【課題】空間光変調素子の劣化を防止することができるパターン投影装置およびレーザ加工装置を提供すること。
【解決手段】本発明にかかるレーザ加工装置１００は、レーザ光源４１から出射されたレーザ光を複数のミラーによって空間変調する空間光変調素子４５と、基板１を照明する照明系３６を含む照明光学系と、空間光変調素子４５に空間変調された変調光を対象物に投影する結像レンズ３８と、空間光変調素子４５から出力されたレーザ光の進行方向を結像レンズ３８の光軸と一致する方向に偏向させる偏向素子４６と、を備え、空間光変調素子４５は、空間光変調素子４５に入射するレーザ光の進行方向が該空間光変調素子４５の基準面の法線とおおよそ平行である。 （もっと読む）

【課題】レーザ加工装置及びレーザ加工方法において、簡素な構成で空間変調素子の劣化を防止する。
【解決手段】レーザ光を発振するレーザ光源１０２と、このレーザ光源１０２により発振され基準面１０３ａに入射するレーザ光を偏向する偏向素子が２次元に配列された空間変調素子１０３と、この空間変調素子１０３により空間変調された変調光を被加工物１０に投影する投影光学系１０４と、を備えるレーザ加工装置１において、空間変調素子１０３は、基準面１０３ａに対して垂直にレーザ光（光軸Ａ２）が入射するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】ブラックアウト時間が比例して長くなる。
【解決手段】撮像装置は、被写体の光学像が入力され、電気信号を出力する撮像素子と、光学像が入力され、撮像素子とは別個に配された光学部材と、光学像が撮像素子に向かう光路と光学部材に向かう光路との間で切り替える複数の単位素子が配列されており、撮像素子に光学像を入力すべく設定した設定時間内に複数の単位素子の少なくとも一部の単位素子が光学像を光学部材に向ける空間光変調素子とを備える。 （もっと読む）

【課題】揺動部の揺動動作に係る固有振動数を調整するのに適したマイクロ揺動素子を提供する。
【解決手段】マイクロ揺動素子Ｘ２は、揺動部２１０と、フレーム２２０と、前記揺動部および前記フレームを連結し、揺動軸心Ａ２を規定する連結部２３０と、を備え、前記連結部は、並列する複数のトーションバー２３１，２３２，２３３を含み、当該複数のトーションバーから選択される二本のトーションバーは相対的に近接離反可能であり、前記揺動部は、揺動主部２１１と、当該揺動主部２１１に取り付けられ且つ前記揺動軸心と交差する方向に変移可能な第１可動部２１２Ａ，２１２Ｂとを有し、前記フレームは、フレーム主部と、当該フレーム主部に取り付けられ且つ前記第１可動部２１２Ａ，２１２Ａと同方向に変移可能な第２可動部２２３Ａ，２２３Ｂとを有し、前記連結部に含まれる一のトーションバー２３２，２３３は、当該第１および第２可動部を連結する。 （もっと読む）

【課題】光の利用効率に優れた光変調装置及びプロジェクターを提供する。
【解決手段】入射した光束を変調して画像を形成する光変調装置は、画像を構成する画素毎に変調部８０Ａがそれぞれ設けられた構成を有する。変調部８０Ａは、入射した光束を通過させる第１の位置または入射した光束を遮断する第２の位置に移動可能に構成されたシャッター８８と、シャッター８８を第１の位置または第２の位置に移動させる回路部８６及び電極部８７とを備える。シャッター８８は、帯電された帯電部９１〜９４を備える。駆動手段は、帯電部９１〜９４との間で静電力を発生させる透明電極Ｅ１〜Ｅ４を有し、当該静電力でシャッター８８を第１の位置または第２の位置に移動させる。 （もっと読む）

【課題】梁部に高い振動疲労特性と揺動部に高剛性を持たせつつ小型化された振動素子を提供する。
【解決手段】振動素子は、基体３と、前記基体３から梁状に設けられた梁部２と、前記梁部２の前記基体３側とは反対の側に設けられたミラー部４とを備え、前記揺動部４の少なくとも一部及び前記梁部２は金属ガラスで一体に形成される。次に、真空中でＹＡＧレーザ１０を振動素子のミラー部４に照射して局所的な構造緩和を行う。 （もっと読む）

【課題】光源から出る多波長光のうち、所望の波長の光を容易に選択することができるようにした露光波長調節装置及びそれを利用した露光機を提供する。
【解決手段】本発明による露光波長調節装置は、光源から出射される多波長の光の入力を受け、分離屈折させて多数の波長を出力する分離屈折部；前記分離屈折部で分離屈折されて入射される多数の波長の光経路を変化させるミラー；及び前記ミラーで反射される多数の波長の光の一部を通過させる部分光通過部を含む。 （もっと読む）

