【課題】通過帯域を狭くすることなく入出力ポートが２次元的に配列された波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】プリズム１３を設けることにより、マイクロレンズアレイ１２のレンズ１２ａ〜１２ｎから入力された信号光のビーム径を、この信号光の光軸に直交する１の方向に拡大または縮小させ、かつ、その信号光の偏向素子による反射光の光軸が光ファイバ１１ａ〜１１ｎの光軸と平行にさせることができる。これにより、入出力ポートが２次元的に配列された波長選択スイッチにおいても、信号光のビーム径を偏向素子の配列ピッチに対して十分小さくすることが可能となり、結果として通過帯域が狭くなるのを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】照明装置において走査範囲の長さと走査速度を一定にする。
【解決手段】対象領域を光で走査することにより前記対象領域を照明する照明装置は、光を発生する光源（１）と、前記光源からの光の光路を変更可能に調整する光学系（１７）と、電圧の印加により屈折率の分布が誘起される電気光学素子であって、前記対象領域を走査するため前記電圧に応じて前記光学系からの光を偏向させる電気光学素子（９ａ、９ｂ）と、少なくとも前記電気光学素子への光の入射角度に応じて、前記電気光学素子に印加する前記電圧を調整する制御部（１５）とを備える。 （もっと読む）

【課題】導波路、マイクロプリズムおよび微小機械光変調器を含むディスプレイを提供する。
【解決手段】光を生成するための光源２５と、光を受け取り、かつ、内部全反射によって光が伝搬する方向に一様に分散させるための光導波路２１と、光導波路の下部表面の反対側に傾斜した光射出ファセットとを備えた、間隔を隔てた複数のマイクロプリズム３２と、間隔を隔てたマイクロプリズムどうしの間に配置された、複数の傾斜光変調器とを備え、マイクロプリズムの個々の光射出ファセットから射出する光線の大部分が、個々の傾斜光変調器が第１の位置に位置している場合には観察者に向かって導かれ、あるいは個々の傾斜光変調器が第２の位置に位置している場合には光吸収体に吸収されるように構成した。 （もっと読む）

【課題】各部材のアライメントが不要になるとともに装置を小型化させ、ディレイを高速に行うことが可能なレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザ光発生部と、パルス光をそれぞれ増幅させる光増幅部と、光増幅部により増幅されたパルス光を同軸に重ね合わせるとともに、波長変換光学素子に入射させ波長変換を行う波長変換部を備えたレーザ装置において、入射された方向と異なる方向に反射及び射出させる回転ミラー６４と、回転ミラー６４を回転させるミラー回転部６９と、回転ミラー６４から射出された光を平行光に変換させる第２レンズ６５と、第２レンズ６５を透過した平行光を異なる方向に透過させる透過型回折格子６６と、透過型回折格子６６を透過した光をその光路と同じ光路を反対方向に進むように反射させる平面ミラー６７とを備えた光路長調整部６０が設けられることを特徴とする。 （もっと読む）

