【課題】スクリーンに走査される映像に生じるスペックルノイズを低減することができるプロジェクションディスプレイ装置を提供すること。
【解決手段】光源と、光源からの出射光が同じく変調された変調光を予め設定された時間範囲内でＮ（Ｎは２以上の自然数）回繰り返して出射する光変調器と、Ｎ回繰り返して出射される変調光を反射して毎回スクリーンの同一位置に走査するミラーと、変調光が走査される度に変調光の偏光方向を回転させる偏光回転部と、を含むプロジェクションディスプレイ装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】可動構造体において、外部から衝撃が加わっても櫛歯電極が破損しないようにし、耐衝撃性を高める。
【解決手段】光走査ミラー１は、可動板２と、可動板２の両側部に一端部がそれぞれ接続されており、可動板２の１つの揺動軸を構成する一対のヒンジ３と、可動板２の周囲を囲むように配され各ヒンジ３の他端部を支持する固定フレーム４と、可動板２と固定フレーム４との間に設けられた櫛歯電極５と、可動板２のうち櫛歯電極５の近傍部位に形成されたストッパ部６を備えている。ストッパ部６は、固定フレーム４に向けて突設されており、可動板２が側方に変位すると、ストッパ部６が固定フレーム４に接触し、可動板２の側方への変位が制限される。従って、外部から衝撃が加わっても、櫛歯電極５の破損が防止される。 （もっと読む）

【課題】隣り合う素子における揺動部について近接配置するのに適した二軸型のマイクロ揺動素子、並びに、そのようなマイクロ揺動素子を備えるマイクロ揺動素子アレイおよび光スイッチング装置を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ揺動素子Ｘ１は、揺動部１０と、フレーム２０と、揺動部およびフレーム２０を連結して揺動部１０の揺動動作の軸心Ａ１を規定する一対の連結部４０と、支持基部３０Ａおよびこれから揺動部１０の側に延出するアーム部３０Ｂを有するフレーム３０と、フレーム２０，３０を連結してフレーム２０の揺動動作の軸心Ａ２を規定する一対の連結部５０Ａ，５０Ｂとを備える。連結部５０Ａは、揺動部１０および支持基部３０Ａの間においてフレーム２０とアーム部３０Ｂとに接続し、連結部５０Ｂは、揺動部１０および支持基部３０Ａの間においてフレーム２０と支持基部３０Ａまたはアーム部３０Ｂとに接続している。 （もっと読む）

【課題】ステッチング誤差の問題を解決するパターン作成装置の提供。
【解決手段】本発明に係る装置は、つぎ合わされた少なくとも２つの隣接する部分的画像が共通の境界でオーバラップし、オーバラップしている部分的画像の各々が、オーバラップ領域において本質的に同じパターン、及び減少された露光線量を有し、オーバラップ領域の減少された露光線量が、オン状態とオフ状態との間の中間変調状態に設定する位相変調素子の能力を使って、位相変調アナログ空間光変調装置のアナログ機能により作られ、中間変調状態に設定された位相変調素子の微小領域素子から反射された光の複素振幅を一体化した光の複素振幅が、オーバラップ領域の減少された露光線量をつくることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】アドレス・レゾリューションが改善されたパターン作成装置の提供。
【解決手段】本発明に係る装置は、ある種類の画素マップをパターン・フィーチャーの内部に、別の種類の画素マップをフィーチャーの外部に、中間画素マップを境界線上に作成するようにされる。境界線上の中間画素マップが、オン状態とオフ状態との間の中間変調状態を有する位相変調素子の画素を含み、加工品に投影される位相変調空間光変調装置の画素に比べて微細なアドレス・グリッドで境界線上の配置によって作成される。境界線の露光レベルが、オン状態とオフ状態との間の中間変調状態に設定する位相変調素子の能力を使って作られ、中間画素マップに一致する中間変調状態に設定された位相変調素子の微小領域素子から反射された光の複素振幅を一体化した光の複素振幅により、微細なアドレス・グリッド及び前記境界線の露光レベルが作成される。 （もっと読む）

【課題】固定部から伸びる可動梁で反射面を支持するマイクロメカニカル構造体において固定部を高くして反射面の揺動可能角度度を拡大する。
【解決手段】犠牲エッチング層を除去して形成したマイクロメカニカル構造体であり、基板４２と、基板から垂直方向に立ち上がっている固定部１１３と、固定部に連なっているとともに基板から間隙Ｈを隔てた高さを基板に平行に伸びている可動梁１１２ａ，１１２ｂと、可動梁の先端に連なっているとともに基板となす角度が変化する揺動板１１１と、揺動板の表面に形成されている反射面１６１を備えている。可動梁１１２ａ，１１２ｂが伸びている方向に測定した固定部１３１の幅Ｌが、基板１０に垂直方向に測定した可動梁１１２ａ，１１２ｂの厚みＴよりも大きいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】接触不良を無くし、信頼性を向上させることができる光スイッチを提供する。
【解決手段】ロータリースイッチ装置１は、所定の操作位置に回転操作可能に設けられた操作部１５と、円板形状を有して操作部１５に設けられ、所定の操作位置に基づいて光２を反射する少なくとも１つの凹部１８４を有する凹部群１８３が形成されたライトガイド１８と、ライトガイド１８の側部１８１に向けて光２を出射する発光部１２と、ライトガイド１８の内部を伝播する光２を凹部群１８３を介して受光し、受光した光２の強度に基づいた出力電圧を出力する受光部１４と、を備え、制御部１００は、出力電圧に基づいて所定の操作位置を判定する。 （もっと読む）

