【課題】複雑な制御が不要で低コストに任意のＰＭＤを発生させることができるようにする。
【解決手段】光入射部２１に入射された光信号を偏波分離手段２３により二つの直交偏波成分に分離し、その一方を第１可変遅延手段２５に与え、他方を第２可変遅延手段２６に与え、第１可変遅延手段２５によって遅延された一方の直交偏波成分と、第２可変遅延手段２６によって遅延された他方の直交偏波成分とを偏波合波手段２８によって合波し、光出射部２９から出射させる。制御部３０は、第１可変遅延手段２５と第２可変遅延手段２６の遅延量を互いに異なる周期で変動させて、その周期差により、偏波合波手段２８で合波された光の偏波成分の群遅延時間差を変化させる。 （もっと読む）

【課題】照明光の走査に拘わらず、波面変調素子によって付与した所望の波面を精度よくリレーでき、かつ、装置の小型化を図る。
【解決手段】光源２からの照明光を、その光軸に交差する方向に走査する走査機構９と、該走査機構９に固定され、光源２から入射された照明光の波面を変調して射出する波面変調部８とを備えるスキャナ４を提供する。また、光源２からの照明光を、その光軸に交差する方向に走査する走査機構９と、光源２と走査機構９との間の光路上に走査機構９との間に間隔を空けて配置され、光源２から入射された照明光の波面を変調して走査機構９に射出する波面変調部８とを備え、該波面変調部８が、該波面変調部８から走査機構９までの光路において波面に発生する変化を相殺する波面を、照明光に付与する波面に加算して付与するスキャナ４を提供する。 （もっと読む）

【課題】スペクトルバンドを入力ポート（１２）と出力ポート（１５）との間に選択的に方向付ける波長ルータを提供する。
【解決手段】上記ルータは、上記入力ポートと上記出力ポートとの間に配置された自由空間光学縦列と、経路設定メカニズム（３０）とを含む。上記自由空間光学縦列は、エアスペースエレメント（２０、２５）を含み得るか、または、モノリシック構成であり得る。上記光学縦列は、回折格子などの分散エレメント（２５）を含み、該入力ポートからの光が該分散エレメントと２回当たった後に上記出力ポートに到達するような構成にされる。上記経路設定メカニズム（３０）は、ルーティングエレメントを１つ以上含み、上記光学縦列中の残りのエレメント（３７）と協働して、上記スペクトルバンドのサブセットを所望の出力ポートに結合させる光路を提供する。 （もっと読む）

【課題】可変減衰精度および動作の安定性の向上を実現することができる空間光デバイスを提供する。
【解決手段】出力ポート１２に入射する信号光の割合を示す光透過率が、ＭＥＭＳミラー装置１００の電極に電圧を印加してミラー１０３を回動させたときに極大となるようにする。これにより、電極に印加する電圧の全電圧範囲に亘って光透過率の変化が線形に近くなるので、可変減衰精度および動作の安定性の向上を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】実装時の素子の破損を回避し、素子の歩留りを向上させる。
【解決手段】マイクロミラー素子は、ミラー基板１００と、ミラー基板１００と対向して配置される電極基板２００と、ミラー基板１００に変位可能に形成された可動電極である板ばね１０３ｂと、電極基板２００上に、板ばね１０３ｂとの間に空隙を設けた状態で対向して配置された断面略Ｕ字形状の駆動用固定電極２０１ｂと、駆動用固定電極２０１ｂの壁電極部の上に形成された絶縁層２０５ｂと、絶縁層２０５ｂの上に形成されたシールド電極２０６ｂとを備える。板ばね１０３ｂは、駆動用固定電極２０１ｂの底部と壁電極部と絶縁層２０５ｂとシールド電極２０６ｂとによって囲まれる空間の中に入るように配置される。 （もっと読む）

