【課題】小型化が容易なマイクロミラーデバイスを用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】反射角を変化させることができるミラー２を複数個配置して成るマイクロミラーデバイスと、ミラー２群の内の複数のミラー２の、各々１つの反射面に対して、各々の別の光線束、若しくは、各々の別の曲面から出射する平行光線束、若しくは、共通な直交曲面をもつ光線群に、２つ以上の方向から集まる光線群と、２つ以上の方向へ広がる光線群の、両方を含んで成る光線束を、入射させる部分１と、を含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ミラー駆動装置に係り、ミラーで反射した光を遮断し難くして、ミラーで反射する光を広範囲な角度に亘って走査することにある。
【解決手段】基板と、光を反射するミラーと、基板に対してミラーを支持する梁と、電磁力によりミラーを基板の上面よりも上方へ浮上させるミラー浮上制御機構と、ミラー浮上制御機構によりミラーが基板の上面よりも上方へ浮上されている際に、該ミラーを該基板に対して傾斜させるミラー傾斜制御機構と、を備える。 （もっと読む）

【課題】駆動を検出するための検出用電極を備える振動ミラー素子を容易に製造することが可能な振動ミラー素子を提供する。
【解決手段】この振動ミラー素子１００は、ミラー部１と、ミラー部１を駆動する駆動部４および５とを備え、駆動部４および５には、電圧の印加により駆動部４および５を変形させて駆動させるための駆動用電極４４および５４と、駆動部４および５の変形量を検出するための検出用電極４５および５５とがそれぞれ配置されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、大きな遅延量で可変でき、かつ小型で安価な可変光遅延器及び可変光遅延方法の提供を目的とする。
【解決手段】本願発明の可変光遅延器は、光入出射部１４から入力された平行光Ｐ_Ｉを互いに平行に配置された第１反射面１１及び第２反射面１２で多重反射し、第１反射面１１及び第２反射面１２で多重反射した平行光Ｐ_Ｉを第３反射面１３で反射し、第３反射面１３で反射された戻り光Ｐ_Ｂを、第１反射面１１及び第２反射面１２で多重反射して光入出射部１４から出射する多重反射部１０を備える可変光遅延器であって、多重反射部１０は、第１反射面１１、第２反射面１２及び第３反射面１３と平行な直線１００を中心に回転可能である。 （もっと読む）

【課題】表面側保護基板を通してデバイス本体のパッドと実装基板の導体パターンとを電気的に接続でき、且つ、デバイス本体に不要な応力がかかるのを抑制しつつ電気的な接続信頼性を高めることが可能なＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され複数のパッド１３を一表面側に備えたミラー形成基板（デバイス本体）１、ミラー形成基板１の一表面側に接合された第１のカバー基板（表面側保護基板）２を有するＭＥＭＳチップ４と、ＭＥＭＳチップ４が実装された実装基板５とを備える。第１のカバー基板２は、ミラー形成基板１の各パッド１３それぞれと接合されて電気的に接続されたシリコンからなる複数の導電部２０２が、第１のカバー基板２の厚み寸法内で設けられている。各導電部２０２と実装基板５の各導体パターン５０２とが、両者に跨って形成された半田部６を介して電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】向上した発光効率を有する、低電力のディスプレイを提供する。
【解決手段】空間光変調器内で使用するための光キャビティ２００は、前部反射面２０２と後部反射面２０４とを含む。前部反射面２０２は、光透過領域２０６のアレイを含み、光透過領域２０６を通して、光２０８は、光キャビティ２００を脱出することが可能である。光２０８は、１つ以上の光源２１０から光キャビティ２００に入る。光２０８は、光透過領域２０６のうちの１つを通して反射されるまで、前部および後部反射面２０２および２０４の間で反射される。 （もっと読む）

【課題】光を反射する方向を容易に変更することが可能な光学素子を提供すること。
【解決手段】光学素子１００は、光を反射する方向を変更することが可能な光学素子であって、ミラー本体１０と、アクチュエータ２０ａと、アクチュエータ２０ｂとを有している。ミラー本体１０は、入射した光を反射する鏡面を備えた鏡面部１１と、回転軸１２と、鏡面とは反対側に位置する裏面板１３とを有している。アクチュエータ２０ａは、長手方向を有する板状部材で構成されたアクチュエータ本体２１ａと、長手方向の一方の端部に１つの凸部２２ａとを有している。また、アクチュエータ２０ｂは、長手方向を有する板状部材で構成されたアクチュエータ本体２１ｂと、長手方向の一方の端部に１つの凸部２２ｂとを有している。 （もっと読む）

