【課題】 テンプレートを用いることなく基板に凹凸状のパターンを形成することができるパターン形成装置を提供することを目的とする。
【解決装置】 基板（ＦＢ）の表面に凹凸状のパターンを形成するパターン形成装置（１０）において、パターンに対応するパターン情報に基づいて、基板（ＦＢ）の表面に供給された硬化性材料（Ｒ）を押圧する押圧部（１１）と、押圧部（１１）によって押圧された硬化性材料（Ｒ）に所定のエネルギーを付与し、該硬化性材料（Ｒ）を硬化させる硬化部（１６）とを備える。 （もっと読む）

【課題】 対象体に対して、比較的高い光量の光を、比較的小さい光量分布で照射する光照射ヘッド、露光デバイス、画像形成装置、液滴硬化装置、および液滴硬化方法を提供する。
【解決手段】 この光照射ヘッド１０は、第１基板２０と、第１基板２０の上に配置されている発光素子１２と、を備えている。第１基板２０は、冷却媒体が通過する冷却流路が内部に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 ４灯のランプを備える光照射装置において、ランプや集光鏡の交換などの光源部の保守が容易にできるような構造を提供すること。
【解決手段】 ４灯のランプが四角形の頂点になるように配置された光照射装置において、光源部を、ランプ２灯を一組とした２つのユニットに分割し、それぞれのユニットに引き出し案内（ガイドレール）を設ける。そして、２つのユニットを、それぞれ水平面において相反する方向（左右方向）に引き出す。 （もっと読む）

【課題】保持機構に対する放電ランプの装着又は取り外しを容易に短時間に行う。
【解決手段】放電ランプの装着方法は、ガラス管２５と口金部２６とを有し、口金部２６が、フランジ部２６ａと、外形がフランジ部２６ａより小さい軸部２６ｂと、外形が軸部２６ｂより小さい凹部２６ｆと、外形がフランジ部２６ａより小さく、凹部２６ｆよりも大きい固定部２６ｈと、軸部２６ｂの外周面に設けられた流路とを備える放電ランプ１を準備し、放電ランプ１の口金部２６を取り付け装置３１の開口部に挿入し、冷却用媒体を供給するために、取り付け装置３１に設けられた供給口と、軸部２６ｂの流路とを互いに対向させるものである。 （もっと読む）

【課題】開口部材を有さない場合に比べ、発光特性のバラツキを抑制する。
【解決手段】基板６０と、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセント）により発光する単一の有機ＥＬ発光部６２と、有機ＥＬ発光部６２からの発光光が通過する開口部６８Ａを有する走査可能な開口部材６８と、開口部材６８の開口部６８Ａを通過した発光光を予め定められた位置に結像させる結像部６９と、を備える。発光素子が一つしかないため、従来の構成に比べ、発光特性のバラつきが抑制される。 （もっと読む）

【課題】プラズマを透過したレーザー光がレーザー発振器に照射されることを防止した光源装置を提供する。
【解決手段】放電媒体が封入されたランプ２と、ランプ２から出射された光を反射する凹面形状の反射面３２及び光出射開口３１を有する凹面反射鏡３と、レーザー光４を出射するレーザー発振器５とを備え、ランプ２にレーザー光４を照射する光源装置であって、ランプ２を透過したレーザー光４’の光路上に、レーザー光吸収部材６を設けたことを特徴とする光源装置である。この光源装置によれば、レーザー発振器５にレーザー光４’が入射されないので、エネルギー密度の高いレーザー光の影響を受けてレーザー発振器５が故障するといった不具合を確実に防止することができる。 （もっと読む）

