【課題】帯電の少ない波長可変干渉フィルターを提供する。
【解決手段】固定基板５０と、固定基板５０に対向し、固定基板５０に対して変位可能な可動基板６０と、固定基板５０の可動基板６０と対向する面に第１凹部７２が形成され、第１凹部７２に設けられた第１反射膜５３と、可動基板６０に設けられ、第１反射膜５３とギャップを介して対向する第２反射膜６３と、固定基板５０の可動基板６０に対向する面の第１凹部７２に設けられた第１電極５４と、可動基板６０に設けられ、第１電極５４と対向する第２電極６４と、を備え、固定基板５０における第１反射膜５３の下層に導電性を有するＤＬＣ膜５６が形成され、可動基板６０における第２電極６４および第２反射膜６３の下層に導電性を有するＤＬＣ膜６６が連続して形成されている。 （もっと読む）

【課題】 広範囲の波長帯域で、安定的に発振可能な波長掃引光源装置を提供すること。
【解決手段】 光を増幅させる光利得媒体と、該光利得媒体より放出される光を波長に応じて分散させる分散素子と、波長選択素子と、を備え、前記光利得媒体より放出され前記分散素子により分散した波長の異なる光から所定波長の光を、前記波長選択素子により選択して出射する光の発振波長を変化可能な光源装置であって、前記光利得媒体を複数備え、該複数の光利得媒体は、利得波長帯域が互いに一部重複すると共に異なる最大利得波長を有しており、前記複数の光利得媒体で増幅された複数の波長帯域の光より、前記所定波長の光を選択して出射する光の発振波長を変化可能な光源装置。 （もっと読む）

【課題】空間光変調器にて反射された描画に寄与しない光が周辺部材に与える熱的影響を確実に排除して高い描画精度を担保する。
【解決手段】光学ユニットのヘッド部は、レーザ発振器から出射された光を空間変調させて、パターンの描画に寄与させる必要光Ｌ１と、パターンの描画に寄与させない不要光Ｌ０とを、互いに異なる方向に反射させる空間光変調器を備える。光学ユニットは、さらに、必要光Ｌ１を通過させつつ不要光Ｌ０を遮断する第２遮断板２３２と、第２遮断板２３２を冷却する冷却部を備える。第２遮断板２３２における不要光Ｌ０の入射領域を含む対象領域部分には、入射した光を乱反射させる乱反射面４２が形成される。 （もっと読む）

【課題】外観に優れたスイッチ操作部を薄く面状に形成することができ、視認性がよく、しかも信頼性を高めることができる光ファイバスイッチを提供する。
【解決手段】本光ファイバスイッチ１は、その両端の間に周面の一部を欠損させた漏光部３３を具備する光ファイバ３と、光ファイバの一端３１側から光を入射する光源２と、光ファイバの他端３２側からの出射光を受光し、その受光量に応じて切り替わるスイッチ信号を生成する受光部４と、を備え、受光部は、漏光部上に接して漏光部からの漏光を遮る被検出体６の有無でスイッチ信号を変化させることを特徴とする。このようなスイッチは、薄く軽量で柔軟な操作部を実現でき、織布に織り込む等すれば周囲と一体化した平坦な操作部を形成することができ、布製の物品と調和し、外観を向上させることができる。また、機械的な作動部や電気的接点を有しないので、接触不良や劣化を生じることがない。 （もっと読む）

【課題】中間部材を設けずに対向する基板間を容易に接続する光フィルターを提供する。
【解決手段】固定基板５１と、固定基板５１に対向する可動基板５２と、固定基板５１に形成された第１反射膜５４と、可動基板５２に設けられ、第１反射膜５４とギャップを介して対向する第２反射膜５５と、固定基板５１に設けられた第１駆動電極５６１と、可動基板５２に設けられ、第１駆動電極５６１と対向する第２駆動電極５６２と、固定基板５１に設けられた第１接続電極５７１と、可動基板５２に設けられ、第１接続電極５７１の一部と対向する位置に可動基板５２の厚み方向の寸法が小さく形成された薄肉部５８２と、第２駆動電極５６２に接続され、第１接続電極５７１に対向して薄肉部に形成された第２接続電極５７２と、を備え、第１接続電極５７１と薄肉部５８２に形成された第２接続電極５７２とが接続されている。 （もっと読む）

【課題】走査角が大きくなっても、走査対象とビームウエストの位置とのずれを抑制すること。
【解決手段】レーザ光を出力する光源と、該光源からのレーザ光を反射して周期的に走査させる走査手段と、を備えた光走査装置であって、前記走査手段が、レーザ光を反射するミラー部と、一走査中、仮想平面上を前記レーザ光のビームウエスト位置が移動するよう、前記ミラー部の曲率を走査周期の１／２周期で変化させる駆動手段と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】対向する光学膜の貼り付きを防止する。
【解決手段】第１基板２０と、第１基板２０に対向する第２基板３０と、第１基板２０に設けられた第１光学膜４０と、第２基板３０に設けられ、第１光学膜４０と対向する第２光学膜５０と、を含み、第１光学膜４０は、所望波長帯域の光に対する反射特性および透過特性を有し、第１光学膜４０の最表面の誘電体膜４３は第１光学膜４０の周端部４３ａにおいて、第１光学膜４０に光が入射する光入射部４３ｂよりも厚みが厚く形成されている。 （もっと読む）

