【課題】反射面を備える可動板の有効面積を確保しつつ、可動板の慣性モーメントを低減させた光偏向器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】反射面と側面を備える可動板と、所定の軸の周りに可動板を回動可能に支持する支持部とを有し、可動板の側面が軸に向かって窪んでいる。 （もっと読む）

【課題】分光精度を維持することができる波長可変干渉フィルター、光センサー及び分析機器を提供すること
【解決手段】
本発明の波長可変干渉フィルター５では、第二基板５２は、第一反射膜５１に対向する位置で、基板厚み方向に沿って形成され、当該第二基板５２の第一面Ａから反対側の第二面Ｂまでを貫通する光透過口５２１Ａと、光透過口５２１Ａ内に設けられる透光性部材５８と、を備え、光透過口５２１Ａは、内周面の径寸法が、第一面Ａから第二面Ｂに向かうに従って増大するテーパー形状に形成され、透光性部材５８は、第一反射膜５６及び第二反射膜５７に平行する光入射面５８Ａ、第一反射膜５６及び第二反射膜５７に平行する光射出面５８Ｂ、及び第一面Ａから第二面Ｂに向かうに従って径寸法が増大するテーパー側面５８Ｃを有し、テーパー側面５８Ｃが光透過口５２１Ａの内周面に当接することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】マスクレス露光装置において、幅方向にも厚さ方向にも窪みのない直線性の良い描画パターンを得るためのマイクロミラーデバイス選別装置を提供する。
【解決手段】マイクロミラーデバイス選別装置において、マイクロミラーデバイス２のマイクロミラー２１に照明光を照射する照明系と、マイクロミラー２１で発生した回折光を撮像素子７９に入射させる光学系と、撮像素子７９で撮像された回折光分布画像を処理し、マイクロミラーデバイス２の良品または不良品の判定を行う処理系９とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 良好な分光精度を維持できる波長可変干渉フィルターを提供すること。
【解決手段】
第一基板５１と、第一基板５１に接合される第二基板５２と、第一基板５１に設けられる第一反射膜５６と、第二基板５２に設けられる第二反射膜５７と、第一反射膜５６と第二反射膜５７とのギャップＧを変更する可変部５４と、を備え、第二基板５２は、第二基板５２を基板厚み方向から見る平面視において、第二反射膜５７に重なる位置に設けられる可動部５２１を有する第一層５２０と、第一層５２０の第一基板５１に対向する面に積層されるとともに、厚み寸法が一様な板状に形成され、可動部５２１を変位可能に支持する支持部５３１を有する第二層５３０と、を備え、第一層５２０には、少なくとも前記平面視で支持部５３１に重なる領域に第一層５２０が積層されていないことを特徴とする波長可変干渉フィルター。 （もっと読む）

【課題】 差動位相偏移変調信号の復調器を作製するにあたり、位相調整を高速に行い、かつ装置の寿命を長く保つ必要がある。
【解決手段】 復調器内部の遅延干渉計において、干渉させる2つの分岐光の位相差の調整をピエゾ素子などの位相調整手段と、第一の位相調整手段よりも低速で動作し、かつ劣化速度が遅い発熱体などの位相調整手段とを用いて行う。 （もっと読む）

【課題】迅速な分光測定が可能な光フィルター、特性測定方法、分析機器、および光機器を提供する。
【解決手段】 光フィルター３は、第一基板と、前記第一基板と対向する第二基板と、前記第一基板に設けられた第一反射膜と、前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜と対向する第二反射膜と、前記第一基板に設けられた第一電極と、前記第二基板に設けられ、前記第一電極と対向する第二電極と、前記第一電極と前記第二電極との間の電位差を制御する電圧制御部８１と、を備え、前記電圧制御部８１は、前記電位差を、第一電位差から前記第一電位差より大きい第二電位差に切り替える。 （もっと読む）

