【課題】面外角度付構造部を有する構造体の作製において構造部の角度をつける際に、精度良く、所望の角度がつけられる作製方法を提供する。
【解決手段】構造部００３を基板の主面と平行な面Ａ１，Ａ２に対し角度をつけた構造体００１を作成するために第一の工程で、構造部００３の塑性変形を行う被加工部００３に、基板の主面と平行な面に対して交差する方向に突出した突出部００４を設ける。そして第２の工程で、前記構造部の突出部００４に型により力を加えることにより、被加工部００３を塑性変形させ基板の主面Ａ１，Ａ２に対し角度をつける。 （もっと読む）

【課題】本発明では、部品点数が少なく挿入損失も小さい液晶光学素子、及びこれを用いた波長選択スイッチを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る液晶光学部品は、液晶粒が高分子内に分散した高分子液晶複合層と、高分子液晶複合層に照射され高分子液晶複合層を透過する光を所定の角度に反射可能な複数のミラーと、高分子液晶複合層への電圧の印加により複数のミラーへ向かう光に対する高分子液晶複合層の光透過率を複数のミラーへの光ごとに変化するように高分子液晶複合層に設けられた一対の電極と、を備える。また、本発明の波長選択スイッチは、第一レンズと、第一レンズを間にして複数の光入出力ポートの反対側に配置される回折格子と、第一レンズを間にして回折格子の反対側に配列されたシリンドリカル凹レンズと、シリンドリカル凹レンズを間にして第一レンズの反対側に配置された上記液晶光学部品と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 正確な曲率可変制御が期待できる可変曲率ミラーデバイス及びその製造方法を提供することを課題とし、特にマイクロマシン技術またはこれに準じた微細加工技術によって得られる小形かつ正確な可変曲率ミラーデバイスおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 基材薄板（１）と、該基材薄板とは異なる熱膨張係数を有する素材を前記基材薄板表面に被着せしめたミラー金属薄膜（３）と、前記基材薄板の内部または表面に形成された加熱素子（４）と、から構成される可変曲率ミラーデバイスである。この可変曲率ミラーデバイスの製造に当たっては、基材薄板（１）の出発原料として単結晶シリコンウェハ、ＳＯＩウェハが使用可能であり、半導体加工技術、ＭＥＭＳなどの技術を個々にまたは組み合わせた製造プロセスからなる可変曲率ミラーデバイスの製造方法が適用可能である。 （もっと読む）

【課題】本発明では、部品点数が少なく簡易な構成の波長選択スイッチを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る波長選択スイッチは、第一レンズと、第一レンズを間にして複数の光入出力ポートの反対側に配置された回折格子と、光入出力ポートから出力され回折格子で反射した光のうち第一レンズを透過した光を透過させて複数の光入出力ポートの配列方向では凹レンズとしての作用を持ち第一レンズからの収束光を平行光束に変換し、複数の光入出力ポートの配列方向と直交する方向ではレンズ作用を持たず第一レンズからの収束光をそのまま収束させるように第一レンズを間にして回折格子の反対側に配置されたシリンドリカル凹レンズと、シリンドリカル凹レンズを間にして第一レンズの反対側に配置された複数のミラーと、を備える。 （もっと読む）

永久的ＭＥＭＳ構造間からより効率的なエッチングにより犠牲材料を取り除くためのエッチングの機器および方法が、本明細書に開示されている。エッチングヘッドは、溝形状であるか、または導入口を細長く分布させた形状であるものとしてよい、細長いエッチャント導入口構造を備える。基材は、基材面に対し実質的に平行な流路を定め、エッチングヘッドの相対運動で基材上を走査できるように、エッチングヘッドの近くで支持される。
（もっと読む）

【課題】液体容器部と光軸偏向面とが一体に構成された光学素子を提供する。
【解決手段】第１液体３２と、当該第１液体３２と混合しない絶縁性の第２液体３３とを備えて液体容器部２２内に封入し、この液体容器部２２内に加える電圧を変化させることで、第１液体３２と第２液体３３との境界面３４の形状を変化させることが可能な液体レンズと、光軸偏向面を備えた偏向部材とを有し、光軸偏向面は、第１液体と第２液体との境界面を貫く液体レンズの光軸に対して、入射光線側および射出光線側の少なくとも一方に配設されている。 （もっと読む）

