【課題】高速かつ大きな走査角度を実現でき、高品質な表示を可能とする光走査素子、及びその光走査素子を用いる画像表示装置を提供すること。
【解決手段】光を反射する反射面１２を備え、回転軸を中心として回転可能に設けられた可動部である可動ミラー１１と、可動部が設けられた側とは反対側の第１面Ｓ１と、可動部が設けられた側の第２面Ｓ２とを備え、第１面Ｓ１へ入射した光、及び反射面１２から第２面Ｓ２へ入射した光を透過させる透過部１８と、を有し、第１面Ｓ１は、可動部が中立状態であるときの反射面１２とは非平行である。 （もっと読む）

【課題】発生加速度を大きくすることなく、測定に用いる光を照射する時間の比率を高くし、無駄時間を少なくした光スキャナ装置を提供することである。
【解決手段】光学系駆動装置２５は、レンズ３４、３５、３６、３８と、該レンズ３４、３８を備えたホルダ６１と、該ホルダ６１をレンズ３４、３８の光軸に垂直方向に移動可能に支持するワイヤバネ１０８と、前記ホルダ６１をレンズ３４、３８の光軸に垂直方向に駆動する２軸アクチュエータ備えている。前記レンズ３８は、その光軸に垂直な第１の方向に移動したときにレンズ３８を通る光が該レンズ３８の移動方向と同一に走査する。前記レンズ３４は、前記第１の方向に移動したときにレンズ３４を通る光が該レンズ３４の移動方向と反対の向きに走査する。 （もっと読む）

【課題】光偏向の動作を、比較的高速且つ安定に制御することができる光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器は、偏向手段102と、振動状態検出手段103と、駆動信号生成手段104と、変調タイミング信号生成手段105と、偏向状態検出手段106を有する。偏向手段は、光源101からの光を偏向させる。振動状態検出手段は、偏向手段の振動状態を検出する。駆動信号生成手段は、偏向手段を駆動するための駆動信号を生成する。変調タイミング信号生成手段は、光源の光量を制御する基準の時間を変調タイミング信号として生成する。偏向状態検出手段は、偏向手段により光源からの光が偏向されて生じる偏向光の偏向状態を検出する。駆動信号生成手段が、振動状態検出手段の検出情報を基に、駆動信号を生成し、変調タイミング信号生成手段が、偏向状態検出手段の検出情報を基に、変調タイミング信号を生成する。 （もっと読む）

微小電気機械（ＭＥＭＳ）装置（１３００）が、基板（２０）、該基板（２０）上の可動素子（１３４０）、及び該可動素子（１３４０）上の作動電極（１４２）を備える。可動素子（１３４０）が、可変層（１３０２）及び反射素子（１３１４）を備える。可変層（１３０２）が、反射素子（１３１４）から分離される。
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微小電気機械（ＭＥＭＳ）デバイス（８００）が、頂部表面（８８）を有する基板（２０）と、基板（２０）の上方の可動エレメント（８１０）と、駆動電極（８２）とを備えている。可動エレメント（８１０）は、変形可能層（３４）および変形可能層（３４）に機械的に結合された反射エレメント（８１４）を備えている。反射エレメント（８１４）は反射表面（９２）を備えている。駆動電極（８２）は、反射表面（９２）から横方向に配置されている。可動エレメント（８１０）は、基板（２０）の頂部表面（８８）に概ね直角の方向に移動することによって、駆動電極（８２）と可動エレメント（８１０）の間に印加される電圧差に応答する。
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本発明の様々な実施形態は、微小電気機械システム、及び微小電気機械システムを利用するフォトニック相互接続を対象とする。本発明の微小電気機械システムの一実施形態は、レンズ構造要素(1704)及びアクチュエータを含む。レンズ構造要素は、フレキシブルな曲面を有する実質的に透明な膜(1710)、及び膜に流体的に連通するように結合される流体を保持するリザーバ(1708、1710)を含む。アクチュエータシステムは、膜の曲率およびレンズ構造要素の焦点を変更するように流体に圧力を加えるために、リザーバに動作可能に結合される。 （もっと読む）