【課題】ステレオリソグラフィ装置（１）用の照射システム（３０）を提供する。
【解決手段】平坦支持手段（３１）と、平坦面（４６）において、アレイ（３２）の上方で平坦支持手段（３１）の上に機械的に支持され、樹脂層（１６）を塗布するための樹脂塗布装置（６０）を受けるように配置された造形面（４５１）を有するマルチレンズプロジェクタアレイ（４０）であって、ＬＥＤを造形面（４５１）に投影するようになされた複数の小型レンズ（４４）を含む光学的要素の積層体からなるマルチレンズプロジェクタアレイ（４０）と、平坦支持手段（３１）とマルチレンズプロジェクタ（４０）の間に配置された、個別に制御可能な発光ダイオード（ＬＥＤ）（３４）の二次元アレイ（３２）と、を備え、平坦支持手段（３１）と平坦面（４６）は、平坦面（４６）のほぼ全体にわたって配置された接触領域（３３、４００）の上で支持され、剛性本体（３０）を形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ステレオリソグラフィ装置（１）用の照射システム（３０）を提供する。
【解決手段】このシステムは、個別に制御可能な広角発光ダイオード（ＬＥＤｓ）（３４）の二次元アレイ（３２）を支持する平坦な支持手段と、そのアレイに関連して配置され、ＬＥＤの焦点像を造形領域（１６）に投影させるようになされたマルチレンズプロジェクタアレイ（４０、４２）を備え、マルチレンズプロジェクタアレイは、発光中央領域像スポットサイズより小さい、またはそれと同等の発光縁辺領域像スポットサイズを有するＬＥＤアレイからの光を投影するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】発光素子間の距離を変更することなく、出射光の縦横の照射サイズを任意に変更することができる光源装置を提供する。
【解決手段】光出射体１からの出射光は、光反射面３Ａ１、３Ａ２、３Ａ３で反射される。光反射面３Ａ１〜３Ａ３は平面状の複数の光反射面並べたものであり、反射した光の行方向（光出射体１のＸ方向）の中心光線間の相互の距離が入射する前より小さくあるいは大きくなるように構成され、光出射体１からの出射光の行方向のサイズが変更される。この反射光は、光反射面４Ｂ１、４Ｂ２、４Ｂ３で反射される。光反射面４Ｂ１〜４Ｂ３も、光反射面３Ａ１〜３Ａ３と同様な構成であり、反射した光の列方向（光出射体１のＹ方向）の中心光線間の相互の距離が入射する前より小さくあるいは大きくなるように構成され、列方向のサイズが変更される。なお、上記反射面が歪曲面（凹面）であってもよい。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、感光膜の硬化を十分に得られる光源ユニット及びこの光源ユニットを具備した製版露光装置を提供することにある。
【解決手段】
第１の発明に係る製版露光装置は、複数の固体発光素子を備える光源ユニットと、該光源ユニットからの紫外線を照射される被照射物が載置される載置台と、を有する製版用露光装置において、該光源ユニット又は該載置台には、該光源ユニットと該載置台とを相対的に移動させる駆動手段が設けられ、該複数の固体発光素子は、紫外線を出射する第１の固体発光素子と、該第１の固体発光素子が出射する紫外線より短い波長の紫外線を出射する第２の固体発光素子との少なくとも２つの紫外線を出射する固体発光素子からなり、該光源ユニットが該載置台に対して相対的に移動される方向のならびで、第１の固体発光素子の後に第２の固体発光素子が配置されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】斜めに配置するミラーの自重たわみを、ミラーの平面性を損なうことなく、簡便な機構で防ぐこと。
【解決手段】ランプ２から出射した光を集光鏡３で集光させ、第１のミラー４１、インテグレータレンズ７、第２のミラー４２、コリメータレンズ８を介して被照射面１１に照射する。第１のミラー４１や第２のミラー４２は、斜めに配置され自重によるたわみが生じる。このたわみを補正するためミラー４１、ミラー４２の反射面とは反対側に梃子手段２０ａ，２０ｂが設けられ、たわんだ部分を押し上げたり、たわんだ部分を引き上げてたわみを補正する。ここで、梃子手段２０ａ，２０ｂの棹を支点において曲げてもよい。これにより、梃子手段のバランスを安定させて、力点に取り付ける錘の重さの軽量化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】液体浸漬フォトリソグラフィシステムにおいて投影光学系とウェハとの間に液体を閉じ込めるための単純なシステム及び方法を提供する。
【解決手段】基板１０１を電磁放射で露光しかつ電磁放射を基板上に集束させる投影光学系１００を有する露光系と、投影光学系１００と基板１０１との間に液体を提供する液体供給系とが設けられており、投影光学系が基板の下方に位置決めされている。 （もっと読む）

【課題】液体浸漬フォトリソグラフィシステムにおいて投影光学系とウェハとの間に液体を閉じ込めるための単純なシステム及び方法を提供する。
【解決手段】基板１０１を電磁放射で露光しかつ電磁放射を基板上に集束させる投影光学系１００を有する露光系と、投影光学系１００と基板１０１との間に液体を提供する液体供給系とが設けられており、投影光学系が基板の下方に位置決めされている。 （もっと読む）