【課題】色純度と光量とのバランスを可変とすることによりニーズの多様化に対応できるようにした照明装置及びこれを用いた投写型映像表示装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る照明装置１は、光源２から一方向に偏光方向が揃った偏光光２ａを射出し、これを光分割部材３により任意の比率で複数の偏光光３２ａ，３２ｂに分割する。そして、この複数に分割された偏光光３２ａ，３２ｂを、複数の光変換部材４を所定通りに切り換えることができるように構成された切換装置５により、複数の光変換部材４を切り換えながら複数の色光４ａ，４ｂを射出し、これを合成することにより色純度と光量のバランスを変化しうるようにしたものである。また、本発明に係る投写型映像表示装置はこのような照明装置１を用いたものである。 （もっと読む）

【課題】トルク定数と慣性モーメントの比を向上させ、駆動に必要な電流を小さくして駆動時の消費電力の低減を図る。
【解決手段】回転中心となる軸１０と該軸周りに配置され該軸の円周方向に複数極に分極された永久磁石１１で構成される回転子と、該回転子の外側に空隙を介して配置されたコイル１３とヨーク１４とアウターケース１５とで構成される固定子とを有し、回転子が所定の角度範囲内で揺動するガルバノスキャナ１において、永久磁石１１には回転軸方向の溝５０を周方向に隣り合う永久磁石１１の磁極に跨って形成し、当該永久磁石１１は分割線６０によって１極あたり２個以上に分割した。 （もっと読む）

【課題】集光光学系による各波長の光の集光位置の配列ピッチを所定ピッチに容易に調整することできる光学装置を提供する。
【解決手段】光学装置１は、光入出力部１０，透過型回折格子２１，レンズ３０およびミラーアレイ４０を備える。透過型回折格子２１は、ｘ軸方向に延在する格子が一定周期で形成されたものであり、入力ポートに入力された光を波長分岐して出力する。透過型回折格子２１は、所定軸の周りに回動自在である。透過型回折格子２１は、回動軸に垂直で波長に応じた方向に各波長の光を出力する。レンズ３０は、透過型回折格子２１により波長分岐されて出力された各波長の光を互いに異なる位置に集光する。 （もっと読む）

【課題】透過型偏光素子が利用できない真空紫外領域においても円偏光もしくは直線偏光の利用ならびにそれら偏光状態の変調が放射光源を用いずとも可能とする反射型偏光変調素子を提供すること。
【解決手段】光源からの光を略直線偏光状態にする偏光子部と、偏光子部からの略直線偏光を略円偏光または略直線偏光状態にする位相子部とを備えた反射型偏光変調素子において、前記偏光子部は、金属鏡を備え、当該金属鏡による反射で入射光を略直線偏光状態にして位相子部に入射させ、前記位相子部は、位相子部への入射光と透過光の光軸が一致するように配置された平面鏡の組とを備える。 （もっと読む）

【課題】光の利用効率に優れた光変調装置及びプロジェクターを提供する。
【解決手段】入射した光束を変調して画像を形成する光変調装置は、画像を構成する画素毎に変調部８０Ａがそれぞれ設けられた構成を有する。変調部８０Ａは、入射した光束を通過させる第１の位置または入射した光束を遮断する第２の位置に移動可能に構成されたシャッター８８と、シャッター８８に力を加えることでシャッター８８を第１の位置または第２の位置に移動させる圧電素子８７とを備える。シャッター８８は、光変調装置に入射する光束の光軸に直交する平面に対して面外方向に回転することで第１の位置または第２の位置に移動する。 （もっと読む）

【課題】光学部材の固定後にも光学部材の調整時と同等に広い透過帯域を有する波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】波長選択スイッチ１００は、波長分割多重信号が入出力される入出力ポート１１０と、入力ポート１１０ａから射出された光を分散させて波長帯域の異なる複数の光ビームを生成する分散素子１３０と、生成された複数の光ビームを集光するとともに互いに平行に偏向する集光素子１４０と、互いに平行に偏向された複数の光ビームをそれぞれ偏向する複数の可動ミラー１６２を有するＭＥＭＳミラーアレイ１６０と、集光素子１４０とＭＥＭＳミラーアレイ１６０の間に配置された光学的に透明な平行平板１５０とを有している。平行平板１５０は、複数の光ビームの中心を複数の可動ミラー１６２の中心に合わせるように、集光素子１４０の光軸１４２に対する傾きが調整されている。 （もっと読む）