【課題】プロジェクタの製造コストの低減及びコンパクト化を図る。
【解決手段】ポリゴンミラーの回転に同期させてＬＥＤを順次に点灯する。ポリゴンミラーがＲ光反射位置に回転してきたときは、Ｒ光がＲ光反射面で反射してＲ光が効率良くロッドインテグレータに入射する。ポリゴンミラーがＧ光反射位置に回転してきたときは、Ｇ光がＧ光反射面で反射してＧ光が効率良くロッドインテグレータに入射する。ポリゴンミラーがＢ光反射位置に回転してきたときは、Ｂ光がＢ光反射面で反射してＢ光が効率良くロッドインテグレータに入射する。 （もっと読む）

【課題】４以上の波長帯域の表示色数を生成してより忠実な色再現が可能である多波長表示装置を提供する。
【解決手段】 多波長表示装置（１００）は、波長帯域がそれぞれ異なる少なくとも４種類の光（Ｌ１〜Ｌ４）を異なる位置の発光点から発生する光源部（１１）と、焦点を含む光源部側の第１焦点面（ＦＭ１１、ＦＭ１２）及び焦点を含む光源部の反対側の第２焦点面（ＦＭ２）のうち、発光点が第１焦点面に位置するように配置された正のパワーを有する第１光学系（１３）と、第１光学系の第２焦点面に配置され光源部からの少なくとも４種類の光を任意の方向に偏向させる偏向素子を二次元に複数配置した偏向部（１４）と、第１光学系の第１焦点面に配置され、偏向素子により偏向された少なくとも４種類の光を所定の透過率に変調させる透過率変調部（１５１）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】複数の波長選択スイッチを用いることなく、１つの波長選択スイッチを用いて、ポート数が多い波長選択スイッチを実現する。
【解決手段】第１方向にアレイ状に並び、波長多重光の入力部と出力部とを有する光入出力部と、入力部から入力された波長多重光をそれぞれの信号波長に分離する光分散手段と、信号波長に分離された光を集光させる集光要素と、集光要素により集光されたそれぞれの信号波長光を所望の出力部にスイッチングさせるよう第１方向に信号光を偏向させる光偏向素子アレイと、を備える波長選択スイッチであって、ｍを整数とするとき、入出力部がｍ個のグループに分かれ、入出力部のｍ個のグループに対応するように光偏向素子アレイが第１方向にｍ個配列されており、光分散手段が、入出力部のｍ個のグループにおいて共通である。 （もっと読む）

【課題】複数チャンネルのＷＤＭ光から所望のチャンネルの所望の波長を選択することができる光可変フィルタアレイ装置を提供すること。
【解決手段】光ファイバ１１−１〜１１−ｍからの波長λ１〜λｎから成るｍチャンネルのＷＤＭ信号光を波長分散素子１７に入射する。波長分散素子１７は入射光をその波長に応じて異なった方向に分散させレンズ１８に加える。レンズ１８では光の各チャンネルの光を帯状に平行とすることによりチャンネルと波長に応じてｘｙ平面に展開する。波長選択素子１９は格子状に形成された画素構造であり、選択すべき各チャンネルと波長に応じた位置の画素を反射状態とする。波長選択素子１９で反射した光は同一の経路を介して光ファイバ１５−１〜１５−ｍより出射される。波長選択素子１９の反射特性を各画素毎に変化させることによって、光フィルタの特性を変化させ、任意のＷＤＭ光の任意の波長を選択することができる。 （もっと読む）

【課題】広帯域化を実現しつつ、ミラーの振れ角の範囲を大きくする事なく、ヒットレス動作を実現する。
【解決手段】第１方向にアレイ状に並び、波長多重された光の入力部及び出力部を有する光入出力部と、入力部から入力された波長多重光をそれぞれの信号波長に分離する光分散手段と、信号波長に分離された光を集光させる集光素子と、集光素子により集光されたそれぞれの信号波長光を所望の出力部にスイッチングさせるように、第１方向、及び、第１方向に直交する第２方向に、信号光を偏向させる光偏向素子アレイと、を備える波長選択スイッチにおいて、光偏向素子アレイの偏向範囲内において、入力部から出射された光が、その進行方向と垂直な面に対し、垂直と異なる角度で入射するように集光素子及び光偏向素子アレイが配置されている。 （もっと読む）

