【課題】入射光を使用して所定面に光強度分布を形成するホログラムを提供する。
【解決手段】ホログラム１１００は、入射光ＩＬの第１の偏光方向の第１の偏光成分ＩＬ１の位相、及び第１の偏光方向に対して垂直な第２の偏光方向の第２の偏光成分ＩＬ２の位相の双方を制御して、第１の偏光成分ＩＬ１の位相分布と第２の偏光成分ＩＬ２の位相分布との間の位相差分布を形成するように構成された複数のセルを含む。複数のセルは、位相差分布の位相差のレベル数が第１の偏光成分ＩＬ１の位相分布の位相のレベル数より少なくなるように設計されている。 （もっと読む）

【課題】紫外線ランプ表面温度を規定温度範囲内に収める管理を可能としたことでランプの長寿命化を実現する。
【解決手段】ランプハウス１０内に、紫外線を放射される紫外線ランプ１３を主に構成するランプユニット部１１とランプユニット部１１から放射される紫外線が照射される照射部１２が構成される。さらに、紫外線ランプ１３と反射板１７１，１７２との間には耐熱性の紫外線透過ガラス板２７２，２７２を設置した。紫外線透過ガラス板２７１，２７２が紫外線ランプ１３に対して風量を増やす作用を生かしてランプ温度の管理を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】長尺の紫外線ランプであっても、不点灯や消灯直後における高温状態であっても安全にかつ確実なランプ交換の実現を図る。
【解決手段】ランプハウス１０内に、紫外線を放射する紫外線ランプ１３を主に構成するランプユニット部１１とランプユニット部１１から放射される紫外線が照射される照射部１２が構成される。ランプユニット部１１に出し入れされるキャリア２６に、紫外線ランプ１３を載置可能とし、ランプ交換時にキャリア２６を使用して、ランプユニット部１１内に交換用ランプを搬送し、ランプハウス１０の側面に形成された作業口を介して紫外線ランプ１３を所定の位置に交換するようにした。 （もっと読む）

【課題】 第２の光源の光を、第1の光源からの光が存在しない領域に導入し、第1の光源からの光と合成する光照射装置において、第１の光源から出射した光の量を減らさないように、第２の光源からの光を合成すること。
【解決手段】 第１の光源からの光をインテグレータの方向に反射する平面ミラーの、第１の光源からの光が照射される領域に囲まれた放射強度の弱い領域に貫通孔を形成し、この貫通孔から第２の光源からの光を導入する。第２の光源は、例えばレーザダイオードであり、レーザダイオードからの光はファイバを用いて平面ミラーの裏面側から貫通孔を介して導入する。 （もっと読む）

【課題】走査速度の低下、露光ピッチの長さ拡張等することなく、高解像度パターンを形成しながらスループットを向上させる。
【解決手段】ラスタデータ変換部は、実際の露光エリアよりもデータサイズの大きい４つの拡大ラスタデータＥＬＡ〜ＥＬＤをブロックとして生成し、時間間隔ＴＭに従って第１、第２バッファメモリへ交互に格納する。一方、アドレス制御回路は、露光ピッチに応じた露光タイミングに合わせて、第１、第２バッファメモリから露光用ラスタデータＥＬＡ１〜ＥＬＤ１を交互に読み出す。このとき、露光エリアＥＡの相対移動に合わせながらブロック毎の露光用ラスタデータ抽出を３回繰り返し、露光用ラスタデータＥＬＡ１〜ＥＬＤ１、ＥＬＡ２〜ＥＬＤ２、ＥＬＡ３〜ＥＬＤ３を、４つの拡大ラスタデータＥＬＡ〜ＥＬＤから順に抽出する。 （もっと読む）

【課題】照射源から出射される光のうち被照射体にあたらない光を有効に利用して、照明装置のランニングコストを抑制することを目的とする。
【解決手段】照射装置１０は、照射室１１に照射源１３及び被照射体設置部１２を備えたものであって、照射室１１の内部に太陽電池１４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】照度維持率の低下を抑制した露光装置及び露光装置の点灯方法を提供すること。
【解決手段】封入水銀量０．０８〜０．２５ｍｇ／ｍｍ^３の高圧放電ランプを備え、ワークを露光処理する露光装置であって、該高圧放電ランプは、前記ワークを露光しない非露光時に、露光時の定格電力に比べて低電力で交流駆動するように制御し、且つ、前記低電力時におけるランプ電流値及び点灯周波数を、前記定格電力時におけるランプ電流値及び点灯周波数に比べて小さくするように制御する制御部を備えることを特徴とする露光装置である。 （もっと読む）

