォトレジスト用樹脂溶液を得る。
【解決手段】 酸によりその一部が脱離してアルカリ可溶性となる基を含む繰り返し単位Ａと、極性基を有する脂環式骨格を含む繰り返し単位Ｂとを少なくとも含有するフォトレジスト用樹脂を１種又は２種以上の塗膜形成用溶媒に溶解したフォトレジスト用樹脂溶液の製造方法であって、重合により得られた前記フォトレジスト用樹脂を貧溶媒に沈殿させ、分離したフォトレジスト用樹脂の湿結晶を少なくとも１種の塗膜形成用溶媒を含む溶媒に再溶解させ、得られた再溶解液を蒸留缶の加熱用ジャケット及び／又はチューブに１４０℃以下の熱媒又は蒸気を流通させつつ蒸留して、前記フォトレジスト用樹脂の湿結晶中に含まれる低沸点不純物を減圧下に留去する。 （もっと読む）

【課題】対象基板によらず現像欠陥の少なくなる条件を迅速に把握して現像処理後のリンス処理を行うことができるリンス処理方法を提供すること。
【解決手段】露光パターンを現像処理した後の基板をリンス処理するリンス処理方法は、予め基板の表面状態に応じてリンス処理の条件を設定する工程（ステップ１）と、基板の表面状態を測定する工程（ステップ２）と、測定された基板の表面状態から対応するリンス処理の条件を選択する工程（ステップ３）と、選択された条件でリンス処理を行う工程（ステップ４）とを有する。 （もっと読む）

【課題】 フォトレジスト用樹脂の分解を極力抑制しつつ、レジスト特性を低下させる要因となる低沸点不純物の含有量が極めて低いフォトレジスト用樹脂溶液を得る。
【解決手段】 酸によりその一部が脱離してアルカリ可溶性となる基を含む繰り返し単位Ａと、極性基を有する脂環式骨格を含む繰り返し単位Ｂとを少なくとも含有するフォトレジスト用樹脂を１種又は２種以上の塗膜形成用溶媒に溶解したフォトレジスト用樹脂溶液の製造方法であって、重合により得られた前記フォトレジスト用樹脂を貧溶媒に沈殿させ、分離したフォトレジスト用樹脂の湿結晶を少なくとも１種の塗膜形成用溶媒を含む溶媒に再溶解させ、得られた再溶解液を薄膜蒸発器により蒸留して、前記フォトレジスト用樹脂の湿結晶中に含まれる低沸点不純物を留去する。 （もっと読む）

【課題】レーザー彫刻印刷版を製造するレーザー彫刻工程において発生する分解生成物の除去方法の提供。
【解決手段】シート状あるいは円筒状に成形された少なくとも１層以上の感光性樹脂硬化物層を有するレーザー彫刻印刷原版表面をレーザー彫刻し、該表面に凹凸パターンを有するレーザー彫刻印刷版を製造する方法であって、レーザー彫刻工程において発生する分解生成物を除去する方法が、該分解生成物をオゾン分子に接触させる工程を含む方法であることを特徴とするレーザー彫刻印刷版の製造方法。 （もっと読む）

【課題】窒素などの不活性ガスの消費量を低減でき且つ気泡が完全に除去されたフォトレジストを安定して連続供給できるフォトレジスト供給装置を提供する。
【解決手段】可フォトレジスト供給装置は、可搬式容器（１ａ）、（１ｂ）で搬入されるフォトレジストを処理プロセスへポンプ（４）により連続供給するフォトレジスト供給装置であり、可搬式容器（１ａ）、（１ｂ）からポンプ（４）へ至る送液ライン（Ｌ１）、（Ｌ２）…を複数系統備え、各送液ライン（Ｌ１）、（Ｌ２）には、可搬式容器（１ａ）、（１ｂ）から取り出されたフォトレジストを一旦収容する中間容器（２ａ）、（２ｂ）が設けられる。中間容器（２ａ）、（２ｂ）は、分離した気体を排出可能な気液分離器として構成され、そして、複数系統の送液ライン（Ｌ１）、（Ｌ２）は、中間容器（２ａ）、（２ｂ）の液量に応じて切替使用する様に構成される。 （もっと読む）

