【課題】構成レンズの枚数の増加を抑制しながら、プリント回路基板等を製造するのに十分な露光領域、解像度及び光学特性が得られるコンパクトな投影光学系を提供する。
【解決手段】紫外線を用いてレティクル上のパターンの像を基板上に投影露光する投影光学系であって、物体側から像側の順に、正屈折力の第１レンズ群と、正屈折力の第２レンズ群と、開口絞りと、正屈折力の第３レンズ群と、正屈折力の第４レンズ群を備え、第２レンズ群は、最も開口絞りに近く配置された負屈折力のメニスカス形状のレンズと、該レンズＬ２５よりも第１レンズ群側に配置された少なくとも１枚の正屈折力のレンズを有し、第３レンズ群は、最も開口絞りに近く配置された負屈折力のメニスカス形状のレンズと、該レンズよりも第４レンズ群側に配置された少なくとも１枚の正屈折力のレンズとを有し、全光学系の倍率をβとするとき、０．４１＜｜β｜＜２．４の条件を満たす。 （もっと読む）

【課題】レンズアレイのレンズの位置決めを正確に行なうことを可能とする技術を提供する。
【解決手段】レンズＬＳと、レンズが配設された面からレンズＬＳより低い第１の高さｈ1を有する第１の凸部ＰＪ1、ＰＪ1と、レンズＬＳが配設された面から第１の高さｈ1と異なる第２の高さｈ2を有する第２の凸部ＰＪ2、ＰＪ2とを備えている。 （もっと読む）

【課題】大型化を抑制できる照明装置を提供する。
【解決手段】照明装置は、基準面に対して第１高さに配置された射出部から照明光を射出する光源装置と、基準面に対して第１高さより低い第２高さに配置された入射部を有し、入射部に入射した照明光を物体に照射する第１光学系と、第１高さと第２高さとの間において基準面に対して傾斜した光軸を有し、射出部から射出された照明光を入射部に導く第２光学系とを備えている。 （もっと読む）

液体感光性ポリマー印刷ブランクからフレキソレリーフ画像印刷版を作製するシステム及び方法。前記システムは、レリーフ画像印刷版の所望のゲージを設定するためのガラス設定装置、露光工程中に印刷版の紫外線露光を制御するための装置、及び／又は印刷版のマスキング露光を自動的に実施するための装置からなる群より選択されるレリーフ画像印刷版を作製する装置を含む。マイクロコントローラは、前記装置に操作可能に接続され、前記装置を制御し、前記装置に関する情報を格納するためのソフトウェアを含む。ユーザインタフェースは、マイクロコントローラ及び前記装置に操作可能に接続され、且つ格納装置にデータを入力するための手段と、製版システムの前記装置に関する情報を選択するための手段とを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、極めて微細な加工を簡易な制御により行う。
【解決手段】光ディスク用原盤製造装置２０は遷移金属の不完全酸化物からなる無機レジスト材料を基板１００上に成膜してレジスト層１０２を形成しレジスト基板１０３を得て、当該レジスト層１０２に特異出力光ＬＥを照射し所望の凹凸パターンと対応した選択的な露光を施し感光させる。その後光ディスク用原盤製造装置２０は、当該パターンが露光されたレジスト基板１０３を現像し光ディスク用原盤を得る。これにより露光部２６は、レジスト層１０２にレーザ光を照射し発生させる熱の拡散を抑え、微細なパターンの露光ができる。かくして光ディスク用原盤製造装置２０は極めて微細な加工を簡易な制御により行うことができる。 （もっと読む）

【課題】複数のランプと集光鏡を備える光照射装置において、ランプとランプの間に隔壁を設ける場合、隔壁が隔壁の平面に対して直交する方向に膨らむ変形（座屈）を生じることのない光照射装置を提供すること。
【解決手段】隔壁を、長手方向を揃えて並べた複数の長方形状の板状部材と、板状部材を支持する支柱を備え、板状部材は、熱膨張による板状部材の長手方向への伸びを許容して支柱に支持する。板状部材は横長に配置してもよいし、縦長に配置してもよいが、長手方向を揃えて並べた板状部材は、隣り合う板状部材との間にわずかな隙間を設けておくことが望ましい。 （もっと読む）