【課題】基板の上に発光素子の光軸と光学部品の光軸を正確に位置合わせした光源装置を低コストで実現する。
【解決手段】本発明の光源装置は次のような構成である。基板４は第１の電極パッド４１１と第２の電極パッド４１２を有し、発光素子２は、出光面２１と第３の電極パッド２６を有するパッケージと、前記パッケージの内部に収容された発光素子チップを有し、光学部品は、レンズ部３１と台座部３２と、台座部３２に形成された接合面３３を有し、レンズ部３１は発光素子２の出光面２１を覆っており、基板４に形成された第１の電極パッド４１１と発光素子２に形成された第３の電極パッド２６ははんだ１０で接合され、基板４に形成された第２の電極パッド４１２と光学部品の台座部３２に形成された接合面３３は、はんだ１０によって接合されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、管球内に封入した放電媒体にレーザー光線を集光し、レーザー光線によって放電媒体を励起してプラズマを生成するレーザー駆動光源において、管球内に生成したプラズマに吸収されずにそれを透過したレーザー光線を遮蔽することを目的とする。
【解決手段】 放電媒体を封入した管球を備え、前記管球内に集光させたレーザー光線によって前記管球内にプラズマを生成するレーザー駆動光源において、前記管球内には、前記管球内に生成したプラズマを透過したレーザー光線を遮蔽する光線遮蔽部材が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】均一な紫外線照射することにより、高性能で液晶パネル製造の歩留まり向上を実現する。
【解決手段】紫外線透過性の石英ガラスで気密性を有する放電空間１１を備えた発光管１２内の軸方向に一対の放電用の電極１３ａ，１３ｂを対向して配置する。放電空間１１内にアーク放電させた状態を維持するために十分な量の希ガス、水銀、ハロゲン、発光金属からなる封入物を封入することで紫外線ランプ１００を構成し、点灯時に紫外光を発光させる。紫外線ランプ１００を冷却ユニット２００で冷却させるとともに、被照射物とは反対側に反射板１９を配置し、被照射物に照射させる。反射板１９の複数の向きの異なる反射面６１で入射された紫外線を拡散したことで、被照射物に照射させる紫外線の照度の均一化を実現する。 （もっと読む）

【課題】視野角及び応答速度が向上した液晶表示素子の製造方法を提供する。
【解決手段】液晶表示素子の製造方法であって、互いに異なる第１方向及び第２方向に配列された２つの周期的パターンが形成されたマスクをマスクステージにロードすることと、部分照明系の瞳面ＩＰＰにおける露光光の光量分布を、その部分照明系の光軸ＡＸＩを通り、その第１方向とその第２方向との中間方向に対応する方向に伸びる第１直線（Ｘ軸）上にあって、光軸ＡＸＩに関して対称な１対の点４２Ａ，４２Ｂを含む領域４３Ａ及び４３Ｂで光量が大きくなる分布にして、そのマスクのパターンを部分投影光学系を介して基板に転写することと、を含む。 （もっと読む）

【課題】露光装置及び露光方法において、露光直前の光源を安定させることにより、露光むらを無くし、高精度に露光を行うことができる近接露光装置及びその近接露光方法を提供することにある。
【解決手段】光源制御部１５aは、遮光板８を閉じた状態で照射部１４の光源６に所定の電圧を印加した際に照度計５０によって検出される照度が目標照度になるように補正する補正機能１５ｂを有することで露光むらを無くし、高精度に露光を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】半導体レーザ（LD）、LED、ランプ等の発光源、およびレンズ、ファイバ等の伝送、転写、集光等の光学部品を備えた光源装置において、装置内における硫酸イオン量を低水準に保つことにより、硫酸アンモニウムの光学部品への付着を防ぐことのできる光源装置を提供する。
【解決手段】光を出射する光源１と、光源から出射された光２を処理する光学部品３と、光学部品を収納する、または光学部品が取り付けられる筐体とを備え、筐体は、硫黄成分を含まない材料を切削することにより形成され、前記材料が表面に露出している。 （もっと読む）