本開示は、投影ディスプレイ用の高速スイッチングミラーアレイを製作する方法を示す。ミラーは、下地のスプリング支持体に接続された中間にビア(via)を有していないため、既存の技術のように、脚またはビアからの光散乱を有していないことに起因して、改善したコントラスト比が得られる。支持コンタクトが存在しないため、ミラーはより小型に製作でき、より高密度のディスプレイを製作するために使用できるより小型な画素を製作できる。さらに、支持するスプリング支持体からの復元力が存在しないため、ミラーは、定位置のままで、付着に起因して一方向または他の方向に向く。このことは、ミラーを定位置に保持するための電圧を使用する必要がないことを意味する。このことは、ディスプレイを動作させるのに必要な電力が少ないことを意味する。
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【課題】外部衝撃による破損およびそれによるコストアップを抑制できるＭＥＭＳデバイス、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】フレーム１１１と、フレームと同じ層に形成され、フレームに対して相対運動可能に一対のトーションバネ１１３によりフレームの内側に連結された駆動体１１５と、駆動体の高さ方向変位を制限する上昇ストッパ１４０および下降制限ストッパ１５０と、を備えたＭＥＭＳデバイスであり、駆動体は周辺部を備えており、外部衝撃が加えられて駆動体が急激に上昇する場合には駆動体の周辺部が上昇制限ストッパの一端部１４１にひっかかり、外部衝撃が加えられて駆動体が急激に下降する場合には下降制限ストッパの一端部１５１がフレームにひっかかることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ミラーと弾性支持部を連結するための接着剤が、弾性支持部へ付着してばね定数が変化することを防止する。
【解決手段】反射膜１１を有する可動板１０と、可動板１０とは異なる部材で、磁石４０を介して可動板１０取り付けるための取付部２１と、取付部２１に取り付けられた可動板１０を所定の軸の周りに回動可能に支持する弾性支持部２２と、を有する軸部材２０と、を備え、取付部２１は、取付面に、溝内に接着剤２５が存在する溝２３と、接着剤２５が存在しない溝２４を有しており、溝２４は溝２３よりも弾性支持部２２に近い位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】環境温度の変化によって生じる熱膨張率差に起因する応力の変動や、マイクロミラー素子を固定している接着剤部分の強度劣化による応力の変動等が、マイクロミラーの傾斜角度へ影響することを軽減する。
【解決手段】固定フレーム１と、固定フレーム１に対して揺動可能な可動フレーム１３と、可動フレーム１３の揺動軸を規定するトーションバー１１ａ及び１１ｂと、固定フレーム１及びトーションバー１１ａ，１１ｂの少なくとも一方に設けられる応力緩和機構５０とを含み、トーションバー１１ａ及び１１ｂの軸方向における応力緩和機構５０の剛性は、トーションバー１１ａ及び１１ｂの軸方向の剛性より小さく、トーションバー１１ａ及び１１ｂを中心とする回転方向における応力緩和機構５０の剛性は、トーションバー１１ａ及び１１ｂを中心とする回転方向における剛性よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】コンフォーカル顕微鏡の像質を向上させる。
【解決手段】コンフォーカル顕微鏡１の光偏向素子２５は、複数の微小ミラーが設けられている偏向面２５Ａが試料Ｓの所定の観察面と共役な位置に配置され、対物レンズ２９により集光されて偏向面２５Ａに入射する試料Ｓからの観察光の偏光方向を微小ミラー毎に制御する。制御部４１は、光偏向素子２５の微小ミラーを順次選択し、選択した微小ミラーに入射する観察光を結像レンズ２４の方向に偏向するように制御する。結像レンズ２４の方向に偏向された観察光は、結像レンズ２４により検出器３１の受光面３１Ａにおいて結像される。光偏向素子２５の偏向面２５Ａ、結像レンズ２４の主平面２４Ａ、および、検出器３１の受光面３１Ａをそれぞれ延長した面は、点Ａ１を通る１本の直線で交わる。本発明は、例えば、コンフォーカル顕微鏡に適用できる。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の慣性モーメントを簡易な構成で調整することによりミラー部の走査角や共振周波数を微調整可能にした光走査装置を提供する。
【解決手段】基板揺動部４ａの両面に各々重ね合わせて設けられる第１，第２ミラー４ｂと、を備え、第１ミラー４ｂと第２ミラー４ｂとは、基板揺動部４ａを支持する揺動軸３を中心として軸対称となるように反対方向にずれ量を持たせて積層されている。 （もっと読む）

【課題】減圧封止環境下で好適に使用可能なマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】マイクロミラーデバイス１００は、可動ミラー１１２を有するマイクロミラーチップ１１０と、マイクロミラーチップ１１０に対向して配置される電極基板１３０と、マイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０との間に配置されてマイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０とを接合するハンダバンプ１５０とを有している。マイクロミラーチップ１１０はまた４つの薄膜永久磁石１２４を有している。電極基板１３０はまたシート状永久磁石１３８を有している。シート状永久磁石１３８と薄膜永久磁石１２４は互いに引き合うことにより、マイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０とハンダバンプ１５０が相互に密着される。 （もっと読む）

【課題】大きな回転角が得られるとともに、リニアに鏡面の回転角を指定可能であり、かつ外形形状が小型化された光走査装置を提供する。
【解決手段】Ｌ字形状の第１の拡大機構２５ａ及び第２の拡大機構２５ｂと、これらの第１の作用点４７ａと第２の作用点４７ｂとにより支持され、走査鏡９を備えた回転ブロック６と、第１及び第２の拡大機構２５ａ、２５ｂの第１及び第２の変位拡大腕５ａ、５ｂの長手方向に配置された圧電素子とを有する。第２の変位拡大腕５ｂの他端４７ｃには引っ張りばね８が設けられており、この引っ張りばね８の先端部が第２の作用点４７ｂとなる。第１の拡大機構２５ａと第２の拡大機構２５ｂとが開くように回動することで回転ブロック６が回動する。 （もっと読む）

【課題】ポート間ピッチを不必要に拡げることなくＩＬＲとＸＴの両方を低減できる波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】通過ポート１１とこの通過ポート１１と隣り合う挿入ポート１２ｂ，１２ｃとの間隔を、この他の挿入ポート間の間隔よりも広くする。これにより、ＩＬＲを抑制するために主軸成分の割合を大きくするようにＭＥＭＳミラー装置４５１のミラーを制御しながらＡＴＴを調整する、すなわち、通過ポート１１に関する制御軌跡の傾き角φを大きく取っても、通過ポート１１に隣り合うポートとの距離が離れているためにＸＴが増大しないので、ポート間ピッチを不必要に拡げることなくＩＬＲとＸＴの両方を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】温度や振動等の影響によりミラーが本来の位置から傾いたとしても光軸を適切に補正する光伝送装置を提供する。
【解決手段】主系統レーザ光を出射する主系統出射器１と、主系統レーザ光を伝送するための１以上の導光ミラー４，５，６と、ダイクロイックミラー１４，１５，１６と、主系統レーザ光の光路上に設けられたチルトミラー３と、第１計測系統レーザ光を出射する計測系統レーザ発生器８ｂと、第１計測系統レーザ光の位置を検出する検出部１０と、検出部１０の検出結果に基づいて導光ミラー４，５，６の各々における角度ずれを算出し、当該角度ずれに基づく光軸ずれを補正するための第１制御信号を生成する制御器１１ｂと、第１制御信号に基づいてチルトミラー３の角度調整を行うミラー駆動部１２とを備え、ダイクロイックミラー１４，１５，１６の各々は、主系統レーザ光を透過させるとともに、対応する第１計測系統レーザ光を反射させる。 （もっと読む）