【課題】省電力化が可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定反射膜５４及び固定電極５６１が設けられた固定基板５１と、固定基板５１に対向し、可動反射膜５５及び可動電極５６２が設けられた可動基板５２と、を具備し、固定電極５６１及び可動電極５６２は、それぞれ透光性を有し、フィルター平面視において、固定反射膜５４及び可動反射膜５５が設けられた光干渉領域Ａｒ２を含む駆動領域Ａｒ１を覆って設けられ、固定反射膜５４は、固定電極５６１を介して固定基板５１に設けられ、可動反射膜５５は、可動電極５６２を介して可動基板５２に設けられた。 （もっと読む）

【課題】所望の波長の光を精度よく取り出せる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定基板５１と、可動基板５２と、固定基板５１の可動基板５２に対向する面に設けられた固定反射膜５４と、可動基板５２の固定基板５１に対向する面に設けられ、反射膜間ギャップＧ１を介して固定反射膜５４と対向する可動反射膜５５と、固定基板５１の可動基板５２に対向する面に設けられた固定電極５６１と、を備え、固定基板５１は、固定反射膜５４が設けられる反射膜固定面５１２Ａと、固定電極５６１が設けられ、可動基板５２からの距離が反射膜固定面５１２Ａとは異なる固定電極面５１１Ａと、を有し、反射膜固定面５１２Ａよりも可動基板５２からの距離が大きい固定電極面５１１Ａに、固定反射膜５４及び固定電極５６１が積層された積層部５７が設けられた。 （もっと読む）

【課題】分解能の低下を抑制可能な干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定反射膜５４が設けられた反射膜固定面５１２Ａ、及び固定側初期ギャップ形成面５１３Ａに平行で、固定側ギャップ形成電極部５６１Ｂが設けられた固定側初期ギャップ形成面５１３Ａを有する固定基板５１と、反射膜間ギャップＧ１を介して固定反射膜５４に対向する可動反射膜５５が設けられた可動面５２０Ａ、及び可動面５２０Ａと同一平面で、可動側ギャップ形成電極部５６２Ｂ及び絶縁層５７が順に積層された可動側初期ギャップ形成面５２０Ｂを有する可動基板５２と、を具備し、絶縁層５７は、微小ギャップＧ３を介して固定側駆動電極部５６１Ａに対向し、当該微小ギャップＧ３は、反射膜間ギャップＧ１より小さく形成されている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、反射膜間のギャップ寸法を検出でき、かつ容易に配線を接続可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定反射膜５６を有する固定基板５１と、可動反射膜５７を有する可動基板５２と、固定電極５４１および可動駆動電極５４２を備えた静電アクチュエーター５４と、固定検出電極５５１および可動検出電極５５２を備えたギャップ検出電極と、を具備し、固定検出電極５５１は、互いに絶縁された第一固定部分検出電極５５３Ａおよび第二固定部分検出電極５５３Ｂを備え、可動検出電極５５２は、第一固定部分検出電極５５３Ａに対向する第一対向検出領域５５４Ａと、第二固定部分検出電極５５３Ｂに対向する第二対向検出領域５５４Ｂと、を具備する。 （もっと読む）

【課題】反射率の減少が防止されたＭＥＭＳ素子およびこれを用いた光スイッチ装置およびディスプレイ装置、ならびにＭＥＭＳ素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】支持層とデバイス層との間に絶縁層が介挿された構造を有し、前記支持層と前記絶縁層とに連通する開口部と、前記開口部に対応した前記デバイス層の領域に前記支持層とは反対側に変位可能に形成されかつ前記支持層側にミラー面を有する複数のマイクロミラー部とを有する本体部と、前記マイクロミラー部を変位させるための電圧を印加する電極が形成された基板と、を備え、前記本体部のデバイス層の表面と前記基板の表面とが接合されており、前記本体部の支持層側の前記開口部から前記マイクロミラー部へ光が入力される。 （もっと読む）

【課題】光学膜の特性劣化および光学膜間の貼り付きを防止する。
【解決手段】第１基板２０と、第１基板２０に対向する第２基板３０と、第１基板２０に設けられた第１金属膜４０と、第２基板３０に設けられ、第１金属膜４０と対向する第２金属膜５０と、を含み、第１金属膜４０は、所望波長帯域の光に対する反射特性および透過特性を有し、第１金属膜４０の表面および側面は誘電体膜４１で覆われ、誘電体膜４１は第１金属膜４０の周端部において、第１金属膜４０に光が入射する光入射部よりも厚みが厚く形成されている。 （もっと読む）

