【課題】弾性支持部の破断を防止することができる光偏向器の製造方法を提供する。
【解決手段】反射膜１１を有する可動板１０を形成する工程と、可動板１０とは異なる部材で、可動板１０を取り付けるための取付部２１と、取付部２１に取り付けられた可動板１０を所定の軸の周りに回動可能に支持する弾性支持部２２とを有する軸部材２０と、軸部材２０と連結する支持部材３０とを一体で形成する工程と、軸部材２０と支持部材３０に丸め処理を施す工程と、取付部２１に可動板１０を取り付ける工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】伝搬光の光強度が大でも対応可能な光線路切替装置を提供する。
【解決手段】固定側光ファイバ１１ａを支持する固定台１２と、移動側光ファイバ１３ａを支持して移動可能な移動台１４とを備え、移動台を移動させて移動側光ファイバ１３と固定側光ファイバ１１とを選択的に光接続する光線路切替装置において、移動側光ファイバ１３及び固定側光ファイバ１１の各先端にそれぞれコリメータレンズ２０を取り付ける。コリメータレンズ２０どうしは間隔をあけて対向している。光ファイバを出射した光はコリメータレンズで拡径され、平行光となって対向するコリメートレンズに向かう。両コリメータレンズ間では光束径が大なので、伝搬光の強度が大であっても単位面積当たりの光強度は小さく、コリメータレンズの端面に付着したゴミ等が原因で端面状態が劣化する恐れは少なくなる。マッチングオイル不使用なので、マッチングオイルに起因する不都合は生じない。 （もっと読む）

【課題】反射膜間の距離を精度よく制御することができる波長可変光フィルターの提供。
【解決手段】厚み方向に変位可能な第１の可動部１１と厚み方向に変位可能な第２の可動部１２とを備えた第１の基板１０と、第１の基板１０との間で内部空間１３を形成し、第１の基板１０に接合された第２の基板２０と、第１の基板１０を挟んで第２の基板２０の反対側に配置された第３の基板３０と、第２の可動部１２と第３の基板３０との間に挟持された圧電素子５０と、内部空間１３に満たされた液体６０と、第１の可動部１１の面１４上に設けられた第１の反射膜１５と、第２の基板２０上に設けられた第２の反射膜２２とを備え、圧電素子５０の厚み方向の変位に応じて、第２の可動部１２が厚み方向の一方に変位することにより液体６０に加わる圧力で第１の可動部１１が厚み方向の他方に変位し、第１の反射膜１５と第２の反射膜２２との間の距離Ｇが変化することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光の透過範囲を制限する金属層を基板に設けることなく、透過波長の半値巾（ＦＷＨＭ）の小さなファブリペロー干渉計を提供する。
【解決手段】第１ミラー構造体と第２ミラー構造体とのギャップを介した対向部位のうち、第１ミラー及び第２ミラーの形成された中央領域を取り囲む周辺領域全域が、分光帯域の光を反射する反射領域とされている。そして、反射領域における垂直方向の任意位置において、第１ミラー構造体では、第１ミラーと同一の光学多層膜構造を有する反射ミラーが形成され、第２ミラー構造体では、高屈折率層同士が接してなる部分となっている。 （もっと読む）

【課題】単一のアクチュエータで３点以上の安定点を取ることができ、小型化・集積化可能な微小可動デバイスを提供する。
【解決手段】微小可動デバイスは基板３１と、基板３１上に設けられた固定構造物と、その固定構造物に連結支持されて基板板面と平行に駆動される可動構造物とを有する。可動構造物（可動ロッド４１）は第１の双安定ヒンジ対５３，５４の中央に結合され、第１の双安定ヒンジ対５３，５４の他端は第２の双安定ヒンジ対５６，５７の中央に結合され、第２の双安定ヒンジ対５６，５７の他端は固定構造物（アンカー部５８）に結合される。２つの双安定ヒンジ対がそれぞれ２つの安定状態の何れかにある時に可動ロッド４１は４つの安定点を取ることができる。双安定ヒンジ対をＮ段構成（Ｎは２以上の整数）とすれば、安定点が３以上２^Ｎ以下の個数の相互に異なる点として形成される。 （もっと読む）

