【課題】ＭＥＭＳデバイス内の少なくとも１つの可動ミラーの動きを、ＭＥＭＳデバイスの容量の時間的変化に基づいてモニタする。
【解決手段】ＭＥＭＳデバイス内の少なくとも１つの可動ミラーの動きを、ＭＥＭＳデバイスの容量の時間的変化に基づいてモニタする方法であって、可動ミラーが平面ミラーの場合、可動ミラーを動かすために必要な駆動電圧に加えて、直流電圧をＭＥＭＳデバイスに印加するステップと、可動ミラーの動きに関連した容量変化に比例する電流を測定するステップと、測定電流に基づいて可動ミラーの動きをモニタするステップとを有する。また、可動ミラーがスタガミラーの場合、可動ミラーの動きに関連した電流を測定するステップと、測定電流において、ＭＥＭＳデバイスの容量の時間的変化に関連した複数のリップルを識別するステップと、識別された複数のリップルに基づいて可動ミラーの動きをモニタするステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】ミラーを揺動させ、光ビームを偏向させる光偏向装置において、ミラー密着力とフィルファクターとを同時に高めることが可能なミラーを提供すること。
【解決手段】光偏向装置は、基板と可動部とコア部と表面部材を備えている。可動部は、基板に対して揺動可能に支持されている。コア部は、可動部の一部から反基板側に伸びている。表面部材は、コア部の頂面を覆う部分と、可動部から立設しているとともにコア部を一巡するループに沿って伸びている側面部分と、その側面部分の上端から外側に向けて可動部の上面と平行に伸びている展開部を備えている。その表面部材は、コア部を形成するコア部形成材料と異なるとともに光を反射する材料で形成されている。その表面部材の少なくとも一部が、可動部を垂直方向から見たときに、可動部の輪郭の外側に至っている。 （もっと読む）

【課題】デバイス本体に不要な応力がかかるのを抑制しつつ、外部物体との接触によるボンディングワイヤの破損を防止することが可能なＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され複数のパッド１３を一表面側に備えたデバイス本体１、デバイス本体１の上記一表面側に接合された表面側保護基板２、デバイス本体１の他表面側に接合された裏面側保護基板３を有するＭＥＭＳチップＣと、ＭＥＭＳチップＣが実装された実装基板５とを備える。表面側保護基板２は、デバイス本体１の各パッド１３それぞれを全周に亘って露出させる複数の貫通孔２０２が形成され、且つ、各貫通孔２０２それぞれに各別に連通するととともに貫通孔２０２側とは反対側が開放されデバイス本体１のパッド１３と実装基板５の導体パターン５０２とを電気的に接続するボンディングワイヤを通す複数の溝部２０３が形成されている。 （もっと読む）

【課題】低コストかつ簡単に電磁波パルス列を構成するパルス間隔を調整できる。
【解決手段】単発の電磁波パルスを複数の再帰反射素子の配列面に対して斜めに入射する。この結果、傾斜方向に配列された再帰反射素子の位置に応じて伝搬経路長（伝搬時間）が異なる複数の電磁波パルスが生成され、生成された複数の電磁波パルスを電磁波集束器により１本のビームに集束することにより電磁波パルス列を生成する。 （もっと読む）

【課題】ミラー面の振れ角に応じて出力が変化するように配置された受光素子を備えた構成の採用による小型化を図ながらも、ミラー面において光ビームを入射させる位置が制限されたりミラー面の振れ角が制限されるのを防止することが可能なＭＥＭＳ光スキャナを提供する。
【解決手段】外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有するミラー形成基板１と、ミラー形成基板１に接合された第１のカバー基板２および第２のカバー基板３とを備える。受光素子６は、ミラー面２１で反射された光のうち第１のカバー基板２を透過する主光線Ｉ１ではなく第１のカバー基板３におけるミラー面２１側の表面で反射された副光線Ｉ２を受光しミラー面２１の振れ角に応じて出力が変化するように、第１のカバー基板２の上記表面側に配置してある。 （もっと読む）

【課題】 光変調効率（光利用効率）を改善することを可能とする投写型映像表示装置を提供する。
【解決手段】 投写型映像表示装置１００は、光源１０から出射された光を投写ユニット８０側に透過するように構成されており、複数の微小開口部７１を有する透過型デジタル素子７０と、光源１０から出射される光を透過するとともに、光源１０から出射される光を複数の微小開口部７１のそれぞれに分配するように構成されたマイクロレンズ６１とを備える。複数の微小開口部７１のそれぞれは、開閉可能に構成されたシャッタ７３を有する。 （もっと読む）

