【課題】共振周波数の温度依存性を低減することが可能な光スキャナと、その光スキャナの製造方法とを提供すること。
【解決手段】第１材料によって構成される平板状の構造体と、台座とを備える光スキャナである。構造体は、ミラー部分と、その一端がミラー部分の両側に連結される一対の捩れ梁部分と、一対の捩れ梁部分の他端に連結される本体部分とを有する。構造体には、ミラー部分を所定の共振周波数にて揺動可能な駆動部が設けられる。構造体は、本体部分の一部であって一対の捩れ梁部分及びミラー部分を挟んで対向する一対の被固定部分において、少なくとも台座に固定される。台座を構成する第２材料の線膨張係数は、第１材料の線膨張係数よりも大きな値であって、共振周波数の温度依存性の絶対値が、台座が第１材料によって構成された場合の共振周波数の温度依存性の絶対値よりも小さくなるような値に設定される。 （もっと読む）

【課題】駆動コイルと外部接続端子を接続する引出し配線の応力により、トーションバーの動きが阻害されることを防止し、可動部の駆動効率を向上させる。
【解決手段】固定部３、可動部４及びトーションバー３を半導体基板で一体形成し、可動部４に配置した駆動コイル５Ａ、固定部２に配置した外部電極端子７及び駆動コイル５Ａと外部電極端子７間を接続するようトーションバー３上を介して配線する引出し配線５Ｂを含む導電パターン５を、半導体基板表面の絶縁層８上に形成し、駆動コイル５Ａに電流供給することにより、可動部４を駆動するプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、トーションバー３上の引出し配線５Ｂ部分を除いて、絶縁層８と導電パターン５との間に、絶縁層８に対する密着性が導電パターン５より高い密着層９を設け、密着層９のないトーションバー３上の引出し配線５が絶縁層８と接するよう構成した。 （もっと読む）

【課題】光路長の可変時の光軸ずれを抑制して安定な干渉強度が得られるようにする。
【解決手段】ビームスプリッタ２２と第１の直交ミラー２３との間の第１の折り返し光路に挿入された光路長可変器３０の可動部としての可動透光体３２が、その折り返し光路がなす面と直交し且つ第１の直交ミラー２３の一対の反射面２３ａ、２３ｂが交わる境界線２３ｃを含む平面に沿ってその位置を変化させ、第１の折り返し光路を伝搬する光の伝搬長を可変させるから、その可動により直交ミラー３０側への出射光軸のシフトが生じても、そのシフト方向は直交ミラー３０の反射面の境界線２３ｃに沿った方向となり、その入射軸と平行な光軸で折り返されて可動透光体３２に再入射され、光軸シフトが相殺された状態でビームスプリッタ２２に戻される。 （もっと読む）

【課題】可動部の振れ角が大きな磁気力型駆動装置を提供する。
【解決手段】本発明の磁気力型駆動装置は、非磁性材料で形成された可動板と、前記可動板に固定され、前記可動板の主面に直交する方向に磁化した永久磁石と、を備える可動部と、前記可動部の周縁を囲むように形成された枠体と、前記可動板と前記枠体とを接続し、前記可動部を、前記枠体に対し、前記可動板の主面と略平行な軸の回りに回転可能に支持する一対の梁部と、前記永久磁石の近傍に、前記梁部の軸方向と略直交する方向に前記永久磁石を挟んで互いに対向する第１及び第２の端部を有するヨークと、導通によって前記第１及び第２の端部に互いに異なる磁極が現れるように、前記ヨークに巻回されているコイルと、を有する。 （もっと読む）

【課題】 出力の大きな可視光レーザ発光器の複数個により高輝度の光源とし、エテンデューを小さく保った光源を提供し、補色を加えて明るく色再現性の良好な画像を形成することを可能とする光源ユニット及びプロジェクタを提供する。
【解決手段】 光源ユニット60は、黄色波長帯域光を発する蛍光体層が設けられた発光板と、青色波長帯域光を発する第一光源と、緑色波長帯域光を発する第二光源と、照射光用ダイクロイックミラーと、前記発光板の透過部と反射部とを交互に位置させる発光板駆動手段と、赤色波長帯域光を発する第三光源と、前記第一光源、第二光源及び第三光源の点灯と前記発光板駆動手段による発光板の駆動とを制御する光源制御手段と、前記発光板から射出される拡散透過光の光軸及び蛍光光の光軸と前記第三光源からの光の光軸を同一方向に一致させて所定の一面に導く導光光学系140と、を有する。 （もっと読む）

