【課題】 本発明は、細線化されたブラックマトリクスを有するブラックマトリクス基板、およびそのブラックマトリクス基板の製造方法を提供することを主目的としている。
【解決手段】 上記目的を達成するために、本発明は、基材上に、ブラックマトリクス形成用ポジ型レジストを塗布するレジスト塗布工程と、
前記ブラックマトリクス形成用ポジ型レジストに、フォトマスクを用いて、パターン状にエネルギーを照射し、第１露光部を形成する第１露光工程と、
前記フォトマスクの遮光部の各辺の垂直方向について、前記各辺の遮光部幅未満の距離だけ、前記フォトマスクを移動させて配置し、前記ブラックマトリクス形成用ポジ型レジストに、エネルギーを照射し、第２露光部を形成する第２露光工程と、
前記第１露光部および前記第２露光部の前記ブラックマトリクス形成用ポジ型レジストを除去する現像工程と、
未露光の前記ブラックマトリクス形成用ポジ型レジストを焼成する焼成工程と
を有することを特徴とするブラックマトリクス基板の製造方法を提供する。 （もっと読む）

本発明は、（Ｉ）導電性、電気抵抗性および誘電性の粒子から選択される機能相粒子と、３２５〜６００℃の範囲のガラス転移温度を有する無機結合剤とを含む無機材料の微細粒子を含み、（ＩＩ）（ｅ）コポリマー、インターポリマーまたはそれらの混合物である水性現像可能な非感光性ポリマーであって、各コポリマーまたはインターポリマーが、（１）Ｃ_１−１０のアルキルアクリレート、Ｃ_１−１０のアルキルメタクリレート、スチレン、置換スチレンまたはそれらの組合せを含む非酸性コモノマーと（２）エチレン性不飽和カルボン酸含有部分を含む酸性コモノマーとを含む水性現像可能な非感光性ポリマーと、（ｄ）第１および第２の官能性単位を有する二官能性ＵＶ硬化性モノマーであって、第１の官能性単位がビニル基であり、第２の官能性単位が、カルボン酸部分との反応によって化学結合を形成することができる、二官能性ＵＶ硬化性モノマーとを含む有機媒体中に分散された、光画像形成性前駆組成物に関する。 （もっと読む）

【課題】 回路パターンの形成精度を長期間にわたって維持できる液晶製造用露光装置を実現する。
【解決手段】 露光のための光を照射するための照明光学系３を設ける。液晶パネル用の基板７のレジスト膜上に回路パターン光を投影レンズ６により投影するための露光処理室４を設ける。投影レンズ６を露光処理室４の他と区画するための投影レンズ区画室６ｂを設ける。露光処理室４内をケミカル浄化するための露光処理室循環路４ｄを設ける。複数の互いに吸着特性が異なる各ケミカルフィルタを備えた露光処理系内フィルタ部４ｂを露光処理室循環路４ｄ内に設ける。 （もっと読む）

【課題】 樹脂型を用いた金属微細構造体の製造方法であって、樹脂型のダメージが少ない温和な条件を設定することができ、均一な電鋳により精度の高い金属微細構造体を大量に得ることができる製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明の金属微細構造体の製造方法は、凹部を有する樹脂型を形成する工程と、紫外線または可視光線により化学組成が変化する感光性ポリマを用いて、凹部を有する樹脂型を導電性基板上に貼り付けて樹脂型積層体を形成する工程と、凹部を有する樹脂型を研磨して厚さ方向に貫通した樹脂型を形成する工程と、樹脂型積層体を紫外線または可視光線により露光する工程と、樹脂型の空孔部に存在する感光後の感光性ポリマを除去する工程と、樹脂型積層体の空孔部を電鋳により金属で埋める工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 プリント配線板の製造に有効で、薄層化により高解像度化が可能であり、破れにくいテント膜を形成できるパターン形成材料と、スルーホールやビアホールなどのホール部を有するプリント配線板を効率的に製造することができるパターン形成装置及びパターン形成方法とを提供。
【解決手段】 支持体上に、バインダー、重合性化合物、及び光重合開始剤とを含む感光性樹脂層で形成される第一感光層と、バインダー、重合成化合物、及び光重合開始剤とを含む感光性樹脂層で形成され、前記第一感光層の光感度よりも高い光感度を有する第二感光層を有してなり、感光層が、光照射手段からの光を受光し出射する描素部をｎ個有する光変調手段により、前記光照射手段からの光を変調させた後、前記描素部における出射面の歪みによる収差を補正可能な非球面を有するマイクロレンズアレイを通した光で露光されることを特徴とするパターン形成材料である。 （もっと読む）