【課題】 光減衰量の変動を抑制することができる光減衰器を提供する。
【解決手段】 光減衰器（１００）は、光入力部（１０）からの光を入射軸と異なる軸方向に反射する第１反射部（４０）と、第１反射部からの光を反射する第２反射部（７０）と、第２反射部からの光が第１反射部によって反射された光を出力する光出力部（２０）と、第１反射部と第２反射部との間の光路途中に配置され光透過率が位置に応じて段階的に変化する光強度減衰フィルタ（６０）と、を備え、第１反射部は、光強度減衰フィルタへの入射位置をシフトさせるように回動可能である。 （もっと読む）

【課題】ねじり振動する振動ミラーにより光を走査する光走査装置において振動ミラーのねじり振動軸が長くてもコンパクトな装置を提供する。
【解決手段】振動ミラー１０によって走査された光を９０度折り曲げる走査光反射ミラー５８を設けるとともに、走査レンズ５４を通過する走査光が形成する平面に対して、光源からの光を走査する振動ミラー１０のねじり振動軸を構成する梁３を平行に配置することで、ねじり振動軸が長くなっても装置の高さをコンパクトに抑えることが可能である。 （もっと読む）

【課題】 従来は、基板に発生した板波の節の位置とミラーの回転軸の位置とがずれて、ミラーの回転軸が基板の厚み方向に変動する虞がある。
【解決手段】 基板に設けられた支持部により支持されたミラー部１３０を揺動させ、光源からの光を当該ミラー部により反射させて走査させる光走査装置であって、基板１００上に設けられ当該基板に板波を発生させるための圧電素子１１０と、圧電素子１１０を駆動する駆動回路２００と、圧電素子の駆動を制御すると共に、ミラー部１３０の駆動周波数に対応する板波の基準波長に対して、１／２倍、又は、１／３倍の波長の板波を重畳させるように駆動回路２００を制御する制御部４００とを有する。 （もっと読む）

【課題】駆動効率の向上及びデバイスの小型化が可能な、電磁駆動型の光スキャナ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】弾性連結部１３を捩り変形させながら可動板１１を回動させることにより、可動板１１で反射した光を対象物に走査する光スキャナ装置の製造方法であって、デバイス基板２０に、可動板１１、弾性連結部１３、及びコイル１５を形成する第１の工程と、デバイス基板２０上の、支持枠１２の境界にミシン目Ｆを形成する第２の工程と、支持枠１２をデバイス基板２０を支持するための支持基板３０に固定することにより、デバイス基板２０と支持基板３０を接合する第３の工程と、デバイス基板２０の一部をミシン目Ｆに沿って切り離し、除去する第４の工程と、支持基板３０上の、第４の工程でデバイス基板２０の一部を除去した領域に、コイル１５に磁界を与えるための永久磁石１４ａ，１４ｂを配置する第５の工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】
エンコーダの出力信号に含まれる高調波成分やスケールピッチの加工誤差に伴う検出誤差を補正する変位検出方法を提供する。
【解決手段】
変位検出方法は、駆動手段１を用いて可動部３を駆動するステップと、変位検出手段５を用いて可動部３の変位量６（検出角度θｍ’）を検出するステップと、変位検出手段５で検出した変位量６（検出角度θｍ’）の変位速度（ｄθｍ’／ｄｔ）が一定となるように、変位補正テーブルを用いて変位量６（検出角度θｍ’）を補正するステップと、変位補正テーブルにより補正された変位量（検出角度θｍ’’）を可動部３の変位量として検出するステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】従来の測定方法ではポラライザの偏光軸に直交する直線偏光を入力する必要があり、偏波コントローラの制御に時間を要し、短時間での測定が困難という課題がある。本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、偏波コントローラの調整が容易であり、高精度かつ高速にＯＳＮＲを測定できる光信号対雑音比測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る光信号対雑音比測定装置は、信号光がポラライザを通過した後に信号成分とＡＳＥノイズとの光強度差を小さくなるような偏光状態を偏波コントローラで作り出し、偏波スクランブラを介した後の光のストークスパラメータからＡＳＥノイズを算出することとした。 （もっと読む）