【課題】光源部内で減衰する光量を極力低減し、発光素子の光を効率よく画像表示素子に導いて明るい光像を形成させる。
【解決手段】緑色光励起用青色ＬＤ61、赤色ＬＥＤ80、青色ＬＥＤ81と、これらから入射される光に対し、透過部、反射部、及び当該光の波長に応じて透過または反射させるダイクロイックミラー部のうち少なくとも２つを周面に形成したダイクロイックホイール65，72とその回転駆動部70，79とを含み、ＬＤ61、ＬＥＤ80，81の時分割発光駆動に伴って波長が異なる複数種の光を順次出射する光源部15-2と、画像信号を入力する入力部（11）と、上記入力部(11)で入力される画像信号に応じた画像を表示するマイクロミラー素子(14)に光源部15-2からの光を反射または透過させて光像を形成し、形成した光像を投影対象に向けて出射する投影処理部(13)及び投影レンズ部(17)とを備える。 （もっと読む）

【課題】振動系を有する基体上に絶縁層を介して導体パターンを設けた構成にいて、比較的簡単に、長寿命化を図ることができるアクチュエーター、アクチュエーターの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、可動板２１と、支持部２２と、可動板２１を支持部２２に対して回動可能に連結する１対の連結部２３、２４とを備え、これらがシリコンで一体的に形成された板状の基体２と、基体２の板面上に設けられた絶縁層６２と、絶縁層６２の基体２とは反対側の面上に設けられた導体パターン８とを有し、絶縁層６２は、基体２を平面視したときに、連結部２３、２４の縁部、および、可動板２１および支持部２２の縁部のうちの連結部２３、２４近傍部分を除くように設けられている。 （もっと読む）

【課題】振動系を有する基体上に迷光防止層を設けた構成において、比較的簡単に、長寿命化を図ることができる光学デバイス、光学デバイスの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射性を有する光反射部２１１が設けられた可動板２１と、支持部２２と、可動板２１を支持部２２に対して回動可能に連結する１対の連結部２３、２４とを備え、これらがシリコンで一体的に形成された板状の基体２と、基体２の板面上に設けられ、光の反射を防止または抑制する機能を有する迷光防止層６１とを有し、迷光防止層６１は、基体２を平面視したときに、連結部２３、２４の縁部、および、可動板２１および支持部２２の縁部のうちの連結部２３、２４近傍部分を除くように設けられている。 （もっと読む）

【課題】半導体レーザを光源として用いる画像表示装置において、レーザ光を外部に投射する投射窓や投射光学系を保護すると共に、レーザ光の誤投射を防止する。
【解決手段】画像表示装置１は、レーザ光を外部に導く投射窓７１およびこれを開閉するシャッタ部材７２が設けられた可動体１２と、可動体を出し入れ可能に収容する収容ケース１１とを備え、可動体が収容ケースに収容された不使用状態において、シャッタ部材により投射窓が閉鎖される一方、可動体が収容ケースから引き出された使用状態において、投射窓が開放される構成とする。 （もっと読む）

【課題】角度操作器の負荷の増大や特性の低下が抑制された光スイッチ装置を提供すること。
【解決手段】複数のポートが所定の配列方向に沿って配列した光入出力ポートと、光入出力ポートのいずれかのポートから入力した光の光路を切り換えて光入出力ポートの他のいずれかのポートに向けて出力する角度操作器と、光入出力ポートと角度操作器との間に配置され、光入出力ポートと角度操作器とを光学的に結合させる集光レンズ系と、光入出力ポートと集光レンズ系との間に配置され、光入出力ポート側から入力された光のビーム形状を光入出力ポートのポート配列方向に対して縮小し、該光の光路を集光レンズ系の光軸に近づけるように変位させて、光入出力ポートにおけるポートの配列間隔よりも、集光レンズ系の角度操作器側の直後での光軸に垂直の平面を通過する光のビームの配列間隔が小さくするアナモルフィック光学系と、を備える。 （もっと読む）