【課題】外部から干渉フィルターへ伝達される振動を低減することができ、分光精度の高い光モジュールを提供すること。
【解決手段】本発明の光モジュール（測色センサー）は、可動反射膜５７を備える可動基板５２、および可動反射膜５７にギャップを介して対向する固定反射膜５６を備え、可動基板５２に接合される固定基板５１、を備える干渉フィルター５と、干渉フィルター５を保持する筐体６と、を備える。可動基板５２は、固定基板５１の外周縁よりも外側に突出する突出部５２４を備える。この突出部５２４は、突出先端側に設けられ、筐体６に固定される固定部５２５を備える。可動基板５２と筐体６によって閉じられている密閉空間５８は筐体６にある充填孔６１を介して充填物質５９を密閉空間５８に充填することが出来る。 （もっと読む）

【課題】温度変化が大きい環境で使用する場合においても分光精度の高い干渉フィルターを備える光モジュールを提供すること。
【解決手段】本発明の光モジュール（測色センサー）は、干渉フィルター５、並びに干渉フィルター５の第一基板が固定され、第一熱膨張係数とは異なる値である第二熱膨張係数を有する透明基板７、を備え、干渉フィルター５は、ゲル状樹脂からなる接着層６を介して透明基板７に固定され、接着層６は、干渉フィルター５と透明基板７との間の熱膨張係数の差により生ずる応力を緩和する。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減して分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】エタロン５(波長可変干渉フィルター)は、固定基板５１と、固定基板５１に対向する可動基板５２と、固定基板５１に設けられた固定反射膜５６と、可動基板５２に設けられ、固定反射膜５６とギャップを介して対向する可動反射膜５７と、固定基板５１に設けられた固定電極５４１と、可動基板５２に設けられ、固定電極５４１と対向する可動電極５４２と、を備え、可動電極５４２の固定電極５４１側の面には可動絶縁膜５４４が積層され、可動電極５４２は圧縮応力を有し、可動絶縁膜５４４は引張応力を有して構成された。 （もっと読む）

【課題】耐久性が高く、透過率特性も安定した光アッテネータを得る。
【解決手段】入射光の波長域で透明なガラス基板の表裏の少なくとも一方の面に光透過率の異なる複数の光透過領域が設けられている。光透過領域は、入射光が回折を生じる大きさの凹凸パターンの繰返しからなる微細構造が形成された部分と入射光が回折を生じない大きさの開口部とから構成されたものを含む。微細構造と開口部とから構成された光透過領域の光透過率は微細構造の０次光透過率と開口部の開口率により設定されている。 （もっと読む）

【課題】外部から干渉フィルターへ伝達される振動を低減することができ、光学ギャップを精度良く保持することができる光モジュールを提供すること。
【解決手段】本発明の光モジュール（測色センサー）は、可動反射膜５７を備える可動基板５２、および可動反射膜５７にギャップを介して対向する固定反射膜５６を備える固定基板５１を備え、可動基板５２と固定基板５１とが接合された状態にある干渉フィルター５と、干渉フィルター５を保持する筐体６と、を備える。可動基板５２は、固定基板５１の外周縁よりも外側に突出する、２つの突出部５２４を備える。この突出部５２４は、突出方向の先端側に設けられ、筐体６に固定される固定部５２５と、固定部５２５よりも突出方向の基端側に設けられ、固定部５２５よりも厚み寸法が小さい振動防止部５２６と、を備える。振動防止部５２６には緩衝材７が設けられている。 （もっと読む）

【課題】光分析装置に組み込んだ際にＳ／Ｎ比を高くできて高精度の測定を行うことができる波長可変干渉フィルター、光モジュールと、高精度の測定を行うことができる光分析装置を提供すること。
【解決手段】波長可変干渉フィルターであるエタロン５は、第１基板５１と、第２基板５２と、固定ミラー５４と、可動ミラー５５と、静電アクチュエーター５６を備える。各ミラー５４，５５は、一層のＴｉＯ_２膜５７と、一層の合金膜５８とが積層されて形成される。ＴｉＯ_２膜５７の膜厚寸法ＴおよびＡｇ合金膜５８の膜厚寸法Ｓは、参照波長５６０ｎｍの反射率が目標反射率９１％となり、かつ、設定波長４００ｎｍの反射率が、前記金属膜のみで反射膜を構成した場合より低くなる膜厚に設定される。 （もっと読む）

【課題】可動基板をエッチングする際の深さ寸法のばらつきを抑制し、保持部の厚み寸法の精度を向上できる干渉フィルターの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の干渉フィルターの製造方法は、固定基板と、可動部５２１および保持部５２２を備えた可動基板５２と、固定反射膜と、可動反射膜５７と、を備える干渉フィルターの製造方法であって、固定基板を製造する固定基板製造工程と、可動基板５２を製造する可動基板製造工程と、固定基板と可動基板５２とを接合する基板接合工程と、を備え、前記可動基板製造工程は、第一母材５２４Ａおよび第二母材５２５Ａを、プラズマ重合膜５２６Ｃを介して接合させる母材接合工程と、プラズマ重合膜５２６Ｃをエッチングストッパーとして、第二母材５２５Ａをエッチングして、保持部５２２を形成する保持部形成工程と、を備える。 （もっと読む）