【課題】捩り撓みヒンジで連結されて相対的に回転する微細加工部材の改良された構造体を提供する。
【解決手段】基準フレームを動的プレート５８に連結し、フレームを捩りバーではなく、折返し捩り撓みヒンジ９６でプレートに連結する。そして、折返し捩り撓みヒンジ９６はプレート５８をフレーム側から支持するもので、３つの基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃから成り、各基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃの縦軸９８の向きは、プレート５８の回転軸６２に垂直ではなく、折返し捩り撓みヒンジ９６の中間部１０４が、基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃの直隣接端１０６を相互連結し、基本ヒンジ素子１０２ｂは、フレームに対して、軸６２を中心とするプレート５８の角回転を測定する捩りセンサ１０８を備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】可動板と捻り梁との接合部における応力による可動板のたわみを抑制することができる光偏向素子、光偏向器、及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光偏向素子は、光反射性を有する反射鏡４２が設けられた可動板４１と、支持枠４４と、可動板４１を支持枠４４に対して回動可能に連結する弾性支持梁４３と、可動板４１の反射鏡４２と反対の面側に設けられた磁石３７とを備え、弾性支持梁４３は、可動板４１の回動軸Ｘに垂直な断面で見たときに、幅が反射鏡４２側から磁石３７側に向けて漸次増加する形状をなしている。 （もっと読む）

【課題】光の波長に依存することなく、所望のパターンの光を対象物に照射する技術を提供することを課題とする。
【解決手段】パターン投影装置は、標本と光学的に共役な位置に配置された空間光変調器（１）と、空間光変調器（１）を制御する制御装置を含んでいる。空間光変調器（１）は、各々が独立に光を変調する複数のピクセル素子（２、３、３’）を含む。制御装置は、標本に目的の形状の照明光を照射する変調パターンを複数のサブ変調パターン（ＭＰ２１、ＭＰ２２）に分割し、空間光変調器（１）を複数のサブ変調パターン（ＭＰ２１、ＭＰ２２）の各々に順に制御する。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の偏向角度を大きく設定する。
【解決手段】固定支持される第１端部、及び自由端であり第１端部よりも幅が狭いか又は厚みが薄い第２端部をそれぞれ有する一対の第１アーム部１２ｅ，１２ｅと、固定支持される第３端部、及び自由端であり第３端部よりも幅が狭いか又は厚みが薄い第４端部をそれぞれ有し、一対の第１アーム部に対向して配置された一対の第２アーム部１２ｅ，１２ｅと、一対の第１アーム部の第２端部と一対の第２アーム部の第４端部との間に配置され、外部から照射された光を反射するミラー部１２ｉと、一対の第１アーム部の第２端部とミラー部とをそれぞれ連結する一対の第１捩じりバネ部１２ｇ，１２ｇと、一対の第２アーム部の第４端部とミラー部とをそれぞれ連結すると共に、一対の第１捩じりバネ部に対向して配置された一対の第２捩じりバネ部１２ｈ，１２ｈと、を備えている光偏向子１２Ａを提供する。 （もっと読む）

【課題】２つのレーザ光による加工跡が均一になるように２つのレーザ光の強度を調整することができ、２つのレーザスポットの位置が設定された値になるように調整できるレーザ加工装置及びレーザ加工方法の提供。
【解決手段】レーザ光源と、固定手段と、回転手段と、照射位置移動手段と、レーザ光の偏光方向を出射されたレーザ光の光軸に対して変化させる偏光方向変化手段と、偏光方向変化手段により偏光方向が変化されたレーザ光を２つのレーザ光に分離させる偏光ビームスプリッタと、２つのレーザ光の光軸を平行からずらして合成する光学系と、光学系で合成された２つのレーザ光を集光させる対物レンズと、加工対象物に形成された加工跡に非加工強度のレーザ光を照射したときの反射光の特性を加工跡の特性として検出する特性取得手段とを有するレーザ加工装置である。 （もっと読む）

【課題】回動軸方向の幅が有限な可動板に捻り梁が接合された端面においては、幅が無限な可動板における理論的な動たわみとは異なる形状の複雑な動たわみが発生する。当該動たわみを抑制することができる光偏向素子、光偏向器、及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光偏向素子は、光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が可動板の端面に接続されており、可動板を反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、弾性支持梁の一端の反対側の一端が接続されており、弾性支持梁を支持する支持枠と、可動板の側面から反射面に平行な方向に突出し、回動軸に垂直な方向において可動板の先端より回動軸に近い範囲に配設された可動板突起と、を備える。光偏向器は、当該光偏向素子を備え、画像形成装置は、当該光偏向素子又は当該光偏向器を備える。 （もっと読む）