【課題】装置を大型化することなく簡易な手段により色の再現性を重視する用途及び明るさを重視する用途のそれぞれに対応し得るカラーホイールを備えたプロジェクタを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係るプロジェクタは、白色スポット光１３を発生させる光源１と、光源１からの白色スポット光１３を複数の色の光に時分割するカラーホイールユニット２０と、時分割された複数の色の光を順次光変調する変調装置５とを備える。カラーホイールユニット２０は、カラーホイール２１とカラーホイール２１を回転させるホイールモータ２２とを備える。カラーホイール２１は、Ｒ，Ｇ，Ｂフィルタが設けられた透過領域間を白色光の透過領域とするか、あるいはこの透過領域に補色フィルタを設けることにより高輝度化パターンとするか、高色彩化パターンとするか選択可能に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 基板上に浮いた状態で支持される可動構造体を備えるＭＥＭＳデバイスにおいて、可動構造体における反りの発生を抑制する技術を提供する。
【解決手段】 本発明は、基板上に浮いた状態で支持される可動構造体を備えるＭＥＭＳデバイスとして具現化される。可動構造体は、下側絶縁層と、下側絶縁層の上方に形成された導電層と、導電層の上方に形成された上側絶縁層を備えている。下側絶縁層の外形形状にはアライメント余裕が設けられている。そのＭＥＭＳデバイスは、上側絶縁層の厚さが下側絶縁層の厚さよりも大きいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 静電駆動式の光偏向装置において、可動部を支持する支持部材の剛性を低下させることが可能な技術を提供する。
【解決手段】 本発明は基部に設けられた固定電極と可動部に設けられた可動電極の間に電圧を印加することで可動部を揺動させて、可動部に設けられたミラーを揺動させる光偏向装置として具現化される。可動部は第１支持部材と第２支持部材によって支持されている。第１支持部材は絶縁体のみから構成されている。第２支持部材は導体とその周囲を覆う絶縁体から構成されている。その光偏向装置は、第２支持部材が第１支持部材に比べて長く形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、各光ビーム照射領域の各ミラーの描画中心点位置をデジタル値に変換する際に、周期的な偏りが生じないよう分散させて、均一に近い露光量で基板全面に亘って描画することができる露光装置または露光方法或いは前記露光装置または露光方法を適用し、高画質な表示用パネルを製造できる表示用パネル製造装置または表示用パネル製造方法を提供することである。
【解決手段】
本発明は、複数のミラーを直交する二方向に配列した空間的光変調器により描画データに基づいてフォトレジストが塗布された基板に光ビームを照射して描画する光ビーム照射装置と前記基板とを相対的に走査し、前記走査の位置をデジタル的に検出して行う際に、前記基板に描画する一定の描画領域内の露光量が均一に近づくように前記一定の描画領域内の前記各ミラーの描画中心点位置を分散させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡便な構造で、かつ、十分な駆動力を得ることが可能な電磁力利用の光装置装置を提供する。
【解決手段】ミラー部１０、フレーム部２０、及び、ミラー部１０をフレーム部２０に支持する一対のトーションバー部１１などを磁性薄膜で一体的に形成する。そして、外部から印加される交流磁界と主としてミラー部１０の磁化成分との電磁力により、トーションバー部を捻り回転軸としてミラー部を往復振動させるための駆動トルクを発生させる。トーションバー部１１とフレーム部２０との連結部分１２は非磁性化又は弱磁性化することでもよい。 （もっと読む）

【課題】大型化するのを抑制するとともに、駆動部が未駆動の状態において、ミラー部が固定端に対して傾斜するのを抑制することが可能な振動ミラー素子を提供する。
【解決手段】この振動ミラー素子１００は、軸線４００回りに揺動可能なＡ方向光走査部１０と、自由端Ｓ１と固定端Ｓ２とを含み、変形することによってＡ方向光走査部１０を揺動させるための駆動ユニット４０と、Ａ方向光走査部１０と駆動ユニット４０との間に軸線４００に沿って延びるように設けられ、Ａ方向光走査部１０を揺動可能に支持する回動軸３０とを備え、駆動ユニット４０の自由端Ｓ１は回動軸３０に接続されるとともに、駆動ユニット４０の固定端Ｓ２は駆動ユニット４０のＡ方向光走査部１０側（Ｘ２側）で、かつ、回動軸３０の近傍で固定されている。 （もっと読む）

【課題】可動部を正確に揺動させることが可能な光偏向装置および光偏向装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】光偏向装置は、基板と、平板形状の可動部と、可動部を基板の上方に離反した位置で揺動軸の周りに揺動可能に支持する可撓梁と、可動部を揺動させるアクチュエータと、基板上に設置されているとともに可撓梁の下方から可撓梁に接離可能な下限規制部と、を備えている。揺動軸に垂直な断面における可撓梁の下面の形状が、下限規制部の上方に位置する領域において、曲面を有して下方へ突起している形状とされているか、または、揺動軸に垂直な断面における下限規制部の上面の形状が、曲面を有して上方へ突起している形状とされている。 （もっと読む）