【課題】ＳＯＩ基板を用いて作製されるミラー構造体の両面に、より容易に所望とする形状の金属膜が形成できるようにする。
【解決手段】金属膜１０６の表面に電着レジストを電着することで、電着レジスト層１０７を形成し、電着レジスト層１０７をフォトリソグラフィーによりパターニングし、ミラー部１３１の金属パターン１４１と対向する領域に、電着レジストパターン１７１を形成する。電着レジストパターン１７１は、ミラー部１３１の裏面側の金属パターン１４１に対向して形成する金属パターンの領域を被覆するように形成する。 （もっと読む）

【課題】少ない電力で表示状態を維持することが可能で、速やかに表示状態を切り替えることができ、容易に低コストで製造可能なシート状の表示デバイス、及び、その製造方法を提供する。
【解決手段】表示用シート１は、ベースシート１０１に、外部から入射した光のファブリ・ペロー干渉によって所定波長の光を反射する誘電体ミラー１４２と、ベースシート１０１の一面にマトリクス状に並べて配置され、周囲の電界に応じて変形することにより誘電体ミラー１４２の反射率を変化させる複数の駆動用ピエゾ素子１４０と、各々の駆動用ピエゾ素子１４０に重なるようにマトリクス状に並ぶ複数の分極用ピエゾ素子１２０と、複数の分極用ピエゾ素子１２０の中から特定の分極用ピエゾ素子１２０を選択可能に構成され、選択された分極用ピエゾ素子１２０に電圧を印加するための配線部１１０と、を設けて構成される。 （もっと読む）

【課題】 光を容易に制御することができ、応答特性がよく小型化が可能な光クロスバー、及び光集積装置を提供する。
【解決手段】 その横断面が長方形で、かつその一端面に、縦断面の中心線に対して略４５度の角度を有し、該中心線に対して１８０度対称の位置に形成された各々が長方形状の２つの傾斜面に金属ミラーを形成した形状記憶合金を用いて、複数本並列に並べられた光ファイバ内を伝搬する光の導通の切り替えを一度に行なうアドドロップスイッチを構成する。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の増大を招くことなく、優れた光学特性を有する波長可変フィルタを提
供すること。
【解決手段】第２の基板３は、その厚さ方向での位置が異なる２つの面を可動部２１側に
有し、２つの面のうち、一方に駆動電極３３が設けられ、他方に検出電極４０が設けられ
ており、検出電極４０と可動部２１との間の静電容量に基づいて、駆動電極３３と可動部
２１の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部
２１を変位させるとともに、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間で光反射を繰り返し
、干渉を生じさせて、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間の距離に応じた波長の光を
外部に出射し得るよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の増大を招くことなく、優れた光学特性を有する波長可変フィルタを提供すること。
【解決手段】第２の基板３は、その厚さ方向での位置が異なる２つの面を可動部２１側に有し、２つの面のうち、一方に駆動電極３３が設けられ、他方に検出電極４０が設けられており、検出電極４０と可動部２１との間の静電容量に基づいて、駆動電極３３と可動部２１の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部２１を変位させるとともに、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳデバイスの実装において、ＭＥＭＳ要素を外力による衝撃から守る様々な特性を盛り込む。
【解決手段】実装されたデバイスは、基板１０１、該基板１０１に形成されたインターフェロメトリックモジュレータディスプレイアレイ１１１及びバックプレート１２１を、具備する。上記バックプレートは、ディスプレイアレイ１１１の上に、上記バックプレートと上記ディスプレイアレイとの間のギャップ１２４を挟んで配置される。上記ギャップの深さは、上記バックプレートの全体に渡って変化する。上記バックプレートは、湾曲され得るか、または上記ディスプレイアレイに対向するその内表面にリセスを有し得る。上記バックプレートの厚さは可変し得る。上記デバイスは、上記バックプレートと一体化された強化構造を含み得る。 （もっと読む）

