【課題】本発明の実施形態は、スペクトル幅の拡張と増幅率の向上とを図ることができる光共振器を提供する。
【解決手段】実施形態に係る光共振器は、第１の反射面を有する第１の反射部と、前記第１の反射面に対向する第２の反射面を有する第２の反射部と、前記第１の反射部の前記第１の反射面とは反対側の面に入射させる光を複数の波長成分に分散させる分散部と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、可動板を互いに直交する２つの軸のそれぞれの軸まわりに安定してかつ大きく回動させることのできるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、支持部３と、光反射性を有する光反射部２２を備える可動板２と、支持部３に対して変位可能に設けられた駆動部４１と、駆動部４１と可動板２とを連結する第１の軸部４２とを備え、可動板２を支持部３に対して変位可能に連結する連結部４を含む４つの連結部と、駆動部４１の中心に対して可動板２側の規制位置で第１の軸部４２が可動板２の厚さ方向に変位するのを局所的に規制する１対の捩り梁部４４とを有し、駆動部４１の変位に伴って、１対の捩り梁部４４の規制位置を支点として第１の軸部４２を回動させる。 （もっと読む）

【課題】微細機械的装置の光学的性質の操作により入射光を変調させ、優れた融通性をもたらすカラー方式を実現するため干渉変調装置及び干渉変調器のアレーを制御する方法を提供すること。
【解決手段】複数の干渉変調器を有し、該複数の干渉変調器が、着色光を射出するようになった少なくとも一つの干渉変調器と、白色光を射出するようになった少なくとも一つの干渉変調器とを有する干渉変調装置である。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、画素毎のずれが発生することなく、フルカラーの鮮明な画像を投影する投影装置、及び色覚検査装置を提供する。
【解決手段】投影装置１００は、楕円鏡１１、光源１２、ライトパイプ１３、スリット１４を備え白色光を射出する光源部１０と、白色光の回折光を色分解された光束として発生する回折格子２０と、前記光束を偏向走査して各色の光束を時分割するガルバノミラー３０と、前記偏向走査された光束を結像する結像光学系４０と、前記結像光学系の結像位置に配置され、画像信号に基づいて入射する各色の光束を画素毎に変調して画像を生成する画像形成素子５０と、投影光学系とを備えた。また、色覚検査装置は、前記投影装置１００と、照明光を受ける拡散板を備えた。 （もっと読む）

【課題】空間光変調素子の劣化を防止することができるパターン投影装置およびレーザ加工装置を提供すること。
【解決手段】本発明にかかるレーザ加工装置１００は、レーザ光源４１から出射されたレーザ光を複数のミラーによって空間変調する空間光変調素子４５と、基板１を照明する照明系３６を含む照明光学系と、空間光変調素子４５に空間変調された変調光を対象物に投影する結像レンズ３８と、空間光変調素子４５から出力されたレーザ光の進行方向を結像レンズ３８の光軸と一致する方向に偏向させる偏向素子４６と、を備え、空間光変調素子４５は、空間光変調素子４５に入射するレーザ光の進行方向が該空間光変調素子４５の基準面の法線とおおよそ平行である。 （もっと読む）

【課題】レーザ加工装置及びレーザ加工方法において、簡素な構成で空間変調素子の劣化を防止する。
【解決手段】レーザ光を発振するレーザ光源１０２と、このレーザ光源１０２により発振され基準面１０３ａに入射するレーザ光を偏向する偏向素子が２次元に配列された空間変調素子１０３と、この空間変調素子１０３により空間変調された変調光を被加工物１０に投影する投影光学系１０４と、を備えるレーザ加工装置１において、空間変調素子１０３は、基準面１０３ａに対して垂直にレーザ光（光軸Ａ２）が入射するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】梁部に高い振動疲労特性と揺動部に高剛性を持たせつつ小型化された振動素子を提供する。
【解決手段】振動素子は、基体３と、前記基体３から梁状に設けられた梁部２と、前記梁部２の前記基体３側とは反対の側に設けられたミラー部４とを備え、前記揺動部４の少なくとも一部及び前記梁部２は金属ガラスで一体に形成される。次に、真空中でＹＡＧレーザ１０を振動素子のミラー部４に照射して局所的な構造緩和を行う。 （もっと読む）