【課題】感光性エレメントから凸版印刷フォームを作製するための方法および装置を提供すること。
【解決手段】より詳細には、この発明は、化学線に対する露光の間、調整された酸素濃度を有する環境内において凸版フォームを作製するための方法および装置を説明する。この方法は、感光性エレメントの上にｉｎ−ｓｉｔｕマスクを形成するステップと、不活性ガスおよび１９０，０００から１００ｐｐｍの間の酸素濃度を有する環境内においてｉｎ−ｓｉｔｕマスクを介して化学線に対してエレメントを露光させるステップと、浮出し面区域のパターンを有する凸版印刷フォームを形成するために露光されたエレメントを処理するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ランプから出射される光の出力を高いものとするとともに、ランプに照射されるレーザー光の利用効率を向上させることを目的とする。
【解決手段】 本発明の光源装置は、放電媒体が封入されたランプと、前記ランプから出射した光を反射する凹面形状の反射面を有する凹面反射鏡と、前記ランプに向けてレーザー光を出射するレーザー発振器と、Ｓ偏光のレーザー光は反射しＰ偏光のレーザー光は透過する偏光ビームスプリッターと、前記ランプを透過して前記凹面反射鏡を介して出射した直線偏光の偏光方向を変える偏光回転素子と、前記ランプを透過して前記凹面反射鏡を介して出射した直線偏光が前記偏光回転素子と前記偏光ビームスプリッターとにこの順に入射するよう当該直線偏光を導く光学素子と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】楕円反射鏡からの反射光が遮られ反射光が照射されない反射光非照射領域を利用して、レーザ光を導入することにより、放射光が減衰せず、楕円反射面で確実に反射され、放射光を効率良く利用することのできる光源装置を提供する。
【解決手段】内部に発光物質が封入され、楕円反射鏡２の開口側からレーザ光が集光して照射されて前記発光物質を励起して放射光が放射されるプラズマ発生容器１と、一方の焦点にプラズマ発生容器１が配置された楕円反射鏡２と、放射光が楕円反射鏡２によって反射されて反射光となり、該反射光の向きを変える平面鏡４とを備え、平面鏡４には、プラズマ発生容器１によって楕円反射鏡２からの反射光が遮られ反射光が照射されない反射光非照射領域Ｆ１−Ｆ２に、レーザ光を導入する窓部４１が設けられていることを特徴とする光源装置である。 （もっと読む）

【課題】複数の小型ランプを管理できる光源装置及び描画装置に関する技術を提供する。
【解決手段】 第１の観点の光源装置（２０）は、ランプ（２２）及び反射鏡（３）で構成され第１識別情報を有する光源と、第１識別情報を検出する第１検出器（５１）と、光源を１個以上保持し第２識別情報を有するハウジング（２１）と、第２識別情報を検出する第２検出器（５６）と、第１識別情報に関連する光源の情報と第２識別情報に関連するハウジング（２１）の情報とを記憶する記憶部（９２）と、第１検出器で得られた第１識別情報及び第２検出器で得られた第２識別情報と記憶部に記憶された光源の情報及びハウジングの情報とを比較し判定する判定部と、判定部の結果に基づいて、ランプを駆動する条件を制御する制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】レーザエネルギーを十分に放電容器内の放電部に導入でき、光学素子の損傷を防止するこ露光装置を提供する。
【解決手段】放電ランプ９と、放電ランプ９から放射された紫外光を反射する楕円反射鏡１０と、楕円反射鏡１０で反射された紫外光を被照射物１７に照射する露光光学系と、放電ランプ９にエネルギーを供給するためのレーザビームを入射するためのレーザ発振器１とを有する露光装置であって、レーザ発振器１とレーザ発振器１からのレーザビームを分岐するビーム分岐部６を露光光学系外に配置し、楕円反射鏡１０で反射された紫外光の光路上に、レーザビームを導入するための波長選択機能を有する光学部材１２を配置し、分岐された複数のレーザビームは、光学部材１２を経由し、楕円反射鏡１０で反射された紫外光の反射光阻害領域を回避して、楕円反射鏡１０に入射され、放電ランプ９に入射させることを特徴とする露光装置である。 （もっと読む）

熱処理中のフレキソ印刷要素の表面粗さを制御する方法。印刷ブランクは、支持層上に少なくとも１つの光硬化性層を含み、該少なくとも１つの光硬化性層が（１）スチレン−ブタジエン−スチレンを含むバインダー、（２）少なくとも１つの速硬化モノマー、（３）少なくとも１つの遅硬化モノマー、及び（４）光重合開始剤を含む。印刷要素ブランクは、印刷要素ブランクの最上部から印刷版ブランクを化学線により選択的に像様露光することで、前記少なくとも１つの光硬化性層の一部を選択的に架橋及び硬化し、そして熱処理して前記少なくとも１つの光硬化性層の未硬化部分を取り除くことで、前記少なくとも１つの光硬化性層にレリーフ像が現れる。熱現像後の前記レリーフ像印要素の表面粗さが約１，０００ｎｍ未満に制御される。 （もっと読む）

【課題】光変調器において電極間に印加される電圧を低くするとともに、制御ピッチを縮小する。
【解決手段】光変調器３では、周期分極反転構造３１０が設けられたベース部３１の上面３１１に第１電極部３３を設けるとともに下面３１２に第２電極部３４を設け、第１電極部３３と第２電極部３４との間に同じ向きの電圧を印加することにより、ベース部３１に設けられた周期分極反転構造３１０において分極部配列方向における周期的な屈折率の変化を生じさせてベース部３１に入射する光を回折させる。これにより、第１電極部３３と第２電極部３４との間に印加される電圧を低減し、制御ピッチの縮小を実現しつつ周期分極反転構造３１０の内部にＺ方向の所望の電界を形成することができる。そして、第１電極部３３と第２電極部３４との間に印加される電圧を低減することにより、光変調器３による光の変調速度を向上することができる。 （もっと読む）