【課題】 発光効率が高く、また長寿命の光源を備える露光装置及びそれを利用した半導体デバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】
本発明は、マスク３８のパターンをウエハ４３に転写する露光装置に関する。本露光装置は、マスク３８を保持する原版ステージ１０８と、マスク３８を照明する光を発生する光源１０１と、を備える。光源１０１は、自然放出により光を放出する固体素子を含む。 （もっと読む）

【課題】 開口部１ａを適切に配置したフォトマスク１を用いることによって、マイクロレンズ２を高充填率で配置する。
【解決手段】 フォトマスク１として、形成するマイクロレンズ２の形状に対応する多角形状の開口部１ａが、マイクロレンズ２の最密配置パターンに対応するパターンで配置されたものを用いる。より具体的には、フォトマスク１として、最密配置される多角形状（例えば正六角形状）のマイクロレンズ２を所定角度（中心角３０度）だけ個々に回転させた形状で開口部１ａが並ぶものを用いる。そして、そのフォトマスク１との間にギャップを設けてガラス基板上の光硬化性樹脂に光を照射する。これにより、そのフォトマスク１を用いて光硬化性樹脂に光を照射したときに、開口部１ａの形状が所定角度（中心角−３０度）だけ回転した形状のマイクロレンズ２がガラス基板上に形成される。 （もっと読む）

【課題】 簡易な作業により非球面コリメートミラーを理想的な放物面に加工することが可能な非球面コリメートミラーおよび非球面コリメートミラーの調整方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 非球面コリメートミラー１は、ベース部材１１と、可撓性を有するミラー部材１２と、点対称に配置された１３個の支持部材１３とを備える。ベース部材１１とミラー部材１２とは、支持部材１３により連結されている。ここで、ミラー部材１２は、そこに応力を付与しない状態においては球面形状を有する、通常の球面ミラーが使用される。この非球面コリメートミラー１においては、点対称に配置された１３個の支持部材１３の各々について、ベース部材１１に固定された第１固定部とミラー部材１２の裏面に固定された第２固定部との間隔を変更することにより、ミラー部材１２の形状を任意に変更することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、像様露光前に感光性印刷要素を選択的に予備露光して、像様露光前に感光層から酸素を除去する方法を対象にする。
【解決手段】本発明はCTPプロセスに使用可能であり、フレキソ印刷用リリーフ像印刷要素を製造する。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】基部スリーブ１２を提供するステップと、緩衝層１４を硬化する放射線に対して実質的に透明である基部スリーブ１２上に施すステップと、選択的な障壁層１６を緩衝層１４上に施すステップと、フォトポリマー層１８を障壁層又は緩衝層上に施すステップとを含む、フレキソ印刷にて使用されるフォトポリマースリーブブランク１０の製造方法が提供される。その後、基部スリーブの内面を硬化する放射線にて露光し、放射線がスリーブ及び緩衝層に侵入してフォトポリマー層の厚さの一部分を実質的に硬化させる。
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一般に、１態様では、本発明は、第１の材料を含む層を提供すること；レジストのような処理層を必要とせずに層の表面を露出しながら層をパターン化すること；パターン化された層に前駆体を浸透させること；およびパターン化された層の中の前駆体を反応させて構造化材料を形成すること；を含む構造化材料の形成方法をその特徴とする。 （もっと読む）