【課題】部品点数の増加を招くことなく、簡単かつ低コスト、軽量コンパクトな構成としながら、光減衰のある状態での透過帯域特性劣化を抑制する波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】入力部１０１と、入力部１０１からの光を受光し前記光を分散させる分散素子１０３と、集光要素１０４と、集光要素１０４からの前記分散光を波長ごとに独立に偏向可能な複数の反射光学素子２００を有する光偏向部材１０５と、光偏向部材１０５によって偏向された分散光を受光する少なくとも一つの出力部１０１と、を備えた波長選択スイッチ１００であって、複数の反射光学素子２００の各々が分散素子１０３によって波長ごとに分散される方向の少なくとも一方の端部２０２の面法線と、中心部分２０１の面法線とが、異なった角度を向いていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】集光光学系による各波長の光の集光位置の配列ピッチを所定ピッチに容易に調整することできる光学装置を提供する。
【解決手段】光学装置１は、光入出力部１０，透過型回折格子２１，レンズ３０およびミラーアレイ４０を備える。透過型回折格子２１は、ｘ軸方向に延在する格子が一定周期で形成されたものであり、入力ポートに入力された光を波長分岐して出力する。透過型回折格子２１は、所定軸の周りに回動自在である。透過型回折格子２１は、回動軸に垂直で波長に応じた方向に各波長の光を出力する。レンズ３０は、透過型回折格子２１により波長分岐されて出力された各波長の光を互いに異なる位置に集光する。 （もっと読む）

【課題】トルク定数と慣性モーメントの比を向上させ、駆動に必要な電流を小さくして駆動時の消費電力の低減を図る。
【解決手段】回転中心となる軸１０と該軸周りに配置され該軸の円周方向に複数極に分極された永久磁石１１で構成される回転子と、該回転子の外側に空隙を介して配置されたコイル１３とヨーク１４とアウターケース１５とで構成される固定子とを有し、回転子が所定の角度範囲内で揺動するガルバノスキャナ１において、永久磁石１１には回転軸方向の溝５０を周方向に隣り合う永久磁石１１の磁極に跨って形成し、当該永久磁石１１は分割線６０によって１極あたり２個以上に分割した。 （もっと読む）

【課題】光学部材の固定後にも光学部材の調整時と同等に広い透過帯域を有する波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】波長選択スイッチ１００は、波長分割多重信号が入出力される入出力ポート１１０と、入力ポート１１０ａから射出された光を分散させて波長帯域の異なる複数の光ビームを生成する分散素子１３０と、生成された複数の光ビームを集光するとともに互いに平行に偏向する集光素子１４０と、互いに平行に偏向された複数の光ビームをそれぞれ偏向する複数の可動ミラー１６２を有するＭＥＭＳミラーアレイ１６０と、集光素子１４０とＭＥＭＳミラーアレイ１６０の間に配置された光学的に透明な平行平板１５０とを有している。平行平板１５０は、複数の光ビームの中心を複数の可動ミラー１６２の中心に合わせるように、集光素子１４０の光軸１４２に対する傾きが調整されている。 （もっと読む）

【課題】光の利用効率に優れた光変調装置及びプロジェクターを提供する。
【解決手段】入射した光束を変調して画像を形成する光変調装置は、画像を構成する画素毎に変調部８０Ａがそれぞれ設けられた構成を有する。変調部８０Ａは、入射した光束を通過させる第１の位置または入射した光束を遮断する第２の位置に移動可能に構成されたシャッター８８と、シャッター８８に力を加えることでシャッター８８を第１の位置または第２の位置に移動させる圧電素子８７とを備える。シャッター８８は、光変調装置に入射する光束の光軸に直交する平面に対して面外方向に回転することで第１の位置または第２の位置に移動する。 （もっと読む）

【課題】 簡単かつ安価で、軽量コンパクトな構成で、複数の波長選択スイッチも用いることなく、１つの波長選択スイッチを用いて、ポート数が多い波長選択スイッチを実現する。
【解決手段】 本発明に係る波長選択スイッチは、第１方向にアレイ状に並び波長多重された光の入力部と出力部とを有する光入出力部（１０）と、入力部から入力された波長多重光をそれぞれの信号波長に分離する光分散手段（１５）と、信号波長に分離された光を収束させる集光要素（１６）と、集光要素（１６）により集光されたそれぞれの信号波長光を所望の出力部にスイッチングさせるよう第１方向に信号光を偏向させる光偏向素子アレイ（１７）から構成される波長選択スイッチであって、集光要素（１６）により収束された光束に対して、光偏向素子アレイ（１７）の光偏向素子が第１方向に複数配列されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レーザ出射光の中心波長および波長帯域幅を変更すること。
【解決手段】レーザ光出射装置２は、レーザ光を生成するレーザ生成部１０と、生成されたレーザ光Ｌ１の光路上に並んで配置され、当該レーザ光の入射角度に応じて、透過したレーザ光の中心波長がシフトする特性を有する一対の光学フィルタ３１Ａ，３１Ｂと、一対の光学フィルタの少なくとも一方を、光路に交差する所定方向に沿った軸Ｚを中心に変位させる変位機構３２と、一対の光学フィルタを透過したレーザ光を外部に出射するレーザ出射部１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ミラーの回動に要する駆動電圧を低下させる。
【解決手段】光スイッチは、ミラー装置と、制御装置１とを備える。ミラー装置は、回動可能に支持されたミラー１０３と、ミラー１０３から離間して配置された電極３０２ａ，３０２ｂ，３０３ａ，３０３ｂとを有する。制御装置１は、ミラー１０３の回動角を制御する制御電圧をミラー１０３の所望の回動角に応じて電極毎に生成する駆動電圧生成部３と、ミラー１０３と電極３０２ａ，３０２ｂ，３０３ａ，３０３ｂとの間の距離を制御するバイアス電圧をミラー１０３の所望の回動角に応じて電極毎に生成するバイアス電圧生成部４と、制御電圧とバイアス電圧とを電極毎に加算して、加算後の駆動電圧を対応する電極３０２ａ，３０２ｂ，３０３ａ，３０３ｂに印加する加算部５ａ〜５ｄとを有する。 （もっと読む）