【課題】可動部を正確に揺動させることが可能な光偏向装置および光偏向装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】光偏向装置は、基板と、可動部と、可動部を基板から離反した位置で揺動軸の周りに揺動可能に支持している可撓梁と、可動部の下面に対向する位置において基板に設けられている固定電極と、可動部に設けられている可動電極と、を備えている。可動部の下面には、基板側へ突出している突起部が形成されている。突起部は、可動部の揺動軸を含み可動部に垂直な面の面内に頂点を有している。可動部を揺動させている期間において、突起部が基板に接触している。 （もっと読む）

【課題】パッドから取り出す電気信号のＳ／Ｎ比を向上させることが可能なＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板１００を用いて形成されたミラー形成基板（デバイス本体）１を備える。ミラー形成基板１は、第１のシリコン層１００ａに形成され電気信号を生成する可動電極（機能部）２２と、第１のシリコン層１００ａ上に形成され電気信号を取り出すためのパッド１３ａと、第１のシリコン層１００ａにおいてパッド１３ａが形成された島状の導電部１１ａｃとを有する。導電部１１ａｃと第１のシリコン層１００ａにおける導電部１１ａｃの周辺部位とを絶縁分離するように第１のシリコン層１００ａに第１の分離部１０ａａが形成され、第２のシリコン層１００ｂのうち導電部１１ａｃおよび絶縁層１００ｃとともに寄生コンデンサを構成する部分の面積を低減するように第２のシリコン層１００ｂに第２の分離部１０ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】方向性のある力以外の力を用いてステージを移動させる駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置１００は、ベース部１１０と、回転可能な被駆動部１３０と、ベース部１１０と被駆動部１３０とを接続し、且つ被駆動部１３０を一の方向に沿った軸を中心軸として回転させるような弾性を有する弾性部１２０と、被駆動部１３０及び弾性部１２０により定まる共振周波数で被駆動部１３０が一の方向（Ｙ軸）に沿った軸を中心軸として共振しながら回転するように被駆動部１３０を回転させるための微振動をベース部に加える印加部１４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】複雑な制御が不要で低コストに任意のＰＭＤを発生させることができるようにする。
【解決手段】光入射部２１に入射された光信号を偏波分離手段２３により二つの直交偏波成分に分離し、その一方を第１可変遅延手段２５に与え、他方を第２可変遅延手段２６に与え、第１可変遅延手段２５によって遅延された一方の直交偏波成分と、第２可変遅延手段２６によって遅延された他方の直交偏波成分とを偏波合波手段２８によって合波し、光出射部２９から出射させる。制御部３０は、第１可変遅延手段２５と第２可変遅延手段２６の遅延量を互いに異なる周期で変動させて、その周期差により、偏波合波手段２８で合波された光の偏波成分の群遅延時間差を変化させる。 （もっと読む）

【課題】照明光の走査に拘わらず、波面変調素子によって付与した所望の波面を精度よくリレーでき、かつ、装置の小型化を図る。
【解決手段】光源２からの照明光を、その光軸に交差する方向に走査する走査機構９と、該走査機構９に固定され、光源２から入射された照明光の波面を変調して射出する波面変調部８とを備えるスキャナ４を提供する。また、光源２からの照明光を、その光軸に交差する方向に走査する走査機構９と、光源２と走査機構９との間の光路上に走査機構９との間に間隔を空けて配置され、光源２から入射された照明光の波面を変調して走査機構９に射出する波面変調部８とを備え、該波面変調部８が、該波面変調部８から走査機構９までの光路において波面に発生する変化を相殺する波面を、照明光に付与する波面に加算して付与するスキャナ４を提供する。 （もっと読む）

【課題】スペクトルバンドを入力ポート（１２）と出力ポート（１５）との間に選択的に方向付ける波長ルータを提供する。
【解決手段】上記ルータは、上記入力ポートと上記出力ポートとの間に配置された自由空間光学縦列と、経路設定メカニズム（３０）とを含む。上記自由空間光学縦列は、エアスペースエレメント（２０、２５）を含み得るか、または、モノリシック構成であり得る。上記光学縦列は、回折格子などの分散エレメント（２５）を含み、該入力ポートからの光が該分散エレメントと２回当たった後に上記出力ポートに到達するような構成にされる。上記経路設定メカニズム（３０）は、ルーティングエレメントを１つ以上含み、上記光学縦列中の残りのエレメント（３７）と協働して、上記スペクトルバンドのサブセットを所望の出力ポートに結合させる光路を提供する。 （もっと読む）