【課題】高価な合成石英フォトマスクを用いることなく高精細な感光性樹脂凸版を製造することができ、かつ、有機電子デバイスの製造コストを低減することを可能とすること。
【解決手段】本発明は、基材１０１と基材１０１の上に形成されている感光性樹脂層１０２とを具備するパターン転移媒体１００を用意する工程と、光照射手段及４０１及び光変調手段４０２を具備する露光ユニットとパターン転移媒体１００とを相対的に移動させて予め入力された情報に基づいて光照射手段４０１から放たれる光を光変調手段４０２により変調することで露光光のパターンを形成して感光性樹脂層１０２に対し照射を行う露光工程と、感光性樹脂層１０２のうち前記露光工程において露光光が照射されない領域を除去して感光性樹脂凸版を形成する現像工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】最小露光量を極めて小さくできるシャッターユニットを備え、タクトタイムの短縮を図ることができる露光装置を提供することにある。
【解決手段】シャッターユニット４４は、独立に回転可能な第１及び第２のシャッター羽根７０，７１と、第１及び第２のシャッター羽根７０，７１をそれぞれ回転駆動するための複数のシャッター駆動機構７２，７３を備える。第１及び第２のシャッター羽根７０，７１は、互いに同じ方向に回転する。 （もっと読む）

【課題】要求解像力の異なる２種類の露光パターンを同一の露光工程で同時に形成し、露光処理効率を向上する。
【解決手段】ＴＦＴ用基板８を一方向に搬送しながら、フォトマスク３を介してＴＦＴ用基板８に光源光２４を間欠的に照射し、フォトマスク３に形成された複数のマスクパターンに対応してＴＦＴ用基板８上に露光パターンを形成するもので、フォトマスク３は、一面に要求解像力が異なる電極配線パターン１４と信号配線パターン１７とを形成し、複数の電極配線パターン１４から成る電極配線パターン群１６と複数の信号配線パターン１７から成る信号配線パターン群１８とをＴＦＴ用基板８の搬送方向に先後して形成し、他面には、要求解像力の高い電極配線パターン１４に対応して該パターンをＴＦＴ用基板８上に縮小投影するマイクロレンズ１９を形成し、該マイクロレンズ１９側がＴＦＴ用基板８側となるように配置されたものである。 （もっと読む）

【課題】物体に照射される照明光を所期の照度分布に調整できるフィルタ装置を提供する。
【解決手段】フィルタ装置は、入射した光の強度をその入射した光の入射角及び入射位置に応じて変化させるフィルタ素子と、フィルタ素子に入射する入射光に対してそのフィルタ素子を動かして、入射光の入射角及び入射位置の少なくとも一方を変化させるフィルタ駆動部とを備える。 （もっと読む）

【課題】ダイレクト露光描画装置に用いる放電ランプのｈ線の発光効率を高めて、レジストパターンの断面が台形になるようにする。
【解決手段】容積65mm³以下の石英ガラス製のバルブ２に、270mg/ccの割合で水銀を封入し、170Torrの圧力でガスを封入する。電極の背面５とバルブ２の内面６との間に、0.4mmないし0.42mmの空隙７を設ける。一対の電極４を結ぶ軸が水平となる状態で放電ランプ１を保持する。このようにすると、放電ランプ１のｈ線の発光効率が高まり、台形断面のレジストパターンに形成できる。 （もっと読む）