【課題】非接触マイクロミラーデバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】マイクロミラーデバイスであって、該マイクロミラーデバイスは、基板によって支持されたヒンジと、該ヒンジに対して傾斜可能なミラープレートとを備え、該ヒンジは、１ミクロンより長い長さと、８００ナノメートル未満の厚さと、１０００ナノメートル未満の幅とを含み、該ミラープレートが、無傾斜位置から離れるように傾斜するときには、該ミラープレートに弾性復元力を生成するように該ヒンジが構成されている、マイクロミラーデバイス。 （もっと読む）

【課題】マイクロミラーの簡略化された製造方法、ならびに簡略化された製造方法によって製造されたマイクロミラーを提供すること。
【解決手段】基板１５０によって支持されているヒンジ接続支柱１２２ａであって、ヒンジ接続支柱は、底層３１２、およびヒンジ接続支柱の中央においてキャビティ１２５ａを取り囲んでいる側面層３１５を含んでいる、ヒンジ接続支柱と、ヒンジ接続支柱の側面層に接続されたヒンジコンポーネント１２０ａと、ヒンジコンポーネントの回りで傾斜するように構成されたミラープレートとを備えている、マイクロミラー。 （もっと読む）

【課題】走査装置および方法を提供すること。
【解決手段】この装置は、光伝送器と、光伝送器の出口先端部から離れて配置された、光伝送器を支持するための取付台と、光伝送器を、第１の方向に共振的に振動するように、また第１の方向と直交する第２の方向に非共振的に振動するように駆動するための駆動部と、光伝送器の出口先端部が走査パターンを実施するように、光伝送器の第１の方向と第２の方向の振動を同期させるためのシンクロナイザとを備える。駆動部が、光伝送器に対して、取付台と出口先端部との間に駆動力を加える。 （もっと読む）

【課題】ヒンジを有するマイクロミラーデバイスを提供すること。
【解決手段】マイクロミラーデバイスであって、基板によって支持されているヒンジと、ヒンジを中心として傾斜可能なミラープレートとを備え、ヒンジは、約３０％〜７０％の間のチタンの組成を有するチタンニッケル合金、約３０％〜７０％の間のチタンの組成を有するチタンアルミニウム合金、約５％〜２０％の間の銅の組成を有するアルミニウム銅合金、および約０％〜１５％の間の窒素の組成を有する窒化チタンアルミニウムから構成されるグループから選択される材料を含む、マイクロミラーデバイス。 （もっと読む）

【課題】非接触マイクロミラーを製造すること。
【解決手段】基板によってサポートされるヒンジと、該ヒンジに対してチルト可能なミラープレートであって、該ヒンジは、該ミラープレートがチルトされていない位置から離れてチルトされる場合に、該ミラープレート上に弾性復元力を生成するように構成されている、ミラープレートと、該弾性復元力を克服して、該ミラープレートを、該チルトされていない位置から「オン」位置まで、または「オフ」位置までチルトするように静電気力を生成するように構成されたコントローラであって、該静電気力は、該弾性復元力に対抗して該ミラープレートを該「オン」位置または該「オフ」位置に保持するように構成されている、コントローラとを備えている、マイクロミラーデバイス。 （もっと読む）

【課題】ＦＰＣを使用してより簡単で信頼性ある構造を備えて、液体レンズモジュールに電流を印加する液体レンズモジュールを提供する。
【解決手段】電気湿潤方式を用いて焦点を制御する液体レンズモジュールであって、開放した空間部を備える流体チェンバー；前記流体チェンバー内に注入され、界面によって分離される互いに異なる屈折率を有する２種の流体；前記流体チェンバーの開放した部分に接着手段によって密封結合される透明板；及び前記流体チェンバー内の流体に作用するように配置される二つの電極；を含んでなり、前記液体レンズモジュールはＦＰＣを使用して前記二つの電極に電流を印加するように構成される。 （もっと読む）

本発明の一つの態様によれば、レーザチップ（１０）と、光波長変換装置（２０）と、本発明による可変焦点レンズ（３）とを備える半導体レーザを提供する。その可変焦点レンズは、レーザチップから光波長変換装置へ光を導くように配置された第１および第２の液体レンズ部品（４０）（５０）を備える。第１および第２の液体レンズ部品は、そのレンズ部品により定義される第１および第２の同調長手軸（４５，５５）が互いに傾斜した関係となるように、また各レンズ部品のレンズ面（４８，５８）の各曲率が変化するように、配向され、また構成される。本発明の別の実施形態によれば、第１および第２の液体レンズ部品を備える可変焦点レンズが提供される。
（もっと読む）