光学像は複数の副照射により放射線感応層（５）において形成され、それらの副照射において、光バルブ（２１乃至２５）のアレイ及び収束要素（４３）の対応するアレイ（４０）は副画像パターンに従ってレジスト層（５）においてスポットのパターンを形成するために用いられる。副照射の間で、レジスト層（５）はアレイ（２１乃至２５、４０）に対して移動される。レンズアレイ（４０）は走査領域に対して傾斜されることが可能であり、それ故、各々のレジスト層は複数のスポットにより走査される。更に、走査方向に対して垂直な方向において一部のスポットの重なり合いが又、生じる。このスポットの冗長性を、装置特徴のエッジの位置を変える、即ち、それを“微調整する”ように、冗長スポットの１つ又はそれ以上の強度を選択的に減少させる又はそれらをオフに切り換えることにより利用することができる。

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本発明は、基板（６００）上に配置される感光性樹脂層（６０１）にパターンを生成するリソグラフィー法に関する。前記パターン（６０７）は、基板の主面の法線（ｎ）に対して傾斜する側面（６０８）を有し、その傾斜角（θ）は、先行技術により得られるパターンの傾斜角よりもずっと大きい。本発明の方法を実行するデバイスも開示される。
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発明は、シート材（３）のウエブの１つまたはそれより多くの層における部分的にデザインが施された領域の作成のための照射ステーション（１）及び、そのような照射ステーション（１）で作成され、様々な光学特性を示す部分的にデザインが施された領域を有する光変化素子に関する。照射ステーション（１）は、シート材（３）を照射するための１つまたはそれより多くの放射源（１１）を有する。照射ステーション（１）はさらに、様々な光学特性を示す部分的にデザインが施された領域を有するマスクテープを有し、マスクテープは１つまたはそれより多くの放射源（１１）とシート材（３）のウエブの間の光路において照射域（１８）を通って誘導される。照射ステーション（１）はさらに、マスクテープを誘導するため及び／またはシート材のウエブを誘導するための２つまたはそれより多くの誘導手段（１８２，１８３）を有し、これらの誘導手段は、マスクテープ（２）が照射域（１８）においてシート材（３）に対して平行関係で誘導されるように配置される。さらに、照射ステーション（１）は、マスクテープ（２）及びシート材（３）のウエブを同じ速度で照射域（１８）を通して進行させるための結合手段（１８１，１８２，１８３，１８４）を有する。
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【課題】電子写真プリント配線板の作製方法において、感光層の帯電量が変化した基板では正常な静電潜像が形成できず、また静電潜像の形成に失敗した基板では良好な画像形成ができないため不良基板となり無駄になっていた。
【解決手段】電子写真プリント配線板の作製方法において、静電潜像形成前に熱処理を行う工程を設けることで前記課題が解決できる。 （もっと読む）

【課題】 配向膜及び薄膜トランジスタなどの特性に悪影響を与えずＵＶ硬化型シール剤を硬化させ得るように、シール剤形成領域以外の領域へのＵＶ照射を遮断するマスクを備えたＵＶ照射装置及び、前記マスクを効果的に固定するためのマスク固定装置を提供する。
【解決手段】 本発明によるＵＶ照射装置は、基板ステージと、ＵＶ光源部と、前記基板ステージとＵＶ光源部との間に形成されたマスクと、そのマスクを固定するマスク固定装置とからなり、前記マスク固定装置は、四角形状のフレームと、前記四角形状のフレームの内側面に形成される共に第１締結部を備えるマスク支持部とを含む下部器具物と、前記第１締結部に対応する第２締結部を備える上部器具物とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、例えば、ＣＲＴ（陰極線管）のカーボン及び蛍光体ストライプを形成する陰極線管の製造方法に関し、露光時間を短縮させることが課題である。
【解決手段】 ＳｉＯ₂とＢ₂Ｏ₃を主成分として軟化点温度が７５０℃以下の光学ガラスで露光用レンズ４を形成し、該露光用レンズを使用して陰極線管のカーボン若しくは蛍光体ストライプを形成するようにした陰極線管の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 照明光源から発光された露光光の損失を軽減し、露光面の照度を向上させることができる露光装置の照明光学系を提供する。
【解決手段】 照明光源から発光されて楕円鏡で反射された露光光によってマスクのパターンを被転写物体に転写する露光装置の照明光学系において、照明光源の中心を通る水平線から下側−３０度より大きい角度まで、配光を楕円鏡により反射させるように構成している。 （もっと読む）