【課題】エッチング層の膜厚変動に対して露光範囲の大きさのばらつきが少なく、インプリント原版へのレーザーによる精密露光を可能とする積層構造体を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の積層構造体は、波長３００ｎｍ以上７００ｎｍ以下の範囲における消衰係数Ｘが０．５以上１０以下である基材１１と、基材１１の上に設けられた光吸収層と、光吸収層１２の上に設けられたエッチング層１３と、エッチング層１３の上に設けられたレジスト層１４と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】シートの凸部の厚さが厚く、欠陥がなく高品質で、かつ、生産性よく製造することができる凸状シートの製造方法および製造装置を提供することを目的とする。
【解決手段】凸部の厚みが５〜１５０μｍ、シート全体の厚みが４０〜２５０μｍおよびピッチの幅が１０〜３００μｍである凸状シートの製造方法において、シートＷの表面に紫外線硬化樹脂液を塗布し、塗布層１０を形成する塗布工程と、フォトマスク２０を用いて、塗布層１０に照射する紫外線の強度を変化することにより、厚みを調整して塗布層１０を硬化する露光工程と、塗布層を現像処理し、未硬化域１２を選択的に溶解する現像工程と、を有することを特徴とする凸状シートの製造方法および製造装置である。 （もっと読む）

【課題】複数のランプを含む光源の寿命を延ばし、メンテナスンス回数を低減することにより、生産性を高めることが可能な露光装置およびそれを用いた露光方法並びに表示用パネル基板の製造方法を提供する。
【解決手段】複数のランプ１３１−１，１３１−２を含む光源と、複数のランプへそれぞれ電力を供給する複数の電源１４１−１，１４１−２と、複数の電源を制御する電源制御装置１４０と、感光樹脂材料が塗布された基板１０１を載せるチャック１１０とを有する露光装置において、電源制御装置１４０は、複数のランプ１３１−１，１３１−２への供給電力が同じで一定となるように複数の電源１４１−１，１４１−２を制御する。 （もっと読む）

【課題】投影光学系のレンズに生じうる不均一な温度分布による結像特性の低下を抑制する。
【解決手段】物体面に配置される原版９のパターンを像面に配置される基板１８に投影する投影光学系を有する露光装置において、前記投影光学系は、前記物体面から前記像面に至る光路に前記物体面から順に配置された第１平面鏡１１、第１凹面鏡１２、凸面鏡１４、第２凹面鏡１５、第２平面鏡１６と、前記第１凹面鏡１２と前記凸面鏡１４との間および前記凸面鏡１４と前記第２凹面鏡１５との間に配置された正のパワーを有する屈折光学系２０とを有し、前記屈折光学系２０は、屈折率の温度変化係数が正の材料で構成された第１レンズ１３ａと、屈折率の温度変化係数が負の材料で構成された第２レンズ１３ｂとを含む。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で、印面となる光硬化樹脂を適正に硬化させるための露光状態が判別できるスタンプ基体を提供する。
【解決手段】本発明のスタンプ基体１は、紫外線により硬化する紫外線硬化樹脂１１から成る印面形成部２と、印面形成部２を保持する印面保持部３と、を備え、印面保持部３に、光の強度を測定する光強度測定部５と、光強度測定部５の測定結果および光硬化樹脂の硬化状況を整合させる露光指標部６と、を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】シートの複数の区画領域に連続してパターンを形成する。
【解決手段】シートＳの区画領域ＳＡ_ｉに対する走査露光に際して、ステージＳＳＴ_１は、走査領域ＡＳの＋Ｘ端部の待機位置でシートＳの区画領域ＳＡ_ｉに対応する裏面部分をシートホルダＳＨ_１の保持面に吸着して、マスク（マスクステージ）と同期して、Ｘ軸方向（−Ｘ方向）に所定ストロークで移動する。この際に、マスクのパターンの一部に対応する照明光が投影光学系を介してシートＳに照射されることで、パターンが転写（形成）される。区画領域ＳＡ_ｉに対する走査露光後、ステージＳＳＴ_２は、待機位置にＸＹ平面内で移動して、シートＳの次の区画領域ＳＡ_ｉ+１に対応する裏面部分をシートホルダＳＨ_１の保持面に吸着後、上述と同様に走査露光方式で露光してパターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】複数の波長の強度を個別に実用レベルで調整できる光源装置を提供する。
【解決手段】輝線スペクトルの一つの輝線波長の光を遮断する反射被膜が、前記光束を反射させるか又は透過させて通過させる複数の開口を有するように設けられ、該複数の開口の最大寸法は、所定波長の光束の照射面内に複数の開口が配置可能である微小な寸法であり、選択された所定波長の光束における少なくとも一つの特性を、微小な開口の形状、間隔及び数により決定する光源装置。 （もっと読む）