【課題】ミラーを振動可能に維持する可動枠と、可動枠を振動可能に維持する支持枠とを有する２次元光スキャナにおいて、空気の逃げ道のためにミラーと可動枠との間及び可動枠と支持枠との間に空虚を設けていたので装置が大型化していた。
【解決手段】空洞部１１ａを有する半導体基板の可動枠１１にミラーＭ、ミラーＭを振動可能に支持する１対のトーションバー１２ａ、１２ｂ、２対の圧電アクチュエータ１３ａ、１２ｂ；１４ａ、１４ｂを形成する。空洞部２１ａを有する半導体基板支持枠２１に、可動枠１１、可動枠１１を振動可能に支持する１対のトーションバー２２ａ、２２ｂ、２対の圧電アクチュエータ２３ａ、２３ｂ；２４ａ、２４ｂを形成する。空気の逃げ道として、可動枠１１に複数の貫通孔１５を設ける。 （もっと読む）

【課題】電磁駆動型の光偏向装置の可動部の傾き角を検出する磁気センサの検出信号から、駆動用の電磁石に由来するノイズを除去する。
【解決手段】光偏向装置は、可撓梁によって基板に揺動可能に支持されている可動部と、可動部に固定されているミラーと永久磁石を備えている。可動部の揺動軸に沿う方向を第１方向とし、それに直交する方向を第２、第３方向としたときに、第２方向において永久磁石を挟んで対向している第１磁極と第２磁極とを有している電磁石と、磁気センサを備えている。とともに、第３方向の磁束密度成分を検出する磁気センサは、電磁石に通電したときに発生する磁束の第３方向成分がゼロとなる位置におかれている。 （もっと読む）

【課題】可動部の設計変位を生じ易くしながら、意図しない変形は生じ難くすることが可能なマイクロ構造体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロ構造体は、基板９と、基板９に固定された固定支持部４と、第１の可動部６と、第２の可動部３と、第１の可動部６と固定支持部４とを弾性的に連結する弾性支持部５を有する。第２の可動部３は第１の可動部６に固定され、第１の可動部６と第２の可動部３は、弾性支持部４により、固定支持部４に対して一体的に変位可能に弾性支持される。 （もっと読む）

【課題】 所望の波長範囲で、安定的に発振可能で且つ高速に波長掃引可能な光源装置を提供する。
【解決手段】 発振波長を連続的に変化可能な波長掃引光源装置であって、共振器内に、光を増幅させる光増幅媒体と、該光増幅媒体より放出される光を波長に応じて分散させる第一の手段と、第一の手段により分散した波長の異なる光束同士を平行化させる非集光光学素子で構成された第二の手段と、第二の手段により平行化した光束から所定波長の光束を選択する選択手段と、を備え、前記選択手段により選択された前記所定波長の光束を前記光増幅媒体に帰還させる波長掃引光源装置。 （もっと読む）

【課題】ビーム径を変化させることなく、透過帯域の拡大を実現することができる波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】本発明に係る波長選択スイッチ（５００）は、波長多重された光を入射させる少なくとも一つの入力部（５０１）と、入力部（５０１）からの光を受光し光を分散させる分散素子（５０３）と、波長ごとに分散された分散光を集光する集光要素（５０４）と、集光要素（５０４）からの分散光を波長ごとに独立に偏向可能な複数の反射光学素子（１０１）を有する光偏向部材（５０５）と、光偏向部材（５０５）によって偏向された分散光を受光する少なくとも一つの出力部（５０１）と、を備え、複数の反射光学素子（１０１）の少なくとも一つの分散素子（５０３）により分散される方向の端部の少なくとも一部に、反射光学素子の中心領域に対して反射率の高い領域を形成する。 （もっと読む）