【課題】壁電極を用いるミラーアレイを備えるＭＥＭＳ素子が、より容易に製造できるようにする。
【解決手段】第１電極パターン１１３に溝部１１３ａを形成する。同様に、第２電極パターン（不図示）にも溝部を形成する。例えば、公知の技術となっているＳｉの深堀加工技術であるＤＲｌＥエッチング技術で、ＳＦ₆をエッチングガスとして用いることで、上述したエッチングが行える。ここで、溝部１１３を形成するエッチングでは、形成した溝部１１３ａの底部に、第１電極パターン１１３（シリコン層１０３）が残るようにエッチング時間を制御する。例えば、実験などにより、予めエッチングレートを測定しておき、このエッチングレートより、溝部１１３ａの底部に、第１電極パターン１１３（シリコン層１０３）が残る処理時間を算出し、この算出結果を上記エッチングに適用させればよい。 （もっと読む）

【課題】複数の微小なミラーを用いて、光源からの光をマルチビーム化する技術において、マルチビーム化された各ビームの位相を簡易な構造で制御する。
【解決手段】パターンを描画する描画装置１に、複数の微小ミラーを備えた空間光変調デバイス２、各微小ミラーに与える開始信号によって各微小ミラーの偏向動作の開始タイミングを制御するミラー制御部、および、位相を反転させる平行平面板４４を設ける。レーザ光を所定の周期Ｔで照射しつつ、各微小ミラーが偏向を開始するタイミングを個々のミラーごとにミラー制御部によって制御する。これにより各微小ミラーによって形成される各ビームの進行方向を制御して、正位相とするビームをアパーチャ４５に導くとともに、逆位相とするビームのみをアパーチャ４６および平行平面板４４に導いて位相を反転させる。 （もっと読む）

【課題】基板上に配置されたマイクロミラーアセンブリのアレイを備えるデジタルマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】各マイクロミラーアセンブリは、基板から間隔を置いて配置されたミラーと、ミラーを支持するステムと、ステムの両側に配置された第１の電極及び第２の電極とを備える。ステムは、弾性的に可撓性の材料からなり、したがってミラーは、静電力によって第１の電極の方に、又は第２の電極の方に傾斜することができる。このデジタルマイクロミラーデバイスは、データ投影機等に使用することができる。 （もっと読む）

【課題】パワー損失を減らし、フレキシブルな周波数ルーティング機能を有する光学コネクトシステムを提供すること。
【解決手段】本発明の光学クロスコネクト１００は、複数の入力ファイバ１１２から光学信号を受領するレンズ列１１４を有する。このレンズ列は複数のレンズ素子から構成され、各レンズ素子は、光学信号をＭＥＭＳミラー列１１８、１２２に向ける。即ち、集光する。このＭＥＭＳミラー列は、複数のミラー素子を有し、各素子は制御信号を所望のミラー素子に加えることにより一つあるいは複数の回転軸の周囲で傾斜する。かくして光学信号は様々なパスに沿って様々な出力ファイバ１２８に向けることが出来る。 （もっと読む）

【課題】近接投影を行う場合に、投影面全体で解像度を一定にすることができる光走査装置および画像形成装置を提供する。
【解決手段】レーザビームを出射する光源３と、所定の軸を中心にして回動可能に構成され、光反射部で反射したレーザビームを対象物に走査する光偏向器１と、光偏向器１による垂直方向の走査ラインの間隔が一定になるように、垂直走査ミラー１ｂの単位時間あたりの偏向角変化量を制御する駆動制御部７と、駆動制御部７によって決定された回動角度に従って光偏向器１を回動駆動させる駆動部２を備える。 （もっと読む）