【課題】方向性のある力以外の力を用いてステージを移動させる。
【手段】駆動装置（１００）は、ベース部（１１０）と、回転可能な被駆動部（１３０）と、弾性部（１２０）と、被駆動部及び弾性部により定まる共振周波数で被駆動部が一の方向（Ｙ軸）に沿った軸を中心軸として共振しながら回転するように被駆動部を回転させるための微振動をベース部に加える印加部（１４０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】可動板を互いに直交する２つの軸のそれぞれの軸まわりに安定して回動させることのできる光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】貫通孔４１１に挿通された永久磁石８１１が、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙに固定されることにより、永久磁石８１１を変位部４１の所望の位置に位置決めして固定することができる。詳しくは、永久磁石８１１のＸ軸方向寸法の中心およびＹ軸方向寸法の中心が、回動中心軸Ｘ１，Ｙ２の交点と一致させることができる。これにより、電源８１３，８３３からコイル８１２，８３２に交番電圧を印加することにより、永久磁石８１１が傾斜し、回動中心軸Ｙ２からずれることなく、駆動梁４３を捩じり変形させつつ、変位部４１が回動中心軸Ｙ２まわりに安定して傾斜する。これにより、可動梁４２は、回動中心軸Ｘ１からずれて傾いた屈曲をすることなく、可動部２を安定して回動させることができる。 （もっと読む）

【課題】向上した発光効率を有する、低電力のディスプレイを提供する。
【解決手段】空間光変調器内で使用するための光キャビティ２００は、前部反射面２０２と後部反射面２０４とを含む。前部反射面２０２は、光透過領域２０６のアレイを含み、光透過領域２０６を通して、光２０８は、光キャビティ２００を脱出することが可能である。光２０８は、１つ以上の光源２１０から光キャビティ２００に入る。光２０８は、光透過領域２０６のうちの１つを通して反射されるまで、前部および後部反射面２０２および２０４の間で反射される。 （もっと読む）

【課題】表面側保護基板を通してデバイス本体のパッドと実装基板の導体パターンとを電気的に接続でき、且つ、デバイス本体に不要な応力がかかるのを抑制しつつ電気的な接続信頼性を高めることが可能なＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され複数のパッド１３を一表面側に備えたミラー形成基板（デバイス本体）１、ミラー形成基板１の一表面側に接合された第１のカバー基板（表面側保護基板）２を有するＭＥＭＳチップ４と、ＭＥＭＳチップ４が実装された実装基板５とを備える。第１のカバー基板２は、ミラー形成基板１の各パッド１３それぞれと接合されて電気的に接続されたシリコンからなる複数の導電部２０２が、第１のカバー基板２の厚み寸法内で設けられている。各導電部２０２と実装基板５の各導体パターン５０２とが、両者に跨って形成された半田部６を介して電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、大きな遅延量で可変でき、かつ小型で安価な可変光遅延器及び可変光遅延方法の提供を目的とする。
【解決手段】本願発明の可変光遅延器は、光入出射部１４から入力された平行光Ｐ_Ｉを互いに平行に配置された第１反射面１１及び第２反射面１２で多重反射し、第１反射面１１及び第２反射面１２で多重反射した平行光Ｐ_Ｉを第３反射面１３で反射し、第３反射面１３で反射された戻り光Ｐ_Ｂを、第１反射面１１及び第２反射面１２で多重反射して光入出射部１４から出射する多重反射部１０を備える可変光遅延器であって、多重反射部１０は、第１反射面１１、第２反射面１２及び第３反射面１３と平行な直線１００を中心に回転可能である。 （もっと読む）