【課題】面内プルインの発生をより確実に抑制できるＭＥＭＳ素子、ならびにこれを用いた可動式ミラーおよび光スイッチ装置を提供すること。
【解決手段】所定の間隔を有して配置された固定櫛歯電極と可動櫛歯電極とを備え、前記可動櫛歯電極が可動基準面に対して角度をなす方向に移動するＭＥＭＳ素子であって、前記固定櫛歯電極および前記可動櫛歯電極の静電引力作用面が、前記可動基準面内において円弧形状を有している。好ましくは、前記静電力作用面の円弧形状の中心が、前記可動基準面内において前記可動櫛歯電極が回転する際の回転軸と一致する。 （もっと読む）

【課題】トーションバー加工時のばらつきを抑制する光偏向器、光偏向器の製造方法、光学装置及び表示装置を提供する。
【解決手段】光偏向器Ａは、光を反射する可動板１と、一端が可動板に固定され、他端が支持体に固定され、可動板を回転振動可能に軸支する一対のトーションバー２ａ、２ｂと、可動板を回転振動させる駆動機構と、を備えている。このトーションバー２ａ、２ｂは、単結晶シリコンを含んでおり、また、トーションバー２ａ、２ｂの可動板１表面に垂直であってトーションバー軸支方向の断面における形状は、断面の可動板表面垂直方向の略中央部を中心線とし、略相同である２つの略等脚台形が上底及び下底の何れか短い方同士を中心線で接合した形状である。 （もっと読む）

【課題】集光レンズを動かすことなく集光レンズの中心をレーザ光線の光軸が通るように調整することを可能とする。
【解決手段】発振器４２から発せられたレーザ光線ＬがＹ方向調整ミラー４３、Ｘ方向調整ミラー４４、角度調整ミラー４５をそれぞれ反射して集光レンズ４７に導かれる構成において、Ｙ方向調整ミラー４３をＹ方向に移動可能に、Ｘ方向調整ミラー４４をＸ方向に移動可能に設け、これらミラー４３，４４を移動させるとともに、必要に応じて角度調整ミラー４５によるレーザ光線Ｌの反射角度を調整して、レーザ光線Ｌの光軸を集光レンズ４７の中心に通す調整を行う。レーザ光線Ｌの光軸の方を動かすことにより、集光レンズ４７を動かすことなく集光レンズ４７の中心にレーザ光線Ｌの光軸を通すことができる。 （もっと読む）

【課題】空間光変調器の特性を長期にわたって安定させる。
【解決手段】電極、静電力により電極に引き付けられて揺動する可動部、および、可動部に支持されて可動部と共に揺動する反射鏡をそれぞれが有する単位素子を複数実装された基板と、反射鏡の間から基板に向かって差し込む光を遮断する遮光層とを備える。上記空間光変調器において、遮光層は、反射鏡および基板の間に配されてもよい。また、上記空間光変調器において、遮光層は、反射鏡および可動部の間に配されてもよい。 （もっと読む）

【課題】 トーションバー上に電気配線を設けることなく、可動部を適正に動作させることができ、電気配線の劣化による動作不良などを確実に防止することのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 枠状の固定部２およびこの固定部２の内側にトーションバー３を介して可動自在に支持された可動部４を電気的に遮断された領域に分割する固定部側絶縁部５および可動部側絶縁部６を設け、可動部４の固定部側絶縁部５および可動部側絶縁部６により分割された領域に形成され駆動コイル８の端部に接続された可動部側駆動用電極９と、固定部２の固定部側絶縁部５および可動部側絶縁部６により分割された領域に形成された固定部側駆動用電極１０とは、トーションバー３を介して電気的に接続されている。 （もっと読む）