【課題】合波や分波を行う波長選択スイッチ機能を果たすと共に、波長情報を瞬時に特定してモニタすることができ、構造が簡単で小型の波長選択デバイスを提供する。
【解決手段】波長選択デバイス１０は、共通ポート(COM port)および入出力ポート（１^stport〜９^thport）と、各ポートからの入射光をコリメート光にするコリメータ１１〜２０と、回折格子２１と、回折格子２１で分光された光を集光する集光レンズ２２と、複数のＭＥＭＳミラー２３_１〜２３_４５を備えたＭＥＭＳミラーアレイ２４と、ＭＥＭＳミラー２３_１〜２３_４５をそれぞれ透過した光を受ける二次元ＣＣＤアレイ２５と、を備える。二次元ＣＣＤアレイ２５の出力信号に基づき、各ポートからどのような波長の光が入射されたかを、複数の画素の列番号と行番号からなるアドレスにより瞬時に特定してモニタすることができる。 （もっと読む）

【課題】改良された作動性を有するメンブレン変形の可能な光デバイスを提供すること。
【解決手段】少なくとも１つの変形可能なメンブレンと、支持体と、メンブレンに負荷をかけて、それを変形させる作動手段とを備え、メンブレンには、支持体に固定するための区域と固定区域によって囲まれた逆向きに変形するのに適した実質的に中心の区域とが備えられ、支持体およびメンブレンは、メンブレンの面の１つと接触する第１の流体と呼ばれる流体の固定区域の少なくとも内部に配置され、一定の容積を閉じ込めるのに寄与している、光デバイスに関する。作動手段は、メンブレンをある方向に移動させ、第１の流体を中心区域の方へ移動させるために中心区域と固定区域との間にある周辺区域内でメンブレンに負荷をかける主要作動手段と、メンブレンを逆方向に移動させるために中心区域内でメンブレンに負荷をかけるメンブレンに少なくとも固定された補助作動手段とを含む。 （もっと読む）

【課題】製品精度の安定と組立工程の低減を可能にしかつモータの小型化を実現したカラーホイール用駆動モータを提供する。
【解決手段】ロータ５の回転軸４に連結され、カラーホイール17と共転可能なカラーホイール取付盤９を有するカラーホイール用駆動モータ１において、位置信号発生用のマグネット10を、モータの一端側に対面するカラーホイール取付盤９に配置し、回転位置検出用の磁気検出器８を、マグネットに対向してモータ内に配置された、コイル配線引出し用の中継基板７上に配置する。この結果、マグネット10と磁気検出器８が、モータ１の外形寸法の範囲内に設けられて互いに対面するため、小径、薄型の小型モータとして構成でき、かつ、１つの中継基板7で、コイル結線と磁気検出器の配線を行うことにより、組立工程を低減できる。 （もっと読む）

【課題】大幅な低コスト化を可能とする光偏向ミラー、光偏向ミラーの製法、光偏向器を提供する。
【解決手段】光ビームを偏向するための光偏向ミラーであって、基板４の表面が光反射性を有し、裏面にポリマー材料を主成分とする樹脂皮膜５が形成されたミラー部１と、ミラー部１に設けられ、樹脂皮膜５の突出部からなるトーションバー２と、トーションバー２に連結された固定部３とを有し、ミラー部１は磁気感受性を有し、トーションバー２はミラー部１を傾動自在に支持する。基板４の表面で光を反射でき、基板４が磁気感受性を有するので、電磁石で基板を傾動させることができる。トーションバー２の材料がポリマーを主成分とする樹脂を主成分とする樹脂であるから柔軟性があり、小さな駆動源で傾動できる。基板４の表裏両面とも、フォトリソグラフィ技術によるパターニングと、ウエットエッチングにより製造でき、光偏向ミラーを廉価に製造できる。 （もっと読む）