【課題】液体レンズモジュールに電流を印加するための構造を単純化した液体レンズアセンブリーを提供する。
【解決手段】電気湿潤方式を用い、二つの電極を通じて電流を印加することによって焦点を制御する液体レンズモジュール、前記液体レンズモジュールを支持するバレル部、及び前記バレル部に連結され、イメージセンサーを備えるハウジングを含んでなり、前記バレル部と前記ハウジングにそれぞれ電極部を備え、前記電極部を通じて前記液体レンズモジュールに電流を印加する。 （もっと読む）

ミラーを交互に静止状態に相対的な２つの角度位置にするために磁気駆動装置に１個の永久磁石と２個の振動コイルのみが使用されている。磁界コンポーネントが磁束によって該振動コイルに作用を及ぼす。上板と下板が１個の永久磁石で保持され、その結果、それぞれの板が一方の磁極となる。この巻線を通る電流によって振動コイルは作動され、これが磁界を該コイルの周囲に巡らせる。結果としてコイルは、その電流による基準値に応じて上もしくは下に動く。ミラーホルダは固定された周辺部と該周辺部に橋渡しされたトーションアームに結合した可動アームとを有する。これらアームは前記振動コイルにより動かされ、そして該トーションアームを回転させる。このことによってアームに固定されたミラーも動かされる。
（もっと読む）

【課題】簡単な構成で製造も困難でなく、小型化や集積化も容易で大面積のディスプレイを構成することができ、単独の表示素子で色表示を迅速に、可変に制御することができる表示素子を提供する。
【解決手段】表示素子において、屈折率の異なる複数の透明薄膜からなる積層体に電界を印加し、積層体中の透明薄膜の厚さを電界により変化させることで、入射光に対する反射光または透過光の波長分布を変化させる。 （もっと読む）

【課題】レンズアレイとスペーサと回転駆動鏡アレイと、駆動電極アレイを集積化して小型化を図る。
【解決手段】入力用光ファイバ群３１と、出力用光ファイバ群３２と、サーキュレータ３４と、スペーサ３７，３８と、レンズアレイ３５と、ＭＥＭＳミラーアレイ３６と、ＭＥＭＳ電極３９を一体化してアレイ化した構成とする。 （もっと読む）

【課題】波長毎に減衰率を制御することができる可変減衰器アレイを実現する。
【解決手段】入力用光ファイバ８１と、出力用光ファイバ８２と、サーキュレータ８３と、入力出力兼用光ファイバ８４を備える。また、基板８５上に、入力出力兼用光導波路８５ａとＡＷＧ８５ｂと光導波路群８５ｃを形成する。そして、光導波路群８５ｃと可変光減衰器アレイ８６とを接続する。ＡＷＧ８５ｂにより波長毎に分岐し、可変光減衰器アレイ８６により、波長毎に減衰率を調整する。 （もっと読む）

【課題】犠牲層エッチングを行わずに微小構造体及びマイクロマシンを作製する。
【解決手段】基板１０１上に剥離層１０２を形成し、剥離層１０２上に可動電極となる層１０３を形成する。剥離層１０２を境界に、可動電極となる層１０３を基板から剥離する。別の基板１０５に固定電極となる層１０６を形成する。可動電極となる層１０３と固定電極となる層１０６が向かい合うように、部分的に設けられたスペーサ層１０３を挟んで、可動電極となる層１０３を基板１０５に固定する。これにより、犠牲層エッチングを行わずに、層１０３と層１０６の間に空間部分１０９が形成される。 （もっと読む）

光変調器装置は、第1の電気導管、第1の導管から電気的に絶縁された第2の電気導管、第1の表示素子、および第2の表示素子を備える。第1の表示素子は、第1の導管と第2の導管との間の電圧差の大きさが第1の動作電圧よりも大きいときには動作状態にあり、この電圧差の大きさが第1の解放電圧よりも小さいときには解放状態にある。第2の表示素子は、この電圧差の大きさが第2の動作電圧よりも大きいときには動作状態にあり、この電圧差の大きさが第2の解放電圧よりも小さいときには解放状態にある。各動作電圧が実質上等しく、各解放電圧が異なるか、または各動作電圧が異なり、各解放電圧が実質上等しいかのいずれかである。
（もっと読む）