【課題】液晶基板の配向膜に細かいピッチの線状の光パターンを照射して一方向に走査すると、その走査した方向に応じた一様な配向特性（プレチルト角）が配向膜に付与されるが、従来のマスクを介して光パターンを照射して露光する方式では露光の時間が長くかかり、実用化する上でネックになっていた。
【解決手段】光源から発射された露光光に偏光特性を付与して微小な可動ミラーを多数備えたマイクロミラーデバイスに入射させ、マイクロミラーデバイスの微小な可動ミラーにより形成された反射パターンで反射された露光光のパターンを投影光学系を介してステージに載置された表面に配向膜が形成された基板に投影して配向膜を露光する液晶用配向膜を露光する方法において、ステージを一方向に連続的に移動させることにより一方向に連続的に移動している基板上を露光光のパターンがステージの移動速度よりも遅い速度で移動して配向膜を露光するようにした。 （もっと読む）

【課題】ポート選択特性のみならず減衰率特性についても高精度な温度補償を実現する。
【解決手段】波長選択スイッチの制御回路１０５は、入力ポート１０１と出力ポート１０２間の損失が最小となる条件に対応した最適結合電圧情報、所望の減衰率を実現する減衰率制御電圧情報、温度と最適結合電圧との関係を表す温度補償電圧情報、減衰率に応じて温度補償電圧を修正する補償電圧修正値情報を記憶するメモリ１０８と、メモリ１０８に記憶された情報から所望のポートおよび所望の減衰率に対応する二軸ＭＥＭＳミラー装置１０４の制御電圧を算出し、所望の減衰率に対応する補償電圧修正値を決定し、温度センサ１０６が検出した温度と温度補償電圧情報と補償電圧修正値とから温度補償電圧を算出し、温度補償電圧を制御電圧に加える演算部１０９とを有する。 （もっと読む）

【課題】マイクロミラー素子の構成に基づいてより大きな光束を用いて投影画像を明るくすると共に、投影画像の明るさの左右のバランスを均等化する。
【解決手段】マイクロミラー23ａを配列面から＋Ａ°または−Ａ°(Ａ＞０)に傾斜駆動させ、反射光で光像を形成するマイクロミラー素子(23)に対し、配列面で各マイクロミラー23ａが＋Ａ°傾斜した際に対向する方向から45°未満の回旋方向より、配列面の法線となる正規の反射方向に対して、入射角が(２Ａ＋α)°(α＞０)、収束する頂角が(２Ａ＋２α)°となる照明系光束φＬを入射させ、各マイクロミラー23ａから頂角が(２Ａ＋２α)°となって拡散しながら出射する投影系光束φＰを入射し、投影対象に向けて投影する投影光学系(24)を備える。 （もっと読む）

【課題】スペックル雑音の低減率が低いという問題を解決することが可能な投射型画像表示装置を提供する。
【解決手段】光源部１０２は、光ビーム１０７を出射する。ビーム断面形状変化部１０３は、光源部１０２からの光ビーム１０７の断面形状を変化させて光ビーム１０８として出射する。投射部１０４は、ビーム断面形状変化部１０３からの光ビーム１０８を投射して、画像を投射する。制御部１０５は、ビーム断面形状変化部１０３を制御して、投射部１０４から投射される光ビームの断面形状を時間的に変化させる。 （もっと読む）