【課題】外光の反射光量を調節できる反射ユニット及びフレキシブル・ディスプレイを提供する。
【解決手段】電極１０５、１１０から電圧が印加されることにより変形する電気活性高分子層１０７と、電気活性高分子層上で互いに離隔させて配列させた、外光を反射させる反射セル１１５ａを有する光反射部１１５と、光反射部の上部に互いに離隔させて配列させた、外光を遮断する遮断セル１１８ａを有する光遮断部１１８と、を備え、反射セル間の間隔は電気活性高分子層が変形することによって変わることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】マイクロ揺動素子について、可動部における回転変位量の大きな回転動作を高い動作速度で実現すること。
【解決手段】本発明のマイクロ揺動素子Ｘ３は、可動部３１０と、フレーム３２０と、可動部３１０およびフレーム３２０を連結し、且つ、フレーム３２０に対する可動部３１０の回転動作における回転軸心Ａ３を規定する、連結部３３０と、回転軸心Ａ３から相対的に遠い箇所に回転動作の駆動力を発生させるための駆動機構３４０，３５０と、回転軸心Ａ３に相対的に近い箇所に回転動作の駆動力を発生させるための駆動機構３６０，３７０とを備える。 （もっと読む）

光スイッチは、可変断面積を有する光通路と、光通路に関連付けられた活性化光応答型圧電素子であって、入射する活性化光に応答して形状が変化するように動作する活性化光応答型圧電素子と、該圧電素子に動作的に結合された、活性化光応答型性を改善するための導電素子とを備えており、活性化光応答型圧電素子は光通路に結合され、活性化光応答型圧電素子は、圧電素子の形状が変化すると光通路の可変断面積が十分に変化し、それにより光通路に沿う光の通過が制御されるように動作する。また、光スイッチを使用した論理ゲート及び論理機能が記述される。
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【課題】大きな偏向角および大振幅動作が得られ、また、小型化、薄型化、および軽量化を図ることができる光偏向器を提供すること。
【解決手段】反射板１を弾性支持部２ａ，２ｂを中心に回転振動させる圧電ユニモルフ振動体２１０ａ〜２１０ｄを備えた光偏向器であって、圧電ユニモルフ振動体２１０ａ〜２１０ｄの振動板２３ａ〜２３ｄの両端の一方を弾性支持部２ａ，２ｂに接続するとともに、両端のもう一方を支持体９に接続し、振動板２３ａ〜２３ｄ、反射板１、弾性支持部２ａ，２ｂ、支持体９を一体に形成し、圧電ユニモルフ振動体２１０ａ〜２１０ｄが、それぞれ複数の並列振動板２３ａ−１〜３，２３ｂ−１〜３，２３ｃ−１〜３，２３ｄ−１〜３および並列アクチュエータ２８ａ−１〜３，２８ｂ−１〜３，２８ｃ−１〜３，２８ｄ−１〜３を備えていることを特徴とする光偏向器とした。 （もっと読む）

【課題】薄膜ミラーの変形において、リンギングを抑制し静定までの時間を短縮することができるミラー駆動方法及びその方法を適用した可変形状ミラーを提供する。
【解決手段】ミラー駆動方法及び可変形状ミラーは、薄膜ミラー１０と該薄膜ミラー１０に対向する複数の固定電極１４との間に順次電圧を印加することにより、前記薄膜ミラー１０を変形駆動させるようになっている。しかも、前記薄膜ミラー１０を密封され且つ減圧されたパッケージ１内に配設した状態で、前記薄膜ミラー１０と前記固定電極１４との間に順次電圧を印加して、前記薄膜ミラー１０を変形駆動させる。 （もっと読む）

【課題】従来のＳＬＭシステムよりも高いデータ書き込み速度を提供すること。
【解決手段】画素のセルのアレイであって、各画素が、デジタルデータを格納し最小の必要時間で書き込みイベントを行うように構成された２つのＳＲＡＭデバイスと、書き込みイベントに従ってオンの方向またはオフの方向に光を出力するように構成された空間光変調器と、表示シーケンスで構成されたコントローラであって、該コントローラは２つのＳＲＡＭデバイスからの書き込みイベントを制御し、第１の表示スライスと第２の表示スライスとが表示シーケンスにおいて順番に並べられ、その結果、コントローラは空間光変調器に光を出力させ、かつ、第２の表示スライスの間に２つのＳＲＡＭデバイスそれぞれに書き込みイベントを行わせるように構成されている、コントローラとを備えている、画素のセルのアレイを備えている、空間光変調器システム。 （もっと読む）