【課題】 簡単かつ安価で、軽量コンパクトな構成で、複数の波長選択スイッチも用いることなく、１つの波長選択スイッチを用いて、ポート数が多い波長選択スイッチを実現する。
【解決手段】 本発明に係る波長選択スイッチは、第１方向にアレイ状に並び波長多重された光の入力部と出力部とを有する光入出力部（１０）と、入力部から入力された波長多重光をそれぞれの信号波長に分離する光分散手段（１５）と、信号波長に分離された光を収束させる集光要素（１６）と、集光要素（１６）により集光されたそれぞれの信号波長光を所望の出力部にスイッチングさせるよう第１方向に信号光を偏向させる光偏向素子アレイ（１７）から構成される波長選択スイッチであって、集光要素（１６）により収束された光束に対して、光偏向素子アレイ（１７）の光偏向素子が第１方向に複数配列されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】可動部を低い駆動力で揺動させることが可能な光偏向装置を提供すること。
【解決手段】光偏向装置は、基板と、平板形状の可動部２２０と、可動部２２０の端部２４２ａに接続されている突出部２４１ａと、突出部２４１ａと同一の中心軸２４０を有するように、可動部２２０の端部２４２ｂに接続されている突出部２４１ｂと、基板上に設置されており、突出部２４１ａの中心軸２４０の周囲を取り囲んでいる規制部２５０ａと、基板上に設置されており、突出部２４１ｂの中心軸２４０の周囲を取り囲んでいる規制部２５０ｂと、可動部２２０を揺動させる固定電極２０４ａ、２０４ｂと、を備える。規制部２５０ａで突出部２４１ａが支持されており、規制部２５０ｂで突出部２４１ｂが支持されていることで、可動部２２０が基板の上方に離反した位置で中心軸２４０の周りに揺動可能に支持されている。 （もっと読む）

【課題】レーザ出射光の中心波長および波長帯域幅を変更すること。
【解決手段】レーザ光出射装置２は、レーザ光を生成するレーザ生成部１０と、生成されたレーザ光Ｌ１の光路上に並んで配置され、当該レーザ光の入射角度に応じて、透過したレーザ光の中心波長がシフトする特性を有する一対の光学フィルタ３１Ａ，３１Ｂと、一対の光学フィルタの少なくとも一方を、光路に交差する所定方向に沿った軸Ｚを中心に変位させる変位機構３２と、一対の光学フィルタを透過したレーザ光を外部に出射するレーザ出射部１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】方向性のある力以外の力を用いてステージを移動させる。
【手段】駆動装置（１００）は、ベース部（１１０）と、回転可能な被駆動部（１３０）と、弾性部（１２０）と、被駆動部及び弾性部により定まる共振周波数で被駆動部が一の方向（Ｙ軸）に沿った軸を中心軸として共振しながら回転するように被駆動部を回転させるための微振動をベース部に加える印加部（１４０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】筐体とケーブルとの間に発生する異音を低減することができる光スキャナと、その光スキャナを利用した画像投影装置とを提供すること。
【解決手段】ミラー部と一対の捩れ梁部と本体部とを有する平板状の構造体と、構造体が固定される筐体と、構造体に設けられた駆動部と、駆動部を駆動するための電力を伝達するケーブルとを備える光スキャナである。ケーブルは、第１固定部分と、第２固定部分とにおいて、筐体に対して固定される。第１固定部分では、筐体の一部である第１筐体部分と、ケーブルの一部であってケーブルの一端に存在する第１ケーブル部分とが固定される。第２固定部分では、筐体の一部であって第１筐体部分とは異なる位置に存在する第２筐体部分と、ケーブルの一部であって第１ケーブル部分よりも構造体から離間した位置に存在する第２ケーブル部分とが固定される。 （もっと読む）

【課題】知覚できるビジュアルアーチファクト、特にレインボーアーチファクトを低減するＤＭＤ技術を使用した投影システムを提供する。
【解決手段】投影システムは、カラーホイールと少なくとも１つのデジタルマイクロミラー装置を含む。カラーホイールは、光源からの異なる色の光を生成する。それぞれの色は、予め決定されたカラーフェーズについてシーケンシャルな順序で生成される。デジタルマイクロミラー装置のそれぞれは、複数のマイクロミラーを有する。少なくとも１つの複数のマイクロミラーは、制御信号に応答して２つの連続するカラーフェーズのそれぞれの異なる部分でアクチベートされる。また、投影システムは、少なくとも１つのデジタルマイクロミラー装置から反射された光を投影表面に投影するために構成されるレンズを含む。 （もっと読む）

【課題】大型化を招くことなく揺動軸部のがたつきを防止可能な光スキャナと、その光スキャナを利用した画像投影装置とを提供すること。
【解決手段】揺動軸部と、揺動軸部に設けられた反射面を有する揺動体と、揺動軸部を支持するベース台と、揺動軸部を揺動させる駆動部とを備える光スキャナである。ベース台には、揺動軸部の一端を支持する第１軸受と、揺動軸部の他端を支持する第２軸受とが設けられる。揺動軸部は、テーパ状に形成されたテーパ部分を、その一端に有する。そして、第１軸受はテーパ部分に係合するスラスト軸受であり、第２軸受は揺動軸部の外周面と接触するラジアル軸受である。 （もっと読む）