【課題】表示素子による変調動作のタイミングとカラーホイールの回転タイミングの調整を良好に行うことができる投写型表示装置を提供する。
【解決手段】プロジェクタは、カラーホイール２１と、カラーホイール２１を回転させるためのモータ２２と、カラーホイール２１の回転基準位置を検出してインデックス信号を出力する位置センサ２３と、インデックス信号に基づいてモータ２２を制御するモータ制御回路１０８と、カラーホイール２１により分離された各色の光を変調するＤＭＤ５０と、ＤＭＤ制御信号を生成する映像信号処理回路１０５と、ＤＭＤ５０から出射された光の色度に応じた受光信号を出力するカラーセンサ７０と、各光がＤＭＤ５０に照射されるタイミングと各光に対応するＤＭＤ制御信号が出力されるタイミングとが同期するように、受光信号に基づいてインデックス信号の出力タイミングを調整するＣＰＵ１１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】可変減衰精度および動作の安定性の向上を実現することができる空間光デバイスを提供する。
【解決手段】出力ポート１２に入射する信号光の割合を示す光透過率が、ＭＥＭＳミラー装置１００の電極に電圧を印加してミラー１０３を回動させたときに極大となるようにする。これにより、電極に印加する電圧の全電圧範囲に亘って光透過率の変化が線形に近くなるので、可変減衰精度および動作の安定性の向上を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】方向性のある力以外の力を用いてステージを移動させる。
【手段】駆動装置（１００）は、ベース部（１１０）と、回転可能な被駆動部（１３０）と、弾性部（１２０）と、被駆動部及び弾性部により定まる共振周波数で被駆動部が一の方向（Ｙ軸）に沿った軸を中心軸として共振しながら回転するように被駆動部を回転させるための微振動をベース部に加える印加部（１４０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】プロジェクタの製造コストの低減及びコンパクト化を図る。
【解決手段】ポリゴンミラーの回転に同期させてＬＥＤを順次に点灯する。ポリゴンミラーがＲ光反射位置に回転してきたときは、Ｒ光がＲ光反射面で反射してＲ光が効率良くロッドインテグレータに入射する。ポリゴンミラーがＧ光反射位置に回転してきたときは、Ｇ光がＧ光反射面で反射してＧ光が効率良くロッドインテグレータに入射する。ポリゴンミラーがＢ光反射位置に回転してきたときは、Ｂ光がＢ光反射面で反射してＢ光が効率良くロッドインテグレータに入射する。 （もっと読む）

【課題】ガルバノミラーを高速かつ高精度に位置決めする。
【解決手段】ガルバノスキャナは、ガルバノミラーと揺動機構とシャフトと軸受けと半円状板とを備え、前記揺動機構は、前記半円状板の表裏面に取り付けられた１対の可動子ユニットと、前記１対の可動子ユニットを挟むように配された１対の固定子ユニットとを有し、前記揺動機構は、前記半円状板を介して前記ガルバノミラーを揺動させる際に、前記１対の可動子ユニットと前記１対の固定子ユニットとの間における反射面の面外方向の磁気的力が排除されるように磁気的力の主方向が前記反射面の面内方向及び回転軸に沿った方向と平行になるとともに、磁気的力を相殺するように、前記１対の固定子ユニットが前記１対の可動子ユニットを挟むように配された状態が維持される。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の重量増加を最小限に抑えつつ、ミラー部の剛性を高め、ミラーが往復振動した場合でも反りや変形が生じることを防止できるマイクロミラー装置を実現する。
【解決手段】対向する一対の捻り梁によって往復振動可能な状態でフレーム部材に連結されたミラー基板と、該ミラー基板に対して前記捻り梁を回転中心として往復振動させるための駆動手段を有するマイクロミラー装置において、前記ミラー基板101は、少なくとも応力制御の機能を有する応力制御層102と、反射層103と、増反射機能を有する増反射膜104を備え、前記応力制御層102は、引っ張り応力を有する層102-aと圧縮応力を有する層102-bとを交互に積層した多層構造であることを特徴とするので、質量の増加を最低限に抑えつつ剛性を高めることができ、ミラーの平坦性の確保や往復振動時の変形を効果的に抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光インテグレータに入射される光の集光スポットが最適になるようにミラーの位置を制御することが可能な映像表示装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明による映像表示装置は、ランプ２，３と、ランプ２，３から出射された光を反射する反射面を有し、所定の回転軸回りに回転可能であり、かつ回転軸方向に沿って移動可能なミラー４と、反射面にて反射された光が入射されるロッドインテグレータ５と、ロッドインテグレータ５から出射された光を映像信号に基づいて強度変調してスクリーン１０上に投射するライトバルブ８と、ライトバルブ８のオフステートの光を検出して輝度を計測する輝度センサ１１と、輝度センサ１１にて計測された輝度に基づいて、反射面の回転角度および回転軸方向の位置を調整する制御回路１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】低い電圧駆動においても容易に反射板の大きい偏向角を達成し得る安定した動作の光偏向素子を提供する。
【解決手段】光偏向素子３００は、支持基板３０１と、反射板３０２と、駆動制御部３０３ａ，３０３ｂと、連結部３０８ａ，３０８ｂと、永久磁石３２０ａ，３２０ｂとから構成されている。駆動制御部３０３ａと駆動制御部３０３ｂは、反射板３０２を間に挟んで配置されている。駆動制御部３０３ａ，３０３ｂは支持基板３０１に接続され、さらにそれぞれ連結部３０８ａ，３０８ｂによって反射板３０２に接続されている。反射板３０２の表面には、光ビームを反射するための反射面３０９が形成されている。永久磁石３２０ａ，３２０ｂは、駆動制御部３０３ａ，３０３ｂを含む空間に磁場を形成するためのものである。 （もっと読む）

