大規模なＭＥＭＳデバイス（１０，１００，２００，３００）は、少なくとも一つの対応するダイマウント（２８）によって支持されるＭＥＭＳダイ（２２）を含む。対応するダイマウント（２８）は、ＭＥＭＳダイ（２２）を支持構造（２０）に連結する。支持構造（２０）は、パッケージ（３８，４０）の内部に配置される。本発明の態様によれば、パッケージ（３８，４０）は、ＭＥＭＳダイ（２２）について実質的に対称形である。本発明の別の態様によれば、支持構造（２０）および／またはパッケージ（３８，４０）は、ＭＥＭＳダイ（２２）に沿う中立の屈曲軸を有するように設計されている。
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【課題】
【解決手段】 モノリシック光電子フィードバック構造の使用を介して、ＳＯＩベースの光電子システムの信頼性と寿命を改善する。この構造は、光電子システム内の一またはそれ以上の光信号をモニタして、選択した光学デバイスの動作パラメータを調整する電気フィードバック信号を提供する。例えば、入力信号結合方向を制御することができる。代替的に、光学モジュレータ、スイッチ、フィルタまたは減衰器の動作は、本発明のモノリシックフィードバック構造によるクローズドループフィードバック制御下にあっても良い。フィードバック構造は、また、制御電子機器に接続されたキャリブレーション／ルックアップテーブルを具えて、システムの性能を解析するのに使用するベースライン信号を提供することができる。 （もっと読む）

本発明は、可変キャパシタンスに基づいて撓み距離だけ隔離された第１のプレート及び第２のプレートを有する、静電気的に制御される微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）素子（２６）と、ある電荷量を蓄積するよう構成された電荷蓄積素子（２２）と、スイッチ回路（１８）とを備える、微小電気機械システム（１０）を提供する。前記電荷蓄積素子と前記ＭＥＭＳ素子との間で前記電荷量を分配して、該電荷蓄積素子と該ＭＥＭＳ素子とを同じ電圧に均等化することによって、ＭＥＭＳ素子の可変キャパシタンスを制御するよう前記スイッチ回路が構成される。
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光学要素は、流体チャンバと、流体チャンバの少なくとも一部に対して磁場を与える装置とを有する。流体チャンバは側部及び端部を有し、第１流体及び第２流体を有する。それらの流体は非混和性であり、第２流体は磁場により影響を受けることができる。流体チャンバの端部は側部のみにより共に接続されている。
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光学素子は、側壁及び端壁を有する流体室を含み、第一流体（２０）及び第二流体（２２）を含む。流体は非混和性であり、第二流体は磁場によって影響を受け得る。流体室の少なくとも一部の上に磁場をもたらすための装置（１９）が設けられ、磁場は、流体室内の第一流体及び第二流体の位置が変更されるよう第二流体を移動し得る。第二流体は磁性流体であり得る。
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光源からの光を再分配するシステムおよび方法。コントローラは、光源の放射照度プロフィールがより均一になり、また、この放射照度プロフィールと流体流量プロフィールが一致するように光を再分配することができる。放射照度プロフィールは、複数の導波路からの光漏れを改変することによって、あるいは、反射体および／またはレンズの光方向づけ特性を変更することによって制御し得る。
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マルチモード光ファイバ(３０２)と、該マルチモード光ファイバ(３０２)内を伝搬する光の信号レベル変動であってモードノイズにより誘起された信号レベル変動を平均化する手段(３０８)とを含む、光学的モードノイズ平均化デバイス(３００)。上記デバイスは、選択された期間に亙り上記マルチモード光ファイバ(３０２)の屈折率を循環的に変化させること、上記マルチモード光ファイバ(３０２)内の光分布をスクランブリングすること、または、その両方により、モードノイズにより誘起された信号レベル変動を平均化し得る。上記マルチモード光ファイバの屈折率は、該マルチモード光ファイバ(３０２)の温度を循環的に変化させることで循環的に変化され得る。代替的に、マルチモード光ファイバ(３０２)を循環的に操作することにより、屈折率が変更され得るか、または、該マルチモード光ファイバ内の光分布がスクランブリングされ得る。
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例えばオイルの層の分裂又はオイルの層の移動に基づいており、且つ少なくとも２つの異なる状態を有するディスプレイデバイスであって、壁（１３）の高さが、ピクセルの幅と、充填針（１５）の先端におけるオイル界面の一般的な曲率とに比較して大きくはなく、ピクセルに針を挿入することなくピクセルに充填される、ディスプレイデバイス。充填針をピクセルに入れる必要がないため、比較的大きな注入針からのオイル（５）によってピクセルを充填することができる。 （もっと読む）