【課題】光学系の特性を適正に維持する。
【解決手段】射出口に１つの光学素子を有するハウジングと、光源の近傍に配置され光源の光量を測定する第１光量センサ４１と、基板の周辺で光学素子を経由した光量を測定する第２光量センサ４５と、ハウジング外の温度及び湿度を測定する周囲温湿度センサ（ＭＴ１）と、ハウジング内の温度及び湿度を測定する内部温湿度センサ（ＭＴ２，ＭＴ３）と、ハウジング内の空調を行う空調部５０と、第１光量センサに基づいて光源の寿命期間を判定する第１判定部９７と、光源が寿命期間内であった場合に第１判定部が第２光量センサに基づいて光学素子の特性の良否を判定する第２判定部９８と、周囲温湿度センサ及び内部温湿度センサに基づいて空調部の設定変更が必要か否かを判定する第３判定部９９と、を備える。 （もっと読む）

【課題】封入物に水銀を含むランプを収納する光照射装置において、ランプが破損した場合にランプに封入されている水銀の飛散を防ぎ、水銀を回収できるようにすること。
【解決手段】水銀を含むランプ１からの光は集光鏡２により集光され、インテグレータ５、コリメータミラー６等を介して光照射装置１０から出射する。光照射装置１０には冷却風を供給する冷却風の取り入れ口７ａと排気口７ｂが設けられ、排気口７ｂと排気ブロア（排気ファン）８の間にサイクロン捕集器１３が設けられる。ランプ点灯時には排気ブロア８が動作し、冷却風取り入れ口７ａから取り込まれた冷却風は、集光鏡２やランプ１を冷却し、排気口７ｂから排気される。点灯中にランプが破損すると、液体粒子になった水銀やランプの細かいガラス片などは、ランプ１を冷却していた冷却風とともサイクロン捕集器１３内に入り、ランプの破片や水銀粒子は、冷却風から分離され捕集される。 （もっと読む）

【課題】 アライメント工程の簡略化と、基準辺に平行な周辺露光領域を正確に確保することのできる周辺露光方法を提供する。
【解決手段】 紫外光を照射する紫外線照射ユニット（３１）を有し、矩形基板（ＳＷ）に形成される回路パターン領域の周囲に形成される周辺領域(ＥＡ)を紫外光で露光する周辺露光方法である。この方法は、矩形基板をステージに保持する保持工程（Ｓ１１）と、紫外線照射ユニットに設けられた検出部（５１）で矩形基板（ＳＷ）の一辺のエッジ（ＳＮ１）を検出して第１方向からの基板の傾きを算出する傾き検出工程（Ｓ１３）と、傾き検出結果に基づいて矩形基板又は紫外線照射ユニットを回転させる回転工程（Ｓ１４）と、紫外線照射ユニットとステージとを相対的に第１方向に駆動する駆動工程（Ｓ１７）と、傾き検出部（５１）でエッジを検出して周辺領域（ＥＡ）を特定しながら、紫外線照射ユニットから紫外光を照射する照射工程（Ｓ１８）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】冷却によるランプのゆらぎ、照度変動を抑え、安定したランプ点灯を維持する。
【解決手段】陰極２０、陽極３０を備えたショートアーク型放電ランプにおいて、発光管１２の厚さを変える。陰極先端部（輝点）を中心として、電極軸に直交し、陰極先端部を含む基準面Ｆから緯度方向６０度付近にある発光管肩部１２Ｔ付近の厚さ（肉厚）Ｔ１を、陽極先端面３１Ａを含む平面Ｇを含む発光管最大径部１２Ｓ付近の厚さＴ２より大きくする。 （もっと読む）

【課題】複数の放電ランプを使用する照明装置において、照度を維持しながら複数のランプをそれぞれ寿命期間まで有効に使用し、ランプ交換時期を揃える。
【解決手段】第１、第２放電ランプを備えた照明装置において、所定の定照度点灯期間Ｈ_１１の間、第１、第２放電ランプを定照度点灯させる。期間Ｈ_１１経過後にランプ電力を検出し、電力上昇率からランプ残留点灯時間を予測する。そして、予測されるランプ寿命期間の差（Ｔ_ＢＦ−Ｔ_ＡＦ）に基づいて、寿命調整期間Ｐ_１１を設ける。寿命調整期間Ｐ_１１では、ランプ残留点灯時間が短い放電ランプを、短寿命放電ランプとして定電力点灯させる。一方、ランプ残留点灯時間が長い放電ランプを長寿命放電ランプとし、全体的照度を維持するように定照度点灯させる。 （もっと読む）