【課題】偏向部における集光ずれを補正し通信品質を向上した波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】波長選択スイッチ１は、少なくとも一つの入力ポート１０ａ〜１０ｃ及び１０ｅと、入力ポート１０ａ〜１０ｃ及び１０ｅから入射される波長多重された入力光を、波長毎の光に分散する分散素子１５と、分散素子１５により分散される波長毎の光を集光する集光素子１６と、集光素子１６により集光される波長毎の光をそれぞれ偏向する偏光素子１８を有する偏向器１７と、偏向器１７で偏向された波長毎の光を出力光として出射する少なくとも一つの出力ポート１０ｄとを有する。この波長選択スイッチ１の入出力ポート１０ａ〜１０ｅと分散素子１５との間の光路中または前記分散部内に、入出力ポート１０ａ〜１０ｃ及び１０ｅの配置に基づいて生じる偏向素子１８に対する波長毎の光の集光位置のずれを補正する、集光位置ずれ補正素子２０を配置する。 （もっと読む）

【課題】 蛍光光と拡散光の光量バランスを容易に調整可能な光源装置を備えたプロジェクタを提供する。
【解決手段】 所定の波長帯域光を射出する青色レーザ発光素子と、緑色蛍光体層105が敷設された蛍光発光領域103と拡散板106が装着された拡散領域104とが周方向に並設され、前記青色レーザ発光素子の光軸上に緑色蛍光体層105又は拡散板106が位置するように配置された発光ホイール101と、発光ホイール101を回転させるホイールモータと、発光ホイール101をホイールモータとともに半径方向に移動可能とする移動機構と、を備え、蛍光発光領域103と拡散領域104との間に位置する２本の境界線a,bの内の少なくとも１本が半径と一致しない線である、すなわち、蛍光発光領域103と拡散領域104が、発光ホイール101の中心を中心とした同心円上に位置する円弧の長さの比が発光ホイール101の中心からの距離によって変化するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】波長選択スイッチの筐体内の光学系の光路を筐体外部から調整することが可能な波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】本発明に係る波長選択スイッチ用光学ユニット101は、入力ポート110aと、入力ポート110aから入力された入力光を波長分散させる分散部112と、分散部112により分散される光を集光する集光素子113と、出力ポート110bと、分散部112により分散される光をシフトさせる光路補正部と、光路補正部によるシフト量を変化させる調整部121と、入力ポート110a、分散部112、集光素子113、出力ポート110b及び光路補正部を密閉する筐体118とを備え、筐体118は、集光素子113により集光された光が入射する位置に光学的に透明な透明部119を有し、調整部121は、筐体118の外部に配置され、光路補正部は、調整部121により筐体118の外部から制御可能である。 （もっと読む）

【課題】駆動の安定性及びハンドリング性を向上させたプレーナ型アクチュエータ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】枠状の固定部４と、固定部４の内側に形成されるトーションバー５ａ，５ａ、５ｂ，５ｂと、各トーションバーを介して固定部４に回動可能に軸支され駆動手段により駆動される可動部６ａ，６ｂとを第１半導体基板７で一体形成して備えたアクチュエータ部２と、第２半導体基板１０で形成され固定部４介してアクチュエータ部２を支持する支持部３とを有し、第１半導体基板７として、少なくとも各トーションバーに対応する部位に各トーションバーに応じた厚さが残るように予め溝部９ａ，９ｂが形成されたキャビティー基板を用いて形成したプレーナ型アクチュエータ１において、第２半導体基板１０で形成された支持部３を、固定部４と異なる形状に形成する。 （もっと読む）

【課題】間欠表示用のシャッタを適切な位置で停止させることができ、投射型表示装置の使用状況に応じて安価にシャッタの有無を切り替えることができる間欠表示装置を提供する。
【解決手段】投射型表示装置により投射された投射光による映像を間欠的に表示可能な間欠表示装置３であって、投射光を周期的に遮蔽するように回転可能なシャッタ５と、シャッタ５を駆動するモータ部７と、シャッタ５の回転位相を検出し、回転位相に応じた極性の信号を出力する回転位相検出部６と、シャッタ５を回転状態から停止させるときに、遮蔽信号の極性に応じて、シャッタ５が投射光を遮蔽しない位置に停止するようにシャッタ５を制御する制御部４とを備える。 （もっと読む）