【課題】白のセグメントを含むカラーホイールを用いた場合に、ノイズによる映像劣化を抑制することができる投写型表示装置を提供する
【解決手段】プロジェクタは、光源ランプ１０からの白色光を時分割で複数の色の光に分離するカラーホイール３１と、カラーホイール３１により分離された各色の光を変調するＤＭＤ７０と、外部から入力された映像信号を処理する信号処理回路１０４と、信号処理回路１０４からの信号に従ってＤＭＤ７０を駆動するＤＭＤ駆動回路１０６とを備える。ここで、カラーホイール３１は、光源ランプ１０からの白色光をそのまま透過する白セグメント３１Ｗを含む。さらに、信号処理回路１０４は、入力された映像信号により生成される映像の彩度が予め設定された閾値αを超える場合に、前記表示素子の各画素のうち白成分を表示する画素に対するＲＧＢ信号を減衰させる。 （もっと読む）

【課題】ねじれモードおよび垂直モードの動作を同時に行わせることで装置の小型化を可能とするプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】一対のトーションバー３を介して枠状の固定部２に固定された可動部４を揺動してねじれモードで駆動するための可動部４上に形成された駆動コイル５と、可動部４を垂直モードで駆動するための、前記一対のトーションバー３上に設置された垂直駆動用圧電体６とを備えた構造にすることで、垂直方向の往復動とトーションバー３を回動軸としたねじれ運動を同時に行わせることを可能にする。 （もっと読む）

本発明は、ある軸（１１）を中心に回転できる可動プレート（１）であって、この回転軸（１１）に対して当該プレートの両側部に整列配置された２つのアーム（７，９）により静止フレーム（３）に連結され、外周部に導電性のループ（１３）を備える可動プレート（１）と、静止フレーム及び可動プレートにより形成された組立体の下側に、フレームの面において、可動プレートに関し、回転軸に対して斜めである横向きの磁場（５７）を形成するような態様で配列された、それぞれ異なる磁気方向を有する複数の磁石（５１，５３，５５）からなる磁石集合体と、を備える電磁駆動型マイクロシャッターに関する。 （もっと読む）

本発明は、主ミラー（１）および副ミラー（２）を備える小型マルチスペクトル走査システムに関連し、これらのミラーは互いに向かい合い、反対方向に同じ角速度で回転されるように適合され、それらの回転軸に対して傾けられる。主ミラーは凹形であり、副ミラーは主ミラーよりも小さく、両ミラーの回転軸は位置合わせされる。この構成により、システムは先行技術のデバイスよりも小型になり、システムが動作周波数に依存することが回避される。
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【課題】波長を変化させたときに出射光が強度変調を起こさない分散素子、並びに、それを用いた分光装置及び波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】相対する第１透過面と第２透過面とを有するプリズムと、相対する第３透過面と回折格子が形成された回折光学面とを有する光学素子とを備えた分散素子であって、プリズムと光学素子とが、第１透過面と第３透過面との接合により一体に構成され、回折格子の溝に垂直な面内において、第３透過面と回折光学面とが、非平行に形成されている。 （もっと読む）

【課題】室内から外を眺めても外の景色が浮き上がったり一部が遮られたりして見えることなく、夏の太陽光を効果的に遮断し、冷暖房付加を大幅に低減することができる透明調光部材を提供する。
【解決手段】一対の平行な平面を持つ板状の透明調光部材は、太陽光の室内への侵入を遮断するモードと、太陽光を室内へ透過させるモードとをスイッチングするモードスイッチング機構を透明調光部材本体内部に有することを特徴とする。モードスイッチング機構は空気層の回転により光の全反射を利用して両モードのスイッチングを行う。 （もっと読む）

【課題】光検出部を配置した場合でも小型化を図ることができる画像表示装置を提供することを目的とする。
【解決手段】画像表示装置は、画像信号に応じて強度変調した光を出射する光源部と、反射ミラーの変位により入射した光を走査する走査部と、走査部により走査した光を投射対象に投射する投射部と、反射ミラーへ向かう光のうち反射ミラーにより反射されずに背面側に通過する光の強度を検出する光検出部と、を備え、光検出部による検出結果に基づき、前記光源部を制御する。 （もっと読む）

【課題】複雑な製造工程を必要とせずに、窓部の入射面と反射面とを傾かせることができる光偏向器、光偏向器の製造方法、及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光偏向器は、反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、可動板を回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、光偏向素子を収容可能な素子室に配設されており、支持枠を支持する素子支持部を有する筐体本体と、反射面に入射する入射光が透過する窓部を有し、素子室の開口を封止する蓋部材と、を備え、支持枠と素子支持部とが第一の当接位置と第二の当接位置とにおいて当接することによって、支持枠が素子支持部に支持されており、入射光が窓部に入射する入射面に垂直な方向における入射面からの距離、又は反射面に垂直な方向における反射面からの距離が、第一の当接位置と第二の当接位置とで異なる。 （もっと読む）