【課題】支持部に対する回動軸の衝突を抑制でき、もって、円滑な動作を実現可能なミラーアクチュエータおよびこのミラーアクチュエータを搭載したビーム照射装置を提供する。
【解決手段】ミラー１５０をチルト方向に回動可能に支持する支軸１１１の両端には、抜け止め用のＥリング１１７ａ、１１７ｂが装着されている。これら２つのＥリング１１７ａ、１１７ｂのうち、右側のＥリング１１７ａのみを磁性材料により構成する。このＥリング１１７ａとマグネット１３２との間に働く磁力により、支軸１１１が右側に付勢される。よって、ミラー１５０のパン方向駆動時に、支軸１１１が左右に移動するのが抑制され、軸受け１１６ａに対する支軸１１１の衝突を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】偏光状態を高精度に測定すること。
【解決手段】偏光状態取得装置は、入射光に含まれる複数の偏光成分のそれぞれの受光量を複数の画素毎に取得する受光量取得部と、入射光に含まれる複数の偏光成分のそれぞれの受光量が、予め定められた受光量の範囲内にあるか否かを判定する受光量判定部と、受光量取得部が取得した受光量のうち範囲内にあると判定された受光量を用いて、入射光の偏光状態を複数の画素毎に取得する偏光状態取得部とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板同士の接合強度をより向上させ、接合工程を容易にしつつ、所望波長を精度良く分光させることができる干渉フィルター、測色センサー、測色モジュール、及び干渉フィルターの製造方法を提供すること。
【解決手段】第１基板５１と、第１基板５１に対向配置され、第１基板５１に接合される第２基板５２と、第１基板５１及び第２基板５２の互いに対向する面にそれぞれ設けられ、互いに対向配置される一対のミラー５６，５７と、第１基板５１及び第２基板５２の互いに対向する面にそれぞれ設けられ、オプティカルコンタクトにより互いに接合される接合面５１３，５２４と、第１基板５１の接合面５１３に形成されて接合面５１３，５２４同士を接着する接着剤が流入する第１溝部５１４Ａと、第２基板５２に形成されて第１溝部５１４Ａと外部とを連通させる接着剤注入孔５２４Ａ及び接着剤排出孔５２４Ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】対向する基板の接合強度を向上するとともにミラーに対するダメージを防止することができる波長可変フィルター、その製造方法、測色センサーおよび測色モジュールを提供すること。
【解決手段】第一基板５１には、エッチングにより電極形成用溝５１１、ミラー固定部５１２および溝部としての接着剤用溝５１３が形成される。接着剤用溝５１３は、第一基板５１の四隅にそれぞれ凹状に形成される。また、接着剤用溝５１３は、平面略三角形状に形成され、隣接する２辺（第一形成辺５１３Ａ、第二形成辺５１３Ｂ）が第一基板５１の隣接する２辺に沿って略直角に形成されるとともに、これら２辺に対向する内周縁部５１３Ｃはギャップ形成部５５の外縁に平行な円弧状に形成される。接着剤用溝５１３の内部には接着剤５３が配置される。 （もっと読む）

【課題】ミラー面の振れ角に応じて出力が変化するように配置された受光素子を備えた構成の採用による小型化を図ながらも、ミラー面において光ビームを入射させる位置が制限されたりミラー面の振れ角が制限されるのを防止することが可能なＭＥＭＳ光スキャナを提供する。
【解決手段】外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有するミラー形成基板１と、ミラー形成基板１に接合された第１のカバー基板２および第２のカバー基板３とを備える。受光素子６は、ミラー面２１で反射された光のうち第１のカバー基板２を透過する主光線Ｉ１ではなく第１のカバー基板３におけるミラー面２１側の表面で反射された副光線Ｉ２を受光しミラー面２１の振れ角に応じて出力が変化するように、第１のカバー基板２の上記表面側に配置してある。 （もっと読む）

【課題】正確な分光特性を測定可能な分光測定装置、および分析装置を提供する。
【解決手段】分光測定装置３は、互いに対向する固定基板および可動基板と、可動基板に設けられる変位部と、変位部を初期位置に向かって付勢する連結保持部と、変位部および固定基板にギャップを介して対向配置される反射膜と、ギャップを調整する静電アクチュエーターと、ギャップ間隔を演算するギャップ演算手段８２３と、反射膜を透過した光の受光量を測定する受光部６と、変位部を予め設定された第一変位位置まで変位させるギャップ制御手段８２１と、変位部が初期位置に戻る復元過程で、透過光の光量測定、およびギャップの間隔の演算を同時に実施させる測定制御手段８２５と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】捩り撓みヒンジで連結されて相対的に回転する微細加工部材の改良された構造体を提供する。
【解決手段】基準フレームを動的プレート５８に連結し、フレームを捩りバーではなく、折返し捩り撓みヒンジ９６でプレートに連結する。そして、折返し捩り撓みヒンジ９６はプレート５８をフレーム側から支持するもので、３つの基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃから成り、各基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃの縦軸９８の向きは、プレート５８の回転軸６２に垂直ではなく、折返し捩り撓みヒンジ９６の中間部１０４が、基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃの直隣接端１０６を相互連結し、基本ヒンジ素子１０２ｂは、フレームに対して、軸６２を中心とするプレート５８の角回転を測定する捩りセンサ１０８を備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】白のセグメントを含むカラーホイールを用いた場合に、ノイズによる映像劣化を抑制することができる投写型表示装置を提供する
【解決手段】プロジェクタは、光源ランプ１０からの白色光を時分割で複数の色の光に分離するカラーホイール３１と、カラーホイール３１により分離された各色の光を変調するＤＭＤ７０と、外部から入力された映像信号を処理する信号処理回路１０４と、信号処理回路１０４からの信号に従ってＤＭＤ７０を駆動するＤＭＤ駆動回路１０６とを備える。ここで、カラーホイール３１は、光源ランプ１０からの白色光をそのまま透過する白セグメント３１Ｗを含む。さらに、信号処理回路１０４は、入力された映像信号により生成される映像の彩度が予め設定された閾値αを超える場合に、前記表示素子の各画素のうち白成分を表示する画素に対するＲＧＢ信号を減衰させる。 （もっと読む）