【課題】中心波長の異なる複数の光に対して、高い回折効率と高い走査性能を実現する技術を提供する。
【解決手段】２次元光スキャナ６に入射したレーザ光は、駆動手段７ｄにより波長毎に入射角が調整されたＡＯＤ７で偏向される。ＡＯＤ７で生じた角度分散は、ＡＯＤ７の射出端近傍に配置されたプリズム８により補償される。プリズム８から射出されたレーザ光は、リレーレンズ９を通過して、駆動手段１０ｄにより波長毎に入射角が調整されたＡＯＤ１０で偏向される。ＡＯＤ１０で生じた角度分散は、ＡＯＤ１０の射出端近傍に配置されたプリズム１１により補償されて、２次元光スキャナ６から射出される。ＡＯＤ７とＡＯＤ１０は偏向平面が直交している。 （もっと読む）

【課題】レーザー光源と蛍光体を含む発光素子とを備え、レーザー光の偏光方向の乱れを低減し、偏光の乱れに伴う問題を解決し得る光源装置を実現する。
【解決手段】本発明の光源装置１００は、固体光源１０と、結晶性部材４６を含む回転可能な基体４０と、を含む。結晶性部材４６の厚さをｔとし、結晶性部材４６の複屈折をΔｎとし、固体光源１０から射出される光Ｌｂの波長をλとすれば、結晶性部材４６の厚さｔは式（１）を満たす。ただし、ｍは任意の整数である。
（ｍ−１／２）λ／Δｎ＜ｔ＜（ｍ＋１／２）λ／Δｎ・・・（１） （もっと読む）

【課題】耐久性が高く、透過率特性も安定した光アッテネータを得る。
【解決手段】入射光の波長域で透明なガラス基板の表裏の少なくとも一方の面に光透過率の異なる複数の光透過領域が設けられている。光透過領域は、入射光が回折を生じる大きさの凹凸パターンの繰返しからなる微細構造が形成された部分と入射光が回折を生じない大きさの開口部とから構成されたものを含む。微細構造と開口部とから構成された光透過領域の光透過率は微細構造の０次光透過率と開口部の開口率により設定されている。 （もっと読む）

【課題】クロストークの発生を低減した波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】波長選択スイッチ１は、少なくとも一つの入力ポート１０ａおよび少なくとも一つの出力ポート１０ｂ〜１０ｅを含む入出力部１０の入力ポート１０ａから波長多重された入力光を入射させ、分散素子１５により波長毎の光に分散させ、それぞれの波長毎の光をレンズ１６により偏向素子１８に集光して反射させ、出力ポート１０ｂ〜１０ｅに出射させる。入出力部１０と分散部１５との間には、偏向素子１５に集光する波長毎の光のスポット２０を楕円形状にするシリンドリカルレンズ１３を配置する。このシリンドリカルレンズ１３は、少なくとも入力光が通過する２つの面１３ａ，１３ｂを有し、この２つの面１３ａ，１３ｂのそれぞれにより入力光の一部が反射され、出力ポートの波長毎の光を出射させる出射面の位置において出射面より径の広い光束を形成する。 （もっと読む）

【課題】櫛歯電極構造を高いアライメント精度で製造する方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板１５１の面１５１ａ上に櫛歯電極用マスクパターン１５２ａ，１５２ｂを形成し、これを介してシリコン基板１５３を貼り合わせる。シリコン基板１５１，１５３の面１５１ｂ，１５３ｂに、櫛歯電極用マスクパターン１５２ａ，１５２ｂを内包する粗櫛歯マスクパターン１５４，１５５を形成する。面１５３ｂの側からＤＲＩＥをおこなって、粗櫛歯マスクパターン１５５をマスクにしてシリコン基板１５３を選択的に除去し、さらに櫛歯電極用マスクパターン１５２ａをマスクにしてシリコン基板１５１を選択的に除去する。面１５１ｂの側からＤＲＩＥをおこなって、粗櫛歯マスクパターン１５４をマスクにして残存シリコン基板１５１ｃを選択的に除去し、さらに櫛歯電極用マスクパターン１５２ｂをマスクにして残存シリコン基板１５３ｃを選択的に除去する。 （もっと読む）