【課題】この発明は、機軸方向を含む広範囲において、空間安定性能を有し、小型で、かつ大きい受信開口径を有する視軸指向装置を得る。
【解決手段】クーデ光学系を構成する第１乃至第４ミラー７〜１０が、レーザ光Ｌを放射するとともに、目標物からの反射光を入射する第１レンズ１１と、第１レンズ１１に入射した目標物からの反射光をレーザ光送受信部４に集光する第２レンズ１３との間に配設され、第１レンズ１１と協働してアフォーカル光学系を構成する第３レンズ１２が第３ミラー９と第４ミラー１０との間に配設されている。第１ミラー７が第１ミラー回転手段１５により第１ミラー回転軸ＭＡまわりに回転可能に、第１レンズ１１が第１レンズ回転手段１６により第１ミラー７の回転動作に連動して第１ミラー回転軸ＭＡまわりに回転可能に、第１ミラー７と第１レンズ１１とがジンバル装置１７により一体にジンバル回転軸ＧＡまわりに回転可能になっている。 （もっと読む）

【課題】ミラーデバイスと支持基板の位置がずれないように正確に接合することが可能な光スキャナ装置を提供する。
【解決手段】光反射部２１３を備えた質量部２１と、質量部２１を支持するための支持部２４，２５と、質量部２１を回動可能に支持部２４，２５に連結する、弾性部を備えた連結部２２，２３とが形成された基体２に凹部６１ａ，６１ｂが形成され、基体２と接合し、基体２を支持する支持基板３に凹部６１ａ，６１ｂにはまる凸部６３が形成されている。凸部６３は半田合金をボール状に配置することにより形成されている。凹部６１ａの表面には金属膜６２が形成され、凹部６１ａの金属膜６２と凸部６３を半田接合することにより、凹部６１ａと凸部６３は固定される。一方、凸部６３は凹部６１ｂにはめ込まれるが固定はされない。 （もっと読む）

【課題】低コスト化および小型化を図りつつ、質量部を互いに直交する２軸のそれぞれの軸まわりに回動させることができるアクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】電源回路５は、第１の周波数で周期的に変化する第１の電圧Ｖ_１１、Ｖ_１２を発生する第１の電圧発生部５１と、第１の周波数と異なる第２の周波数で周期的に変化する第２の電圧Ｖ_２１、Ｖ_２２を発生する第２の電圧発生部５２と、第１の電圧Ｖ_１１、Ｖ_１２と第２の電圧Ｖ_２１、Ｖ_２２とを重畳する電圧重畳部５３とを備え、電圧重畳部５３で重畳された電圧を各圧電素子４１、４２、４３、４４に印加することにより、質量部をこれを支持する１対の弾性部に沿った第１の軸線まわりに第１の周波数で回動させつつ第１の軸線に直交する第２の軸線まわりに第２の周波数で回動させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】ミラーの倒れによる加工用の光の位置決め精度又は物品の加工精度の低下を抑制する。
【解決手段】ガルバノ装置は、ミラー２と、ミラー２を回転させるモータ１と、ミラー２の被検領域６の傾きを検出する検出器ＤＴ１と、検出器ＤＴ１によって検出された被検領域６の傾きとミラー２の回転角とに基づいて該回転角におけるミラー２の倒れ量を得る処理部５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】高速動作、波長無依存、小型化、簡易な実装が可能な可変光減衰器を実現する。
【解決手段】光を透過し、入射面の角度を変化させることが可能な角度可変ＭＥＭＳ９、及び、角度可変ＭＥＭＳ９の入射面及び出射面に設けられ入射面に入射される光と出射面から出射される光の間の光路ずれを拡張させる高反射フィルタ７，８とからなる角度可変機構付き平行平板６によって、入力光の強度に対して出力光の強度を減衰させるようにした。 （もっと読む）

【課題】波長分割多重に関する波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】ファイバポートアレイに配列された複数のファイバポートと、複数のファイバポートと共に作動可能な複数の光学素子と、少なくとも１つの光信号を複数の波長成分に分離するように複数のファイバポートと共に作動可能な分散素子と、複数の波長成分のうちの選択された１つを、複数のファイバポートのうちの選択された１つにガイドするように制御可能なスイッチング素子とを備え、複数の光学素子、分散素子及びスイッチング素子のうちの少なくとも１つは、第１の面においては少なくとも１つの光信号の光学特性に影響を及ぼし、且つ、複数の光学素子、分散素子及びスイッチング素子のうちの少なくとも１つは、第２の面内においては光学特性に影響を及ぼさず、第１の面は第２の面と概して直交するように構成する。 （もっと読む）

【課題】 所定の周波数の摂動電圧を用いた出力光強度安定化制御中に、出力光強度変動が出力光強度安定化制御に伴う正常値の範囲を超える異常値を示したときに、誤動作による出力光強度の変動を防ぐ。
【解決手段】 光スイッチに適用され、光パスを接続する複数のミラーの角度を設定する印加電圧（ＤＣ成分）に所定の周波数の摂動電圧（ＲＦ成分）を重畳してミラーを駆動し、各出力ポートにおける出力光強度を検出してミラーの角度を調整しながら出力光強度を安定化する制御を行う光スイッチ制御装置において、摂動電圧として少なくとも２つの周波数を合成した摂動電圧を用い、出力光強度から当該摂動周波数ごとの光強度信号を抽出し、各摂動周波数の光強度信号の変動が想定される正常範囲内にある摂動周波数を選択し、その摂動周波数の光強度信号に基づいて出力光強度の安定化制御を行う手段を備える。 （もっと読む）