【課題】製造が容易であり、かつ製造歩留まりが高い光スイッチ素子の製造方法、光スイッチ素子、光スイッチ装置、およびＭＥＭＳ素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】固定電極と、前記固定電極と所定の間隙を有して配置された可動電極と、前記可動電極に接続したミラーとを備えた光スイッチ素子の製造方法であって、表面導電層と絶縁層と裏面層とを有する多層基板の該表面導電層から該絶縁層に到る貫通パターン孔を形成し、前記貫通パターン孔を通して表面側から前記裏面導電層にパターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】２つのレーザ光による加工跡が均一になるように２つのレーザ光の強度を調整することができ、２つのレーザスポットの位置が設定された値になるように調整できるレーザ加工装置及びレーザ加工方法の提供。
【解決手段】レーザ光源と、固定手段と、回転手段と、照射位置移動手段と、レーザ光の偏光方向を出射されたレーザ光の光軸に対して変化させる偏光方向変化手段と、偏光方向変化手段により偏光方向が変化されたレーザ光を２つのレーザ光に分離させる偏光ビームスプリッタと、２つのレーザ光の光軸を平行からずらして合成する光学系と、光学系で合成された２つのレーザ光を集光させる対物レンズと、加工対象物に形成された加工跡に非加工強度のレーザ光を照射したときの反射光の特性を加工跡の特性として検出する特性取得手段とを有するレーザ加工装置である。 （もっと読む）

【課題】簡単な配線構造で、接続信頼性を向上させることが可能な波長可変干渉フィルター、測色センサー、および測色モジュールを提供する。
【解決手段】 エタロン５は、第一基板５１と、第一基板５１に接合される第二基板５２と、これらの基板間で互いに対向して設けられる一対のミラー５６，５７と、第一基板５１に設けられる第一電極５４１、および第二基板５２に設けられる第二電極５４２を有する静電アクチュエーター５４と、第一基板５１の外周部に設けられ、第一電極５４１に接続される第一電極パッド５４１Ｂと、第一基板５１の外周部に設けられ、第一電極５４１とは絶縁される第二電極パッド５４３と、を備える。そして、第一基板５１および第二基板５２は、導電性の接合部５４６，５４７により接合され、第二電極５４２および第二電極パッド５４３は、これらの接合部５４６，５４７を介して導通される。 （もっと読む）

【課題】基板同士を加圧して接合させた場合でも、基板間のミラーが損傷しない波長可変干渉フィルター、この波長可変干渉フィルターを備えた測色センサー、およびこの測色センサーを備えた測色モジュールを提供する。
【解決手段】エタロン５は、透光性を有する第一基板５１と、第一基板５１の一面側に対向するとともに、第一基板５１に加圧接合される透光性の第二基板５２と、第一基板５１および第二基板５２の互いに対向する面にそれぞれ設けられ、互いに対向配置される一対のミラー５６，５７と、一対のミラー５６，５７の間の寸法を可変する静電アクチュエーター５４と、第二基板５２の可動ミラー５７の内周側に設けられるとともに、第一基板５１に向かって突出する支持突出部５２４と、を具備した。 （もっと読む）

本発明は、主ミラー（１）および副ミラー（２）を備える小型マルチスペクトル走査システムに関連し、これらのミラーは互いに向かい合い、反対方向に同じ角速度で回転されるように適合され、それらの回転軸に対して傾けられる。主ミラーは凹形であり、副ミラーは主ミラーよりも小さく、両ミラーの回転軸は位置合わせされる。この構成により、システムは先行技術のデバイスよりも小型になり、システムが動作周波数に依存することが回避される。
（もっと読む）

【課題】光検出部を配置した場合でも小型化を図ることができる画像表示装置を提供することを目的とする。
【解決手段】画像表示装置は、画像信号に応じて強度変調した光を出射する光源部と、反射ミラーの変位により入射した光を走査する走査部と、走査部により走査した光を投射対象に投射する投射部と、反射ミラーへ向かう光のうち反射ミラーにより反射されずに背面側に通過する光の強度を検出する光検出部と、を備え、光検出部による検出結果に基づき、前記光源部を制御する。 （もっと読む）