【課題】 ミラー部を駆動させると共にミラー部の動きを検出可能とし、かつ、従来よりも小型化が可能な光偏向器及びこれを用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】 光偏向器１は、外部から照射された光を反射する反射面Ａ２１及び上記光を通過させるピンホール２２ｂ，２２ｄを有するミラー部２１と、ピンホール光偏向器を通過した光を受光する受光部１１ｂ，１１ｄと、ミラー部２１を所定の回転軸２１ａで駆動させ反射面Ａ２１で反射した光を所定の方向に偏向させる駆動手段３０ａ，３０ｂと、を備える。受光部１１ｂ，１１ｄは回転軸２１ａに直交する方向に対して幅が異なる形状を有している。 （もっと読む）

【課題】容易に駆動制御できるミラー装置およびミラーアレイを提供する。
【解決手段】定電圧印加部１１は、定電圧電極に一定の電圧を印加する。また、駆動電圧印加部１２は、駆動電極に所定の電圧を印加する。これにより、少ない数の駆動電極の電圧値を制御することでミラーの駆動を制御することができるので、より容易に駆動制御することができる。 （もっと読む）

【課題】構造、構成が簡素であり、ミラーをより大きな角度で傾けることが可能であり、しかも、Ｘ方向及びＹ方向の２方向への駆動の際、クロストークが生じ難いミラー構造体を提供する。
【解決手段】ミラー構造体１０Ａは、（Ａ）ミラー本体部２２、及び、該ミラー本体部２２の表面に設けられた光反射層２１を備えたミラー２０、（Ｂ）ミラー本体部２２の裏面２３に上端部３０Ａが固定された複数の支柱３０、（Ｃ）それぞれの支柱３０の下端部３０Ｂに一端部４０Ａが固定された変位部材４０、並びに、（Ｄ）変位部材４０の他端部４０Ｂを固定する支持部６０から成る。 （もっと読む）

【課題】所望の方向に光を正確に反射するマイクロミラー装置を得る。
【解決手段】マイクロミラー装置１０が走査するレーザ光のうち、カバーガラス底面において結像レーザ透過領域２１０の外側に向けて走査されるレーザ光は、カバーガラス底面に設けられた光反射膜により光検出部材に向けて反射される。このとき、第１の可動部１２０は、第１のＹ方向光検出部ＰＤｙ１と第２のＹ方向光検出部ＰＤｙ２との間から第５のＹ方向光検出部ＰＤｙ５と第６のＹ方向光検出部ＰＤｙ６との間までレーザ光を走査するように制御され、第２の可動部１３０は、第１のＸ方向光検出部ＰＤｘ１と第２のＸ方向光検出部ＰＤｘ２との間から第５のＸ方向光検出部ＰＤｘ５と第６のＸ方向光検出部ＰＤｘ６との間までレーザ光を走査するように制御される。これにより、照射対象面に設けられた結像領域内に形成される情報、たとえば文字情報や画像情報をユーザが認識可能となる。 （もっと読む）

【課題】使用環境や組付時の応力等による結像性能への影響が低減される光偏向装置、光学走査装置、及びこれらを用いた画像形成装置を提供する。
【解決手段】レーザビームを偏向する反射面を有する単結晶シリコンからなるプレート部材６１を、プレート部材６１の被支持部７４の挟持面にならって当接部５の角度を変えるように回転可能に構成された当接部材２を有する固定具１により固定する、あるいは、略球体状の弾性部材１２を介して固定具１１により固定する、もしくは、プレート部材６１に弾性部材２２を一体化してそれを固定具２１で固定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光波長選択デバイスの温度変化による特性劣化を補償する。
【解決手段】光ポート１００から出射した光は、回折格子２００によって分光される。周囲温度が上昇すると、回折格子支持機構６００が回折格子２００を回動させるため、回折格子２００に対する光の入射角が大きくなるので、周囲温度の上昇によって回折格子２００の格子間隔が変化しても、光の分散角は周囲温度が変化する前と同じに保たれる。周囲温度が上昇すると、光路折り曲げミラー支持機構７００が光路折り曲げミラー５００を回動させるので、回折格子２００の回動による光路の変化が修正され、光路折り曲げミラー５００によって反射された各波長の光はそれぞれ集光レンズ３００を通過して対応する光素子４００−１〜４００−３に結合される。 （もっと読む）