【課題】耐久性が高く、透過率特性も安定した光アッテネータを得る。
【解決手段】入射光の波長域で透明なガラス基板の表裏の少なくとも一方の面に入射光が回折を生じる大きさの凹凸パターンの繰返しからなる微細構造を備えている。一形態では、その微細構造はピッチが一定であり、ピッチに対する凸部の割合を示すフィリングファクタ（ＦＦ）の異なる領域を複数有する。そして、微細構造に対する入射光の入射位置をフィリングファクタの異なる領域間で移動させることにより入射光量に対する０次回折光の透過光量の割合を変化させる。 （もっと読む）

【課題】多数のモジュールから構成され、モジュール間の光路に光軸調整個所を有する、多段増幅式レーザーシステムなどのレーザーシステムの光軸調整作業を自動化する。
【解決手段】レーザーシステムにおいて、光軸調整個所５１，５２より後段のモジュールからの出力光の強度を検出し、強度の変化に応じて該光軸調整個所５１，５２を調整するフィードバックを設ける。さらにこれらのフィードバック制御をファジイ推論またはメタヒューリスティックなアルゴリズムを用いた制御で行う。レーザーシステムにおいて、複数の光軸調整個所５１，５２があって２つの光軸調整が独立に行えない場合は、フィードバックループの伝達関数が明確に求められないので、ファジイ推論等を用いた制御により、各光軸調整を独立に実施する。 （もっと読む）

【課題】短絡を防止しつつ、駆動効率を向上することができる圧電アクチュエータを提供すること。
【解決手段】圧電アクチュエータ３９に、板状の圧電体４１と、前記圧電体４１の一方の面４１ｂに設けられた第１の電極４３と、圧電体４１の他方の面４３ａに設けられた第２の電極４４と、を含む圧電素子４０と、貫通孔１６ｈが設けられた導電性の振動板１６と、振動板１６と第１の電極４３とを接着する接着部５０と、を備え、貫通孔１６ｈは、振動板１６の片側の面１６ａにおいて貫通され、その片側の面１６ａと面４３ｂとの間の領域に設けられ、接着部５０は、貫通孔１６ｈの周りを囲むように設けられ、片側の面１６ａと面４３ｂとを接着する絶縁性接着部５２と、貫通孔１６ｈの内部に設けられ，面４３ｂと貫通孔１６ｈの内周とを接着する導電性接着部５１と、を設ける。 （もっと読む）

【課題】振動ミラーの共振周波数のばらつきを防止し、個別に共振周波数を高精度に調整することが可能な光走査装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】ウエイト量決定装置のカメラにより金属構造体２０を平面視で撮影して、画像から所定の画像処理により捩り梁１１の画像を切り出し、ウエイト量決定装置のＣＰＵが所定の画像処理プログラムを実行することにより梁幅を測定する。ウエイト量決定装置のＣＰＵがＨＤＤのウエイト量テーブル記憶エリアに記憶されているウエイト量テーブルを参照して、測定した捩り梁の梁幅から塗布するウエイトの量を決定する。ウエイト量決定装置のＣＰＵが、測定された梁幅に基づいて、ウエイト量テーブルを各々参照して、ディスプレイに一例として、「梁結合部：０．１mm^３」や「ミラー裏：０．０１mm^３ 」と表示する。その後、ウエイト４０が梁結合部６又はミラー５の裏面に塗布される。 （もっと読む）