【課題】 電力値が変更された場合でも、放電ランプを本来の使用寿命に応じた時間で使用することができ、放電ランプの点灯中に発光管が破裂することが回避され、放電ランプを安全に使用することができる放電ランプの歪量監視システムおよびこのシステムに適応される放電ランプを提供する。
【解決手段】 放電ランプ(10)と、放電ランプ(10)に電力を供給する給電装置(20)と、放電ランプ(10)の発光管(11)の蓄積歪量を算出する演算装置(30)とを備えてなり、演算装置(30)によって、給電装置(20)から放電ランプ(10)に供給される電力値毎に、点灯時間の関数である蓄積歪量を算出する演算式が設定され、この演算式により、放電ランプ(10)に供給される電力値での電力供給開始時における発光管(11)の蓄積歪量を初期値として、当該電力値での点灯時間に応じて放電ランプ(10)の発光管(11)の総蓄積歪量が特定される。 （もっと読む）

【課題】マスクの交換や洗浄の頻度を低減させ、それにより、パターン描画装置の生産能力を向上させることができるパターン描画装置を提供する。
【解決手段】このパターン描画装置では、マスクＭ上に形成された８組のパターン群Ｇａ１〜Ｇｄ２の中に、同一の形状を有して互いに代替可能なパターン群（Ｇａ１とＧａ２，Ｇｂ１とＧｂ２，Ｇｃ１とＧｃ２，Ｇｄ１とＧｄ２）が含まれている。そして、マスク移動機構３２２ａを動作させることにより、これらのパターン群のいずれに対してパルス光ＰＬを照射するかを選択することができる。このため、あるパターン群に汚れまたは欠陥が発生した場合にも、マスクＭ自体を交換または洗浄することなく、同一の形状を有する他のパターン群を使用して描画処理を行うことができる。従って、マスクＭの交換や洗浄の頻度を低減させることができ、その結果、パターン描画装置の生産能力を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】照射ヘッドを大型化することなく、ＬＥＤ光源の冷却を行うことができるＬＥＤ光照射装置を提供する。
【解決手段】ＬＥＤ光源２２を有する照射ヘッド１２と、ＬＥＤ光源の給電及び／又は制御を行う制御部３２が配置される制御装置１４と、ＬＥＤ光源２２を冷却する冷却手段とを備え、制御装置１４と照射ヘッド１２との間には連結管１６が設けられて、該連結管１６内を通過する電気ケーブル３６，３８を介して制御部３２とＬＥＤ光源２２が接続される。冷却手段は、照射ヘッド１２においてＬＥＤ光源２２に近接して設けられてＬＥＤ光源から伝熱がされるヒートシンク４０と、該ヒートシンク４０が晒される風を強制的に発生させるファン４２と、を備えており、ヒートシンク４０とファン４２とは、連結管１６を介して隔てられて配置されて、連結管１６を風が流通する。 （もっと読む）

【課題】複数の光源ユニットを備える光照射装置において、加工や組み立てが比較的容易な構造を有する筐体又は支持体を採用することによって、各光源ユニット又は各光源ユニット群から放射される光が、所定の光照射領域に適正に重ね合わされて照射される光照射装置を提供する。
【解決手段】ランプ２１と、ランプ２１からの光を反射する反射鏡２２と、ランプ２１及び反射鏡２２を収納する筐体２３とからなる光源ユニット２を複数備えた光源ユニット群２Ｘからなる光照射装置において、光源ユニット群２Ｘは、光源ユニット２の各筐体２３が互いに隣接して配置され、筐体２３と筐体２３が隣接する外壁面２３１が平面状に形成されると共に、各光源ユニット２から出射する光が所定の光照射領域に重ね合わされて照射されるように、外壁面２３１はランプ２１の光軸に対して傾斜されていることを特徴とする光照射装置である。 （もっと読む）