本発明は、光学装置、特に対物レンズ、好ましくはマイクロリソグラフィ用対物レンズの光学素子を補正光により照射するための補正光装置に関する。少なくとも１つの補正光源および少なくとも１つのミラー装置（２２）が設けられており、ミラー装置は、方正光源からの光を光学素子（６）の方向に偏向し、これにより、光学装置における少なくとも１つの光学素子の少なくとも１つの表面（９）の少なくとも部分を局所的および／または時間的に可変に照射し、補正光は低角度下に光学素子の表面に入射する。光学素子の場所における光学装置の光軸と補正光線との間の鈍角は１０５°以下、特に１００°以下、有利には９５°以下である。
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鏡の形をとる光学素子（２）と、光学素子（２）を変形するアクチュエータ（３、１０３）とを備える、入射光を誘導する結像装置（１、１００）が開示される。光学素子（２）は、入射光に面する表面を有する。アクチュエータ（３、１０３）は、光学素子（２）を変形するために、光学素子（２）の光学表面を側方にグリップする。
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【課題】光変調素子を共焦点ピンホールとして利用することにより試料の鮮明な共焦点画像を得ることができ、かつ、そのような鮮明な共焦点画像をリアルタイムに２次元的な画像を構築する。
【解決手段】光源１と、２次元配列された複数の微小光変調要素２９を備え、オン状態に作動される該微小光変調要素２９を一方向に切り替える微小光変調要素アレイ７と、微小光変調要素アレイ７を通過した照明光を集光して試料１９に照射する一方、試料１９からの光を集光する対物レンズ１１と、２次元配列された複数の画素を有し、試料１９からの光を検出する光検出器１７と、微小光変調要素アレイ７と対物レンズ１１との間に配置され、照明光を微小光変調要素２９の切替方向と直交する方向に走査する第１のスキャン手段９と、光検出器１７と微小光変調要素アレイ７との間に配置され、対物レンズ１１により集光され、第１のスキャン手段と同じ方向に走査する第２のスキャン手段５３とを備える走査型顕微鏡１０Ｄを提供する。 （もっと読む）

【課題】改良された画像品質と、削減された電力消費とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイを提供する。
【解決手段】本発明は、ＭＥＭＳベースの光変調器の動きを制御するための制御マトリクスを利用して、ディスプレイ上に画像を形成するための、方法および装置に関する。 （もっと読む）

本発明は、静止摩擦の影響を低減するとともにディスプレイ装置の光学的および電気機械的性能を改良する液体（５３０）に実質的に囲まれた構成要素を有する複数の光変調器を含むＭＥＭＳディスプレイ装置およびその組立方法に関する。本発明はまた、複数の光変調器（５０３）と、装置を通る光の透過を調節する複数のアパーチャとの対応関係を設定するためにＭＥＭＳディスプレイの構成要素をアライメントする方法に関する。
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【課題】ディスプレイ用光学シャッタを、より高速に動作させ、かつ、光の取り出し効率をより向上させることができるようにする。
【解決手段】ピクセルサイズが35（μm）×35（μm）のときよりも、20（μm）×20（μm）のときの方が、応答限界周波数が高くなっている。すなわち、ピクセルサイズを小さくするほど、無極性液体の膨張時の面積が小さくなる（すなわち、必要な膨張度が少なくなる）とともに、無極性液体の必要な液量も少なくなるので、液体デバイスの応答速度を速くすることができる。つまり、液体デバイスは、十分に小さなピクセルサイズのリブピクセルを有することにより、要求される速度を十分に満たす応答速度を得ることができる。本発明は、画像表示装置に適用することができる。 （もっと読む）

変調パルス光ビームを供給するための装置は定パルス繰返し周波数でパルス光ビームを供給する光源を有する。パルス光ビームの経路にあるビーム偏向器が複数のビーム強度変調器のそれぞれに向けて順次に巡回態様でパルス光ビームを方向転換させるように作動できる。ビーム再結合器が定パルス繰返し周波数で変調パルス光ビームを形成するために複数のビーム強度変調器のそれぞれからの変調光を結合する。
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【課題】非接触マイクロミラーを製造すること。
【解決手段】基板によってサポートされるヒンジと、該ヒンジに対してチルト可能なミラープレートであって、該ヒンジは、該ミラープレートがチルトされていない位置から離れてチルトされる場合に、該ミラープレート上に弾性復元力を生成するように構成されている、ミラープレートと、該弾性復元力を克服して、該ミラープレートを、該チルトされていない位置から「オン」位置まで、または「オフ」位置までチルトするように静電気力を生成するように構成されたコントローラであって、該静電気力は、該弾性復元力に対抗して該ミラープレートを該「オン」位置または該「オフ」位置に保持するように構成されている、コントローラとを備えている、マイクロミラーデバイス。 （もっと読む）