【課題】 投影側光学系の波長帯域毎の合成焦点位置と表示素子の表面との間の距離を一定に保つことにより色収差を補正する色収差補正手段を備えたプロジェクタを提供する。
【解決手段】 本発明のプロジェクタは、投影側光学系の波長帯域毎の合成焦点位置と表示素子の表面との間の距離を一定に保つことにより色収差を補正する色収差補正手段を備え、この色収差補正手段は、入射面と射出面とが平行とされた複数の透過板251R,251G,251Bが周方向に並設されてなる透過板ホイール251と、透過板ホイール251を回転させる透過板ホイールモータと、透過板ホイールモータを表示素子に照射された光の波長帯域に合わせて制御する透過板ホイール制御手段と、から構成されている。 （もっと読む）

【課題】基板の上面と可動部の下面が対向しており、基板の上面が可動部の揺動軸に近い側で高く、遠い側で低くなる向きに傾斜している光偏向装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 上面の高さを高くする部分ではエッチングホールが小さく、上面の高さを低くする部分ではエッチングホールが大きいという規則に従っている複数のエッチングホールを有するエッチング用マスクを材料ウェハの上面に形成するエッチング用マスク形成工程と、エッチングホールを通して材料ウェハを異方性エッチング処理する異方性エッチング工程と、異方性エッチング工程の後にエッチングホールを通して材料ウェハを等方性エッチング処理し、材料ウェハの上面に傾斜面を形成する等方性エッチング工程と、材料ウェハの傾斜面に犠牲層を形成する犠牲層形成工程と、犠牲層の上面に可動部およびミラーを形成する可動部形成工程と、可動部形成工程の後に犠牲層を除去する犠牲層除去工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】広帯域化を実現しつつ、ミラーの振れ角の範囲を大きくする事なく、ヒットレス動作を実現する。
【解決手段】第１方向にアレイ状に並び、波長多重された光の入力部及び出力部を有する光入出力部と、入力部から入力された波長多重光をそれぞれの信号波長に分離する光分散手段と、信号波長に分離された光を集光させる集光素子と、集光素子により集光されたそれぞれの信号波長光を所望の出力部にスイッチングさせるように、第１方向、及び、第１方向に直交する第２方向に、信号光を偏向させる光偏向素子アレイと、を備える波長選択スイッチにおいて、光偏向素子アレイの偏向範囲内において、入力部から出射された光が、その進行方向と垂直な面に対し、垂直と異なる角度で入射するように集光素子及び光偏向素子アレイが配置されている。 （もっと読む）

【課題】共振周波数の調整のために質量を削除する際に、ミラー部の光学特性の劣化を防ぐことが可能な光スキャナ及び光スキャナの共振周波数調整方法を提供する。
【解決手段】光スキャナ１は、ミラー部１００と、捩れ梁部１１０と、撓み梁部１２０と、外縁部１３０と、駆動部１４１，１４２と、調整部１５１〜１５４とを備える。捩れ梁部１１０は、揺動軸線ＡＲを含み、ミラー部１００から延出する第１捩れ梁１１１と、第１捩れ梁１１１と対称にミラー部１００から延出する第２捩れ梁１１２とを有する。撓み梁部１２０は、第１捩れ梁１１１の端部から、ｘ方向に延出する第１撓み梁１２１と、第２捩れ梁１１２の端部からｘ方向に延出する第２撓み梁１２１とを有する。光スキャナの共振周波数用の調整部１５１〜１５４は、ミラー部１００に対して対称に配置されるように、撓み梁部１２０に設けられる。 （もっと読む）