【課題】一層高い品質の界面活性剤含有アルカリ現像液をオンサイトで効率的に製造することが出来る界面活性剤含有アルカリ現像液の製造装置を提供する。
【解決手段】界面活性剤含有アルカリ現像液の製造方法においては、純水に界面活性剤を添加して界面活性剤混合液を調製し、更にアルカリ系現像原液を添加する。界面活性剤に添加においては、目標濃度よりも低い界面活性剤濃度の界面活性剤混合液を調製する初期調製工程（Ａ）、界面活性剤混合液中の界面活性剤の濃度を測定する濃度測定工程（Ｂ）、界面活性剤の不足量を演算し、不足量の８５〜９９％の界面活性剤を界面活性剤混合液に供給する濃度調節工程（Ｃ）を実行すると共に、測定された濃度値が目標濃度の域値内の値となるまで工程（Ｂ）及び工程（Ｃ）を繰り返す。そして、界面活性剤の濃度を測定するに当たり、最大泡圧式表面張力計を利用したインライン型濃度測定装置を使用する。 （もっと読む）

【課題】レジストマスクの表面変質層を最小時間で確実に剥離する。
【解決手段】予め、テスト加工工程で形成された表面変質層の膜厚を実測し、加工条件と表面変質層の膜厚を関係付ける加工条件テーブルＴ１を作成する。製品の加工工程Ｓ１１での加工条件をキーとして加工条件テーブルＴ１を検索し、その条件で形成される膜厚を抽出する。そして、その抽出された膜厚の表面変質層をエッチングするに十分な剥離条件で剥離する。表面変質層の膜厚の測定は、レジストマスクの破断面を酢酸イソアミルでエッチングし、表面変質層を凸部、未露光レジストを凹部として断面に顕彰化させた後、ＳＥＭで断面の凸部の厚さを測定する。 （もっと読む）

【課題】凹凸パターンを有する無機物層を作業性良く形成できる製造方法を備えたプラズマディスプレイパネルを提供する。
【解決手段】（Ｉ）基板１上に無機物粒子を有する樹脂組成物層２を圧着、（ＩＩ）感光性樹脂組成物層３を積層圧着、（ＩＩＩ）活性光線５を照射、（ＩＶ）現像によりパターンを形成、（Ｖ）パターンの上部から圧力をかけ、樹脂組成物層に、パターンを埋め込む工程、（ＶＩ）パターンを除去して凹凸パターンを形成、（ＶＩＩ）焼成して凹凸パターンを有する無機物層を形成する工程、を少なくとも含む凹凸パターンを有する無機物層の製造法。 （もっと読む）

【課題】 耐クリーナ性に優れ、且つバーニング耐刷性、及び網点再現性に優れた平版印刷版の製造方法を提供する。
【解決手段】 支持体上に、下記一般式（１）で表される置換基によって置換されたフェニル基を有するモノマー単位を含むアルカリ可溶性樹脂、及び赤外線吸収剤を含有する記録層を有し、該支持体上に該記録層を塗設後、該記録層を乾燥する乾燥工程が、１５０℃以上２５０℃以下の温度条件を０．１秒以上６０秒以下の間維持する加熱処理を含むことを特徴とする平版印刷版の製造方法。


［一般式（１）中、Ｚ¹、Ｚ²及びＺ³は、各々独立に、水素原子又は非金属原子からなる１価の置換基を表す。］ （もっと読む）

【課題】本発明は、微小欠陥の発生を低減できる微細パターン形成体の製造方法を提供することを主目的とするものである。
【解決手段】本発明は、基板上に感光性レジストを塗布しレジスト層を形成するレジスト層形成工程と、上記レジスト層を露光する露光工程と、上記露光工程後のレジスト層を現像液で現像する現像工程と、上記現像工程後のレジスト層をリンス液でリンスするリンス工程と、を有する微細パターン形成体の製造方法であって、上記リンス工程の際に、上記基板を鉛直軸周りに水平に回転させ、上記現像工程後のレジスト層に対して、上記リンス液をスリットノズルにより帯状に吐出し、かつ、上記スリットノズルの吐出口から吐出される上記リンス液の流速が、０．６５×１０^４〜３×１０^４ｃｍ／ｍｉｎの範囲内であることを特徴とする微細パターン形成体の製造方法を提供することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）